專利名稱：用于真空閥的封閉單元的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于真空閥的封閉單元(Verschlusseinheit)，該封閉單元包括 用于使真空閥的第一閥孔(Ventikiffnung)封閉的第一閥板(Ventilplatte)以及用于使 真空閥的第二閥孔封閉的第二閥板。此外，本發(fā)明還涉及真空閥，該真空閥包括閥殼體 (Ventilgehause),該閥殼體帶有由第一閥座(Ventilsitz)所圍繞的第一閥孔和由第二閥 座所圍繞的第二閥孔；以及封閉單元，該封閉單元具有用于使第一閥孔封閉的第一閥板以 及用于使第二閥孔封閉的第二閥板。此外，本發(fā)明還涉及用于固定在用于真空閥的封閉單 元的承載板(Tragerplatte)處的閥板。
背景技術：
從文件US 6，390，448 Bl中和從文件US 6,913, 243 Bl中已知一種真空閥，該真 空閥具有帶有第一和第二閥孔的閥殼體，該第一和第二閥孔備選地可借助于第一和第二閥 板來封閉。這兩個閥板保持在閥桿或安置在閥桿處的端部件(EndstUck)處，其中，安置 通過鉸接螺栓(khwenlcbolzen)來實現(xiàn)，以使得可調(diào)節(jié)相應的閥板對于閥桿的角度位置 (Winkelstellimg)。在真空閥的打開的狀態(tài)中，閥桿退回并且使兩個閥孔開啟。為了關閉 真空閥，兩個閥板首先從打開位置起行進到中間位置中，在該中間位置中這兩個閥板位于 兩個閥孔之間，其中，這兩個閥板從閥孔上升起(abheben)。從該中間位置起，可通過使閥桿 繞垂直于閥桿的擺動軸線擺動，或者借助于第一閥板使第一閥孔封閉，或者借助于第二閥 板使第二閥孔封閉。例如，在第一閥孔的關閉的狀態(tài)中，可執(zhí)行第二閥板的保養(yǎng)(Service)， 例如用于更換密封件，并且反之亦然。此外，從文件US 6，095，741中已知帶有第一和第二閥孔的真空閥，該第一和第二 閥孔可通過第一和第二閥板來封閉，其中，任一閥板都與單獨的閥桿相連接。從文件WO 2009/070824 Al中得知帶有第一和第二閥板的真空閥，該第一和第二 閥板可以彼此相獨立的方式被調(diào)節(jié)。閥板中的一個由承載單元所承載，該承載單元安置在 閥桿處。承載單元裝配有多個用于調(diào)節(jié)閥板的執(zhí)行器，并且閥板與這些執(zhí)行器通過引導部 (Fuhrung)相連接，該引導部根據(jù)燕尾形引導部(khwalbensctiwanzfilhrung)的類型而構(gòu) 造，以使得閥板可從執(zhí)行器上移除。從文件US 7，134，642 B2中得知閥板在閥桿處的保持，在其中，閥板可繞閥板的軸 線受限制地擺動，以為了使閥板的位置與閥座相匹配。從文件US 6，471，181 B2中已知閥板在閥桿處的保持，在其中，閥板可繞垂直于閥 桿的軸線的軸線傾斜(verkippbar)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，實現(xiàn)開頭所提及類型的封閉單元，在該封閉單元中可以簡單的 方式來安裝和拆卸相應的閥板，并且在該封閉單元中相應的閥板在安裝的狀態(tài)中穩(wěn)定地固 定且足夠精確地定位。根據(jù)本發(fā)明，這通過帶有權(quán)利要求1的特征的封閉單元來實現(xiàn)。
在本發(fā)明的封閉單元中，閥板安裝在位于閥板之間的承載板處，并且可從該承載 板上取下。至少一個夾緊件(Sparmstilck)用作將相應的閥板固定在承載板處，由該夾緊件 使共同作用的夾緊面(Spannflache)彼此夾緊(versparmen)，在該共同作用的夾緊面中， 構(gòu)造有至少一個斜面(Schragflache)，通過該斜面將相應閥板壓靠到承載板處。通過該至少一個斜面，產(chǎn)生在朝向承載板的方向上作用到相應的閥板上的分力 (Kraftkomponente)，通過該分力將閥板壓靠到承載板處。相應的斜面相對于作用到相應的 夾緊件上的夾緊力優(yōu)選在20°和70°之間的角度下傾斜，該角度例如為45°。通過將閥板壓靠到承載板處，可實現(xiàn)閥板的穩(wěn)定的固定，而不使閥板晃動。在此， 可以僅僅較小公差實現(xiàn)閥板相對于承載板的定位。夾緊件的應用允許了簡單的安裝和拆 卸。有利地，為了夾緊相應的夾緊件，設置有至少一個與夾緊件共同作用的夾緊螺栓， 其中，相應的斜面相對于夾緊螺栓的軸線優(yōu)選在20°和70°之間的角度下傾斜，該角度例 如為45°。優(yōu)選為，不僅在相應閥板和承載板的共同作用的夾緊面(這些夾緊面通過至少一 個夾緊件而彼此夾緊)中而且在相應閥板和與其相夾緊的至少一個夾緊件的共同作用的 夾緊面中分別有至少一個構(gòu)造成斜面，通過該斜面將相應的閥板壓靠到承載板處。尤其優(yōu) 選為，所有由至少一個夾緊件彼此夾緊的夾緊面(也就是說相應閥板和承載板的彼此夾緊 的夾緊面以及夾緊件自身和相應閥板的彼此夾緊的夾緊面)構(gòu)造成斜面，通過該斜面將相 應的閥板壓靠到承載板處。在本發(fā)明的有利的實施形式中，以閥板的承載用于使相應閥孔封閉的密封件的側(cè) 邊的視角觀看，相應的閥板構(gòu)造成基本上為矩形，尤其為帶有倒圓的拐角、帶有相對的較長 的側(cè)邊和相對的較短的側(cè)邊的矩形。利用這種基本上為矩形的閥板，可使基本上為矩形的 或槽口狀(schlitzfbrmig)的閥孔封閉。有利地，至少一個將相應閥板夾緊的夾緊件與閥板 的較長的側(cè)邊共同作用，其中，優(yōu)選地，兩個或更多個使該閥板夾緊的夾緊件沿著構(gòu)造成矩 形的閥板的較長的側(cè)邊而布置成彼此有間隔。本發(fā)明的優(yōu)選的實施形式設置成，相應的閥板借助于構(gòu)造在閥板和承載板之間的 引導部而可推動到承載板上，其中，該引導部確保閥板不會從承載板上升起。在此，使閥板 推動到承載板上，直到閥板和承載板的共同作用的夾緊面互相止動(Anschlagen)。在該狀 態(tài)中，安裝至少一個夾緊件，以為了固定閥板。通過該引導部，閥板在夾緊件被安裝時已經(jīng) 確保防止脫落并且相對于承載板而預先定位。為了相對于承載板引導閥板，有利地在這兩個部件中的一個中構(gòu)造有至少一個側(cè) 凹(hinterschnitten)的凹槽，這兩個部件中的另一個的突出部(Vorsprung)接合到該凹 槽中，其中，突出部與側(cè)凹的凹槽的構(gòu)造成側(cè)凹的側(cè)壁(周面(Flanke))共同作用。這樣的 弓I導部可尤其構(gòu)造成燕尾形引導部的形式。真空閥(在該真空閥中可應用根據(jù)本發(fā)明的封閉單元)具有帶有第一和第二閥孔 的閥殼體，該第一和第二閥孔由第一和第二閥座所圍繞，其中，第一閥板可壓靠到第一閥座 處，以為了使第一閥孔封閉，以及第二閥板可壓靠到第二閥座處，以為了使第二閥孔封閉。例如，根據(jù)本發(fā)明的真空閥可構(gòu)造成在用于執(zhí)行真空處理(Vakuumprozess)的處 理裝置(Prozessanlage)的輸送腔(Transferkammer)和處理腔(Prozesskammer)之間的輸送閥(Transferventil)。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，設置有用于固定在用于真空閥的封閉單元的承載板處的 閥板，其中，閥板具有至少一個構(gòu)造成斜面的形式的夾緊面，借助于該夾緊面，在將閥板與 承載板夾緊(該夾緊通過至少一個夾緊件而實現(xiàn))時，可將閥板壓靠到承載板處。優(yōu)選地， 閥板具有第一和第二夾緊面，該第一和第二夾緊面分別構(gòu)造成斜面的形式，并且其中，第一 夾緊面設置成用于與承載板的構(gòu)造成斜面的形式的夾緊面共同作用，以及其中，第二夾緊 面設置成用于與至少一個夾緊件的構(gòu)造成斜面的形式的夾緊面共同作用。此外，優(yōu)選，設置 有用于構(gòu)造在閥板和承載板之間的引導部的凹槽或突起部O^ortsatz)，其中，引導部確保 閥板不會從承載板上升起，尤其構(gòu)造成燕尾形引導部的形式。在此，引導部的軌道有利地為 成角度的，優(yōu)選垂直于閥板的相應斜面的縱向伸展(Langsausdehnung)。


在下文中借助于附圖來解釋本發(fā)明的其它的優(yōu)點和細節(jié)。其中圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的封閉單元的斜視圖；圖2顯示了圖1的封閉單元的分解圖；圖3顯示了承載板的斜視圖；圖4單獨地顯示了在圖1和圖2位于后面的閥板的斜視圖；圖5顯示了沿著圖1的線AA的橫截面圖；圖6顯示了沿著圖1的線BB的橫截面圖；圖7在相應于圖6的橫截面圖中顯示了在分離狀態(tài)中的承載板和兩個閥板，其中， 它們與相連接的狀態(tài)相比以彼此平行的方式移位；圖8顯示了縱向中心截面圖(圖1的剖切線CC)；圖9顯示了帶有相應于圖1的封閉單元的真空閥的斜視圖；圖10顯示了穿過在第一關閉位置中的真空閥的截面圖；圖11顯示了在第二關閉位置中的真空閥的一部分的相應于圖10的截面圖；以及圖12顯示了在打開位置中的真空閥的一部分的相應于圖12的截面圖。參考標號列表1閥殼體2 閥孔3 閥孔4 軸線5 軸線6封閉單元7第一閥板8第二閥板9密封件10密封件11第一閥座12第二閥座
13閥桿14執(zhí)行機構(gòu)15執(zhí)行機構(gòu)16執(zhí)行機構(gòu)17軸線18驅(qū)動殼體19承載板20夾緊件21夾緊件22夾緊面23第一夾緊24第二夾緊25夾緊面26夾緊面27夾緊螺栓28角度29軸線30中心面31角度32角度33凹槽34突出部35容納孔36連接螺栓37螺紋孔38螺紋孔39螺紋孔40螺紋孔41密封件
具體實施例方式在圖1至8中示出了根據(jù)本發(fā)明的封閉單元的實施例。圖9至12顯示了真空閥 的實施例(部分圖解示出)，在該真空閥中裝有這種封閉單元。該真空閥具有帶有第一和第 二閥孔2，3的閥殼體1，該第一和第二閥孔2，3布置在閥殼體1的相對的壁部中。閥孔2，3 在所顯示的實施例中對齊，也就是說在閥孔2，3的軸線4，5的方向上的視圖中觀察彼此重 疊，其中，優(yōu)選地，閥孔2，3的軸線4，5彼此平行，并且位于共同的直線中。尤其地，閥孔2， 3具有相同的尺寸。在所顯示的實施例中，閥孔2，3構(gòu)造成槽口狀，其中，該閥孔2，3具有基本上為矩 形的截面形式，其中，較長的側(cè)邊比較短的側(cè)邊明顯更大。帶有這樣的閥孔的真空閥例如應用為半導體處理裝置(Halbleiter-Prozessanlage)中的輸送閥。在此，真空閥例如布置在 輸送模塊(Transfermodul)(即，輸送腔)和處理模塊(Prozessmodul)(即，處理腔)之間， 其中，待加工的工件、尤其為晶片(其可在處理模塊中被加工)從輸送模塊通過真空閥而引 導到處理模塊中。例如，這樣的真空閥還可布置在加載鎖止模塊(Load-Lock-Modul)和輸 送模塊之間，其中，工件從大氣區(qū)域(Atmospharenbereich)通過加載鎖止模塊而引入到 輸送模塊中。布置在閥殼體1中的封閉單元6用作關閉真空閥的第一閥孔2或者第二閥孔3，該 封閉單元6包括第一和第二閥板7，8，該第一和第二閥板7，8分別具有密封件9，10。在第 一關閉狀態(tài)(在該第一關閉狀態(tài)中，第一閥孔2關閉而第二閥孔3打開(參見圖10))中， 第一閥板7的密封件9壓靠到圍繞第一閥孔2的第一閥座11處。與此相反，第二閥板8的 密封件10從圍繞第二閥孔3的第二閥座12上升起。在第二關閉狀態(tài)(在該第二關閉狀態(tài)中，第二閥孔3關閉而第一閥孔2打開(參 見圖11))中，第二閥板8的密封件10壓靠到第二閥座12處，同時第一閥板7的密封件9 從第一閥座11上升起。在完全打開的狀態(tài)中(參見圖12)，第一和第二閥孔2，3打開，其中，在閥孔2，3的 軸線4，5的方向上觀察，封閉單元6與閥孔2，3不重疊。為了使封閉單元6在真空閥的這些狀態(tài)之間運動，將封閉單元6安置在閥桿13 處。利用相應的執(zhí)行機構(gòu)14，15，16來實現(xiàn)閥桿13的運動。將封閉單元6從真空閥的打開位置(圖12)調(diào)節(jié)到真空閥的關閉狀態(tài)中的一個 (圖10或圖11)中通過這樣的中間位置來實現(xiàn)，即，在該中間位置中，封閉單元6在閥孔2， 3的軸線4，5的方向上觀看覆蓋(Uberdecken) 了閥孔2，3，但是從閥座11，12上升起。因 此在該中間位置中，封閉單元6處于在在圖10和11中示出的位置之間。為了在中間位置和壓靠在閥座11，12中的一個處的位置之間調(diào)節(jié)封閉單元6，在 所顯示的實施例中，使閥桿13繞垂直于閥桿13的軸線17擺動。作為用于使閥桿13繞軸 線17擺動的執(zhí)行機構(gòu)14，15，示意性示出活塞缸體單元(Kolben-Zylinder-Einheit)。為 了使閥桿13在其中間位置和在圖12中示出的打開位置之間被調(diào)節(jié)，作為執(zhí)行機構(gòu)16同樣 示意性示出活塞缸體單元。該活塞缸體單元的缸體以相對于閥殼體1或與該閥殼體1剛性 連接的驅(qū)動殼體18可繞軸線17擺動的方式而支承。執(zhí)行機構(gòu)14，15與執(zhí)行機構(gòu)16的缸 體共同作用，以為了使該缸體繞軸線17擺動。這樣的真空閥(在該真空閥中，通過擺動閥桿來實現(xiàn)將封閉單元6壓靠在一個閥 座11，12處或備選地壓靠到兩個相對的閥座11，12中的一個處，封閉單元安置到該閥桿處) 例如從在說明書引言中提及的現(xiàn)有技術中是已知的。例如，還可行的是，例如通過對于執(zhí)行機構(gòu)16的缸體的線性引導 (LinearfUhrung)，將閥桿13構(gòu)造成可在閥孔2，3的軸線4，5的方向上線性移位，以為了使 封閉單元6從中間位置開始通過線性運動壓靠到閥座11，12中的一個處。作為以活塞缸體單元的形式的其它的執(zhí)行機構(gòu)14，15，16也是可行的。在下文中借助于圖1至8詳細地解釋封閉單元6的構(gòu)造。兩個閥板7，8以可松開 的方式固定在承載板19處，其中，承載板19位于這兩個閥板7，8之間。相應閥板7，8以側(cè) 面(該側(cè)面由閥板7，8的大面形成)貼靠在承載板19的側(cè)面(該側(cè)面由承載板19的大面中的相應一個形成)處。在形成閥板的另一大面的側(cè)面(該側(cè)面與貼靠在承載板19處的 側(cè)面相對)處布置有相應閥板7，8的密封件9，10。因此，閥板7，8中的一個分別貼靠在承載板19的兩個側(cè)面處，這兩個側(cè)面形成承 載板19的兩個大面，并且這兩個側(cè)面以相反的方向指向。例如，環(huán)狀的彈性密封件9，10以0形環(huán)(O-Ring)的形式而構(gòu)造，該密封件9，10 插入閥板7，8的凹槽中。例如，構(gòu)造成硫化(anvulkanisieren)的環(huán)狀的密封件的形式也 是可行的。夾緊件20用作將第一閥板7固定在承載板19處，夾緊件21用作將第二閥板8固 定在承載板19處。夾緊件20，21具有夾緊面22，其中，夾緊件20的夾緊面22與第一閥板 7的第一夾緊面共同作用，而夾緊件21的夾緊面22與第二閥板8的第一夾緊面23共同作用。此外，第一和第二閥板7，8分別還具有第二夾緊面M，該第二夾緊面M與承載板 19的相應的夾緊面25，沈共同作用。借助于夾緊件20，21，夾緊件和相應的閥板7，8的共同作用的夾緊面22，23以及相 應的閥板7，8和承載板19的共同作用的夾緊面M，25J6彼此夾緊。夾緊螺栓27用于實 現(xiàn)該目的，借助于該夾緊螺栓27將夾緊件20，21與承載板19旋緊。在所顯示的實施例中， 夾緊螺栓27穿過夾緊件20，21中的孔，并且旋入承載板19的螺紋孔37中。夾緊面2246構(gòu)造成共同作用的斜面。在此，“斜面”表示，夾緊面2246或其表面 法線(Oberflachennormale)傾斜于夾緊力F(該夾緊力F以符號的形式示出在圖6中)， 利用該夾緊力F將夾緊件20，21朝向閥板7，8夾緊。例如，在相應的夾緊面22- 和夾緊 力F之間的角度觀處于30°和60°之間的范圍中，優(yōu)選為約45°。夾緊面22-26的傾斜 的布置使得通過共同作用的夾緊面2246分別產(chǎn)生在朝向承載板19的方向上作用到相應 的閥板7，8上的分力Fk。垂直于共同作用的斜面的、由斜面所傳遞的法向力1 以及該法向 力而分解成在朝向承載板19的方向中指向的分力1 以及平行于承載板19而起作用的分 力同樣示出在圖6中。夾緊力F平行于相應的夾緊螺栓27的軸線四。有利地，來自相同側(cè)邊的多個夾緊件20，21作用到閥板7，8中的任一個上，其中， 夾緊螺栓27的軸線四彼此平行。在所顯示的實施例中，閥板7，8在其大側(cè)邊的視圖上觀看具有基本上為矩形的形 狀(帶有倒圓角的拐角的矩形)。夾緊件20，21作用到相應閥板7，8的較長的側(cè)邊上，其 中，該夾緊件20，21沿著該較長的側(cè)邊彼此間隔開。在此，優(yōu)選地，容納夾緊螺栓27的螺紋 孔37端側(cè)地布置在承載板的窄側(cè)中的一個處，其中，容納用于為第一閥板7所用的夾緊件 20的夾緊螺栓27的螺紋孔37以及容納用于為第二閥板8所用的夾緊件21的夾緊螺栓27 的螺紋孔37旋入到承載板19的相同的窄側(cè)中。在穿過每個閥板7，8的平行于夾緊力F的截面中，夾緊面23，M在所顯示的實施 例中布置在相應閥板7，8的指向承載板19的突出部的側(cè)向周面Geitenflanke)處。在 此，在該夾緊面23J4上的表面法線背離承載板19的中央的中心面30(參見圖7)指向， 其中，該表面法線與中心面30包夾不等于90°的角度31，優(yōu)選地，該角度31位于20° 和70°之間的范圍中，例如為約45°。隨著與承載板19的中心面30的間距的增大，夾緊面23J4彼此相接近?？傮w而言，具有夾緊面23，24的突出部具有如燕尾形連接部 (Schwalbenschwanzverbindung)白勺形狀。在承載板19的夾緊面25J6上的表面法線指向中央的中心面30，其中，該表面法 線與中央的中心面30包夾不等于90°的角度32，優(yōu)選地，該角度32位于20°和70°之間 的范圍中，例如為約45°。在安裝位置中，在夾緊件20，21的夾緊面22上的表面法線指向承載板19的中央 的中心面30，并且與中央的中心面30包夾不等于90°的角度優(yōu)選地，該該角度位于20°和 70°之間的范圍中，例如為約45°。承載板19的中心面30位于承載板19的兩個側(cè)面之間的中間，第一和第二閥板7， 8貼靠在這兩個側(cè)面處。在承載板19安裝到閥桿13處的狀態(tài)中，中心面30優(yōu)選平行于閥 桿13。此外，閥板2，3通過引導部與承載板19相連接，通過該引導部使閥板2，3可推動 到承載板19上。通過該引導部，還確保閥板7，8不會在這樣的方向中相對于承載板19移 位，即，該方向垂直于夾緊力F的方向并且平行于中心面30。還可以另外的方式實現(xiàn)這種確保相應的閥板7，8不會在該方向中相對于承載板 19移位，例如通過在承載板19和閥板7，8中的形狀配合地彼此共同作用的突出部和凹部 (Vertiefung)。然而，只要在將相應的閥板7，8安裝在承載板19處時夾緊件20，21還沒有被安裝 (通過該夾緊件20，21確保相應的閥板7,8不會從承載板19上升起)，則構(gòu)造在相應的閥 板7，8和承載板19之間的引導部還用作將相應的閥板7，8保持在承載板19處。為了構(gòu)造這樣的引導部(該引導部構(gòu)造成滑動引導部(GleitfUhrimg))，相應閥 板7，8在其指向承載板19的側(cè)面處具有側(cè)凹的凹槽33，布置在承載板19處的突出部34接 合到該凹槽33中，該突出部34與凹槽33的側(cè)凹的側(cè)壁或周面共同作用，以使得防止相應 的閥板7，8從承載板19上升起。如尤其從圖8中可看見的那樣，突出部34具有側(cè)凹的側(cè) 壁或周面，該側(cè)壁或周面與凹槽33的側(cè)凹的側(cè)壁共同作用。凹槽33的側(cè)凹的側(cè)壁和突出 部34的側(cè)凹的側(cè)壁形成在相應的閥板7，8和承載板19之間的引導部的引導面。有利地， 如從附圖中可看見的那樣，該引導部構(gòu)造成燕尾形引導部的形式。其它形式的帶有側(cè)凹的 側(cè)壁的側(cè)凹的凹槽33或突出部34同樣是可設想的且可行的。側(cè)凹的凹槽還可構(gòu)造在承載 板19處，而突出部34構(gòu)造在閥板7，8處。這樣的方向(即，在該方向中，相應的閥板7，8通過構(gòu)造成線性引導部的引導部而 相對于承載板19被引導)在所顯示的實施例中平行于夾緊力F，如所優(yōu)選的那樣。可使相應的閥板7，8通過構(gòu)造在相應閥板7，8和承載板19之間的引導部推動到 承載板上，直到相應的閥板7，8和承載板19的共同作用的夾緊面M，25，26互相止動時。通 過該止動限制了推動。當閥板7，8從上方推動到承載板19上時，則因此確保閥板7，8不會脫落。此夕卜， 在緊固(anziehen)夾緊件20，21前，使閥板7，8相對于承載板19預先定位。從圖3中可看見面向第一閥板7的側(cè)面，在該側(cè)面處布置有突出部34和夾緊面 25。原則上以同樣方式構(gòu)造相對的側(cè)面，僅是在該處突出部34伸展直到上邊緣(該突出部 34還可在兩個側(cè)邊上伸展直到上邊緣或在兩個側(cè)邊上以與上邊緣有間隔的方式而結(jié)束)。
從圖1和2中可看見第一閥板7的遠離承載板19的側(cè)面，在該側(cè)面處布置有密封 件9。以同樣方式構(gòu)造第二閥板8的遠離承載板19的表面，在該表面處布置有密封件10。從圖4中可看見第二閥板8的面向承載板19的側(cè)面，在該側(cè)面處布置有側(cè)凹的凹 槽33以及第一和第二夾緊面23，24。以同樣方式構(gòu)造第一閥板11的面向承載板19的側(cè)為了盡管在關閉閥孔2，3中的一個時使閥桿繞軸線17傾斜但仍在封閉單元6壓 靠到相應閥座11，12處的狀態(tài)中獲得密封件的在相應密封件9，10的周緣上均勻的壓擠 (Verpressimg)，使閥板7，8的兩個遠離承載板19的側(cè)面為彼此成角度。所包夾的角度在 本實施例中為1.6°，根據(jù)應用情況該角度同樣可更大或更小，在此，例如在1°和3°之間 的范圍中。該有角度的狀況在本實施例中通過第二閥板8的楔形的(keilfbrmig^^造而實 現(xiàn)。還可將兩個閥板7，8構(gòu)造成楔形和/或承載板19構(gòu)造成楔形(分別基于橫截面)。例如，代替閥板7，8的兩個遠離承載板19的側(cè)面的這樣的成角度的布置，還可行 的是，承載板19以可相對于閥桿13傾斜的方式而支承。這樣的可傾斜的支承例如從在說明 書引言中提及的根據(jù)文件US6，471，181 B2的現(xiàn)有技術中為已知的。例如，承載板相對于閥 桿的可傾斜的支承還可通過由金屬制成的有足夠彈性的連接元件來實現(xiàn)，通過該連接元件 承載板與閥桿相連接。此外，當代替使閥桿繞軸線17傾斜而執(zhí)行閥桿13的線性移位(以 為了將封閉單元6從中間位置起壓靠到兩個閥座11，12中的一個處)時，則成角度的布置 也不是必要的。例如，如所示出的那樣，如此地實現(xiàn)承載板19與閥桿13的連接，即，使得閥桿13 的端部插入到承載板19的容納孔35中，并且從承載板19的相對的側(cè)邊使連接螺栓36伸 出穿過在承載板19中的孔口并且旋入端側(cè)地引入在閥桿13的端部處的螺紋中。連接螺栓 36和閥桿13的軸線平行于承載板19的中心面30。在此，在承載板19和閥桿13相連接的 狀態(tài)中可構(gòu)造承載板19繞著閥桿13的軸線的受限制的可擺動性，以為了使得封閉單元6 相對于閥座11，12的位置的匹配成為可能。這樣的構(gòu)造在閥桿與閥板相連接的情況中例如 從開頭所提及的根據(jù)文件US 7，134，642 B2的現(xiàn)有技術中是已知的。優(yōu)選地，閥板7,8分別在其窄側(cè)(該窄側(cè)在真空閥的使用位置中位于上方，也就是 遠離閥桿13的窄側(cè))處具有至少一個螺紋孔38，39，在安裝和拆卸時工具可旋入到該螺紋 孔38，39中，以為了安裝或拆卸閥板7，8。這樣的利用工具的操作例如從在說明書引言中所 提及的根據(jù)文件US 7，134，642 B2的現(xiàn)有技術中是已知的。優(yōu)選地，承載板19同樣在其在 安裝位置中位于上方的窄側(cè)處具有這樣的螺紋孔40，以使得該承載板19在其安裝在閥桿 13處或從閥桿13上拆卸時可通過旋入工具而被承載。在處理腔的側(cè)邊上，閥殼體在所顯示的實施例中具有可取出的插入件(Einsatz)， 該插入件在面向閥板的側(cè)邊上具有密封件41，該密封件41位于密封件9和閥孔2之間并且 應保護密封件9免于受到進入到處理腔中的氣體的侵蝕。閥板7和具有密封件41的插入 件可設有起保護作用免受處理氣體(Prozessgas)影響的涂層。當兩個相應地共同作用的夾緊面22-26中的僅一個構(gòu)造成斜面時，還可構(gòu)造在朝 向承載板19的方向上指向的分力Fk，其中，優(yōu)選將兩個分別共同作用的夾緊面構(gòu)造成斜 面。當僅僅從相應的夾緊件20，21和相應的閥板7，8的共同作用的夾緊面中使至少一個、優(yōu)選兩個構(gòu)造成斜面時，或者當僅僅從在相應閥板7，8和承載板19之間的共同作用的夾緊 面中使至少一個、優(yōu)選兩個構(gòu)造成斜面時，還可實現(xiàn)將相應的閥板7，8壓靠到承載板19處。 然而，優(yōu)選的是，不僅在相應夾緊件20，21和相應閥板7，8之間有至少一個斜面、優(yōu)選兩個 共同作用的斜面起作用，而且在相應閥板7，8和承載板19之間有至少一個斜面、優(yōu)選兩個 共同作用的斜面起作用。當緊固夾緊件20或21時，根據(jù)在相應閥板7，8和承載板19之間的引導部的間隙 而定，引導面不發(fā)生接合。承載板19的夾緊面25J6還可布置在突出部34的在附圖中位于上方的邊緣處 (也為突出部34的這樣的邊緣，即，該邊緣在與推動相應的閥板7，8相反的方向上指向)。 那么，相應閥板7，8的與該夾緊面25，沈共同作用的第二夾緊面M布置在凹槽33的在圖 4中向上限制凹槽33的邊緣處。為了使夾緊面22和25或沈以及夾緊面23和M在夾緊 力F的方向中有利地間隔開，相比于針對承載板19的在圖3中位于前面的側(cè)邊，突出部34 適宜地向上伸展稍低的程度。在此，另一方面還可將突出部34布置在相應閥板8處，以及將凹槽33布置在承載 板19處。用于相應的閥板8相對于承載板19的相應引導部還可包括兩個凹槽33，這兩個 凹槽33與兩個突出部34共同作用，其中，兩個凹槽33或兩個突出部34可布置在承載板 19或閥板7，8的中央?yún)^(qū)域(閥桿接合在該區(qū)域處)的兩側(cè)上且與該中央?yún)^(qū)域有間隔。為 了防止閥板7，8從承載板19上升起，突出部和凹槽又具有側(cè)凹的側(cè)壁。為了有助于引入 (EinfUhren)，凹槽可在引入側(cè)擴張(在相應凹槽的視圖中成V形)和/或突出部在引入側(cè) 構(gòu)造成錐形(在相應突出部的視圖中成V形)。如上文所描述的那樣，共同作用的夾緊面 又可構(gòu)造在凹槽和突出部的邊緣處，該邊緣限制了閥板7，8推動到承載板19上。同樣，夾 緊件21的共同作用的夾緊面22和閥板7,8的第一夾緊面23可分別布置成與相應閥板7， 8或承載板19的中央?yún)^(qū)域有間隔。由此，在承載板19和相應閥板7,8之間的連接僅在兩個 區(qū)域中實現(xiàn)，這兩個區(qū)域與帶有閥桿13的連接區(qū)域在兩側(cè)上間隔開。在此，承載板19在這 樣的區(qū)段(該區(qū)段在帶有相應閥板7,8的相應連接區(qū)域和帶有閥桿13的連接區(qū)域之間延 伸)中構(gòu)造成削弱的(geschwacht)，并且在此在該區(qū)段上與相應的閥板7，8具有間距。因 此，構(gòu)造了用于承載板19的可扭轉(zhuǎn)性(Verwindbarkeit)的可行性，由此，使得閥板7，8繞 垂直于閥桿13的軸線的一定的傾斜(旋轉(zhuǎn))成為可能。這樣的可傾斜的支承可代替同樣 可行的已經(jīng)提及的根據(jù)文件US 6，471，181 B2的類型的可傾斜的支承。在文字的意義上，將承載閥板的部件的不同的構(gòu)造理解為承載板(可將閥板以所 描述的方式安置在該承載板處)，該部件具有至少構(gòu)造成板狀的區(qū)段，在安裝的狀態(tài)中將閥 板壓靠在這些區(qū)段處。在這些區(qū)段之間還可有承載板的桿狀的區(qū)段，例如，如所描述的那 樣，該桿狀的區(qū)段根據(jù)扭桿(Torsionsstab)的類型而構(gòu)造。假如僅在兩個區(qū)域(這兩個區(qū)域與帶有閥桿13的承載板19的連接區(qū)域間隔開并 且位于該連接區(qū)域的相對的側(cè)邊上)中實現(xiàn)閥板7，8與承載板19的夾緊，則還可僅設有單 獨的用于閥板7，8中任一個的、確保閥板不會從承載板上升起的引導部，其中，該引導部布 置成與帶有閥桿13的承載板19的連接區(qū)域有間距。由此，可避免由于不同的熱膨脹所導 致的夾緊。
權(quán)利要求
1.一種用于真空閥的封閉單元，該封閉單元包括用于使所述真空閥的第一閥孔(2)封 閉的第一閥板(7)和用于使所述真空閥的第二閥孔(3)封閉的第二閥板(8)，其特征在于， 所述封閉單元(6)包括承載板(19)，所述承載板(19)位于所述閥板(7，8)之間并且所述閥 板(7，8)以可松開的方式固定在所述承載板(19)處，并且為了將相應的閥板(7，8)固定在 所述承載板(19)處所述封閉單元(6)具有相應的至少一個夾緊件00，21)，借助于所述夾 緊件O0，21)將共同作用的夾緊面(22-26)彼此夾緊，在所述夾緊面0216)中至少一個 構(gòu)造成斜面，通過所述斜面將所述相應的閥板(7，8)壓靠到所述承載板(19)處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封閉單元，其特征在于，借助于至少一個夾緊件(20，21)使所 述閥板(7，8)和所述承載板(19)的共同作用的夾緊面04，25，26)彼此夾緊，并且使所述 閥板(7，8)和所述夾緊件O0，21)的共同作用的夾緊面(23，22)彼此夾緊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的封閉單元，其特征在于，所有的彼此夾緊的夾緊面 (22-26)構(gòu)造成斜面，通過所述斜面將所述相應的閥板(7，8)壓靠到所述承載板(19)處。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的封閉單元，其特征在于，為了夾緊相應的夾緊件 00，21)，設置有至少一個與所述夾緊件O0，21)共同作用的夾緊螺栓07)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的封閉單元，其特征在于，相應的閥板(7，8)借助 于兩個或更多個夾緊件00，21)與所述承載板(19)夾緊。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的封閉單元，其特征在于，將相應的閥板(7，8)與所述承載板 (19)夾緊的夾緊件(20，21)沿著構(gòu)造成基本上為矩形的閥板(7，8)的較長的側(cè)邊而布置成 彼此有間隔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的封閉單元，其特征在于，為了構(gòu)造在朝向所述承 載板(19)的方向上作用到所述相應的閥板(7，8)上的分力0 )，布置在所述承載板(19) 處的構(gòu)造成斜面的夾緊面(25，26)的表面法線指向所述承載板(19)的中央的中心面(30)， 所述夾緊面05二6)與布置在所述閥板(7，8)中的一個處的夾緊面04)共同作用。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的封閉單元，其特征在于，為了構(gòu)造在朝向所述 承載板(19)的方向中作用到所述相應的閥板(7，8)上的分力，布置在所述相應的夾緊件 (20,21)處的構(gòu)造成斜面的夾緊面02)的表面法線指向所述承載板(19)的中央的中心面 (30)，所述夾緊面02)與布置在所述閥板(7，8)中的一個處的夾緊面03)共同作用。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的封閉單元，其特征在于，相應的閥板(7，8)通過 構(gòu)造在所述閥板(7，8)和所述承載板(19)之間的引導部而可推動到所述承載板(19)上， 其中，所述引導部確保所述閥板(7，8)不會從所述承載板(19)上升起。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的封閉單元，其特征在于，為了相對于所述承載板(19)引導所 述相應的閥板(7，8)，在所述閥板(7，8)中或在所述承載板(19)中構(gòu)造有側(cè)凹的凹槽，布置 在這兩個部件中的另一個處的突出部(34)接合到所述凹槽中，其中，所述突出部與所述側(cè) 凹的凹槽(33)的構(gòu)造成側(cè)凹的側(cè)壁共同作用。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的封閉單元，其特征在于，可使所述相應的閥板(7，8) 推動到所述承載板(19)上，直到所述閥板(7，8)和所述承載板(19)的共同作用的夾緊面 (24，25，26)互相止動。
12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一項所述的封閉單元，其特征在于，由在所述相應的閥 板(7，8)和所述承載板(19)之間的引導部所預設的軌道平行于作用到所述相應的夾緊件(20,21)上的夾緊力(F)而取向。
13.一種真空閥，該真空閥包括閥殼體(1)，該閥殼體⑴帶有由第一閥座(11)所圍 繞的第一閥孔⑵和由第二閥座(12)所圍繞的第二閥孔(3)；和封閉單元(6)，所述封閉單 元(6)具有用于使所述第一閥孔( 封閉的第一閥板(7)以及用于使所述第二閥孔(3)封 閉的第二閥板(8)，其特征在于，所述封閉單元(6)根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項構(gòu)造。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的真空閥，其特征在于，所述封閉單元(6)安置在閥桿(13) 處，可由所述閥桿(1 在打開位置、中間位置、第一關閉位置以及第二關閉位置之間來調(diào) 節(jié)所述封閉單元(6)，所述打開位置開啟所述第一和第二閥孔0，3)，所述中間位置在所述 第一和第二閥孔0，3)的軸線0，5)的方向上觀看覆蓋了所述第一和第二閥孔(2，；3)但是 從所述第一和第二閥座(11,1 上升起，在所述第一關閉位置中所述第一閥板(7)壓靠到 所述第一閥座(11)處而所述第二閥板(8)從所述第二閥座(1 上升起，在所述第二關閉 位置中所述第二閥板(8)壓靠到所述第二閥座(1 處而所述第一閥板(7)從所述第一閥 座(11)上升起。
15.一種用于固定在用于真空閥的封閉單元(6)的承載板(19)處的閥板，其特征在于， 所述閥板(7，8)具有至少一個構(gòu)造成斜面的形式的夾緊面03，M)，通過所述夾緊面03， 24)可通過借助于至少一個夾緊件(20，21)將所述閥板(7，8)與所述承載板(19)夾緊而將 所述閥板(7，幻壓靠到所述承載板(19)處。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的閥板，其特征在于，所述閥板(7，8)附加地具有引導面，以 用于構(gòu)造用于使所述閥板(7，8)推動到所述承載板(19)上的引導部以及用于確保所述閥 板(7，8)不會從所述承載板(19)上升起。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的閥板，其特征在于，所述引導面由所述閥板(7，8)的凹槽 (33)或突出部的構(gòu)造成側(cè)凹的側(cè)壁形成，所述凹槽(3 或所述突出部布置在所述閥板(7， 8)的面向所述承載板(19)的側(cè)邊上。
18.根據(jù)權(quán)利要求16或17所述的閥板，其特征在于，所述至少一個構(gòu)造成斜面的形式 的夾緊面03，24)形成用于限制所述閥板(7，8)滑動到所述承載板(19)上的止動部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于真空閥的封閉單元，具體而言，該封閉單元包括用于使真空閥的第一閥孔(2)封閉的第一閥板(7)；用于使真空閥的第二閥孔(3)封閉的第二閥板(8)；承載板(19)，該承載板(19)位于閥板(7，8)之間并且閥板(7，8)以可松開的方式固定在該承載板(19)處；相應的至少一個夾緊件(20，21)，以用于將相應的閥板(7，8)固定在承載板(19)處，由該夾緊件(20，21)使共同作用的夾緊面(22-26)彼此夾緊。在共同作用的夾緊面(22-26)中構(gòu)造有至少一個斜面，通過該斜面將相應的閥板(7，8)壓靠到承載板(19)處。
文檔編號F16K3/14GK102052474SQ201010536499
公開日2011年5月11日 申請日期2010年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月27日
發(fā)明者A·梅爾克, E·貝勒里, S·肖赫 申請人:Vat控股公司