空氣懸浮軸承的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種軸承，具體地涉及一種空氣懸浮軸承。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在平板顯示、半導(dǎo)體，醫(yī)藥，生物科技等行業(yè)中，在工藝制程中關(guān)于環(huán)境潔凈度的要求極其苛刻，相應(yīng)對(duì)設(shè)備內(nèi)部的污染物顆粒度控制的要求也極為嚴(yán)格。
[0003]目前，軸承主要功能是支撐機(jī)械旋轉(zhuǎn)體，用以降低設(shè)備在傳動(dòng)過(guò)程中的機(jī)械載荷摩擦系數(shù)。根據(jù)對(duì)傳統(tǒng)軸承的摩擦分析與實(shí)際應(yīng)用觀察，傳統(tǒng)軸承無(wú)法避免摩擦而產(chǎn)生顆粒物，在實(shí)際應(yīng)用中，通過(guò)添加潤(rùn)滑劑或者使用自潤(rùn)滑材料以及對(duì)軸承內(nèi)部進(jìn)行精密加工可以一定程度上改善顆粒物的產(chǎn)生狀況，但仍然也無(wú)法根本性地杜絕微觀污染；而在一些特殊環(huán)境中，如酸性環(huán)境中，傳統(tǒng)的金屬軸承無(wú)法得到應(yīng)用，只能采用特種塑料軸承，由于塑料的特性，其產(chǎn)塵更加無(wú)法得到根本性控制。
[0004]目前，市面上已經(jīng)有一些氣體懸浮軸承，但其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積龐大，耗氣量巨大，使用較為繁瑣，并且不適宜在高精密的應(yīng)用領(lǐng)域使用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、耗氣量低的空氣懸浮軸承。
[0006]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種空氣懸浮軸承，它包括帶有安裝孔的固定座以及安裝所述安裝孔中的套環(huán)，所述套環(huán)由多孔陶瓷制成，所述固定座在與所述套環(huán)接觸的一面上設(shè)有圍繞所述套環(huán)一周的氣體分布流道，所述固定座頂部設(shè)有與所述氣體分布流道相連通的進(jìn)氣口。
[0007]優(yōu)化地，所述套環(huán)的厚度為5~8毫米。
[0008]優(yōu)化地，所述氣體分布流道呈環(huán)形，其寬度比所述套環(huán)的寬度小。
[0009]優(yōu)化地，所述固定座包括固定基板以及安裝在所述固定基板上且與其一體成型的固定立塊，所述安裝孔設(shè)置在所述固定立塊上。
[0010]進(jìn)一步地，所述固定基板上設(shè)置有至少兩個(gè)固定孔。
[0011]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型空氣懸浮軸承，一方面在固定座的安裝孔內(nèi)設(shè)置多孔陶瓷制成的套環(huán)，使得套環(huán)具有高耐熱性、耐化學(xué)腐蝕性、耐磨耗性、輕量、絕緣性能高、內(nèi)部不發(fā)塵等優(yōu)點(diǎn)；另一方面在固定座上設(shè)有圍繞套環(huán)一周的氣體分布流道并設(shè)有與氣體分布流道相連通的進(jìn)氣口，利用多孔陶瓷本身具有的多孔性質(zhì)，使得整個(gè)套環(huán)均布?xì)怏w，使得氣流在軸與軸承之間形成分子級(jí)的空氣膜，有效降低耗氣量的同時(shí)避免軸承與軸直接的摩擦，從而完全避免了顆粒物的產(chǎn)生。
【附圖說(shuō)明】
[0012]附圖1為本實(shí)用新型空氣懸浮軸承的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]附圖2為本實(shí)用新型空氣懸浮軸承的截面圖；
[0014]其中，1、固定座；11、固定基板；111、固定孔；12、固定立塊；121、進(jìn)氣口 ；122、安裝孔；123、氣體分布流道；2、套環(huán)。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明:
[0016]如圖1和圖2所示的空氣懸浮軸承，主要包括固定座I和套環(huán)2。
[0017]其中，固定座I上設(shè)置有安裝孔122，用于安裝套環(huán)2 ;套環(huán)2由多孔陶瓷(多孔質(zhì)陶瓷材料是以高硅質(zhì)硅酸鹽、鋁硅酸鹽等為主劑，添加一定的輔助劑，通過(guò)一定工藝使主劑與輔助劑產(chǎn)生共晶反應(yīng)，并在高溫?zé)Y(jié)而成)制成，用于套接在轉(zhuǎn)軸或旋轉(zhuǎn)體的外表面上，這使得套環(huán)2具有高耐熱性、耐化學(xué)腐蝕性、耐磨耗性、輕量、絕緣性能高、內(nèi)部不發(fā)塵等優(yōu)點(diǎn)，并且它的內(nèi)部具有分布均勻，孔徑規(guī)則，透氣率高的氣孔結(jié)構(gòu)。固定座I與套環(huán)2接觸的一面上向內(nèi)凹陷形成氣體分布流道123，該氣體分布流道123圍成一圈設(shè)置在套環(huán)2的外表面。固定座I的頂部設(shè)有與氣體分布流道123相連通的進(jìn)氣口 121。當(dāng)壓縮空氣經(jīng)由進(jìn)氣口 121導(dǎo)入氣體分布流道123中，從而均勻分布于套環(huán)2的圓周面上，并經(jīng)由氣孔結(jié)構(gòu)使得整個(gè)套環(huán)2均布?xì)怏w，使得氣流在轉(zhuǎn)軸與套環(huán)2之間形成分子級(jí)的空氣膜，有效降低耗氣量的同時(shí)避免套環(huán)2與轉(zhuǎn)軸直接的摩擦，從而完全避免了顆粒物的產(chǎn)生。
[0018]在本實(shí)施例中，套環(huán)2的厚度優(yōu)選為5~8毫米。氣體分布流道123呈環(huán)形，其寬度比套環(huán)2的寬度小。固定座I包括固定基板11以及安裝在固定基板11上且與其一體成型的固定立塊12，安裝孔122設(shè)置在固定立塊12上。固定基板11上設(shè)置有至少兩個(gè)固定孔111，方便對(duì)其進(jìn)行固定。
[0019]上述實(shí)施例只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種空氣懸浮軸承，它包括帶有安裝孔(122)的固定座(I)以及安裝所述安裝孔(122)中的套環(huán)(2)，其特征在于:所述套環(huán)(2)由多孔陶瓷制成，所述固定座(I)在與所述套環(huán)(2)接觸的一面上設(shè)有圍繞所述套環(huán)(2)—周的氣體分布流道(123)，所述固定座(I)頂部設(shè)有與所述氣體分布流道(123)相連通的進(jìn)氣口(121)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣懸浮軸承，其特征在于:所述套環(huán)(2)的厚度為5~8毫米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣懸浮軸承，其特征在于:所述氣體分布流道(123)呈環(huán)形，其寬度比所述套環(huán)(2)的寬度小。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣懸浮軸承，其特征在于:所述固定座(I)包括固定基板(11)以及安裝在所述固定基板(11)上且與其一體成型的固定立塊(12)，所述安裝孔(122)設(shè)置在所述固定立塊(12)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的空氣懸浮軸承，其特征在于:所述固定基板(11)上設(shè)置有至少兩個(gè)固定孔(111)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種空氣懸浮軸承，它包括帶有安裝孔的固定座以及安裝安裝孔中的套環(huán)，套環(huán)由多孔陶瓷制成，固定座在與所述套環(huán)接觸的一面上設(shè)有圍繞所述套環(huán)一周的氣體分布流道，固定座頂部設(shè)有與所述氣體分布流道相連通的進(jìn)氣口。一方面在固定座的安裝孔內(nèi)設(shè)置多孔陶瓷制成的套環(huán)，使得套環(huán)具有高耐熱性、耐化學(xué)腐蝕性、耐磨耗性、輕量、絕緣性能高、內(nèi)部不發(fā)塵等優(yōu)點(diǎn)；另一方面在固定座上設(shè)有圍繞套環(huán)一周的氣體分布流道并設(shè)有與氣體分布流道相連通的進(jìn)氣口，利用多孔陶瓷本身具有的多孔性質(zhì)，使得整個(gè)套環(huán)均布?xì)怏w，使得氣流在軸與軸承之間形成分子級(jí)的空氣膜，有效降低耗氣量的同時(shí)避免軸承與軸直接的摩擦，從而完全避免了顆粒物的產(chǎn)生。
【IPC分類】F16C32-06
【公開(kāi)號(hào)】CN204344681
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420847339
【發(fā)明人】施利君, 徐鴿
【申請(qǐng)人】蘇州晶洲裝備科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2014年12月26日