溶劑處理裝置制造方法
【專利摘要】該溶劑處理裝置采用的移動部件包含：網帶輸送機(9)，其具有在與溶劑吸附片(3)的內周面重疊的狀態(tài)下輸送溶劑吸附片(3)的輸送網帶(9A)；驅動輥(2A)和從動輥(50A)，它們沿輸送網帶(9A)的厚度方向只夾入輸送網帶(9A)而使輸送網帶(9A)旋轉移動。
【專利說明】溶劑處理裝置
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種溶劑處理裝置，并且涉及一種用于處理包含從涂裝工廠和半導體制造工廠等排出的溶劑(以甲苯、二甲苯等為代表的有機溶劑等且濃度為30ppm?300ppm左右)的排氣的技術。即、是一種利用在對排氣中的溶劑進行除去處理的技術中的、為了減少最終處理量而將溶劑的濃度濃縮的技術的溶劑處理裝置。更詳細而言，涉及一種如下技術:該技術采用以活性炭的氈為主體的環(huán)形的溶劑吸附片，使含有溶劑的處理對象氣體以沿著溶劑吸附片的厚度方向透過溶劑吸附片內的方式進行供給，通過使該處理對象氣體中的溶劑被溶劑吸附片吸附來除去溶劑。
【背景技術】
[0002]在使用溶劑吸附片來處理溶劑的情況下(片式)，與例如將纖維狀活性炭紙片化，并進行分段加工而成型為具有多個氣體通路的蜂窩狀，然后采用使該蜂窩狀活性炭支承于框內而得到的塊狀的溶劑吸附體，通過使處理對象氣體沿著該溶劑吸附體的氣體通路內透過，與纖維狀活性炭所分散的氣體通路的四周壁部接觸來吸附溶劑的(蜂巢轉輪式)相比，具有以下那樣的優(yōu)點。
[0003]在采用蜂巢轉輪式的情況下，使處理對象氣體沿著氣體通路的四周壁部流動并與吸附材料接觸而使溶劑吸附于吸附材料，因此，相對于溶劑吸附體的大小而言，吸附材料與溶劑的接觸面積較小，而且加工工序多，吸附材料和溶劑的接觸效率差，所以相對于溶劑吸附體的大小而言，處理能力小且成本高。
[0004]而且，在對溶劑吸附體進行加熱而使溶劑脫附時，因為不僅溶劑吸附體較大，而且支承用的框會吸收熱量，所以需要大量的熱量，并且，在脫附后為了使溶劑吸附體恢復到可吸附狀態(tài)，還需要進行冷卻，運轉成本較高。
[0005]針對此情況，在采用日本特開平05-245336號公報(專利文獻I)、日本特開平05-277328號公報(專利文獻2)、日本特開平05-277331號公報(專利文獻3)中所公開那樣的環(huán)形的溶劑吸附片的情況下，通過利用纖維狀活性炭的氈構成溶劑吸附片等增加接觸面積，從而能夠優(yōu)化接觸效率。也能夠使溶劑吸附片的厚度變薄。
[0006]其結果，溶劑吸附片也變得容易加熱、冷卻，所以用于脫附的加熱所需的運轉成本也可以變得廉價。溶劑吸附片不需要特殊的裝置種類，就能夠進行為了脫附后的吸附的冷卻。
[0007]專利文獻1:日本特開平05-245336號公報
[0008]專利文獻2:日本特開平05-277328號公報
[0009]專利文獻3:日本特開平05-277331號公報
【發(fā)明內容】
[0010]發(fā)明要解決的問題
[0011]在上述各專利文獻公開的溶劑處理裝置中，作為使環(huán)形的溶劑吸附片以沿著循環(huán)路徑的方式卷繞并使該溶劑吸附片旋轉移動的移動部件，使用網帶輸送機。
[0012]該網帶輸送機具有卷繞在設置于4個角的輥的輸送網帶，利用該輸送網帶使溶劑吸附片沿著循環(huán)路徑移動。利用張力輥始終將恒定的張力施加于輸送網帶。
[0013]但是，輸送網帶隨著使用會發(fā)生逐漸拉長的情況，有時在循環(huán)路徑上會產生曲折。在該情況下，認為有可能造成使溶劑處理裝置的處理對象氣體中的溶劑吸附于溶劑吸附片的吸附效率降低。
[0014]本發(fā)明是為了解決上述課題而做成的，其目的在于提供一種具有能夠抑制輸送網帶在循環(huán)路徑上產生拉長的結構的溶劑處理裝置。
[0015]用于解決問題的方案
[0016]在基于該發(fā)明的溶劑處理裝置中，具有如下部件:移動部件，其使將活性炭的氈作為主體的環(huán)形的溶劑吸附片以沿著循環(huán)路徑的方式進行卷繞并使溶劑吸附片旋轉移動；吸附部件，其在上述循環(huán)路徑的第I設定位置以含有溶劑的處理對象氣體沿著上述溶劑吸附片的厚度方向透過的方式向上述溶劑吸附片內供給該含有溶劑的處理對象氣體，并使上述溶劑吸附于溶劑吸附片；脫附部件，其在與上述第I設定位置不同的第2設定位置以脫附用氣體沿著上述溶劑吸附片的厚度方向透過的方式向上述溶劑吸附片內供給該脫附用氣體，并使溶劑從上述溶劑吸附片脫附。
[0017]上述移動部件包含:網帶輸送機，其具有在與上述溶劑吸附片的內周面重疊的狀態(tài)下輸送上述溶劑吸附片的輸送網帶；驅動輥和從動輥，它們在上述輸送網帶的厚度方向只夾入上述輸送網帶而使上述輸送網帶旋轉移動。
[0018]在其他技術方案中，以利用上述驅動輥和上述從動輥在厚度方向夾入上述輸送網帶的方式驅動上述輸送網帶后，通過釋放被施加于上述輸送網帶的張力，而使上述輸送網帶向下方松弛，與此同時，在上述輸送網帶向下方松弛的區(qū)域進一步設置用于抑制上述輸送網帶的曲折的器件。
[0019]發(fā)明的效果
[0020]采用基于該發(fā)明的溶劑處理裝置，可以提供一種具有能夠抑制輸送網帶在循環(huán)路徑上產生拉長的結構的溶劑處理裝置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0021]圖1是表示本實施方式的溶劑處理裝置的概略結構的示意圖。
[0022]圖2是本實施方式的溶劑處理裝置的立體圖。
[0023]圖3是沿著圖2中的II1-1II線向視得到的剖視圖。
[0024]圖4是沿著圖2中的IV-1V線向視得到的剖視圖。
[0025]圖5A是表示本實施方式的溶劑吸附片主要部分的結構的第I剖視圖。
[0026]圖5B是表示本實施方式的溶劑吸附片主要部分的結構的第2剖視圖。
[0027]圖5C是表示本實施方式的溶劑吸附片主要部分的結構的第3剖視圖。
[0028]圖6A是本實施方式的溶劑吸附片的連接部的第I俯視圖。
[0029]圖6B是本實施方式的溶劑吸附片的連接部的第2俯視圖。
[0030]圖7是本實施方式的溶劑吸附片的連接部的剖視圖。
[0031]圖8是本實施方式的輸送網帶主要部分的俯視圖。
[0032]圖9是表示本實施方式的輸送網帶和引導機構之間的關系的主要部分的橫剖主視圖。
[0033]圖10是表示本實施方式的輸送網帶和引導機構之間的關系的主要部分的縱剖主視圖。
[0034]圖11是表示本實施方式的溶劑處理裝置的概略結構的框圖。
[0035]圖12是表示本實施方式的溶劑處理裝置的移動部件的圖。
[0036]圖13是表示本實施方式的溶劑處理裝置的移動部件的圖。
【具體實施方式】
[0037]以下，參照附圖詳細說明實施方式。在以下所示的實施方式中，在圖中對相同或者對應的部分標記相同的附圖標記，而不重復其說明。在以下所說明的實施方式中，在涉及個數(shù)、數(shù)量等的情況下，除了特別記載的情況以外，并不限定于該個數(shù)、數(shù)量等。
[0038]參照圖1，本實施方式的除臭裝置1000具有溶劑處理裝置1100和催化劑氧化裝置1200。從外部設備將處理對象氣體Gl送入溶劑處理裝置1100內。在溶劑處理裝置1100內，在循環(huán)路徑的第I設定位置使處理對象氣體Gl所含有的溶劑吸附于溶劑吸附片3。
[0039]被吸附于溶劑吸附片3的溶劑是在與第I設定位置不同的第2設定位置利用脫附用氣體G2從溶劑吸附片3脫附的溶劑。使溶劑從脫附用氣體G2脫附了的處理氣體gl利用風扇F2向除臭裝置1000的外部排出。
[0040]在催化劑氧化裝置1200中，被脫附用氣體G2脫附了溶劑而得到的濃縮氣體g2被風扇F4送入具有加熱器121、催化劑122以及換熱器123的路徑中，并作為脫附用氣體G2被再次使用。利用風扇F3將脫附用空氣送入換熱器123。
[0041]如從圖2至圖4所示，溶劑處理裝置1100具有移動部件，該移動部件將具有透氣性的環(huán)形(無端帶狀)的溶劑吸附片3卷繞設置于循環(huán)路徑，并使該溶劑吸附片3沿著循環(huán)路徑旋轉移動。
[0042]溶劑處理裝置1100具有:吸附部件，其在循環(huán)路徑的第I設定位置以處理對象氣體Gl沿著溶劑吸附片3的厚度方向透過的方式向溶劑吸附片3內供給該處理對象氣體G1，并使溶劑吸附于溶劑吸附片3 ;脫附部件，其在與上述第I設定位置不同的第2設定位置以脫附用氣體G2沿著厚度方向透過溶劑吸附片3的方式供給該脫附用氣體G2，并使溶劑從溶劑吸附片3脫附。
[0043]如圖3和圖4所示，循環(huán)路徑包含:上升路徑部、與上升路徑部的上端相連的水平的上側路徑部、與上側路徑部的終端相連的下降路徑部以及從該下降路徑部向上升路徑部去的水平的下側路徑部。
[0044](溶劑吸附片3)
[0045]如從圖5A至圖5C、圖6A、圖6B以及圖7所示，溶劑吸附片3以活性炭作為吸附材料，在常溫下吸附處理對象氣體Gl中的溶劑，并通過加熱(100度?130度)使溶劑脫附。
[0046]如圖5A、圖5B以及圖5C所示，溶劑吸附片3具有:纖維狀活性炭的氈3A，其為了保護其表面而在其表面和背面重疊有由無紡布等構成的保護層3a ;加強體3B，其固定于該氈3A中的沿著移動方向的側端緣；第2加強體3C，其固定于氈3A的長度方向(前后方向)的兩端；連接結構，其將兩端的第2加強體3C彼此連接起來而使溶劑吸附片3整體形成為環(huán)形。
[0047]舉出氈3A的實際數(shù)值的例子，活性炭纖維的直徑是1(^!11?2(^111、厚度是從1mm到20mm、單位面積重量是600g/m2左右。在圖中為了便于判斷，將保護層3a表示得較厚，但保護層3a的實際的厚度非常薄。加強體3B和第2加強體3C均具有耐熱性、耐溶劑性、撓性(柔軟性)，并且具有比氈3A大的抗張力性。
[0048]如圖5A、圖5B以及圖5C所示，保護層3a、加強體3B以及第2加強體3C連續(xù)地將氈3A的表面端部、端面以及背面端部覆蓋，通過縫制向氈3A固定。作為固定結構，能夠舉出如下結構:如圖5A所示，在將氈3A的端部壓緊的狀態(tài)下縫制而成的結構，如圖5B所示，在氈3A的端部未壓緊的狀態(tài)下縫制而成的結構，如圖5C所示，在借助耐熱性的密封件3b將氈3A的端部壓緊的狀態(tài)下縫制而成的結構。
[0049]如圖6A、圖6B以及圖7所示，氈3A的連接結構是將氈3A的兩端在寬度方向進行了定位的狀態(tài)將兩端連接起來的結構。該結構具有:拉鏈6，其利用拉頭4的滑動將裝卸自由的鏈齒5的一側安裝到第2加強體3C中的一側，并且，將另一側的鏈齒5安裝到另一側的第2加強體3C上；連接材料7，其在除去了拉頭4的狀態(tài)下防止該拉鏈6的鏈齒5彼此脫離。
[0050]如圖6A所示，拉鏈6以比氈3A的寬度長的尺寸被安裝在氈3A上，如圖6B所示，接合后為了與氈3A的寬度一致而將兩端部切掉除去，連接材料7在切掉除去后的拉鏈6的兩端以不使鏈齒5彼此脫離的方式進行固定。
[0051 ] 在拉鏈6上設置有遮蔽板8，該遮蔽板8以橫跨第2加強體3C彼此的方式設置，從而將該第2加強體3C之間密封。遮蔽板8固定于第2加強體3C。
[0052]該遮蔽板8、第2加強體3C以及拉鏈6可以通過一次性縫制而同時固定于氈3A上，或者，也可以分開固定。另外，在各種固定中也可以同時使用粘接劑。作為粘接劑，優(yōu)選具有耐熱性的粘接劑。
[0053](網帶輸送機9)
[0054]移動部件是在與溶劑吸附片3的內周面重疊的狀態(tài)下沿著循環(huán)路徑移動輸送該溶劑吸附片3的網帶輸送機9。該網帶輸送機9包含:輸送網帶9A、引導輸送網帶9A移動的引導機構以及驅動輥2A。
[0055]如圖8和圖9所示，輸送網帶9A是編制平帶狀的網帶材料而構成的。在網帶材料中，處于沿著移動方向的狀態(tài)的網帶材料9a是由抗張力較強的芳綸樹脂制。處于沿著寬度方向的狀態(tài)的網帶材料％是特氟龍(注冊商標)樹脂制。
[0056]為了獲得良好的撓性，輸送網帶9A的厚度⑴被設為t = 0.5mm?Imm左右，網眼大小是5mmX 5mm左右、網帶材料的寬度是Imm左右。在沿著輸送網帶9A的移動方向的端緣上固定有加強帶9c。
[0057]再次參照圖2和圖3，引導機構包含:配置在循環(huán)路徑的拐角部(4個角部)的導輥2和驅動輥2A，以及分別配置于上升路徑部、下降路徑部、上側路徑部的導軌9D。
[0058]如圖9和圖10所示，導軌9D具有:引導槽9d，其通過與固定于輸送網帶9A的加強帶9c的銷10卡合，從而限制輸送網帶9A的寬度方向的錯位；引導面9e，其在輸送網帶9A的內周面上滑動以防止該輸送網帶9A在厚度方向振擺。引導面9e中的移動上方側的端部分9f為了使銷10不與導軌9D的端面鉤掛而形成為傾斜狀態(tài)。
[0059]參照圖11和圖12，驅動輥2A利用設置在外部的驅動裝置70(參照圖2)借助皮帶輪2P皮帶驅動。在與驅動輥2A面對的位置設置有從動輥50A，以使沿著輸送網帶9A的厚度方向只夾入輸送網帶9A，并使輸送網帶9A旋轉移動。在從動輥50A上設置有用于向驅動輥2A側按壓從動輥50A的(圖中箭頭F方向)按壓彈簧60。
[0060]驅動輥2A具有芯骨構件2a和由包圍芯骨構件2a的軟質材料構成的表層構件2b，以使表層構件2b進入輸送網帶9A的網眼的方式進行卡合。從動輥50A具有芯骨構件50a和由包圍芯骨構件50a的軟質材料構成的表層構件50b，以使表層構件50b進入輸送網帶9A的網眼的方式進行卡合。
[0061]在本實施方式中，由于不向被驅動輥2A和從動輥50A驅動后的輸送網帶9A上施加張力，所以如圖2和圖3所示，輸送網帶9A處于向下方松弛的狀態(tài)。溶劑吸附片3在循環(huán)路徑中的下側路徑部處從輸送網帶9A向下方分離而使溶劑吸附片3成為自由狀態(tài)。
[0062]這樣一來，在本實施方式中，因為不向輸送網帶9A施加張力，所以能夠抑制輸送網帶在使用中產生拉長的情況。
[0063]如圖2和圖3所示，在輸送網帶9A向下方松弛的區(qū)域設置有作為用于抑制輸送網帶9A曲折的器件的板構件80。
[0064](吸附部件和脫附部件)
[0065]如從圖3至圖5以及圖13所示，吸附部件是在循環(huán)路徑中的上升路徑部和下降路徑部中以處理對象氣體Gl沿著厚度方向透過溶劑吸附片3的方式向該溶劑吸附片3供給該處理對象氣體Gl并使溶劑吸附于該溶劑吸附片3的部件。
[0066]該吸附部件包含:封裝殼體13，其用于收容裝置整體；吸附用吸引口 14，其在上升路徑部和下降路徑部中以從外側供給處理對象氣體Gl的方式借助形成于封裝殼體13的供給口將處理對象氣體Gl供給到封裝殼體13內；以及吸附用排出管道15，其以隔著溶劑吸附片3與吸附用吸引口 14相對的方式配置在溶劑吸附片3的內側，用于吸引已穿過了溶劑吸附片3的處理氣體gl。
[0067]在吸附用吸引口 14和溶劑吸附片3之間以及吸附用排出管道15和溶劑吸附片3之間設置2mm?3mm左右的間隙。
[0068]如圖3、圖4以及圖11所示，脫附部件是在循環(huán)路徑中的上側路徑部中以高溫的脫附用氣體G2沿著厚度方向透過溶劑吸附片3的方式向該溶劑吸附片3供給該高溫的脫附用氣體G2并使溶劑從溶劑吸附片3脫附的裝置。該脫附部件包含:脫附用供給管道16，其在上側路徑部中從外側供給脫附用氣體G2 ;脫附用排出管道17，其以隔著溶劑吸附片3與脫附用供給管道16相對的方式配置在溶劑吸附片3的內側，用于吸引已穿過了溶劑吸附片3的濃縮氣體g2。被脫附用排出管道17所吸引的濃縮氣體g2被送出到催化劑氧化裝置1200 側。
[0069]在脫附用供給管道16和溶劑吸附片3之間以及脫附用排出管道17和溶劑吸附片3之間設置2mm?3mm左右的間隙。
[0070](溶劑處理裝置1100的內部壓力控制)
[0071]一般，在處理對象氣體Gl的處理時，如圖13所示，在將吸附用吸引口 14的內部壓力設為PU將吸附用排出管道15的內部壓力設為P2、將脫附用供給管道16的內部壓力設為P3以及將脫附用排出管道17的內部壓力設為P4的情況下，以滿足Pl ( P4、P1彡P3以及P2 > P3的關系的方式利用控制裝置300進行溶劑處理裝置1100的吸附部件的內部壓力和脫附部件的內部壓力的控制。
[0072]這樣一來，以維持各區(qū)域的內部壓力關系的方式進行控制，從吸附用吸引口 14吸引來的處理對象氣體Gl穿過溶劑吸附片3后作為處理氣體gl從吸附用排出管道15排出，并且脫附用氣體G2穿過溶劑吸附片3后作為濃縮氣體g2從脫附用排出管道17排出，處理對象氣體Gl不向脫附用排出管道17流出，另外脫附用氣體G2既不向吸附用吸引口 14側流出，也不向吸附用排出管道15流出。
[0073]溶劑處理裝置1100的內部壓力根據(jù)從外部設備送入的處理對象氣體Gl的送風量而變化。因此，在控制裝置300中，時常監(jiān)測作為吸附用吸引口 14的內部壓力的P1，并在Pl變動時，以滿足Pl ( P4、P1彡P3以及P2彡P3的關系的方式對作為脫附用供給管道16的內部壓力的P3進行調整。
[0074]溶劑處理裝置1100的內部壓力的調整是使用用于調節(jié)處理氣體gl的風量的風扇F2、用于調節(jié)脫附用氣體G2的風量的風扇F3以及用于調節(jié)濃縮氣體g2的風量的風扇F4來實施的。各氣體的風量是通過變頻控制各風扇的轉速來進行調節(jié)的。使各風扇的送風量恒定，在供各氣體通過的管路內設置用于改變管路的通路截面積的阻尼器，通過控制該阻尼器的開閉動作，可以調節(jié)各氣體的風量。
[0075]這樣一來，在本實施方式的溶劑處理裝置1100的內部壓力的調整中，如上所述，在將吸附用吸引口 14的內部壓力設為P1、將吸附用排出管道15的內部壓力設為P2、將脫附用供給管道16的內部壓力設為P3以及將脫附用排出管道17的內部壓力設為P4的情況下，以滿足Pl ( P4、Pl ^ P3以及P2 ^ P3的關系的方式進行吸附部件的內部壓力和脫附部件的內部壓力的控制，從而在防止處理對象氣體Gl向脫附用排出管道17流出的同時，防止脫附用氣體G2向吸附用吸引口 14流出以及向吸附用排出管道15流出。
[0076]上述的吸附部件的內部壓力和脫附部件的內部壓力的從Pl到P4的壓力控制是一個例子。吸附部件的內部壓力和脫附部件的內部壓力的從Pl到P4的壓力控制以如下方式實施:在防止處理對象氣體Gl向脫附用排出管道17流出的同時，能夠防止脫附用氣體G2向吸附用吸引口 14流出以及向吸附用排出管道15流出。
[0077]本次公開的上述實施方式的所有方面均是例示，而不作為限定。本發(fā)明的保護范圍是根據(jù)權利要求書來劃定的，另外包含與權利要求書的記載均等的情況以及在權利要求書的范圍內的所有的變更。
[0078]附圖標記說明
[0079]2 導輥、
[0080]2A驅動輥、
[0081]2a, 50a 芯骨構件、
[0082]2b, 50b 表層構件、
[0083]2P皮帶輪、
[0084]3溶劑吸附片、
[0085]3A 氈、
[0086]3B加強體、
[0087]3C第2加強體、
[0088]3a保護層、
[0089]3b密封件、
[0090]4 拉頭、
[0091]5 鏈齒、
[0092]6 拉鏈、
[0093]7連接材料、
[0094]8遮蔽板、
[0095]9網帶輸送機、
[0096]9A輸送網帶、
[0097]9D 導軌、
[0098]9a, 9b 網帶材料、
[0099]9c加強帶、
[0100]9d引導槽、
[0101]9e引導面、
[0102]9f端部分、
[0103]10 銷、
[0104]13封裝殼體、
[0105]14吸附用吸引口、
[0106]15吸附用排出管道、
[0107]15a, 17a 吸入口、
[0108]16脫附用供給管道、
[0109]16a 供給口、
[0110]17脫附用排出管道、
[0111]50A 從動輥、
[0112]60按壓彈簧、
[0113]70驅動裝置、
[0114]80板構件、
[0115]121 加熱器、
[0116]122 催化劑、
[0117]123 換熱器、
[0118]300控制裝置、
[0119]1000除臭裝置、
[0120]1100溶劑處理裝置、
[0121]1200催化劑氧化裝置、
[0122]F2, F3, F4 風扇、
[0123]Gl處理對象氣體、
[0124]G2脫附用氣體、
[0125]PI, P2內部壓力、
[0126]gl處理氣體、
[0127] g2濃縮氣體。
【權利要求】
1.一種溶劑處理裝置，其中，其具有: 移動部件，其使將活性炭的氈作為主體的環(huán)形的溶劑吸附片以沿著循環(huán)路徑的方式進行卷繞并使該溶劑吸附片旋轉移動； 吸附部件，其在所述循環(huán)路徑的第I設定位置以含有溶劑的處理對象氣體沿著所述溶劑吸附片的厚度方向透過的方式向所述溶劑吸附片內供給該含有溶劑的處理對象氣體，并使所述溶劑吸附于溶劑吸附片； 脫附部件，其在與所述第I設定位置不同的第2設定位置以脫附用氣體沿著所述溶劑吸附片的厚度方向透過的方式向所述溶劑吸附片內供給該脫附用氣體，并使溶劑從所述溶劑吸附片脫附， 所述移動部件包含: 網帶輸送機，其具有在與所述溶劑吸附片的內周面重疊的狀態(tài)下輸送所述溶劑吸附片的輸送網帶； 驅動輥和從動輥，它們沿所述輸送網帶的厚度方向只夾入所述輸送網帶而使所述輸送網帶旋轉移動。
2.根據(jù)權利要求1所述的溶劑處理裝置，其中， 以利用所述驅動輥和所述從動輥沿厚度方向夾入所述輸送網帶的方式驅動所述輸送網帶后，通過釋放被施加于所述輸送網帶的張力，而使所述輸送網帶向下方松弛，與此同時， 在所述輸送網帶向下方松弛的區(qū)域進一步設置用于抑制所述輸送網帶的曲折的器件。
3.根據(jù)權利要求1所述的溶劑處理裝置，其中， 所述驅動輥具有驅動輥芯骨構件和驅動輥表層構件，所述驅動輥表層構件以進入所述輸送網帶的網眼的方式卡合， 所述從動輥具有從動輥芯骨構件和包圍所述從動輥芯骨構件的從動輥表層構件，所述從動輥表層構件以進入所述輸送網帶的網眼的方式卡合。
4.根據(jù)權利要求1所述的溶劑處理裝置，其中， 將所述從動輥向所述驅動輥側按壓。
5.根據(jù)權利要求1所述的溶劑處理裝置，其中， 所述從動輥的外徑比所述驅動輥的外徑小。
6.根據(jù)權利要求1所述的溶劑處理裝置，其中， 只有所述輸送網帶被所述驅動輥和所述從動輥夾入，而所述溶劑吸附片在所述從動輥的下方穿過。
【文檔編號】B01D53/02GK104394962SQ201380031283
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2013年6月3日 優(yōu)先權日:2012年6月13日
【發(fā)明者】杉浦勉, 川田和之 申請人:東洋紡株式會社