專利名稱：雙氣冷式羅茨真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種雙氣冷式羅茨真空泵，屬于泵技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種旋轉(zhuǎn)式真空泵，羅茨泵的泵腔中，有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為I的一對齒輪帶動作彼此反向的 同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。羅茨泵在較低入口壓力時具有較高的抽氣速率，但它不能單獨(dú)使用，需要有一臺前級真空泵與之串聯(lián)，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到羅茨泵允許入口壓力時，羅茨泵才能開始工作。但由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，壓差小，大約在2000 5000Pa,因此需要配功率大的前級真空泵，能耗很大。

實(shí)用新型內(nèi)容根據(jù)以上現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)緊湊合理、占用空間小、成本低且能耗低的雙氣冷式羅茨真空泵。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是所述的雙氣冷式羅茨真空泵，包括電機(jī)、聯(lián)軸器、前蓋、后蓋和泵體，其特征在于泵體中設(shè)置中間隔板和一對平行安裝的主動轉(zhuǎn)子軸、從動轉(zhuǎn)子軸，電機(jī)通過聯(lián)軸器與主動轉(zhuǎn)子軸相連，主動轉(zhuǎn)子軸通過第一同步齒輪、第二同步齒輪與從動轉(zhuǎn)子軸連接，泵體由中間隔板分隔成前、后兩個腔室，中間隔板上設(shè)有連接通道，每個腔室中設(shè)置一對轉(zhuǎn)子，每對轉(zhuǎn)子相互垂直的安裝在主動轉(zhuǎn)子軸和從動轉(zhuǎn)子軸上，前腔室、后腔室上均設(shè)有冷氣進(jìn)口，后腔室的排氣口連接換熱器的進(jìn)口，換熱器的出口分別通過第一返氣管路、第二返氣管路與前腔室冷氣進(jìn)口、后腔室冷氣進(jìn)口連通，與前腔室冷氣進(jìn)口連通的第一返氣管路上安裝氣體流量調(diào)節(jié)閥。本真空泵中，換熱器通過返氣管路分別與前、后腔室冷氣進(jìn)口相通形成兩氣冷羅茨真空泵，通過將兩氣冷羅茨真空泵串聯(lián)集成為一體，提高了泵的極限真空度，通過換熱器帶走泵體中大量的壓縮熱，換熱器通過返氣通道與泵體內(nèi)的兩腔室相通，對真空泵起到很好的冷卻效果，使壓差能夠增大到20000 80000Pa，無需配備前級泵，因此能耗小、節(jié)能效果好，大大降低了使用成本；由于前腔室的真空度高，因此在與前腔室冷氣進(jìn)口連通的返氣管路上安裝調(diào)節(jié)閥以調(diào)節(jié)返氣流量。在本實(shí)用新型中，由于前腔室和后腔室中會存在壓差，因此采用如下優(yōu)選方案在前腔室排氣口在前腔室排氣口與后腔室進(jìn)氣口間氣路上的任意位置與前腔室的進(jìn)氣口之間設(shè)置壓差閥。通過壓差閥將部分氣體返回大前腔室中，直至前、后腔室的壓力保持平衡。本實(shí)用新型所具有的有益效果是本真空泵將兩氣冷羅茨真空泵串聯(lián)集成為一體，提高了泵的極限真空度，換熱器通過返氣通道與泵體兩腔室相通，能夠使壓差能夠增大到20000 80000Pa，無需配備前級泵，因此能耗小、節(jié)能效果好，大大降低了使用成本；整個泵體結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小，降低了生產(chǎn)使用成本，同時便于設(shè)備的制作與維護(hù)。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖I中泵體的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、聯(lián)軸器；2、前蓋；3、泵體；4、壓差閥；5、后蓋；6、排氣口 ；7、第二返氣管路；8、換熱器；9、第一返氣管路；10、調(diào)節(jié)閥；11、主動轉(zhuǎn)子軸；12、軸承；13、轉(zhuǎn)子；14、連接通道；15、中間隔板；16、轉(zhuǎn)子；17、第一同步齒輪；18、第二同步齒輪；19、從動轉(zhuǎn)子軸；20、轉(zhuǎn)子；21、后腔室；22、前腔室；23、轉(zhuǎn)子；24、前腔室冷氣進(jìn)口 ；25、后腔室冷氣進(jìn)口。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的實(shí)施例做進(jìn)一步描述如圖1、2所示，雙氣冷式羅茨真空泵，包括電機(jī)、聯(lián)軸器I、前蓋2、5和泵體3，泵體3中設(shè)置中間隔板15和一對平行安裝的主動轉(zhuǎn)子軸11、從動轉(zhuǎn)子軸15，電機(jī)通過聯(lián)軸器I與主動轉(zhuǎn)子軸11相連，主動轉(zhuǎn)子軸11通過第一同步齒輪17、第二同步齒輪18與從動轉(zhuǎn)子軸19連接，泵體3由中間隔板15分隔成前、后兩個腔室22、21，中間隔板15上設(shè)有連接通道14，前腔室22中設(shè)置一對轉(zhuǎn)子13、23，轉(zhuǎn)子13和轉(zhuǎn)子23相互垂直且分別安裝在主動轉(zhuǎn)子軸11和從動轉(zhuǎn)子軸19上，前、后腔室上分別設(shè)有前腔室冷氣進(jìn)口 24、后腔室冷氣進(jìn)口 25，后腔室21中設(shè)置一對轉(zhuǎn)子16、20，轉(zhuǎn)子16和轉(zhuǎn)子20相互垂直且分別安裝在主動轉(zhuǎn)子軸11和從動轉(zhuǎn)子軸19上，后腔室21的排氣口 6連接換熱器8的進(jìn)口，換熱器8的出口分別通過第一返氣管路9、第二返氣管路7與前腔室冷氣進(jìn)口 24、后腔室冷氣進(jìn)口 25連通，第一返氣管路9上安裝調(diào)節(jié)閥10。除上述外，在前腔室排氣口與后腔室進(jìn)氣口間氣路上的任意位置與前腔室的進(jìn)氣口之間設(shè)置壓差閥4。本真空泵中，換熱器8通過第一返氣管路9、第二返氣管路7分別與前腔室冷氣進(jìn)口 24、后腔室冷氣進(jìn)口 25相通形成兩氣冷羅茨真空泵，通過將兩氣冷羅茨真空泵串聯(lián)集成為一體，提高了泵的極限真空度，通過換熱器8帶走泵體中大量的壓縮熱，換熱器通過返氣通道與泵體內(nèi)的兩腔室相通，對真空泵起到很好的冷卻效果，使壓差能夠增大到20000 80000Pa，無需配備前級泵，因此能耗小、節(jié)能效果好，大大降低了使用成本；由于前腔室22的真空度高，因此在與前腔室冷氣進(jìn)口 24連通的第一返氣管路9上安裝調(diào)節(jié)閥10以調(diào)節(jié)返氣流量。
權(quán)利要求1.一種雙氣冷式羅茨真空泵，包括電機(jī)、聯(lián)軸器(I)、前蓋(2)、后蓋(5)和泵體(3)，其特征在于泵體(3)中設(shè)置中間隔板(15)和一對平行安裝的主動轉(zhuǎn)子軸(11)、從動轉(zhuǎn)子軸(19)，電機(jī)通過聯(lián)軸器(I)與主動轉(zhuǎn)子軸(11)相連，主動轉(zhuǎn)子軸(11)通過第一同步齒輪(17)和第二同步齒輪(18)與從動轉(zhuǎn)子軸(19)連接，泵體(3)由中間隔板(15)分隔成前、后兩個腔室，中間隔板(15)上設(shè)有連接通道(14)，每個腔室中設(shè)置一對轉(zhuǎn)子，每對轉(zhuǎn)子相互垂直的安裝在主動轉(zhuǎn)子軸(11)和從動轉(zhuǎn)子軸(19)上，前腔室(22)、后腔室(21)上均設(shè)有冷氣進(jìn)口，后腔室(21)的排氣口( 6 )連接換熱器(8 )的進(jìn)口，換熱器(8 )的出口分別通過第一返氣管路(9)、第二返氣管路(7)與前腔室冷氣進(jìn)口(24)、后腔室冷氣進(jìn)口(25)連通，與前腔室冷氣進(jìn)口(24)連通的返氣管路(9)上安裝氣體流量調(diào)節(jié)閥(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙氣冷式羅茨真空泵，其特征在于在前腔室排氣口與后腔室進(jìn)氣口間氣路上的任意位置與前腔室的進(jìn)氣口之間設(shè)置壓差閥(4)。
專利摘要本實(shí)用新型屬于泵技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種雙氣冷式羅茨真空泵，泵體中設(shè)置中間隔板和一對平行安裝的主動轉(zhuǎn)子軸、從動轉(zhuǎn)子軸，電機(jī)通過聯(lián)軸器與主動轉(zhuǎn)子軸相連，主動轉(zhuǎn)子軸通過同步齒輪與從動轉(zhuǎn)子軸連接，泵體由中間隔板分隔成前、后兩個腔室，中間隔板上設(shè)有連接通道，每個腔室中設(shè)置一對轉(zhuǎn)子，每對轉(zhuǎn)子相互垂直的安裝在主動轉(zhuǎn)子軸和從動轉(zhuǎn)子軸上，前腔室、后腔室上均設(shè)有冷氣進(jìn)口，后腔室的排氣口連接換熱器的進(jìn)口，換熱器的出口分別通過返氣管路與前、后腔室的冷氣進(jìn)口連通，與前腔室冷氣進(jìn)口連通的返氣管路上安裝氣體流量調(diào)節(jié)閥。通過將兩氣冷羅茨真空泵串聯(lián)集成為一體，提高泵的極限真空度，且無需配備前級泵，能耗小，節(jié)能效果好。
文檔編號F04C18/14GK202789526SQ20122028067
公開日2013年3月13日 申請日期2012年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月14日
發(fā)明者張汝華, 劉延海, 韓強(qiáng), 李曉芳 申請人:淄博華中真空設(shè)備有限公司