一種真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】一種真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)，所述的抽氣系統(tǒng)包括真空鍍膜機(jī)的鍍室抽氣口及外接的高真空抽氣管道（9），高真空抽氣管道（9）中設(shè)有高真空閥（10），其特征是：所述的高真空抽氣管道（9）中設(shè)有深冷井（7），深冷井（7）設(shè)在鍍室抽氣口至高真空抽氣管道中的高真空閥（10）之間，用深冷井閥(8)與高真空抽氣管道（9）隔離，低溫水汽捕集器設(shè)在深冷井（7）內(nèi)。本實(shí)用新型為節(jié)能的、能獲得高潔凈真空的、更合理的真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)。
【專利說明】一種真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在高真空環(huán)境時(shí)，真空鍍膜機(jī)鍍室內(nèi)所殘留的氣體80%以上是水蒸汽，其余為其它高沸桌蒸汽，若用油擴(kuò)散泵作主泵則還有油蒸汽。殘留氣體會(huì)污染工件，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受影響，所以需要設(shè)有抽氣系統(tǒng)抽除殘留氣體。但現(xiàn)有抽氣系統(tǒng)抽除這些殘留氣體的能力低、需時(shí)長(zhǎng)。要提高抽氣效率，首要必須提高排除水蒸汽效率，為此，人們采用低溫水汽捕集器解決這難題。眾所周知，水汽的冷凝溫度與水汽分壓有關(guān)，例如水汽分壓1.33xlO^Pa冷凝溫度為-89.6 V ;水汽分壓1.33xlO_3Pa冷凝溫度為-112.2 V。低溫水汽捕集器的工作原理就是將一個(gè)能冷到_120°C以下的制冷盤管放置到真空室內(nèi)，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空室里的水汽和其他殘余氣體，從而大大縮短抽真空的時(shí)間和獲得潔凈真空環(huán)境。
[0003]現(xiàn)在裝有低溫水汽捕集器的真空鍍膜機(jī)一般都把制冷盤管安裝在鍍室的中央或側(cè)壁上，運(yùn)作過程是這樣的:在抽氣階段當(dāng)鍍室真空度抽至幾Pa時(shí)，即啟動(dòng)制冷裝置，3~5分鐘就制冷到-120°C或更低溫，低溫盤管快速吸附水汽、油蒸汽，真空度快速達(dá)到鍍膜作業(yè)要求的高真空，大大縮短抽氣時(shí)間；鍍膜完成后，在開爐門之前，必須讓制冷盤管切換至加熱除霜，約5~8分鐘則迅速回溫恢復(fù)至 常溫，以防止打開爐門后低溫盤管從大氣中吸附大量水汽結(jié)霜，影響下次抽真空。
[0004]上述的低溫水汽捕集器配置方法不盡合理:1、在鍍前抽氣階段也是工件加熱階段，一般由鍍室內(nèi)的發(fā)熱管輻射熱實(shí)施，而附近制冷盤管卻強(qiáng)制深冷，必然要額外加大制冷功率，浪費(fèi)能源；2、完成鍍膜后己被制冷盤管吸附了水汽油汽雜氣又必須回溫解吸，再釋放回鍍室，部分雜氣又被鍍室壁、夾件和工件吸附而污染。經(jīng)多次鍍膜作業(yè)鍍室被反復(fù)解吸的雜氣所污染，污染物會(huì)不斷積累，鍍室的潔凈度會(huì)不斷下降。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題，就是提出一種節(jié)能的、能獲得高潔凈真空的、更合理的真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)。
[0006]解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:
[0007]—種真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)，所述的抽氣系統(tǒng)包括真空鍍膜機(jī)的鍍室抽氣口及外接的高真空抽氣管道9，高真空抽氣管道9中設(shè)有高真空閥10，其特征是:所述的高真空抽氣管道9中設(shè)有深冷井7，深冷井7設(shè)在鍍室抽氣口至高真空抽氣管道中的高真空閥10之間，用深冷井閥(8)與高真空抽氣管道9隔離，低溫水汽捕集器設(shè)在深冷井7內(nèi)。
[0008]在上述基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以做進(jìn)一步的改進(jìn):
[0009]所述的低溫水汽捕集器為安裝在深冷井7內(nèi)的一組或多組制冷盤管，伸出深冷井7外的盤管入口 20和出口 21與外置制冷系統(tǒng)連接成循環(huán)回路。
[0010]所述的真空鍍膜機(jī)的鍍室I室內(nèi)裝有用于加熱工件4和鍍室壁2的電加熱棒3、頂部設(shè)有充氣閥5、側(cè)面開有抽氣口，抽氣口處裝有節(jié)流閥6，其后面與裝有深冷井前級(jí)高真空閥10的真空管道9相連；所述的深冷井7經(jīng)真空閥23和真空管道15與羅茨泵12和機(jī)械泵14連接，高真空抽氣管道9還通過高真空閥10、擴(kuò)散泵冷井18和擴(kuò)散泵19連接，擴(kuò)散泵的高氣壓端口通過擴(kuò)散泵前級(jí)真空管道17和擴(kuò)散泵前級(jí)閥16與羅茨泵12和機(jī)械泵14連接；機(jī)械泵14自配充氣閥13 ;另外高真空抽氣管道9的另一端頭通過預(yù)抽真空閥11與羅茨泵12和機(jī)械泵14機(jī)組連接。
[0011]有益效果:
[0012]1、現(xiàn)有一般的配置方案都是把制冷盤管與電加熱管同置到鍍室內(nèi)，制冷盤管直接受到電熱管的熱輻射，必須加大制冷功率，本實(shí)用新型方案將制冷盤管移離鍍室，藏在專用的深冷井內(nèi)，遠(yuǎn)離電發(fā)熱管，不直接受熱輻射，有效地降低制冷功率，節(jié)省能源。
[0013]2、現(xiàn)有一般的配置方案制冷盤管安裝在鍍室內(nèi)，鍍膜作業(yè)后于開爐門之前，制冷盤管必須加熱恢復(fù)常溫，否則開爐門后制冷盤管處于深冷狀態(tài)會(huì)大量冷凝吸附大氣中的水汽，防礙下一個(gè)作業(yè)周期抽真空。在回溫過程中制冷盤管解吸釋放原吸附物，一部份會(huì)被抽走，相當(dāng)部分又被吸附到鍍室壁、裝夾具和工件上，再次做成污染。特別是油蒸汽殘留，在下一作業(yè)周期，這些殘留油蒸汽重復(fù)被冷凝和除霜、吸附解吸的循環(huán)，同時(shí)又有新的油蒸汽和其他雜氣加入，形成殘留污染物積累，導(dǎo)致真空環(huán)境潔凈度不斷下降。本實(shí)用新型配置方案令冷凝盤管所處空間與鍍室用深冷井閥隔離，冷凝盤管回溫除霜釋放的污染物只限于深冷井的空間內(nèi)，不會(huì)進(jìn)入鍍室，鍍室始終比現(xiàn)有一般配置得到更潔凈的真空環(huán)境。
[0014]3、由于冷凝盤管與鍍室隔離在深冷井的真空狀態(tài)下，只要冷凝吸附物不多，不影響下一輪冷凝效率的話，可以仍保持深冷狀態(tài)不回溫，等待下一周期冷凝作業(yè)，無需每爐次都因開爐門而必須回溫釋放吸附物，隨后下一爐又重新制冷，可實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步節(jié)能。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型的組成結(jié)構(gòu)和連接關(guān)系示意圖。
[0016]圖中:1_鍍室，2-鍍室壁，3-電加熱棒，4-工件，5-充氣閥，6-節(jié)流閥，7-深冷井，8-深冷井閥，9-高真空抽氣管道，10-高真空閥，11-預(yù)抽真空閥，12-羅茨泵，13-機(jī)械泵充氣閥，14-機(jī)械泵，15-真空管道，16-擴(kuò)散泵前級(jí)閥，17-擴(kuò)散泵前級(jí)真空管道，18-擴(kuò)散泵冷井，19-擴(kuò)散泵，20-制冷劑入口，21-制冷劑出口，22-制冷盤管，23-深冷井前級(jí)真空閥。
【具體實(shí)施方式】
[0017]如圖1所示，本實(shí)用新型的真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)，所述的抽氣系統(tǒng)包括真空鍍膜機(jī)的鍍室抽氣口及外接的高真空抽氣管道9，高真空抽氣管道
9中設(shè)有高真空閥10，其特征是:所述的高真空抽氣管道9中設(shè)有深冷井7，深冷井7設(shè)在鍍室抽氣口至高真空抽氣管道中的高真空閥10之間，用深冷井閥(8)與高真空抽氣管道9隔離，低溫水汽捕集器設(shè)在深冷井7內(nèi)。
[0018]通過深冷井閥可接通或切斷深冷井與高真空抽氣管道以及鍍室的聯(lián)接，深冷井置于鍍室之外。抽鍍室高真空時(shí)打開深冷井閥讓被抽入真空管道的氣體進(jìn)入深冷井，利用制冷盤管表面冷凝效應(yīng)，吸附其中水氣和雜氣，大大提高抽氣速度。通過不同雜質(zhì)(含水汽)濃度氣體擴(kuò)散作用，讓深冷井內(nèi)外氣體不斷交換，實(shí)現(xiàn)抽氣提速與凈化。
[0019]低溫水汽捕集器為安裝在深冷井7內(nèi)的一組或多組制冷盤管，伸出深冷井7外的盤管入口 20和出口 21與外置制冷系統(tǒng)連接成循環(huán)回路。
[0020]真空鍍膜機(jī)的鍍室I室內(nèi)裝有用于加熱工件4和鍍室壁2的電加熱棒3、頂部設(shè)有充氣閥5、側(cè)面開有抽氣口，抽氣口處裝有節(jié)流閥6，其后面與裝有深冷井前級(jí)高真空閥10的真空管道9相連；所述的深冷井7經(jīng)真空閥23和真空管道15與羅茨泵12和機(jī)械泵14連接，高真空抽氣管道9還通過高真空閥10、擴(kuò)散泵冷井18和擴(kuò)散泵19連接，擴(kuò)散泵的高氣壓端口通過擴(kuò)散泵前級(jí)真空管道17和擴(kuò)散泵前級(jí)閥16與羅茨泵12和機(jī)械泵14連接；機(jī)械泵14自配充氣閥13 ;另外高真空抽氣管道9的另一端頭通過預(yù)抽真空閥11與羅茨泵12和機(jī)械泵14機(jī)組連接。
[0021]本實(shí)用新型獲得高潔凈真空的低溫水汽捕集器配置的運(yùn)行與應(yīng)用過程:
[0022]準(zhǔn)備工作階段:低真空抽氣機(jī)組對(duì)擴(kuò)散泵抽前級(jí)真空，即先啟動(dòng)機(jī)械泵14，隨后打開深冷井前級(jí)真空閥23抽擴(kuò)散泵19前級(jí)真空和深冷井7低真空，達(dá)IOOOPa左右后起動(dòng)羅茨泵12，與機(jī)械泵14 一起抽擴(kuò)散泵19前級(jí)，預(yù)熱擴(kuò)散泵19，完成擴(kuò)散泵預(yù)熱予進(jìn)入待抽高真空狀態(tài)，同時(shí)深冷井7也被抽至低真空狀態(tài)，此時(shí)高真空閥10和深冷井閥8均關(guān)閉。
[0023]鍍膜準(zhǔn)備階段:把工件4裝掛入鍍室I內(nèi)，關(guān)爐門，暫時(shí)關(guān)閉深冷井前級(jí)真空閥23和擴(kuò)散泵前級(jí)閥16，停止對(duì)深冷井7和擴(kuò)散泵19抽氣，暫時(shí)關(guān)停羅茨泵，打開預(yù)抽真空閥11，機(jī)械泵14對(duì)高真空抽氣管道9和鍍室I抽預(yù)真空，抽至IOOOPa左右起動(dòng)羅茨泵12 —起抽預(yù)真空，同時(shí)讓加熱棒3加熱，促使工件4與鍍室壁2所吸附的雜氣、水氣解吸，有利于抽真空，當(dāng)鍍室I真空度抽至幾Pa時(shí)，關(guān)預(yù)抽真空閥11，開擴(kuò)散泵前級(jí)閥16繼續(xù)對(duì)擴(kuò)散泵前級(jí)抽氣，隨后打開高真空閥10和深冷井閥8，對(duì)鍍室I和深冷井7抽高真空，同時(shí)啟動(dòng)低溫水汽捕集器的深冷制冷裝置，經(jīng)3?5分鐘制冷，制冷盤管22冷至一120°C以下，通過其表面低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集進(jìn)入深冷井7氣體的水汽、油蒸汽和雜氣，快速提高進(jìn)入深冷井7內(nèi)的氣體的真空度，通過氣體的擴(kuò)散作用，被抽入高真空抽氣管道9的氣體與深冷井7內(nèi)的凈化了的更高真空度的氣體不斷交換，從而大大縮短了只靠擴(kuò)散泵抽高真空的時(shí)間，達(dá)到規(guī)定的高真空后，進(jìn)入鍍膜作業(yè)程序。
[0024]鍍膜作業(yè)后，有兩種運(yùn)行操作程式，第一種方式:關(guān)閉深冷井閥8和高真空閥10切斷它們與鍍室I連接。鍍室I內(nèi)進(jìn)行正常的降溫和通過充氣閥5對(duì)鍍室充氣，然后開爐門取工件，再進(jìn)入下一爐作業(yè)。而在深冷井7內(nèi)的制冷盤管22在此作業(yè)周期冷凝吸附許多殘余水氣和雜氣，為了對(duì)下一爐作業(yè)作準(zhǔn)備，低溫水汽捕集器切換至加熱除霜，制冷盤管22經(jīng)過5?8分鐘回溫，該過程解吸釋放原冷凝吸附物，此時(shí)深冷井7內(nèi)空間真空度下降，故需打開深冷井7前級(jí)真空閥23，由低真空機(jī)組盡量抽走解吸物，減少對(duì)深冷井的污染。即使有抽不走的殘留雜氣，其污染也只限于深冷井7內(nèi)，在下一爐次作業(yè)時(shí)，由于深冷井閥8隔離，在低真空階段不讓污染物進(jìn)入鍍室I，保證鍍室I不受重復(fù)污染。制冷盤管22充分解吸后停止回溫，深冷井7保持低真空狀態(tài)。第二種方式，如果在上一個(gè)作業(yè)周期制冷盤管22冷凝吸附物不多，不影響下一作業(yè)周期冷凝效率，可以不作回溫除霜，即關(guān)閉深冷井閥8和高真空閥10，切斷它們與鍍室I連接，鍍室I可進(jìn)行正常的出爐作業(yè)；此時(shí)深冷井7仍處在高真空狀態(tài)，冷制盤管22也保持深冷狀態(tài)，冷凝物不回溫釋放，待下一爐次作業(yè)鍍室真空度預(yù)抽至幾Pa時(shí)，開高真空閥10，對(duì)鍍室I抽高真空，隨后打開深冷井閥8，制冷盤管22再次發(fā)揮冷凝吸附雜氣的作用。這樣再次起到快速抽氣又保證不讓冷凝物解吸污染真空環(huán)境，同時(shí)又省去一次回溫和再制冷的電能。一直到制冷盤管22冷凝吸附物過多，影響冷凝效果時(shí)，再采用上述第一種作業(yè)方式，用回溫除霜，徹底清除制冷盤管22表面吸附物，恢復(fù)冷凝功能。
【權(quán)利要求】
1.一種真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)，所述的抽氣系統(tǒng)包括真空鍍膜機(jī)的鍍室抽氣口及外接的高真空抽氣管道(9)，高真空抽氣管道(9)中設(shè)有高真空閥(10)，其特征是:所述的高真空抽氣管道(9)中設(shè)有深冷井(7)，深冷井(7)設(shè)在鍍室抽氣口至高真空抽氣管道中的高真空閥(10)之間，深冷井(7)用深冷井閥(8)與高真空抽氣管道(9)隔離，所述的低溫水汽捕集器設(shè)在深冷井(7)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)，其特征是:所述的低溫水汽捕集器為安裝在深冷井(7)內(nèi)的一組或多組制冷盤管，伸出深冷井(7)外的盤管入口(20)和出口(21)與外置制冷系統(tǒng)連接成循環(huán)回路。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)低溫水汽捕集器的配置結(jié)構(gòu)，其特征是:所述的真空鍍膜機(jī)的鍍室(I)內(nèi)裝有用于加熱工件(4)和鍍室壁(2)的電加熱棒(3)、頂部設(shè)有充氣閥(5)、側(cè)面開有抽氣口，抽氣口處裝有節(jié)流閥(6)，其后面與裝有深冷井前級(jí)高真空閥(10)的真空管道(9)相連；所述的深冷井(7)經(jīng)真空閥(23)和真空管道(15)與羅茨泵(12)和機(jī)械泵(14)連接，高真空抽氣管道(9)還通過高真空閥(10)、擴(kuò)散泵冷井(18)和擴(kuò)散泵(19)連接，擴(kuò)散泵的高氣壓端口通過擴(kuò)散泵前級(jí)真空管道(17)和擴(kuò)散泵前級(jí)閥(16)與羅茨泵(12)和機(jī)械泵(14)連接；機(jī)械泵(14)自配充氣閥(13);另外高真空抽氣管道(9)的另一端頭通過預(yù)抽真空閥(11)與羅茨泵(12)和機(jī)械泵(14)機(jī)組連接。
【文檔編號(hào)】F04B39/16GK203530422SQ201320206954
【公開日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年4月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月22日
【發(fā)明者】李志榮, 李志方, 羅志明, 李秋霞 申請(qǐng)人:東莞市匯成真空科技有限公司