應(yīng)用于高真空設(shè)備中起仰旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及真空機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種應(yīng)用于高真空設(shè)備中起仰旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在大氣中任何一個(gè)工件均可以通過機(jī)械傳動(dòng)來實(shí)現(xiàn)空間位置的移動(dòng)而滿足加工和使用要求，而任何一個(gè)工件要在真空環(huán)境下空間位置的移動(dòng)將要面臨一系列問題，如密封問題，真空度問題，以及真空環(huán)境下相互運(yùn)動(dòng)的零件，因失去氣體保護(hù)膜而加速工作表面的磨損等問題，針對(duì)以上問題提供一種真空環(huán)境內(nèi)工件加工移動(dòng)裝置，如工件縱向角度位移和平面旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，并有效實(shí)現(xiàn)工件移動(dòng)和位置的鎖定，同時(shí)也有效解決因傳動(dòng)密封不當(dāng)影響真空度的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種保證高真空密封效果的情況下，實(shí)現(xiàn)工件各種角度移動(dòng)和位置的鎖定，同時(shí)不會(huì)因?yàn)閯?dòng)作傳動(dòng)影響真空腔體內(nèi)的真空度的應(yīng)用于高真空設(shè)備中起仰旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)裝置。
[0004]為此，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0005]—種應(yīng)用于高真空設(shè)備中起仰旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，包括設(shè)置在真空腔體殼內(nèi)的移動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、左起仰角裝置、中間旋轉(zhuǎn)裝置、右起仰角裝置、上部支撐托架和下部支撐托架，所述左起仰角裝置和所述右起仰角裝置以所述中間旋轉(zhuǎn)裝置為對(duì)稱軸對(duì)稱設(shè)置，所述左起仰角裝置、所述右起仰角裝置和所述中間旋轉(zhuǎn)裝置的上部均固定在所述上部支撐托架上而下部與所述下部支撐托架固定，所述移動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上形成有固定工件的固定裝置。
[0006]所述左起仰角裝置包括左傳動(dòng)手輪、與所述左傳動(dòng)手輪連接且可以通過所述左傳動(dòng)手輪上下運(yùn)動(dòng)的左頂桿和與所述左頂桿頂端固定連接的左起仰角支架，在所述左頂桿上套裝有帶有法蘭的中部支撐套、帶有法蘭的下部支撐套和設(shè)置在所述中部支撐套上端的焊接波紋管，所述左頂桿局部形成有凸起使所述焊接波紋管限位于所述凸起與所述中部支撐套之間，所述中部支撐套與所述下部支撐套之間固定連接，所述左頂桿下部套裝有左球軸承且固定在所述下部支撐套內(nèi)。
[0007]所述中間旋轉(zhuǎn)裝置包括中間傳動(dòng)手輪、與所述中間傳動(dòng)手輪連接且可以通過所述中間傳動(dòng)手輪上下運(yùn)動(dòng)的中間頂桿和與所述中間頂桿頂端固定連接的旋轉(zhuǎn)連接件，所述旋轉(zhuǎn)連接件與所述移動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)活動(dòng)連接，能夠使所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上下擺動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)，在所述中間頂桿上套裝有帶有法蘭的中部支撐套、帶有法蘭的下部支撐套和設(shè)置在所述中部支撐套上端的焊接波紋管，所述中間頂桿局部形成有凸起使所述焊接波紋管限位于所述凸起與所述中部支撐套之間，所述中部支撐套與所述下部支撐套之間固定連接，所述中間頂桿下部套裝有中間球軸承且固定在所述下部支撐套內(nèi)。
[0008]所述右起仰角裝置包括右傳動(dòng)手輪、與所述右傳動(dòng)手輪連接且可以通過所述右傳動(dòng)手輪上下運(yùn)動(dòng)的右頂桿和與所述右頂桿頂端固定連接的右起仰角支架，在所述右頂桿上套裝有帶有法蘭的中部支撐套、帶有法蘭的下部支撐套和設(shè)置在所述中部支撐套上端的焊接波紋管，所述右頂桿局部形成有凸起使所述焊接波紋管限位于所述凸起與所述中部支撐套之間，所述中部支撐套與所述下部支撐套之間固定連接，所述右頂桿下部套裝有右球軸承且固定在所述下部支撐套內(nèi)。
[0009]所述左傳動(dòng)手輪、中間傳動(dòng)手輪和右手輪上分別設(shè)置有固定所述左頂桿、中間頂桿和右頂桿的左限制裝置、中間限制裝置和右限制裝置。
[0010]在所述真空腔體殼與所述下部支撐托架連接處之間，所述左支撐套與所述左支撐套連接處之間、所述中部支撐套與所述下部支撐套之間和所述右支撐套與所述右支撐套之間均設(shè)置有密封墊，以保持殼體內(nèi)部真空。
[0011]進(jìn)一步地，所述旋轉(zhuǎn)連接件包括設(shè)置在所述中間頂桿上部的螺旋槽套和傳動(dòng)銷、設(shè)置在所述螺旋槽套上部并固定在所述上部支撐托架上的推力軸承和與所述螺旋槽套上端連接的移動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接件。
[0012]優(yōu)選地，所述密封墊均采用耐磨損且密封性好的銅密封墊。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，該應(yīng)用于高真空設(shè)備中起仰旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)裝置在保證高真空密封效果的情況下，實(shí)現(xiàn)工件各種角度移動(dòng)和位置的鎖定，同時(shí)不會(huì)因?yàn)閯?dòng)作傳動(dòng)影響真空腔體內(nèi)的真空度。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實(shí)用新型的應(yīng)用于高真空設(shè)備中起仰旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是本實(shí)用新型的應(yīng)用于高真空設(shè)備中起仰旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的起仰和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的應(yīng)用于高真空設(shè)備中起仰旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0017]如圖1?圖2所示，該應(yīng)用于高真空設(shè)備中起仰旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)裝置包括設(shè)置在真空腔體殼4內(nèi)的移動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2、左起仰角裝置3、中間旋轉(zhuǎn)裝置6、右起仰角裝置8、上部支撐托架7和下部支撐托架5，所述左起仰角裝置3和所述右起仰角裝置8以所述中間旋轉(zhuǎn)裝置6為對(duì)稱軸對(duì)稱設(shè)置，所述左起仰角裝置3、所述右起仰角裝置8和所述中間旋轉(zhuǎn)裝置6的上部均固定在所述上部支撐托架7上而下部與所述下部支撐托架5固定，所述移動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2上形成有固定工件I的固定裝置；所述左起仰角裝置3包括左傳動(dòng)手輪310、與所述左傳動(dòng)手輪310連接且可以通過所述左傳動(dòng)手輪310上下運(yùn)動(dòng)的左頂桿303和與所述左頂桿303頂端固定連接的左起仰角支架301，在所述左頂桿303上套裝有帶有法蘭的中部支撐套305、帶有法蘭的下部支撐套307和設(shè)置在所述中部支撐套305上端的焊接波紋管304，所述左頂桿303局部形成有凸起使所述焊接波紋管304限位于所述凸起與所述中部支撐套305之間，所述中部支撐套305與所述下部支撐套307之間固定連接，所述左頂桿303下部套裝有左球軸承309且固定在所述下部支撐套307內(nèi)；所述中間旋轉(zhuǎn)裝置6包括中間傳動(dòng)手輪611、與所述中間傳動(dòng)手輪611連接且可以通過所述中間傳動(dòng)手輪611上下運(yùn)動(dòng)的中間頂桿606和與所述中間頂桿606頂端固定連接的旋轉(zhuǎn)連接件，所述旋轉(zhuǎn)連接件與所述移動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2活動(dòng)連接，能夠使所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2上下擺動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)，在所述中間頂桿606上套裝有帶有法蘭的中部支撐套610、帶有法蘭的下部支撐套608和設(shè)置在所述中部支撐套610上端的焊接波紋管607，所述中間頂桿606局部形成有凸起使所述焊接波紋管607限位于所述凸起與所述中部支撐套610之間，所述中部支撐套610與所述下部支撐套608之間固定連接，所述中間頂桿606下部套裝有中間球軸承609且固定在所述下部支撐套608內(nèi)；所述右起仰角裝置8包括右傳動(dòng)手輪810、與所述右傳動(dòng)手輪810連接且可以通過所述右傳動(dòng)手輪810上下運(yùn)動(dòng)的右頂桿803和與所述右頂桿803頂端固定連接的右起仰角支架801，在所述右頂桿803上套裝有帶有法蘭的中部支撐套805、帶有法蘭的下