一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置及應(yīng)用方法
【專(zhuān)利摘要】一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置及應(yīng)用方法，是由：一號(hào)高真空隔離板、二號(hào)高真空隔離板、三號(hào)高真空隔離板、密封膠圈、杯形套、杯形轉(zhuǎn)子、一號(hào)軸、轉(zhuǎn)盤(pán)、一號(hào)軸永磁體S極、一號(hào)軸永磁體N極、二號(hào)軸、二號(hào)軸永磁體N極、二號(hào)軸永磁體S極、一號(hào)軸承、二號(hào)軸承、三號(hào)軸承、四號(hào)軸承、轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔構(gòu)成；用于隔離真空和大氣，在真空和大氣之間進(jìn)行動(dòng)力傳輸，減少了設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)，甚至可以終身免維護(hù)，杜絕了漏液漏氣的可能性，減少了傳動(dòng)中的摩擦，提高了設(shè)備的可靠性和安全性能，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離，不存在漏氣的可能性，達(dá)到真空室內(nèi)外兩側(cè)在保證不會(huì)產(chǎn)生泄漏的前提下而傳輸動(dòng)力的目的。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置及應(yīng)用方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及動(dòng)密封【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置及應(yīng)用方法。
【背景技術(shù)】
[0002]動(dòng)密封技術(shù)一直是一個(gè)世界級(jí)的難題，在真空磁控濺射鍍膜設(shè)備中，對(duì)動(dòng)密封的要求很高，同時(shí)還要求耐溫，以及在高真空環(huán)境中的動(dòng)密封材質(zhì)的穩(wěn)定性能。較早期的動(dòng)密封部件大多采用骨架密封，或者O型圈密封，有個(gè)別行業(yè)也采用炭環(huán)，將炭環(huán)表面加工成光潔面，將轉(zhuǎn)軸上端的壓環(huán)也加工成光潔面，讓金屬面和碳環(huán)表面的接觸性摩擦來(lái)阻止兩邊的壓差，價(jià)格比較低廉，耐高溫性能好。但是磨損較大，受到震動(dòng)或者沖擊以后炭環(huán)容易斷裂，密封性能不好，漏率大。在真空行業(yè)幾乎沒(méi)有應(yīng)用實(shí)例。
[0003]骨架密封和O型圈密封則是采用多個(gè)密封圈或者O型圈串聯(lián)在一起，一級(jí)一級(jí)減少壓差，串聯(lián)的密封圈越多，所能承受的壓差也就相對(duì)較大，漏率相對(duì)減小，但是所受的阻力也就越大，摩擦和磨損也就越大，一般密封圈或者O型圈更換周期相對(duì)較短，這種密封一般運(yùn)用在設(shè)備對(duì)真空度要求不是很高的場(chǎng)合，運(yùn)行之后需要定期進(jìn)行維護(hù)，更換密封件和傳動(dòng)軸。
[0004]隨著最近磁流體的發(fā)明，使得動(dòng)密封部件有了革命性的飛躍，磁流體內(nèi)部是懸浮性液態(tài)磁液，液態(tài)磁液在多級(jí)環(huán)形通道內(nèi)形成的多級(jí)磁環(huán)密封，逐級(jí)分壓，在大氣壓和真空的動(dòng)態(tài)密封中，能夠發(fā)揮出比較好的密封性能，但是磁流體在封裝的時(shí)候，磁液過(guò)多容易導(dǎo)致轉(zhuǎn)軸阻尼系數(shù)太大，空載轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中負(fù)荷較重，無(wú)功損耗大。磁液過(guò)少則容易導(dǎo)致密封件壽命較短，可能導(dǎo)致漏氣。在傳動(dòng)過(guò)程中，因?yàn)檎婵涨皇覂?nèi)外溫差較大，磁流體內(nèi)部軸承屬于緊配合，由于部件的熱脹冷縮性能，容易出現(xiàn)軸承卡滯或者卡死等現(xiàn)象，后期很多增加了冷卻水管道借助水冷卻，當(dāng)水溫較低的時(shí)候還是易發(fā)軸承抱死，導(dǎo)致磁流體發(fā)生卡死現(xiàn)象，直接造成部件損壞不能正常運(yùn)行。
[0005]鑒于上述原因，現(xiàn)有的動(dòng)密封裝置的結(jié)構(gòu)需要改進(jìn)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置及應(yīng)用方法，用于隔離真空和大氣，在真空和大氣之間進(jìn)行動(dòng)力傳輸，減少了設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)，甚至可以終身免維護(hù)，杜絕了漏液漏氣的可能性，減少了傳動(dòng)中的摩擦，提高了設(shè)備的可靠性和安全性能，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離，不存在漏氣的可能性，達(dá)到真空室內(nèi)外兩側(cè)在保證不會(huì)產(chǎn)生泄漏的前提下而傳輸動(dòng)力的目的。
[0007]本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案:一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置及應(yīng)用方法，是由:一號(hào)高真空隔離板、二號(hào)高真空隔離板、三號(hào)高真空隔離板、密封膠圈、杯形套、杯形轉(zhuǎn)子、一號(hào)軸、轉(zhuǎn)盤(pán)、一號(hào)軸永磁體S極、一號(hào)軸永磁體N極、二號(hào)軸、二號(hào)軸永磁體N極、二號(hào)軸永磁體S極、一號(hào)軸承、二號(hào)軸承、三號(hào)軸承、四號(hào)軸承、轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔構(gòu)成；一號(hào)高真空隔離板與三號(hào)高真空隔離板之間設(shè)置二號(hào)高真空隔離板，一號(hào)高真空隔離板、二號(hào)高真空隔離板和三號(hào)高真空隔離板中部設(shè)置預(yù)留孔，一號(hào)高真空隔離板預(yù)留孔的直徑小于二號(hào)高真空隔離板預(yù)留孔的直徑，二號(hào)高真空隔離板預(yù)留孔的直徑小于三號(hào)高真空隔離板預(yù)留孔的直徑，二號(hào)高真空隔離板的一側(cè)對(duì)應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形轉(zhuǎn)子，三號(hào)高真空隔離板的一側(cè)對(duì)應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形套，杯形套與杯形轉(zhuǎn)子之間對(duì)應(yīng)杯形套的預(yù)留孔設(shè)置主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，杯形轉(zhuǎn)子內(nèi)對(duì)應(yīng)一號(hào)高真空隔離板的預(yù)留孔設(shè)置被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0008]所述的主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由一號(hào)軸、轉(zhuǎn)盤(pán)、一號(hào)軸永磁體S極、一號(hào)軸永磁體N極、三號(hào)軸承、四號(hào)軸承構(gòu)成；一號(hào)軸一側(cè)設(shè)置三號(hào)軸承與四號(hào)軸承，三號(hào)軸承與四號(hào)軸承之間設(shè)置轉(zhuǎn)盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)上以一號(hào)軸為軸心線對(duì)稱(chēng)設(shè)置一號(hào)軸永磁體S極和一號(hào)軸永磁體N極，所述的三號(hào)軸承設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子底部的外側(cè)，所述的四號(hào)軸承設(shè)置在杯形套底部的預(yù)留孔內(nèi)。
[0009]所述的被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由二號(hào)軸、二號(hào)軸永磁體N極、二號(hào)軸永磁體S極、一號(hào)軸承、二號(hào)軸承構(gòu)成；二號(hào)軸一側(cè)設(shè)置一號(hào)軸承與二號(hào)軸承，一號(hào)軸承與二號(hào)軸承之間二號(hào)軸的上下方對(duì)稱(chēng)設(shè)置二號(hào)軸永磁體N極和二號(hào)軸永磁體S極，二號(hào)軸通過(guò)一號(hào)高真空隔離板中部的預(yù)留孔，所述的一號(hào)軸承和二號(hào)軸承分別設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子內(nèi)的上下方。
[0010]所述的一號(hào)高真空隔離板、二號(hào)高真空隔離板與三號(hào)高真空隔離板上設(shè)置密封膠圈槽，密封膠圈槽內(nèi)設(shè)置密封膠圈。
[0011]所述的一號(hào)軸的大氣端設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔，二號(hào)軸的真空端設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔。
[0012]所述杯形轉(zhuǎn)子內(nèi)的底部與二號(hào)軸的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置，杯形轉(zhuǎn)子底部的外側(cè)與一號(hào)軸的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置。
[0013]一號(hào)軸大氣端的轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔與真空室外的傳動(dòng)電機(jī)動(dòng)力輸出軸連接，二號(hào)軸真空端的轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔與真空室內(nèi)的傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力輸入軸連接，三號(hào)軸承和四號(hào)軸承使一號(hào)軸固定在杯形套與杯形轉(zhuǎn)子之間，一號(hào)軸轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)一號(hào)軸永磁體S極和一號(hào)軸永磁體N極同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，根據(jù)磁體同極相斥、異極相吸的原理，一號(hào)軸與二號(hào)軸不接觸，主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使一號(hào)軸和二號(hào)軸達(dá)到同步旋轉(zhuǎn)，二號(hào)軸帶動(dòng)真空室內(nèi)的傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力輸入軸旋轉(zhuǎn)；一號(hào)高真空隔離板、二號(hào)高真空隔離板、三號(hào)高真空隔離板通過(guò)密封膠圈合并在一起，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離。
[0014]通過(guò)調(diào)整轉(zhuǎn)盤(pán)上一號(hào)軸永磁體S極與一號(hào)軸永磁體N極的距離，控制主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的磁場(chǎng)強(qiáng)度。
[0015]通過(guò)調(diào)整主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一號(hào)軸的轉(zhuǎn)速，對(duì)被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二號(hào)軸的轉(zhuǎn)速進(jìn)行控制。
[0016]所述的一號(hào)軸永磁體S極和一號(hào)軸永磁體N極為4500-5800高斯的釤鈷磁鐵，所述的二號(hào)軸永磁體N極和二號(hào)軸永磁體S極為5000-5800高斯的釤鈷磁鐵，一號(hào)軸的轉(zhuǎn)速為20-300轉(zhuǎn)/分鐘。
[0017]本發(fā)明的有益效果是:一號(hào)軸大氣端的轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔與真空室外的傳動(dòng)電機(jī)動(dòng)力輸出軸連接，二號(hào)軸真空端的轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔與真空室內(nèi)的傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力輸入軸連接，三號(hào)軸承和四號(hào)軸承使一號(hào)軸固定在杯形套與杯形轉(zhuǎn)子之間，一號(hào)軸轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)一號(hào)軸永磁體S極和一號(hào)軸永磁體N極同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，根據(jù)磁體同極相斥、異極相吸的原理，一號(hào)軸與二號(hào)軸不接觸，主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使一號(hào)軸和二號(hào)軸達(dá)到同步旋轉(zhuǎn)，二號(hào)軸帶動(dòng)真空室內(nèi)的傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力輸入軸旋轉(zhuǎn)；一號(hào)高真空隔離板、二號(hào)高真空隔離板、三號(hào)高真空隔離板通過(guò)密封膠圈合并在一起，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離，不存在漏氣的可能性，達(dá)到真空室內(nèi)外兩側(cè)在保證不會(huì)產(chǎn)生泄漏的前提下而傳輸動(dòng)力的目的。
[0018]與傳統(tǒng)的動(dòng)密封裝置相比較，本發(fā)明用于隔離真空和大氣，在真空和大氣之間進(jìn)行動(dòng)力傳輸，減少了設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)，甚至可以終身免維護(hù)，杜絕了漏液漏氣的可能性，減少了傳動(dòng)中的摩擦，提高了設(shè)備的可靠性和安全性能。
[0019]本發(fā)明使傳動(dòng)軸真空室內(nèi)外分成兩根，真空部件腔體和大氣傳動(dòng)部件完全隔離開(kāi)，通過(guò)改變永磁體頑校力的大小和兩套永磁體部件之間的距離來(lái)調(diào)整內(nèi)外扭距達(dá)到不同設(shè)備的設(shè)計(jì)要求。精加工的杯形套是用于防止真空泄漏的密封部件，二號(hào)軸通過(guò)一號(hào)軸承和二號(hào)軸承與杯形轉(zhuǎn)子連接，一號(hào)軸通過(guò)四號(hào)軸承與杯形套連接，通過(guò)三號(hào)軸承與杯形轉(zhuǎn)子連接，杯形套將真空室與部件內(nèi)外完全隔離開(kāi)，做到內(nèi)外完全密封的高精度動(dòng)密封，從根本上突破和解決了現(xiàn)有技術(shù)的不足和漏氣的問(wèn)題，以達(dá)到高真空度和超高真空度，在后期的高端產(chǎn)品研發(fā)中有著不可估量的價(jià)值，是真空設(shè)備中動(dòng)密封組件的又一次革命性的技術(shù)突破。
【專(zhuān)利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0020]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0021]圖1是，總裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖1中:一號(hào)高真空隔離板1、二號(hào)高真空隔離板2、三號(hào)高真空隔離板3、密封膠圈4、杯形套5、杯形轉(zhuǎn)子6、一號(hào)軸7、轉(zhuǎn)盤(pán)8、一號(hào)軸永磁體S極9、一號(hào)軸永磁體N極10、二號(hào)軸11、二號(hào)軸永磁體N極12、二號(hào)軸永磁體S極13、一號(hào)軸承14、二號(hào)軸承15、三號(hào)軸承16、四號(hào)軸承17、轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔18。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合實(shí)施例與【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明:
[0024]實(shí)施例1
[0025]—號(hào)高真空隔離板I與三號(hào)高真空隔離板3之間設(shè)置二號(hào)高真空隔離板2，一號(hào)高真空隔離板1、二號(hào)高真空隔離板2和三號(hào)高真空隔離板3中部設(shè)置預(yù)留孔，一號(hào)高真空隔離板I預(yù)留孔的直徑小于二號(hào)高真空隔離板2預(yù)留孔的直徑，二號(hào)高真空隔離板2預(yù)留孔的直徑小于三號(hào)高真空隔離板3預(yù)留孔的直徑，二號(hào)高真空隔離板2的一側(cè)對(duì)應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形轉(zhuǎn)子6，三號(hào)高真空隔離板3的一側(cè)對(duì)應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形套5，杯形套5與杯形轉(zhuǎn)子6之間對(duì)應(yīng)杯形套5的預(yù)留孔設(shè)置主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，杯形轉(zhuǎn)子6內(nèi)對(duì)應(yīng)一號(hào)高真空隔離板I的預(yù)留孔設(shè)置被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0026]實(shí)施例2
[0027]所述的主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由一號(hào)軸7、轉(zhuǎn)盤(pán)8、一號(hào)軸永磁體S極9、一號(hào)軸永磁體N極10、三號(hào)軸承16、四號(hào)軸承17構(gòu)成；一號(hào)軸7 —側(cè)設(shè)置三號(hào)軸承16與四號(hào)軸承17，三號(hào)軸承16與四號(hào)軸承17之間設(shè)置轉(zhuǎn)盤(pán)8，轉(zhuǎn)盤(pán)8上以一號(hào)軸7為軸心線對(duì)稱(chēng)設(shè)置一號(hào)軸永磁體S極9和一號(hào)軸永磁體N極10，所述的三號(hào)軸承16設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子6底部的外側(cè)，所述的四號(hào)軸承17設(shè)置在杯形套5底部的預(yù)留孔內(nèi)。
[0028]實(shí)施例3
[0029]所述的被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由二號(hào)軸11、二號(hào)軸永磁體N極12、二號(hào)軸永磁體S極13、一號(hào)軸承14、二號(hào)軸承15構(gòu)成；二號(hào)軸11 一側(cè)設(shè)置一號(hào)軸承14與二號(hào)軸承15，一號(hào)軸承14與二號(hào)軸承15之間二號(hào)軸11的上下方對(duì)稱(chēng)設(shè)置二號(hào)軸永磁體N極12和二號(hào)軸永磁體S極13，二號(hào)軸11通過(guò)一號(hào)高真空隔離板I中部的預(yù)留孔，所述的一號(hào)軸承14和二號(hào)軸承15分別設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子6內(nèi)的上下方。
[0030]實(shí)施例4
[0031]所述的一號(hào)高真空隔離板1、二號(hào)高真空隔離板2與三號(hào)高真空隔離板3上設(shè)置密封膠圈槽，密封膠圈槽內(nèi)設(shè)置密封膠圈4。
[0032]實(shí)施例5
[0033]所述的一號(hào)軸7的大氣端設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔18，二號(hào)軸11的真空端設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔18。
[0034]實(shí)施例6
[0035]所述杯形轉(zhuǎn)子6內(nèi)的底部與二號(hào)軸11的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置，杯形轉(zhuǎn)子6底部的外側(cè)與一號(hào)軸7的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置。
[0036]實(shí)施例7
[0037]一號(hào)軸7大氣端的轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔18與真空室外的傳動(dòng)電機(jī)動(dòng)力輸出軸連接，二號(hào)軸11真空端的轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔18與真空室內(nèi)的傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力輸入軸連接，三號(hào)軸承16和四號(hào)軸承17使一號(hào)軸7固定在杯形套5與杯形轉(zhuǎn)子6之間，一號(hào)軸7轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)8轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤(pán)8轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)一號(hào)軸永磁體S極9和一號(hào)軸永磁體N極10同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，根據(jù)磁體同極相斥、異極相吸的原理，一號(hào)軸7與二號(hào)軸11不接觸，主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使一號(hào)軸7和二號(hào)軸11達(dá)到同步旋轉(zhuǎn)，二號(hào)軸11帶動(dòng)真空室內(nèi)的傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力輸入軸旋轉(zhuǎn)；一號(hào)高真空隔離板1、二號(hào)高真空隔離板2、三號(hào)高真空隔離板3通過(guò)密封膠圈4合并在一起，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔尚。
[0038]實(shí)施例8
[0039]通過(guò)調(diào)整轉(zhuǎn)盤(pán)8上一號(hào)軸永磁體S極9與一號(hào)軸永磁體N極10的距離，控制主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的磁場(chǎng)強(qiáng)度。
[0040]實(shí)施例9
[0041 ] 通過(guò)調(diào)整主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一號(hào)軸7的轉(zhuǎn)速，對(duì)被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二號(hào)軸11的轉(zhuǎn)速進(jìn)行控制。
[0042]實(shí)施例10
[0043]所述的一號(hào)軸永磁體S極9和一號(hào)軸永磁體N極10為4500-5800高斯的釤鈷磁鐵，所述的二號(hào)軸永磁體N極12和二號(hào)軸永磁體S極13為5000-5800高斯的釤鈷磁鐵，一號(hào)軸7的轉(zhuǎn)速為20-300轉(zhuǎn)/分鐘。
【權(quán)利要求】
1.一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置，是由:一號(hào)高真空隔離板(I)、二號(hào)高真空隔離板(2)、三號(hào)高真空隔離板(3)、密封膠圈(4)、杯形套(5)、杯形轉(zhuǎn)子(6)、一號(hào)軸(7)、轉(zhuǎn)盤(pán)(8)、一號(hào)軸永磁體S極(9)、一號(hào)軸永磁體N極(10)、二號(hào)軸(11)、二號(hào)軸永磁體N極(12)、二號(hào)軸永磁體S極(13)、一號(hào)軸承(14)、二號(hào)軸承(15)、三號(hào)軸承(16)、四號(hào)軸承(17)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔(18)構(gòu)成；其特征在于:一號(hào)高真空隔離板(I)與三號(hào)高真空隔離板(3)之間設(shè)置二號(hào)高真空隔離板(2)，一號(hào)高真空隔離板(I)、二號(hào)高真空隔離板(2)和三號(hào)高真空隔離板(3)中部設(shè)置預(yù)留孔，一號(hào)高真空隔離板(I)預(yù)留孔的直徑小于二號(hào)高真空隔離板(2)預(yù)留孔的直徑，二號(hào)高真空隔離板(2)預(yù)留孔的直徑小于三號(hào)高真空隔離板(3)預(yù)留孔的直徑，二號(hào)高真空隔離板(2)的一側(cè)對(duì)應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形轉(zhuǎn)子(6)，三號(hào)高真空隔離板(3)的一側(cè)對(duì)應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形套(5)，杯形套(5)與杯形轉(zhuǎn)子(6)之間對(duì)應(yīng)杯形套(5)的預(yù)留孔設(shè)置主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，杯形轉(zhuǎn)子(6)內(nèi)對(duì)應(yīng)一號(hào)高真空隔離板(I)的預(yù)留孔設(shè)置被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置，其特征在于:所述的主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由一號(hào)軸(7)、轉(zhuǎn)盤(pán)(8)、一號(hào)軸永磁體S極(9)、一號(hào)軸永磁體N極(10)、三號(hào)軸承(16)、四號(hào)軸承(17)構(gòu)成；一號(hào)軸(7) —側(cè)設(shè)置三號(hào)軸承(16)與四號(hào)軸承(17)，三號(hào)軸承(16)與四號(hào)軸承(17)之間設(shè)置轉(zhuǎn)盤(pán)(8)，轉(zhuǎn)盤(pán)⑶上以一號(hào)軸(7)為軸心線對(duì)稱(chēng)設(shè)置一號(hào)軸永磁體S極(9)和一號(hào)軸永磁體N極(10)，所述的三號(hào)軸承(16)設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子(6)底部的外側(cè)，所述的四號(hào)軸承(17)設(shè)置在杯形套(5)底部的預(yù)留孔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置，其特征在于:所述的被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由二號(hào)軸(11)、二號(hào)軸永磁體N極(12)、二號(hào)軸永磁體S極(13)、一號(hào)軸承(14)、二號(hào)軸承(15)構(gòu)成；二號(hào)軸(11) 一側(cè)設(shè)置一號(hào)軸承(14)與二號(hào)軸承(15)，一號(hào)軸承(14)與二號(hào)軸承(15)之間二號(hào)軸(11)的上下方對(duì)稱(chēng)設(shè)置二號(hào)軸永磁體N極(12)和二號(hào)軸永磁體S極(13)，二號(hào)軸(11)通過(guò)一號(hào)高真空隔離板(I)中部的預(yù)留孔，所述的一號(hào)軸承(14)和二號(hào)軸承(15)分別設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子(6)內(nèi)的上下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置，其特征在于:所述的一號(hào)高真空隔離板(I)、二號(hào)高真空隔離板(2)與三號(hào)高真空隔離板(3)上設(shè)置密封膠圈槽，密封膠圈槽內(nèi)設(shè)置密封膠圈(4)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置，其特征在于:所述的一號(hào)軸(7)的大氣端設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔(18)，二號(hào)軸(11)的真空端設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔(18)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置，其特征在于:所述杯形轉(zhuǎn)子(6)內(nèi)的底部與二號(hào)軸(11)的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置，杯形轉(zhuǎn)子(6)底部的外側(cè)與一號(hào)軸(7)的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置。
7.—種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置的應(yīng)用方法，其特征在于:一號(hào)軸(7)大氣端的轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔(18)與真空室外的傳動(dòng)電機(jī)動(dòng)力輸出軸連接，二號(hào)軸(11)真空端的轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔(18)與真空室內(nèi)的傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力輸入軸連接，三號(hào)軸承(16)和四號(hào)軸承(17)使一號(hào)軸(7)固定在杯形套(5)與杯形轉(zhuǎn)子(6)之間，一號(hào)軸(7)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)(8)轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤(pán)(8)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)一號(hào)軸永磁體S極(9)和一號(hào)軸永磁體N極(10)同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，根據(jù)磁體同極相斥、異極相吸的原理，一號(hào)軸(7)與二號(hào)軸(11)不接觸，主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使一號(hào)軸(7)和二號(hào)軸(11)達(dá)到同步旋轉(zhuǎn)，二號(hào)軸(11)帶動(dòng)真空室內(nèi)的傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力輸入軸旋轉(zhuǎn)；一號(hào)高真空隔離板(I)、二號(hào)高真空隔離板(2)、三號(hào)高真空隔離板(3)通過(guò)密封膠圈(4)合并在一起，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置的應(yīng)用方法，其特征在于:通過(guò)調(diào)整轉(zhuǎn)盤(pán)(8)上一號(hào)軸永磁體S極(9)與一號(hào)軸永磁體N極(10)的距離，控制主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的磁場(chǎng)強(qiáng)度。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置的應(yīng)用方法，其特征在于:通過(guò)調(diào)整主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一號(hào)軸(7)的轉(zhuǎn)速，對(duì)被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二號(hào)軸(11)的轉(zhuǎn)速進(jìn)行控制。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置的應(yīng)用方法，其特征在于:所述的一號(hào)軸永磁體S極(9)和一號(hào)軸永磁體N極(10)為4500-5800高斯的釤鈷磁鐵，所述的二號(hào)軸永磁體N極(12)和二號(hào)軸永磁體S極(13)為5000-5800高斯的釤鈷磁鐵，一號(hào)軸(7)的轉(zhuǎn)速為20-300轉(zhuǎn)/分鐘。
【文檔編號(hào)】F16J15/16GK104482212SQ201410736232
【公開(kāi)日】2015年4月1日 申請(qǐng)日期:2014年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月29日
【發(fā)明者】王戀貴, 董安光, 譚華, 秦遵紅 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)康耀電子有限公司