陰陽轉(zhuǎn)子3、4等。由旋轉(zhuǎn)支承陰陽轉(zhuǎn)子3、4的轉(zhuǎn)子軸與由排出偵U殼體2和陰陽轉(zhuǎn)子3、4所形成的壓縮室之間被軸封裝置7密封。
[0041]另外，陽轉(zhuǎn)子3在其一個頂端部固定驅(qū)動小齒輪8，在另一個頂端部和陰陽轉(zhuǎn)子4的另一個頂端部固定一對同步齒輪5。這是為了傳送兩個轉(zhuǎn)子3、4之間的旋轉(zhuǎn)以及保持旋轉(zhuǎn)相位而設(shè)置的，對驅(qū)動小齒輪8進(jìn)行驅(qū)動后，一對陰陽轉(zhuǎn)子3、4因一對同步齒輪5而同步旋轉(zhuǎn)，陽轉(zhuǎn)子3的凸部與陰轉(zhuǎn)子4的凹部在非接觸狀態(tài)下嚙合，壓縮從吸入端口 9吸入的空氣并將其排出。另外，在排出側(cè)殼體2中設(shè)置有作為用于冷卻的流路的軸套10，流體流過而從外側(cè)冷卻壓縮機(jī)。
[0042]圖4是無油螺桿壓縮機(jī)主體的縱截面圖。圖4所示的箭頭表示空氣的氣流。在圖4中，從排出側(cè)殼體2的上表面吸入的空氣從排出側(cè)殼體2中的吸入室11，通過吸入側(cè)殼體I的吸入端口 9被導(dǎo)入壓縮室內(nèi)。然后，被陰陽轉(zhuǎn)子3、4壓縮的空氣從作為壓縮空氣所排出的部分的排出端口和排出室12向壓縮室外排出。
[0043]下面，對圖1所示的殼體進(jìn)行詳細(xì)的說明。排出側(cè)殼體2包括:收納陰陽轉(zhuǎn)子3、4的壓縮室、壓縮用空氣所流經(jīng)的吸入室11和排出室12、支承陰陽轉(zhuǎn)子3、4的滾動軸承6以及防止吸入軸承中的潤滑油侵入壓縮室的軸封裝置7，并且包括冷卻殼體的介質(zhì)所流經(jīng)的軸套10。另外，吸入側(cè)殼體I包括軸封裝置7，其用來防止向支承陰陽轉(zhuǎn)子3、4的滾動軸承6與軸承給油的潤滑油侵入壓縮室。
[0044]通過以下的工序制作這些殼體。首先，在鑄模中注入材料，以接近最終形狀的模具鑄模。接下來進(jìn)行去應(yīng)力退火處理。接著，進(jìn)行粗削以及精密機(jī)械加工，加工成殼體的形狀。此外，吸入室11、排出室12、軸套10內(nèi)是復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，因此，無法進(jìn)行機(jī)械加工，保持鑄件面的原貌。在除此之外的外周面也不實施部分機(jī)械加工，存在鑄件面的部分。在砂模中澆鑄的鑄件面在表面有_程度的凹凸，該部分變成儲液部，結(jié)露的水容易積存此處，更容易生銹。特別是軸套內(nèi)和排出室的鑄件面的部分是容易生銹的部位。
[0045]像這樣，也有在殼體中同時存在機(jī)械加工面與鑄件面兩者這樣的課題。今后，將該鑄件面與機(jī)械加工面兩者合稱為殼體整個表面。
[0046]另外，在螺桿壓縮機(jī)中有單段機(jī)與雙段機(jī)兩種。雙段機(jī)的螺桿壓縮機(jī)通過配管、冷卻器兩臺串聯(lián)連結(jié)，從第一臺壓縮機(jī)排出的高溫的排氣在以外界空氣或水作為冷卻劑的冷卻器中冷卻后，在第二臺壓縮機(jī)中再次壓縮。由此，排氣的溫度暫時冷卻，因此，能夠抑制第二臺的排氣溫度降低。但是，在該雙段機(jī)的中間，在冷卻壓縮空氣的工序中產(chǎn)生冷凝水。其一部分被帶入第二臺的壓縮機(jī)，因此，雙段機(jī)的第二臺壓縮機(jī)特別容易生銹。
[0047]【實施例1】
[0048]在本實施例中，對通過氣體軟氮化處理在殼體表面設(shè)置耐腐蝕性覆膜的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
[0049]首先，對在本實施例中所采用的氣體軟氮化處理與氧化處理進(jìn)行說明。一般來講，氣體氮化處理作為使氮在鐵中擴(kuò)散從而形成氮化層的表面硬化處理而為人所知。氣體氮化處理形成Al、Cr、Mo等與鐵和氮的化合物，能夠?qū)Πˋl、Cr、Mo的高級鋼進(jìn)行處理。
[0050]與此不同，在本實施例中所采用的氣體軟氮化處理同樣使氮在鐵中擴(kuò)散從而形成氮化層，但是，它是能夠?qū)μ间摵丸T鐵等低級鋼實施的處理，有別于氣體氮化處理。
[0051]氣體軟氮化的處理方法中，將對象物配置在處理爐內(nèi)，注入氨氣與滲碳?xì)怏w并對其加熱，對應(yīng)反應(yīng)時間進(jìn)行保持來進(jìn)行處理。由此，形成鐵、氮、碳的化合物與氮化鐵的混合體層(Fe2_3(N，C)+Fe4N)。這就是氣體軟氮化層。
[0052]該氣體軟氮化處理之后，將其保持在高溫的空氣中來進(jìn)行氧化處理，在表面形成鐵的氧化物層。氧化處理是在氣體軟氮化處理后在其他的氧化爐中所進(jìn)行的處理，只要是能夠按照設(shè)備要求連續(xù)地進(jìn)行即可。通過氧化處理在表面形成四氧化三鐵(Fe3O4)的氧化物層，由此，能夠進(jìn)一步提高耐腐蝕性。
[0053]圖5表示通過氣體軟氮化與氧化處理而形成的覆膜的模式圖。如圖5所示，氣體軟氮化中，氮在鐵的內(nèi)部擴(kuò)散同時形成氮化層，因此，與處理前尺寸相比，覆膜朝著表面上側(cè)與下面的母材側(cè)這兩側(cè)生長。因此，與和處理前尺寸相比而變化的實際尺寸變化量相比，一般情況下，由氣體軟氮化層與氧化層(氧化物層)構(gòu)成的膜厚增大。與膜厚相比實際的尺寸變化量小這種方式，適合作為對于如殼體那樣需要尺寸管理的部件的處理。能夠根據(jù)處理條件、即溫度與時間來控制膜厚，但是，基本上是處理時間越長，膜厚越厚。
[0054]此外，在本實施例以及以后的實施例中，氧化層與氣體軟氮化層的膜厚相比，小的可以忽視，在沒有特別說明的情況下，將由氣體軟氮化層與氧化層構(gòu)成的膜厚作為氣體軟氮化層的膜厚進(jìn)行說明。但是，在氧化層的膜厚大到不能忽視程度的情況下，能夠置換為由氣體軟氮化層與氧化層構(gòu)成的膜厚。
[0055]如以上那樣，根據(jù)本實施例，具有通過氣體軟氮化與氧化處理而形成的覆膜的吸入側(cè)殼體和排出側(cè)殼體的耐腐蝕性提高，因此，能夠抑制生銹，提供因生銹而發(fā)生粘連和卡住少的壓縮機(jī)。另外，由于進(jìn)行氣體軟氮化處理，因此，即使是結(jié)構(gòu)復(fù)雜的殼體，也能在其整個表面形成耐腐蝕性的覆膜。由此，能夠充分地實施過去在殼體內(nèi)部與殼體外面的交界部分并不充分的防銹，通過抑制生銹，能夠提高壓縮機(jī)的可靠性。另外，也不再需要過去所必須的殼體外表面的涂裝。
[0056]【實施例2】
[0057]在對結(jié)構(gòu)復(fù)雜的殼體進(jìn)行全面處理的情況下，如實施例1所示，氣體的處理有效。但是，因處理的種類不同，表面變得粗糙，因此，必須考慮要求尺寸精度的精密零件。特別是，由于在殼體上嵌合用來保持轉(zhuǎn)子軸的滾動軸承，因此，存在該部分的尺寸公差條件嚴(yán)格這樣的課題。在本實施例中，將對考慮了這些尺寸公差條件的殼體表面的耐腐蝕性覆膜進(jìn)行說明。
[0058]首先，對存在于構(gòu)成殼體的鑄鐵中的石墨對形成氮化層的影響進(jìn)行說明。圖6是表示石墨部的氣體軟氮化覆膜生長過程的模式圖。在圖6中，13是石墨，14是氣體軟氮化層。石墨存在于鑄鐵表面的部分如圖6所示，按照(A)、(B)、(C)的順序覆膜沿著石墨生長。這是因為，氣體侵入石墨與鐵的縫隙中從而使軟氮化不斷進(jìn)展，像這樣，在具有細(xì)長片狀的石墨的鑄鐵的情況下，覆膜的生長很大程度上受到片狀石墨的大小與分布的影響。
[0059]圖7表示實際的覆膜的截面照片。在圖7中，圖下部的白色部分是母材的鑄鐵，其中片狀的黑色部分是石墨。另外，圖上部的黑色部分是本來空間，為了進(jìn)行測量，用樹脂將其加固，圖中顯示黑色。另外，由于覆膜部難以辨認(rèn)，因此，用虛線表示覆膜與母材的交界線。如圖7所示，能夠確認(rèn):在有片狀石墨的部分與沒有的部分中，其覆膜的膜厚產(chǎn)生大的差，且在表面也形成突起狀的突出部分。
[0060]處理時間越長，覆膜沿著石墨生長越深，因此，一部分膜厚的差越大。特別是在從表面在垂直方向上存在石墨的情況下，膜厚更厚，在表面形成突起這樣的突起部分。像這樣，影響表面粗糙度的石墨的形狀、大小、分布根據(jù)澆鑄時的條件來決定，因此是不能操作的區(qū)域。
[0061]如上述那樣，對鑄鐵實施氣體軟氮化處理而形成的覆膜因片狀石墨的影響，其膜厚并不一定，因此按照以下的方式來確定本實施例中的膜厚的定義。即，按照在膜厚不受石墨影響的僅有鐵的部分上生長的覆膜的厚度進(jìn)行評價。具體而言，如圖6(C)及圖7所示，將在沒有石墨的部分最薄的覆膜部分作為最薄部15，將其定義為覆膜的膜厚。
[0062]如以上所述，在對由鑄鐵構(gòu)成的殼體實施氣體軟氮化處理而形成氣體軟氮化層的情況下，必須考慮表面粗糙度來將其控制在尺寸精度內(nèi)。
[0063]在具有復(fù)雜形狀的殼體中，作為要求嚴(yán)格尺寸管理的