一種真空閥及抽真空設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種真空閥及抽真空設(shè)備，包括：腔體，所述腔體包括第一接口和第二接口；與所述腔體相對設(shè)置的氣缸；閥座，連接所述腔體和氣缸，并與所述第一接口相對設(shè)置，所述閥座包括通孔；軸體，包括連桿，以及分別位于所述連桿兩端的密封盤和活塞，所述連桿穿過所述通孔，所述密封盤、活塞分別位于所述腔體、氣缸內(nèi)；彈簧，所述彈簧兩端分別與所述密封盤和閥座連接，所述連桿穿過所述彈簧；第一密封圈，設(shè)置于所述通孔中，所述連桿穿過所述第一密封圈。本實(shí)用新型提供的真空閥，具有較長的使用壽命，并降低成本支出。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種閥門，更具體的說，尤其涉及一種真空閥及包括該真空閥的 抽真空設(shè)備。 一種真空閥及抽真空設(shè)備

【背景技術(shù)】
[0002] 真空閥是指工作壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的閥門。都是由普通閥門改進(jìn)演變而來，不 同點(diǎn)在于其工作時壓力小于大氣壓，比普通閥門的氣密性要好，適用于介質(zhì)為水和蒸汽的 真空管道上，在火電廠汽機(jī)冷凝和真空負(fù)壓系統(tǒng)中使用最為廣泛，主要的作用為啟閉裝置， 起到真空隔離密封的作用，具有開啟速度快，適用范圍廣的優(yōu)點(diǎn)。
[0003] 目前，市場上的真空閥大多采用波紋管貫穿腔體的形式來達(dá)到密封效果，如圖1 所示，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中真空閥的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，真空閥由腔體11和氣缸12 組成，通常所述腔體11表面設(shè)置有第一接口 1101和第二接口 1102,所述汽缸12中還包含 通氣孔1201和出氣孔1202。在腔體11內(nèi)部通過波紋管19控制氣體的隔絕和流通，在波紋 管19內(nèi)部還設(shè)置有一彈簧15。當(dāng)真空閥在工作時，空氣由所述通氣孔1201向氣缸12充 氣，軸體14帶動彈簧15和波紋管19 一起向氣缸12方向運(yùn)動，此時密封盤1402和第一接 口 1101分離，腔室（未示出）內(nèi)的空氣從第二接口 1102被吸入腔體11進(jìn)而通過第一接口 1101被抽出，隨后所述彈簧15帶動所述軸體14和所述波紋管19 一起向第一接口 1101的 方向移動，一次抽真空動作完成。真空閥由此通過所述軸體14的往復(fù)運(yùn)動來實(shí)現(xiàn)腔室（未 示出）的抽真空，但軸體14的往復(fù)運(yùn)動容易造成氣缸12內(nèi)的氣體逸出，進(jìn)入腔體11和腔 室（未示出），因此在彈簧15的外圍設(shè)置可以與軸體14和彈簧15共同運(yùn)動的波紋管19， 與彈簧15和軸體14共同形成一個密閉空間，用來防止氣缸12中的氣體逸出進(jìn)入腔體11 進(jìn)而進(jìn)入腔室（未示出），影響真空閥的抽真空效果。但是長期使用后的真空閥在波紋管 19的周期性伸縮后，會出現(xiàn)老化漏氣現(xiàn)象，氣體從波紋管19逸出進(jìn)入腔體11，降低抽真空 設(shè)備的抽真空能力。在目前抽真空設(shè)備使用中的統(tǒng)計(jì)情況，該類型真空閥平均每年會因老 化漏氣更換一次，由此帶來了成本增加的問題。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種真空閥，包括：
[0005] 腔體，所述腔體包括第一接口和第二接口；
[0006] 與所述腔體相對設(shè)置的氣缸；
[0007] 閥座，連接所述腔體和氣缸，并與所述第一接口相對設(shè)置，所述閥座包括通孔；
[0008] 軸體，包括連桿，以及分別位于所述連桿兩端的密封盤和活塞，所述連桿穿過所述 通孔，所述密封盤、活塞分別位于所述腔體、氣缸內(nèi)；
[0009] 彈簧，所述彈簧兩端分別與所述密封盤和閥座連接，所述連桿穿過所述彈簧；
[0010] 第一密封圈，設(shè)置于所述通孔中，所述連桿穿過所述第一密封圈。
[0011] 優(yōu)選地，所述密封盤與所述第一接口匹配設(shè)置。
[0012] 優(yōu)選地，所述閥座在通孔位置有圓環(huán)形突出。
[0013] 優(yōu)選地，所述氣缸包括通氣孔和出氣孔。
[0014] 優(yōu)選地，所述閥座與所述腔體之間設(shè)置有第二密封圈。
[0015] 優(yōu)選地，所述真空閥包含慢抽真空閥，所述慢性真空閥包括腔體、氣缸、閥座、軸 體、彈簧、密封圈、通氣孔、出氣孔。
[0016] 優(yōu)選地，所述真空閥還包括法蘭盤，所述法蘭盤用于連接所述氣缸和所述腔體。
[0017] 優(yōu)選地，一種抽真空設(shè)備，包括所述的真空閥。
[0018] 優(yōu)選地，所述抽真空設(shè)備還包括真空泵和腔室，所述真空泵與所述第一接口連接， 所述腔室與所述第二接口連接。
[0019] 本實(shí)用新型提供的真空閥，通過使用密封圈的結(jié)構(gòu)可以使閥座與軸體形成一個單 獨(dú)的密封空間并減少密封空間的范圍，而且無需使用波紋管進(jìn)行密封，因此可以有效避免 因波紋管漏氣而導(dǎo)致的真空閥抽真空能力下降。從而延長真空閥的使用壽命，降低成本支 出。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020] 圖1為現(xiàn)有技術(shù)中真空閥的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021] 圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的真空閥的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022] 圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例一中氣缸與腔體連接的示意圖；
[0023] 圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例一中氣缸與腔體的法蘭盤的示意圖；
[0024] 圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的真空閥的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025] 圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的慢抽真空閥局部放大圖。

【具體實(shí)施方式】
[0026] 本實(shí)用新型提供一種真空閥，包括：腔體，所述腔體包括第一接口和第二接口； 與所述腔體相對設(shè)置的氣缸；閥座，連接所述腔體和氣缸，并與所述第一接口相對設(shè)置，所 述閥座包括通孔；軸體，包括連桿，以及分別位于所述連桿兩端的密封盤和活塞，所述連桿 穿過所述通孔，所述密封盤、活塞分別位于所述腔體、氣缸內(nèi)；彈簧，所述彈簧兩端分別與所 述密封盤和閥座連接，所述連桿穿過所述彈簧；第一密封圈，設(shè)置于所述通孔中，所述連桿 穿過所述第一密封圈。
[0027] 本實(shí)用新型提供的真空閥，通過密封圈的結(jié)構(gòu)可以使氣缸形成一個單獨(dú)的密閉空 間，從而無需使用波紋管進(jìn)行密封，因此可以有效避免由于波紋管漏氣而導(dǎo)致的干泵抽真 空能力下降的現(xiàn)象。從而減少真空閥的損耗，延長真空閥的使用壽命，降低生產(chǎn)成本。
[0028] 為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面結(jié)合附圖來進(jìn)一步做 詳細(xì)說明。
[0029] 實(shí)施例一
[0030] 請參考圖2,圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的真空閥的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2 所示，所述真空閥包括：腔體21、氣缸22、閥座23、軸體24、彈簧25和第一密封圈2601，以 下詳細(xì)介紹各部件的作用和相互之間的連接關(guān)系。
[0031] 腔體21，所述腔體21包括第一接口 2101和第二接口 2102,所述第一接口 2101用 于和一真空泵（未示出）連接，所述第二接口 2102用于和一需要被抽真空的腔室（未示 出）連接。
[0032] 氣缸22,所述氣缸22與所述腔體21相對設(shè)置。
[0033] 閥座23,連接所述腔體21和氣缸22,并與所述第一接口 2101相對設(shè)置，所述閥座 23包括一通孔2301，所述通孔2301沿腔體21至氣缸22的方向設(shè)置并貫通所述閥座23。
[0034] 軸體24,所述軸體24包括連桿2401，以及分別位于所述連桿2401兩端的密封盤 2402和活塞2403,所述連桿2401穿過所述通孔2301，所述密封盤2402位于所述腔體21 內(nèi)，而且與所述第一接口 2101匹配設(shè)置，也就是說所述密封盤2402可以將第一接口 2101 堵塞住，使其和腔體21可以相互之間不通氣。所述活塞2403位于所述氣缸22內(nèi)，并將所 述氣缸22分成兩部分空間，在閥座23和所述活塞2403之間的空間中，氣缸22的壁上還設(shè) 置有一通氣孔2201，并且所述活塞2403在氣缸22的通氣孔2201至汽缸22的底部之間的 范圍內(nèi)可以前后活動，所述兩部分空間的大小也會隨之改變。通氣孔2201用于向氣缸22 輸入氣體以推動活塞2403運(yùn)動進(jìn)而帶動軸體24向氣缸22方向運(yùn)動，氣缸22內(nèi)的氣體也 可以通過所述通氣孔2201排出氣缸22,進(jìn)而使軸體24向腔體21方向移動。在活塞2403 和氣缸22的底部形成的另一空間中，氣缸22的壁上還設(shè)置有一出氣孔2202,用于保證當(dāng)氣 缸22通過通氣孔2201充氣時，活塞2403帶動軸體24向氣缸21底部方向移動，此時活塞 2403與氣缸22的底部空間中的空氣可以通過出氣孔2202排出，減小壓強(qiáng)，便于活塞2403 運(yùn)動。
[0035] 彈簧25,所述彈簧25的兩端分別與所述密封盤2402和所述閥座23連接，所述連 桿2401穿過所述彈簧25。
[0036] 第一密封圈2601，設(shè)置于所述通孔2301中，所述連桿2401穿過所述第一密封圈 2601，在實(shí)施例一中設(shè)置有3個第一密封圈2601，在其他實(shí)施方式中所述第一密封圈2601 的數(shù)量并不作出限制。所述第一密封圈2601為氟橡膠類材質(zhì)，具有良好的耐磨性、耐高溫 性、耐老化性能和良好的彈性及穩(wěn)定性，可以在使軸體24在通孔2301內(nèi)前后移動的同時保 證軸體24與閥座23之間密封性。以下結(jié)合圖2說明實(shí)施例一提供的真空閥的工作原理： [0037] 真空閥工作時，所述第一接口 2101與一真空泵（未示出）連接，所述第二接口 2102與一需要被抽真空的腔室（未示出）連接。在初始狀態(tài)下，所述通氣孔2201未通入氣 體，所述出氣孔2202未向氣缸外排出氣體，所述彈簧25處于未壓縮狀態(tài)，所以連桿2401 - 端的密封盤2402和第一接口 2101接觸，將第一接口 2101和腔體21氣密隔絕。所述第二 接口 2102和腔體21是連通的，兩者的氣壓相同。
[0038] 當(dāng)真空閥開始抽真空時，氣體通過所述通氣孔2201進(jìn)入所述氣缸22中，并且是進(jìn) 入閥座23和活塞2403之間的部分，所述氣缸22中的閥座23和活塞2403之間部分的氣體 壓強(qiáng)逐漸變大，所述氣體可以推動活塞2403向氣缸22的底部運(yùn)動，所述活塞2403和氣缸 22底部之間的氣體壓強(qiáng)逐漸變大，氣體通過出氣孔2202排出，進(jìn)而活塞2403帶動所述連桿 2401、密封盤2402和彈簧25 -起向所述氣缸22的底部方向運(yùn)動，此時，所述密封盤2402 和第一接口 2101分離，所述彈簧25逐漸被壓縮。因?yàn)樵谡婵臻y開始抽真空動作后，所述密 封盤2402和第一接口 2101分離，因此第一接口 2101和腔體21也變?yōu)檫B通的，進(jìn)而和第二 接口 2102也是連通的，真空泵可以通過第一接口 2101、腔體21和第二接口 2102將需要被 抽真空的腔室中的氣體抽出。隨著氣缸22中的閥座23和活塞2403之間部分的氣體壓強(qiáng) 逐漸變大，活塞2403和氣缸底部之間的氣體逐漸通過出氣孔2202排出，最終彈簧逐漸地被 壓縮到最大壓縮量的位置。
[0039] 隨后，氣體不再通過通氣孔2201向氣缸22傳輸氣體，在彈簧25的彈力回復(fù)作用 下帶動所述軸體24包括活塞2403、密封盤2402和連桿2401 -起向遠(yuǎn)離氣缸22的方向移 動，并且此時所述氣缸22中的閥座23和活塞2403之間的氣體通過所述通氣孔2201排出， 大氣中的氣體通過出氣孔2202進(jìn)入活塞2403與氣缸22底部的空間。隨著彈簧25的回復(fù)， 所述密封盤2402最后將會與所述第一接口 2101緊密貼合，將第一接口 2101和腔體21、第 二接口 2102氣密隔絕，即真空閥又回到了初始狀態(tài)，完成了一次抽真空運(yùn)動。
[0040] 本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的真空閥就是通過如上所述的從初始狀態(tài)開始抽完一 次真空后又回到初始狀態(tài)，通過所述軸體24和所述彈簧25的共同往復(fù)運(yùn)動來實(shí)現(xiàn)腔室的 抽真空效果。實(shí)施例一提供的真空閥可通過多次抽真空將腔室內(nèi)的氣壓從高氣壓降至低氣 壓或者真空，即腔室內(nèi)的氣壓是逐漸下降的。因?yàn)楹芏喑檎婵涨皇倚枰獨(dú)鈮浩椒€(wěn)和緩慢地 下降，比如器件真空吸附等，如果氣壓快速的下降可能會對器件造成損傷。實(shí)施例一提供的 真空閥是通過軸體24和所述彈簧25的多次共同往復(fù)運(yùn)動來實(shí)現(xiàn)腔室氣壓的逐漸下降，因 此不會對腔室或者腔室內(nèi)的器件造成損傷。
[0041] 實(shí)施例一提供的真空閥，在對腔室進(jìn)行抽真空時，通過設(shè)置在通孔2301中的連桿 2401穿過的第一密封圈2601對腔體21進(jìn)行小范圍的密封，而不需要傳統(tǒng)工藝中使用波 紋管對整個腔體進(jìn)行的大范圍密封，簡化工藝步驟，又由于第一密封圈2601為氟橡膠類材 質(zhì)，具有良好的耐磨性、耐高溫性、耐老化性能和良好的彈性及穩(wěn)定性，可以在保證軸體24 與閥座23之間的密封性的同時，維持較長的使用壽命，降低生產(chǎn)成本，解決配置有波紋管 的真空閥在工作時由于長期處于往復(fù)運(yùn)動狀態(tài)而帶來的漏氣問題，保持長期使用后仍然較 好的密閉性能。
[0042] 優(yōu)選地，在實(shí)施例一中，所述第二接口 2102的位置位于腔體21的側(cè)壁，但是只要 起到和腔體21的氣體連通的作用，所述第二接口 2102位于所述腔體21的任何不與其它器 件重合的位置都可以，實(shí)施例一并不對此作出限制。
[0043] 優(yōu)選地，在實(shí)施例一中，在所述閥座23朝向第一接口 2101 -側(cè)設(shè)置有圓柱形突出 部2302,所述通孔2301也貫通所述圓柱形突出部2302,所述連桿2401嵌合在所述圓柱形 突出部2302中。所述圓柱形突出部2302可以更好的保證連桿2401運(yùn)動方向的精確性， 進(jìn)而保證密封盤2402將第一接口 2101和腔體21、第二接口 2102氣密隔絕的作用，同時還 可以起到固定彈簧25的作用。
[0044] 優(yōu)選地，實(shí)施例一中，所述通孔2301內(nèi)部為每隔15±10%mm設(shè)置一個第一密封圈 2601，第一密封圈2601若設(shè)置的間隔小于此范圍，會導(dǎo)致由于設(shè)置的過于緊密而造成不必 要的材料浪費(fèi)，若設(shè)置的間隔大于此范圍，則會引起由于第一密封圈2601設(shè)置的過于疏松 而造成的密封效果下降，出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象。
[0045] 優(yōu)選地，所述真空閥還包括一第二密封圈2602,所述第二密封圈2602設(shè)置于所述 閥座23與所述腔體21之間，用以防止氣缸22和閥座23漏氣，保持腔體21的密閉性，從而 避免氣體從所述氣缸22逸出進(jìn)入所述腔體21，影響真空閥的抽真空效果。
[0046] 實(shí)施例一中，所述腔體21和氣缸22是通過法蘭接口連接的，但是腔體21和氣缸 22還可以有其他連接方式，實(shí)施例一并不對此作出限定。請參考圖3和圖4,圖3為本實(shí)用 新型實(shí)施例一中氣缸與腔體連接的示意圖，圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例一中氣缸與腔體的法 蘭盤的不意圖。
[0047] 實(shí)施例一中，所述腔體21與所述氣缸22均為中空的圓柱形結(jié)構(gòu)，在腔體21靠近 氣缸22的一端設(shè)置有法蘭盤2103,氣缸22靠近腔體21的一端還設(shè)置有法蘭盤2203,且在 法蘭盤2103、法蘭盤2203和閥座23的外沿上都平均分布有8個孔眼2702,用來連接腔體 21、閥座23和氣缸22,此處優(yōu)選使用六角螺栓2701作為緊固件，所述六角螺栓2701穿過所 述法蘭盤2103、法蘭盤2203和閥座23中的孔眼2702,將腔體21、閥座23和氣缸22固定在 一起。
[0048] 請參考圖4,圖4是從氣缸22 -側(cè)的法蘭盤示意圖，因此圖4中只能看見氣缸22 的法蘭盤2203,但實(shí)質(zhì)上此處是氣缸22的法蘭盤2203、閥座23的外沿和腔體21的法蘭盤 2103三者疊加在一起的結(jié)構(gòu)。
[0049] 通過使用孔眼2702、法蘭盤2103和法蘭盤2201來連接腔體21、閥座23和氣缸22， 可以使所述真空閥具有便于安裝拆卸、方便維修的優(yōu)點(diǎn)，同時增強(qiáng)連接的穩(wěn)定性，長期使用 后連接處不易松動。
[0050] 實(shí)施例一還提供一種抽真空設(shè)備，所述抽真空設(shè)備包括所述真空閥，而且所述抽 真空設(shè)備還包括真空泵和腔室，所述真空泵與所述第一接口連接，所述腔室與所述第二接 口連接。
[0051] 實(shí)施例二
[0052] 請參考圖5和圖6,圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的真空閥的剖視結(jié)構(gòu)示意圖， 圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的慢抽真空閥局部放大圖。圖5所示實(shí)施例二與圖2所示 實(shí)施例一僅有微小的區(qū)別，因此圖2的標(biāo)號被沿用來表示相同的結(jié)構(gòu)元件。
[0053] 本實(shí)施例中所述真空閥除了包括實(shí)施例一中真空閥的結(jié)構(gòu)外，還包括一慢抽真空 閥28,所述慢抽真空閥28位于腔體21的外壁上，靠近第一接口 2101處，與所述腔體21相 連通，用于將腔體21內(nèi)的空氣以較低的速率從腔體21抽出并導(dǎo)入真空泵（未示出），保持 腔室（未示出）的真空效果。請參考圖6,所述慢抽驅(qū)動閥28包括：腔體61，氣缸62,軸體 64,彈簧65和第一密封圈6601，以下詳細(xì)介紹各部件的作用和相互之間的連接關(guān)系。
[0054] 腔體61，所述腔體61包括第一接口 6101和第二接口 6102,第一接口 6101和所述 真空閥的第一接口 2101連接，進(jìn)而所述慢抽真空閥28和真空閥可以使用同一真空泵將腔 室（未示出）內(nèi)的氣體通過所述第一接口 6101進(jìn)而通過所述真空閥的第一接口 2101抽入 真空泵（未示出），第二接口 6102和所述真空閥的腔體21連接，與所述真空閥的腔體21和 需要被抽真空的腔室（未示出）均處于連通狀態(tài)。
[0055] 氣缸62,所述氣缸62與所述腔體61相對設(shè)置；閥座63,連接所述腔體61和氣缸 62,并與所述第一接口 6101相對設(shè)置，所述閥座63包括一通孔6301，所述通孔6301沿腔體 61至氣缸62的方向設(shè)置并貫通所述閥座63。
[0056] 軸體64,所述軸體64包括連桿6401，以及分別位于所述連桿6401兩端的密封盤 6402和活塞6403,所述連桿6401穿過所述通孔6301，所述密封盤6402位于所述腔體61 內(nèi)，而且與所述第一接口 6101匹配設(shè)置，也就是說所述密封盤6402可以將第一接口 6101 堵塞住，使其和腔體61可以相互之間不通氣，所述活塞6403位于所述氣缸62內(nèi)，并將所述 氣缸62分成兩部分空間。在閥座63和所述活塞6403之間的空間中，氣缸62的壁上還設(shè) 置有一通氣孔6201，并且所述活塞6403在氣缸62的通氣孔6201至汽缸62的底部壁之間 的范圍內(nèi)可以前后活動，所述兩部分空間的大小也會隨之改變。通氣孔6201用于向氣缸62 輸入氣體以推動活塞6403運(yùn)動進(jìn)而帶動軸體64向氣缸62方向運(yùn)動。氣缸62內(nèi)的氣體也 可以通過所述通氣孔6201排出氣缸62,進(jìn)而使軸體64向腔體61方向移動。在活塞6403 和氣缸62的底部形成的另一空間中，氣缸62的壁上還設(shè)置有一出氣孔6202,用于保證當(dāng) 氣缸62通過通氣孔6201充氣時，活塞6403帶動軸體64向氣缸62底部方向移動，此時活 塞6403與氣缸62的底部的空間中的空氣可以通過出氣孔6202排出，減小壓強(qiáng)，便于活塞 運(yùn)動。
[0057] 彈簧65,所述彈簧65的兩端分別與所述密封盤6402和所述閥座63連接，所述連 桿6401穿過所述彈簧65。
[0058] 第一密封圈6601，設(shè)置于所述通孔6301中，所述連桿6401穿過所述第一密封圈 6601，在實(shí)施例二中設(shè)置有3個第一密封圈6601，在其他實(shí)施方式中所述第一密封圈6601 的數(shù)量還可以為其他數(shù)量，在此不做限制。所述第一密封圈6601為氟橡膠類材質(zhì)，具有良 好的耐磨性、耐高溫性和、耐老化性能，而且橡膠還具有和良好的彈性和及穩(wěn)定性，可以使 軸體64在通孔6301內(nèi)前后移動的同時保證軸體64與閥座63之間密封性，并延長真空閥 的使用壽命。
[0059] 本實(shí)施例中的真空閥與實(shí)施例一中的真空閥的工作原理相同，僅在結(jié)構(gòu)上有微小 的不同，此處不加以一一描述。不同之處在于所述慢抽真空閥的通氣孔6201直徑小于實(shí)施 例一中所述真空閥的通氣孔2201的直徑，因此所述慢抽驅(qū)動閥28的進(jìn)氣速率小于所述真 空閥，所以可以降低抽真空的速率，以更加平緩的速率對腔室（未示出）進(jìn)行抽真空，保護(hù) 器件不受損害。當(dāng)腔室（未示出）對抽真空的速率要求降低，同時對器件的保護(hù)要求提高 時，需要對腔室（未示出）以較慢的速率進(jìn)行抽真空，此時可采用所述慢抽驅(qū)動閥28對腔 室（未示出）進(jìn)行抽真空，進(jìn)而慢抽真空閥28開始工作，所述真空閥停止工作。腔室（未 示出）內(nèi)的氣體通過第二接口 6102被吸入慢抽真空閥28的腔體61，通過慢抽真空閥28的 往復(fù)運(yùn)動將吸入的氣體通過第一接口 6101進(jìn)而通過所述真空閥的第一接口 2101排出至真 空泵（未示出），真空閥和慢抽真空閥28均為獨(dú)立工作，不能同時使用，需根據(jù)產(chǎn)品的具體 要求進(jìn)行選擇。
[0060] 實(shí)施例二提供的真空閥，在對腔室進(jìn)行抽真空時，通過設(shè)置在通孔2301中的連桿 2401穿過的第一密封圈2601對腔體進(jìn)行小范圍的密封，而不需要傳統(tǒng)工藝中使用波紋管 對整個腔體進(jìn)行的大范圍密封。同時因配置有慢抽驅(qū)動閥28,可以根據(jù)生產(chǎn)的產(chǎn)品情況選 擇抽真空的速率，當(dāng)產(chǎn)品需要以較為平緩的速率抽真空以保證氣壓平穩(wěn)下降時，可選擇使 用慢抽驅(qū)動閥28進(jìn)行抽真空，而當(dāng)需要對腔室進(jìn)行快速的抽真空時，可以選擇使用真空閥 對腔室進(jìn)行抽真空，具有較大的選擇范圍。又由于第一密封圈2601為氟橡膠類材質(zhì)，具有 良好的耐磨性、耐高溫性、耐老化性能和良好的彈性及穩(wěn)定性，可以在保證軸體24與閥座 23之間的密封性的同時，維持較長的使用壽命，降低生產(chǎn)成本，解決配置有波紋管的真空 閥在工作時由于長期處于往復(fù)運(yùn)動狀態(tài)而帶來的漏氣問題，保持長期使用后仍然較好的密 閉性能。
[0061] 優(yōu)選地，在實(shí)施例二中，所述慢抽驅(qū)動閥28的位置位于所述腔體21的側(cè)壁且靠近 第一接口 2101，但是只要起到和腔體21以及第一接口 2101的氣體連通的作用，所述慢抽驅(qū) 動閥28位于所述腔體21的任何不與其它器件重合的位置都可以，實(shí)施例二并不對此作出 限制。
[0062] 優(yōu)選地，在實(shí)施例二中，所述第二接口 6102的位置位于腔體61的側(cè)壁，但是只要 起到和腔體61的氣體連通的作用，所述第二接口 6102位于所述腔體61的任何不與其它器 件重合的位置都可以，實(shí)施例二并不對此作出限制。
[0063] 優(yōu)選地，在實(shí)施例二中，在所述閥座63朝向第一接口 6101 -側(cè)設(shè)置有圓柱形突出 部6302,所述通孔6301也貫通所述圓柱形突出部6302,所述連桿6401嵌合在所述圓柱形 突出部6302中。所述圓柱形突出部6302可以更好的保證連桿6401運(yùn)動方向的精確性，進(jìn) 而保證密封盤6402將第一接口 2101和腔體61、第二接口 6102氣密隔絕的作用，同時還可 以起到固定彈簧65的作用。
[0064] 優(yōu)選地，實(shí)施例二中，所述通孔6301內(nèi)部為每隔15±10%mm設(shè)置一個第一密封圈 6601，第一密封圈6601若設(shè)置的間隔小于此范圍，會導(dǎo)致由于設(shè)置的過于緊密而造成不必 要的材料浪費(fèi)，若設(shè)置的間隔大于此范圍，則會引起由于第一密封圈6601設(shè)置的過于疏松 而造成的密封效果下降，出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象。
[0065] 優(yōu)選地，所述真空閥還包括一第二密封圈6602,所述第二密封圈6602設(shè)置于所述 閥座63與所述腔體61之間，用以防止氣缸62和閥座63漏氣，保持腔體61的密閉性，從而 避免氣體從所述氣缸62逸出進(jìn)入所述腔體61，影響真空閥的抽真空效果。
[0066] 實(shí)施例二還包括一種抽真空設(shè)備，所述抽真空設(shè)備包括所述真空閥，而且所述抽 真空設(shè)備還包括真空泵和腔室，所述真空泵與所述第一接口連接，用于將所述腔體內(nèi)的氣 體吸出，保證真空閥的密閉性，所述腔室與所述第二接口連接，因此腔室內(nèi)的氣體可以進(jìn)入 所述腔體進(jìn)而排出至所述真空泵，保證腔室的真空性能良好。
[0067] 本實(shí)用新型提供的真空閥，在對腔室進(jìn)行抽真空時，通過位于腔體和閥座之間以 及軸體與閥座嵌合位置的密封圈對真空閥進(jìn)行小范圍的密封，可以解決配置有波紋管的真 空閥在工作時由于長期處于往復(fù)運(yùn)動狀態(tài)而帶來的漏氣問題。綜上，本實(shí)用新型提供的真 空閥能夠能夠減小密封空間，優(yōu)化密封效果，延長使用時間，并降低成本支出。
[〇〇68] 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用新 型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其 等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種真空閥，其特征在于，包括： 腔體，所述腔體包括第一接口和第二接口； 與所述腔體相對設(shè)置的氣缸； 閥座，連接所述腔體和氣缸，并與所述第一接口相對設(shè)置，所述閥座包括通孔； 軸體，包括連桿，以及分別位于所述連桿兩端的密封盤和活塞，所述連桿穿過所述通 孔，所述密封盤、活塞分別位于所述腔體、氣缸內(nèi)； 彈簧，所述彈簧兩端分別與所述密封盤和閥座連接，所述連桿穿過所述彈簧； 第一密封圈，設(shè)置于所述通孔中，所述連桿穿過所述第一密封圈。
2. 如權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，所述密封盤與所述第一接口匹配設(shè)置。
3. 如權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，所述閥座在通孔位置有圓環(huán)形突出。
4. 如權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，所述氣缸包括通氣孔和出氣孔。
5. 如權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，所述閥座與所述腔體之間設(shè)置有第二密 封圈。
6. 如權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，所述真空閥包含慢抽真空閥，所述慢抽真 空閥包括腔體、氣缸、閥座、軸體、彈簧、密封圈、通氣孔、出氣孔。
7. 如權(quán)利要求6所述的真空閥，其特征在于，所述慢抽真空閥的通氣孔直徑小于所述 真空閥的通氣孔直徑。
8. 如權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，所述真空閥還包括法蘭盤，所述法蘭盤用 于連接所述氣缸和所述腔體。
9. 一種抽真空設(shè)備，包括如權(quán)利要求1-7任一所述的真空閥。
10. 如權(quán)利要求9所述的抽真空設(shè)備，其特征在于，所述抽真空設(shè)備還包括真空泵和腔 室，所述真空泵與所述第一接口連接，所述腔室與所述第二接口連接。
【文檔編號】F16K51/02GK203892709SQ201420136096
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年3月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月25日
【發(fā)明者】孟凡清, 陳爭明, 季宏兵 申請人:上海天馬微電子有限公司, 天馬微電子股份有限公司