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      一種用于光定向沉積的電泳槽的制作方法

      文檔序號(hào):12234726閱讀:595來源:國知局
      一種用于光定向沉積的電泳槽的制作方法與工藝

      本實(shí)用新型涉及實(shí)驗(yàn)用電泳沉積領(lǐng)域,尤其涉及一種用于光定向沉積的電泳槽。



      背景技術(shù):

      目前生產(chǎn)中應(yīng)用最廣的電泳/電鍍是帶電顆粒/離子在電場作用下,向著與其電性相反的電極移動(dòng),最終在電極上形成沉積/涂層的方法。電泳過程中最核心的裝置就是電泳槽。傳統(tǒng)的電泳槽由兩個(gè)相對的導(dǎo)電電極和一個(gè)懸浮液容器構(gòu)成,形成的沉積層通常在電極表面上均勻分布。由于電極上電場強(qiáng)度分布是均勻的,因此對于一些特殊的圖案化的沉積層的需求,傳統(tǒng)的電泳槽無法滿足需求。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種用于光定向沉積的電泳槽。本實(shí)用新型能夠用于制備圖案化的沉積層或涂層。

      本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:

      一種用于光定向沉積的電泳槽,所述電泳槽為上方開口的長方體,所述長方體由一橫板不完全分隔為上室和下室,所述橫板的一側(cè)邊與長方體的內(nèi)壁形成連通上室和下室的流通通道,所述上室為蓄液池,下室內(nèi)設(shè)有光電電極組,所述長方體一側(cè)面對應(yīng)下室處設(shè)置鏤空結(jié)構(gòu),所述光電電極組包括相對設(shè)置的第一導(dǎo)電玻璃和第二導(dǎo)電玻璃,第一導(dǎo)電玻璃平行并緊挨下室的鏤空結(jié)構(gòu)處設(shè)置,所述第二導(dǎo)電玻璃平行并緊挨橫板的一側(cè)邊設(shè)置,第一導(dǎo)電玻璃和第二導(dǎo)電玻璃的導(dǎo)電面向內(nèi)相對放置,所述下室底部設(shè)有用于出液的出液通孔。

      所述長方體和橫板均由聚四氟乙烯或聚甲醛樹脂制成。

      所述長方體的長寬高的尺寸為12cm *5cm*15cm;橫板長度為12cm,橫板寬度3.8-4.7cm;。上室的長寬高的尺寸為12cm*5cm*3cm;下室的長寬高的尺寸為12cm*5cm*12cm,鏤空結(jié)構(gòu)的鏤空面積為10cm*10cm。

      所述長方體的開口處設(shè)有頂蓋。

      所述第一導(dǎo)電玻璃為FTO或ITO導(dǎo)電玻璃,所述第二導(dǎo)電玻璃為FTO或ITO導(dǎo)電玻璃。

      所述長方體底面以及相鄰鏤空結(jié)構(gòu)所在側(cè)面的兩側(cè)的內(nèi)壁對應(yīng)第一導(dǎo)電玻璃和第二導(dǎo)電玻璃開設(shè)有兩組定位凹槽,定位凹槽的寬度為1mm。

      所述第一導(dǎo)電玻璃對應(yīng)鏤空結(jié)構(gòu)的一面設(shè)有用于定制鏤空圖案的鋁箔,第一導(dǎo)電玻璃背離鏤空結(jié)構(gòu)的一面設(shè)有二氧化鈦或氧化鋅光電涂層。

      所述出液通孔位于第一導(dǎo)電玻璃和第二導(dǎo)電玻璃之間的中心處,所述出液通孔為圓形通孔,圓形通孔由一圓管引出形成電泳槽的出液口。

      所述圓形通孔的直徑為1.5mm。

      本實(shí)用新型采用以上技術(shù)方案,設(shè)置上室作為蓄液池用于電泳用的懸浮液倒入其中,使蓄液池中懸浮液通過流通通道不斷流經(jīng)位于下室的光電電極組后由出液通孔流出,控制流速穩(wěn)定后太陽光模擬器等可以通過鏤空結(jié)構(gòu)照射的第一導(dǎo)電玻璃,第一導(dǎo)電玻璃做二氧化鈦或氧化鋅光電涂層,最終在模擬太陽光照射的區(qū)域獲得均勻分布的氧化鋁沉積層。本實(shí)用新型具有造價(jià)低廉、制作簡單、操作簡單、實(shí)用性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),可用于薄膜材料涂層的光定向沉積制備。

      附圖說明

      以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明;

      圖1為本實(shí)用新型一種用于光定向沉積的電泳槽的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2為圖1的A方向的剖視示意圖;

      圖3為圖2的B方向的剖視示意圖。

      具體實(shí)施方式

      如圖1-3之一所示,本實(shí)用新型公開一種用于光定向沉積的電泳槽,所述電泳槽為上方開口的長方體10,所述長方體10由一橫板7不完全分隔為上室1和下室2,所述橫板7的一側(cè)邊與長方體10的內(nèi)壁形成連通上室1和下室2的流通通道,所述上室1為蓄液池,下室2內(nèi)設(shè)有光電電極組3,所述長方體10一側(cè)面對應(yīng)下室2處設(shè)置鏤空結(jié)構(gòu)4,所述光電電極組3包括相對設(shè)置的第一導(dǎo)電玻璃5和第二導(dǎo)電玻璃6,第一導(dǎo)電玻璃5平行并緊挨下室2的鏤空結(jié)構(gòu)4處設(shè)置,所述第二導(dǎo)電玻璃6平行并緊挨橫板7的一側(cè)邊設(shè)置,第一導(dǎo)電玻璃5和第二導(dǎo)電玻璃6的導(dǎo)電面向內(nèi)相對放置,所述下室2底部設(shè)有用于出液的出液通孔8。

      所述長方體10和橫板7均由聚四氟乙烯或聚甲醛樹脂制成。

      所述長方體10的長寬高的尺寸為12cm *5cm*15cm;橫板7長度為12cm,橫板7寬度3.8-4.7cm;。上室1的長寬高的尺寸為12cm*5cm*3cm;下室2的長寬高的尺寸為12cm*5cm*12cm,鏤空結(jié)構(gòu)4的鏤空面積為10cm*10cm。

      所述長方體10的開口處設(shè)有頂蓋9。

      所述第一導(dǎo)電玻璃5為FTO或ITO導(dǎo)電玻璃,所述第二導(dǎo)電玻璃6為FTO或ITO導(dǎo)電玻璃。

      所述長方體10底面以及相鄰鏤空結(jié)構(gòu)4所在側(cè)面的兩側(cè)的內(nèi)壁對應(yīng)第一導(dǎo)電玻璃5和第二導(dǎo)電玻璃6開設(shè)有兩組定位凹槽11,定位凹槽11的寬度為1mm。

      所述第一導(dǎo)電玻璃5對應(yīng)鏤空結(jié)構(gòu)4的一面設(shè)有用于定制鏤空圖案的鋁箔(圖中未表示),第一導(dǎo)電玻璃5背離鏤空結(jié)構(gòu)4的一面設(shè)有二氧化鈦或氧化鋅光電涂層12。

      所述出液通孔8位于第一導(dǎo)電玻璃5和第二導(dǎo)電玻璃6之間的中心處,所述出液通孔8為圓形通孔,圓形通孔由一圓管13引出形成電泳槽的出液口。

      所述圓形通孔的直徑為1.5mm。

      本實(shí)用新型裝置適用于采用光照產(chǎn)生的電泳沉積或電鍍制備薄膜或涂層,現(xiàn)以沉積氧化鋁涂層為例對本實(shí)用新型的工作原理進(jìn)行說明,具體包括以下步驟:

      1、以300nm粒徑氧化鋁粉體為原料,均勻分散在乙醇溶液中,氧化鋁的體積分?jǐn)?shù)為5vol%,添加0.5wt%的CTAB作為分散劑,制成懸浮液。懸浮液進(jìn)行磁力攪拌24小時(shí)后再進(jìn)行超聲0.5小時(shí)。

      2、將上述懸浮液漸漸倒入蓄液池中,并在出液口連上真空設(shè)備,使蓄液池中懸浮液不斷流經(jīng)光電電極組3后由出液口流出,控制流速為10ml/min。流速穩(wěn)定后用1000W太陽光模擬器照射鏤空處的光電電極30分鐘,光電電極上做二氧化鈦光電涂層12。最終在模擬太陽光照射的區(qū)域獲得均勻分布的氧化鋁沉積層,厚度約為120m。

      本實(shí)用新型采用以上技術(shù)方案,設(shè)置上室作為蓄液池用于電泳用的懸浮液倒入其中,使蓄液池中懸浮液通過流通通道不斷流經(jīng)位于下室的光電電極組后由出液通孔流出,控制流速穩(wěn)定后太陽光模擬器等可以通過鏤空結(jié)構(gòu)照射的第一導(dǎo)電玻璃,第一導(dǎo)電玻璃做二氧化鈦或氧化鋅光電涂層,最終在模擬太陽光照射的區(qū)域獲得均勻分布的氧化鋁沉積層。本實(shí)用新型具有造價(jià)低廉、制作簡單、操作簡單、實(shí)用性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),可用于薄膜材料涂層的光定向沉積制備。

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