br>[0143] (光聚合引發(fā)劑）
[0144] 作為上述光聚合引發(fā)劑，可以舉出：光自由基聚合引發(fā)劑及光陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑 等。上述光聚合引發(fā)劑優(yōu)選為光自由基聚合引發(fā)劑。上述光聚合引發(fā)劑可單獨(dú)使用1種， 也可以組合使用2種以上。
[0145] 上述光自由基聚合引發(fā)劑沒(méi)有特別限定。上述光自由基聚合引發(fā)劑為通過(guò)光的照 射產(chǎn)生自由基，用于引發(fā)自由基聚合反應(yīng)的化合物。作為上述光自由基聚合引發(fā)劑的具體 例，例如可以舉出：苯偶姻、苯偶姻烷基醚類、苯乙酮類、氨基苯乙酮類、蒽醌類、噻噸酮類、 縮酮類、2, 4, 5-三芳基咪唑二聚物、核黃素四丁酯、硫醇化合物、2, 4, 6-三均三嗪、有機(jī)鹵 素化合物、二苯甲酮類、咕噸酮類及2, 4, 6-三甲基苯甲酰基二苯基膦化氧等。上述光自由 基聚合引發(fā)劑可單獨(dú)使用1種，也可以組合使用2種以上。
[0146] 光聚合引發(fā)助劑可以與上述光自由基聚合引發(fā)劑同時(shí)使用。作為該光聚合引發(fā) 劑，可以舉出：N，N-二甲基氨基苯甲酸乙酯、N，N-二甲基氨基苯甲酸異戊酯、戊基-4-二甲 基氨基苯甲酸酯、三乙胺及三乙醇胺等。也可以使用這些以外的光聚合引發(fā)助劑。上述光 聚合引發(fā)助劑可單獨(dú)使用1種，也可以組合使用2種以上。
[0147] 另外，為了促進(jìn)光反應(yīng)，可以使用在可見(jiàn)光區(qū)域具有吸收的CGI-784等（Ciba Specialty Chemicals株式會(huì)社制造）的茂鈦化合物等。
[0148] 作為上述光陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑，沒(méi)有特別限定，例如可以舉出：锍鹽、碘鑰鹽、茂金 屬化合物及苯偶姻對(duì)甲苯磺酸酯等。上述光陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑可單獨(dú)使用1種，也可以組 合使用2種以上。
[0149] 上述固化性組合物100重量％中，上述光聚合引發(fā)劑的含量?jī)?yōu)選為0. 1重量％以 上，更優(yōu)選為〇. 2重量％以上，優(yōu)選為10重量％以下，更優(yōu)選為5重量％以下。
[0150] (熱固化劑）
[0151] 作為上述熱固化劑，可以舉出：有機(jī)酸、胺化合物、酰胺化合物、酰肼化合物、咪唑 化合物、咪唑啉化合物、苯酚化合物、尿素化合物、聚硫醚化合物及酸酐等。作為上述熱固化 劑，也可以使用胺-環(huán)氧加成物等改性多胺化合物。也可以使用這些以外的熱固化劑。上 述熱固化劑可單獨(dú)使用1種，也可以組合使用2種以上。
[0152] 上述胺化合物是指具有1個(gè)以上的伯~叔氨基的化合物。作為上述胺化合物，例 如可以舉出：（1)脂肪族多胺、（2)脂環(huán)族多胺、（3)芳香族多胺、（4)酰肼、及（5)胍衍生物 等。另外，也可以使用環(huán)氧化合物加成多胺（環(huán)氧化合物和多胺的反應(yīng)物）、邁克爾加成聚 胺（α、β不飽和酮和聚胺的反應(yīng)物）、曼尼希加成多胺（多胺和甲醛及苯酚的縮合物）、硫 脲加成聚胺（硫脲和聚胺的反應(yīng)物）、酮封端多胺（酮化合物和聚胺的反應(yīng)物[酮亞胺]) 等加合物。
[0153] 作為上述（1)脂肪族多胺，可以舉出：二乙三胺、三乙四胺、四乙五胺、及二乙基氨 基丙基胺等。
[0154] 作為上述（2)脂環(huán)族聚胺，可以舉出：蓋:烷二胺、異佛爾酮二胺、N-氨基乙基哌 嗪、3, 9-雙（3-氨基丙基）-2, 4, 8, 10-四氧雜螺（5, 5) ^碳烷加和物、雙（4-氨基-3-甲 基環(huán)己基）甲烷、以及雙（4-氨基環(huán)己基）甲烷等。
[0155] 作為上述（3)芳香族聚胺，可以舉出：間苯二胺、對(duì)苯二胺、鄰二甲苯二胺、間二甲 苯二胺、對(duì)二甲苯二胺、4, 4-二氨基二苯基甲燒、4, 4-二氨基二苯基丙烷、4, 4-二氨基二苯 基諷、4, 4-二氨基二環(huán)己燒、雙（4-氨基苯基）苯基甲燒、1，5-二氨基萘、1，1-雙（4-氨基 苯基）環(huán)己燒、2, 2-雙[(4-氨基苯氧基）苯基]丙烷、雙[4- (4-氨基苯氧基）苯基]諷、 1，3-雙（4-氨基苯氧基）苯、4, 4-亞甲基-雙（2-氯苯胺）、及4, 4-二氨基二苯基諷等。
[0156] 作為上述（4)酰肼，可以舉出碳二酰肼、己二酸二酰肼、癸二酸二酰肼、十二碳烷 二酸二酰肼、以及間苯二甲酸二酰肼等。
[0157] 作為上述（5)胍衍生物，可以舉出雙氰胺、1-鄰甲苯基二胍、α-2,5_二甲基胍、 α，ω-二苯基縮二縮胍、α，α-雙脒基胍基二苯基醚、對(duì)氯苯基縮二胍、α，α-六亞甲基 雙[ω-(對(duì)氯苯酚）]縮二胍、苯二胍草酸鹽、乙酰基胍、及二乙基氰基乙酰基胍等。
[0158] 作為上述酚化合物，可以舉出：多元酚化合物等。作為上述多元酚化合物，例如 可以舉出：苯酚、甲酚、乙基苯酚、丁基苯酚、辛基苯酚、雙酚Α、四溴雙酚Α、雙酚F、雙酚S、 4, 4'-聯(lián)苯苯酚、含有萘骨架的苯酚酚醛清漆樹(shù)脂、含有亞二甲苯基骨架的苯酚酚醛清漆樹(shù) 月旨、含有二環(huán)戊二烯骨架的苯酚酚醛清漆樹(shù)脂、及含有芴骨架的苯酚酚醛清漆樹(shù)脂等。
[0159] 作為上述酸酐，例如可以舉出：鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲 酸酐、甲基四氫鄰苯二甲酸酐、甲基降冰片烯二酸酐、十二烷基琥珀酸酐、六氯降冰片烯二 酸酐、均苯四甲酸酐、二苯甲酮四羧酸酐、甲基環(huán)己烯四羧酸酐、偏苯三酸酐、及聚壬二酸酐 等。
[0160] 上述固化性組合物100重量％中，上述熱固化劑的含量?jī)?yōu)選為1重量％以上，更優(yōu) 選為5重量％以上，優(yōu)選為60重量％以下，更優(yōu)選為50重量％以下。
[0161] (固化促進(jìn)劑）
[0162] 作為上述固化促進(jìn)劑，可以舉出：叔胺、咪唑、季銨鹽、季鱗鹽、有機(jī)金屬鹽、磷化合 物及尿素類化合物等。
[0163] 上述固化性組合物100重量％中，上述固化促進(jìn)劑的含量?jī)?yōu)選為0.01重量％以 上，更優(yōu)選為〇. 1重量％以上，優(yōu)選為10重量％以下，更優(yōu)選為5重量％以下。
[0164] (其它的成分）
[0165] 上述固化性組合物也可以含有其它的成分。作為其它的成分，沒(méi)有特別限定，可以 舉出：偶聯(lián)劑等粘接助劑、顏料、染料、流平劑、消泡劑、及阻聚劑等。
[0166] 以下，舉出實(shí)施例及比較例對(duì)本發(fā)明具體地進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明并不僅限定于以下 的實(shí)施例。
[0167] (未實(shí)施多層化工序的實(shí)施例及比較例）
[0168] (固化性組合物A的制備）
[0169] 將作為光固化性化合物的三羥甲基丙烷三丙烯酸酯（TMPTA、Daicel-Allnex株 式會(huì)社制造）60重量份、作為光及熱固化性化合物的雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂的丙烯酸加成物 (UVA⑶RE1561、Daicel-Allnex株式會(huì)社制造）10重量份、作為熱固化性化合物的雙酚A型 環(huán)氧化合物（EXA850CRP、DIC株式會(huì)社制造）30重量份、作為熱固化劑的萜烯類酸酐化合物 (YH309、三菱化學(xué)株式會(huì)社制造）30重量份、作為固化促進(jìn)劑的DBU-辛酸鹽（UCAT SA102、 SAN-APRO株式會(huì)社制造）1重量份、及作為光聚合引發(fā)劑的2-芐基-2-二甲基氨基-4-嗎 啉基代丁酰苯（IRUGACURE369、BASF株式會(huì)社制造）5重量份均勻地混合，得到固化性組合 物A 0
[0170] 在后述的膜形成、及微細(xì)圖案形成時(shí)的循環(huán)溫度（噴出時(shí)的溫度）下，使用粘度計(jì) (東機(jī)產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社制造"TVE22L"）測(cè)定得到的固化性組合物A的IOrpm的粘度。
[0171] (固化性組合物B~G的制備）
[0172] 以下述的表2所示的配合量配合下述的表1所示的成分，除此以外，與上述固化性 組合物A的制備同樣地制備。得到的固化性組合物B~G的粘度也與固化性組合物A的粘 度同樣地在后述的膜形成、及微細(xì)圖案形成時(shí)的循環(huán)溫度（噴出時(shí)的溫度）下測(cè)定。
[0173]
[0174]

[0175] (實(shí)施例1)
[0176] (1)膜形成
[0177] 在FR-4基板（Panasonic株式會(huì)社制造"R-1705"（板厚0· 8mm))上配置催化劑 (RohmandHaas株式會(huì)社制造 "Catalyst 44"）及銅鍛液（Rohm and Haas株式會(huì)社制造 "CUP0SIT253"），部分地形成作為銅布線的鍍銅層，得到基板（覆銅層疊板）。
[0178] 依據(jù)上述的本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電子部件的制造方法，經(jīng)由圖1(a)~（e)所 示的各工序（其中，如下述的表3所示設(shè)定條件）形成固化物膜。進(jìn)行1次一邊循環(huán)所述 固化性組合物A，一邊涂布所述固化性組合物A的上述涂布工序和上述第1光照射工序，進(jìn) 行上述加熱工序而形成固化物膜，得到作為電子部件的印刷布線板。在上述涂布工序中， 一邊循環(huán)所述固化性組合物，一邊涂布所述固化性組合物。形成20個(gè)膜，使涂布圖案成為 5cmX5cm的平坦的膜。
[0179] (2)微細(xì)圖案形成
[0180] 在FR-4基板（Panasonic株式會(huì)社制造"R-1705"（板厚0· 8mm))上配置催化劑 (Rohm and Haas株式會(huì)社制造 "Catalyst 44"）及鍛銅液（Rohm and Haas株式會(huì)社制造 "CUP0SIT253"），部分地形成作為銅布線的鍍銅層，得到基板（覆銅層疊板）。
[0181] 依據(jù)上述的本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電子部件的制造方法，經(jīng)由圖1(a)~（e)所 示的各工序（其中，如下述的表3所示設(shè)定條件）形成固化物膜。進(jìn)行1次一邊循環(huán)所述 固化性組合物A，一邊涂布所述固化性組合物A的上述涂布工序和上述第1光照射工序，進(jìn) 行上述加熱工序而形成固化物膜，得到作為電子部件的印刷布線板。在上述涂布工序中，一 邊循環(huán)所述固化性組合物，一邊涂布所述固化性組合物。涂布待形成的涂布圖案，使其成為 線寬80 μm、線間的間隔80 μm。
[0182] (實(shí)施例2~10、及比較例1~4)
[0183] 將固化性組合物的種類、及制造條件如下述的表3所示進(jìn)行變更，除此以外，與實(shí) 施例1同樣地實(shí)施膜形成及微細(xì)圖案形成。
[0184] (評(píng)價(jià)）
[0185] (1)進(jìn)行了膜形成的基板的評(píng)價(jià)（涂布遺漏的確認(rèn)）
[0186] 利用立體顯微鏡（尼康株式會(huì)社制造"SMZ-10"）進(jìn)行膜的確認(rèn)，進(jìn)行液體遺漏的 確認(rèn)。
[0187] [膜形成的判定基準(zhǔn)]
[0188] 〇：存在遺漏的圖案為0/20
[0189] Λ :存在遺漏的圖案為1/20以上且4/20以下
[0190] X :存在遺漏的圖案為5/20
[0191] (2)進(jìn)行了微細(xì)圖案形成的基板的評(píng)價(jià)
[0192] 使用光學(xué)顯微鏡（Digital microscope VH_Z100、Keyence株式會(huì)社制造）測(cè)定線 與線間的間隔30點(diǎn)（不包括涂布時(shí)存在遺漏的部分）。
[0193] [微細(xì)圖案形成的判定基準(zhǔn)]
[0194] 〇〇：線寬為80±5μπι
[0195] 〇：不相當(dāng)于〇〇，線寬為80±10ym
[0196] Λ :不相當(dāng)于〇〇及〇，線寬為80±20ym
[0197] X :不相當(dāng)于〇〇、〇及厶，線寬為80±30μπι
[0198] X X :線和線的間隔消失，或線寬超過(guò)80±30 μ m
[0199] (3)進(jìn)行了膜形成的基板中固化物膜的密合性的評(píng)價(jià)（長(zhǎng)期可靠性：冷熱循環(huán)評(píng) 價(jià)）
[0200] 對(duì)于進(jìn)行了膜形成的基板，使用液槽式熱沖擊試驗(yàn)機(jī)（ESPEC株式會(huì)社制造 "TSB-51")，實(shí)施將下述過(guò)程設(shè)為1個(gè)循環(huán)的冷熱循環(huán)試驗(yàn)：將-50°C下保持5分鐘后，升溫 至125°C，在125°C下保持5分鐘后，降溫至-50°C。在500個(gè)循環(huán)后取出基板。
[0201] 利用立體顯微鏡（尼康株式會(huì)社制造"SMZ-10"）觀察基板，進(jìn)行剝離的確認(rèn)。
[0202] [密合性的判定基準(zhǔn)]
[0203] 〇：未剝離
[0204] Λ :稍微剝離（使用上沒(méi)有問(wèn)題）
[0205] X :大幅剝離（使用上產(chǎn)生問(wèn)題）
[0206] 將結(jié)果示于下述的表3。
[0207]
[02