專利名稱：無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，特別是關(guān)于一種無(wú) 限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
產(chǎn)業(yè)中有許多制程為符合廣大應(yīng)用的需求，都需要依靠可靠的 加工氣體來(lái)源，此等氣體經(jīng)常都儲(chǔ)存在鋼瓶或容器內(nèi)，然后經(jīng)控制 的條件下由鋼瓶輸送至制程當(dāng)中。例如在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，使用許 多特用的氣體，如薄膜沉積的磷化氫、砷化三氫或三氟化硼等。由 于其高毒性和自然性，所以該氣體都具有顯著的安全性和環(huán)境上的 爭(zhēng)議。除了毒性因素外，該氣體中是有許多壓縮并液化使以高壓方 式儲(chǔ)存于鋼瓶中。為了方便，有人利用在現(xiàn)場(chǎng)以電化學(xué)的方式產(chǎn)生該氣體，因?yàn)?在現(xiàn)場(chǎng)合成該氣體有困難，所以有許多新進(jìn)的技術(shù)以低壓儲(chǔ)存和輸 送系統(tǒng)將此等氣體吸附于固體承載物上。但該等儲(chǔ)存及輸送系統(tǒng)也并不是沒(méi)有問(wèn)題。該系統(tǒng)會(huì)遭遇到容量不足和輸送的限制；不良的熱傳導(dǎo)等等問(wèn)題，實(shí)為一大缺憾。有鑒于此，上述現(xiàn)有技術(shù)的缺失，本實(shí)用新型提出一種無(wú)限填 充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，以解決存在于現(xiàn)有技術(shù)中的該些缺失。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種無(wú)限填充式氣體分壓結(jié) 構(gòu)，其是透過(guò)渦輪吸氣裝置，可以與置鋼架與填充鋼瓶一同并聯(lián)， 當(dāng)填充鋼瓶?jī)?nèi)部的氣體使用完畢后，就可以利用渦輪吸氣裝置直接 吸取大自然的空氣，進(jìn)行轉(zhuǎn)換的動(dòng)作，可以有效達(dá)到節(jié)約能源的功效，非常適合大量生產(chǎn)。本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種無(wú)限填充式氣體分壓結(jié) 構(gòu)，其是透過(guò)熱源轉(zhuǎn)換裝置，將一端壓力箱產(chǎn)生的熱量，經(jīng)由填充 鋼瓶輸出時(shí)的放熱，達(dá)到熱平衡，可以有效降低壓力箱的溫度，達(dá) 到降溫的功效。 -為達(dá)上述的目的，本實(shí)用新型涉及一種填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)， 特別是關(guān)于一種無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，包含一置鋼架，在置鋼 架上設(shè)置有多個(gè)串接的填充鋼瓶； 一輸送管， 一端與多個(gè)填充鋼瓶 連接，另一端則和一混合處理鋼瓶與一轉(zhuǎn)換器并聯(lián)；且自該混合處 理鋼瓶連接出另一輸送管，分別并連至該轉(zhuǎn)換器內(nèi)部； 一輸出管， 一端連接自轉(zhuǎn)換器，另一端則將轉(zhuǎn)換器輸出的氣體輸出自鋼瓶的上 部，并將氣體儲(chǔ)存；多個(gè)控制輸出管，與第一鋼瓶、該第二鋼瓶、 該第三鋼瓶、該第四鋼瓶與該第五鋼瓶連接；以及一壓力箱，與鋼 瓶下方的控制輸出管連接，負(fù)責(zé)將控制輸出管輸出的氣體進(jìn)行壓縮 并轉(zhuǎn)換輸出，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，穩(wěn)定性高。以下藉由具體實(shí)施例配合所附的附圖詳加說(shuō)明，當(dāng)更容易了解 本實(shí)用新型的目的、技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)及其所達(dá)成的功效。


圖l為本實(shí)用新型無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)立體圖。圖2為本實(shí)用新型無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)另一實(shí)施例圖。圖3為本實(shí)用新型無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)再一實(shí)施例圖。
具體實(shí)施方式
為方便簡(jiǎn)潔了解本實(shí)用新型的其它特征內(nèi)容與優(yōu)點(diǎn)及其所達(dá) 成的功效能夠更為明顯，茲將本實(shí)用新型配合附圖，詳細(xì)說(shuō)明如下請(qǐng)參閱圖l，為本實(shí)用新型無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)立體圖。 如圖所示， 一置鋼架IO，在該置鋼架10上設(shè)置有多個(gè)串接的填充鋼 瓶12; —輸送管14， 一端與多個(gè)填充鋼瓶12連接，另一端則和一混合處理鋼瓶16與一轉(zhuǎn)換器18并聯(lián)；且自該混合處理鋼瓶16連接出另 一輸送管20，分別并連至該轉(zhuǎn)換器18內(nèi)部，且在該混合處理鋼瓶16 與該輸送管14連接處，還包含有一自動(dòng)減壓安全裝置161，且該混合 處理鋼瓶16與填充鋼瓶12的間的該輸送管上還包含設(shè)置有一氣壓過(guò) 溫器121，在該混合處理鋼瓶16與該轉(zhuǎn)換器18之間，還包含有一控制 開(kāi)關(guān)181; —輸出管22， 一端連接至該轉(zhuǎn)換器18，另一端則將該轉(zhuǎn)換 器18輸出的氣體輸出連接一第一鋼瓶24、 一第二鋼瓶26、 一第三鋼 瓶28、 一第四鋼瓶30與一第五鋼瓶32的上部，經(jīng)開(kāi)關(guān)221控制，并將 氣體儲(chǔ)存在該第一鋼瓶24、該第二鋼瓶26、該第三鋼瓶28、該第四 鋼瓶30與該第五鋼瓶32;多個(gè)控制輸出管36，設(shè)置于該第一鋼瓶24、 該第二鋼瓶26、該第三鋼瓶28、該第四鋼瓶30與該第五鋼瓶32的底 部；又， 一壓力箱34，與該第一鋼瓶24、該第二鋼瓶26、該第三鋼 瓶28、該第四鋼瓶30與該第五鋼瓶32下方的該控制輸出管36連接， 負(fù)責(zé)將該控制輸出管36輸出的氣體進(jìn)行壓縮，才可以由管路38輸出； 以及一熱源轉(zhuǎn)換裝置40，透過(guò)傳輸管401、 402， 一端設(shè)置于該壓力 箱34，另一端連接于輸出的填充鋼瓶12附近，使壓力箱34再作動(dòng)時(shí) 產(chǎn)生的高溫，可以經(jīng)由得鋼瓶輸出氣體時(shí)產(chǎn)生放熱而達(dá)到降溫的動(dòng) 作，該熱源轉(zhuǎn)換裝置40內(nèi)部可以填充天然的水。又在該輸出管22上還可外加設(shè)置有多個(gè)鋼瓶24、 26、 28、 30、 32與該控制輸出管36，并與該壓力箱34連接，可以并聯(lián)延伸更多的 鋼瓶。再請(qǐng)參閱圖2，圖2為本實(shí)用新型無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)另一 實(shí)施例圖，如圖所示， 一渦輪吸氣裝置42，可以取代置鋼架10與填 充鋼瓶12，如此 一 來(lái)就可以利用渦輪吸氣裝置42直接吸取大自然的 空氣，進(jìn)行分解處理，取之不盡，用之不竭。再請(qǐng)參閱圖3，圖3為本實(shí)用新型無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)再一實(shí) 施例圖。 一渦輪吸氣裝置42,可以與置鋼架10與填充鋼瓶12—同并 聯(lián)，當(dāng)使用完填充鋼瓶12內(nèi)的氣體，就可以利用渦輪吸氣裝置42直 接吸取大自然的空氣，進(jìn)行分解處理，取之不盡，用之不竭。綜上所述，本實(shí)用新型在突破現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)下，確實(shí)己達(dá)到所 欲增進(jìn)的功效。 .以上所述的實(shí)施例僅是為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)思想及特點(diǎn)， 其目的在使本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù) 以實(shí)施，當(dāng)不能以限定本實(shí)用新型的專利范圍，即大凡依本實(shí)用新 型所揭示的精神所作的等同變化或修飾，仍應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的 專利范圍內(nèi)。主要組件標(biāo)號(hào)說(shuō)明置鋼架10填充鋼瓶12氣壓過(guò)溫器121輸送管14混合處理鋼瓶1 6自動(dòng)減壓安全裝置161轉(zhuǎn)換器18控制開(kāi)關(guān)181輸送管20輸出管22開(kāi)關(guān)221第一鋼瓶24第二鋼瓶26第三鋼瓶28第四鋼瓶30第五鋼瓶32壓力箱34控制輸出管36管路38熱源轉(zhuǎn)換裝置40 傳輸管401、 402渦輪吸氣裝置4權(quán)利要求1.一種無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，包括一置鋼架，在該置鋼架上設(shè)置有多個(gè)串接的填充鋼瓶；一輸送管，一端與多個(gè)填充鋼瓶連接，另一端則和一混合處理鋼瓶與一轉(zhuǎn)換器并聯(lián)；且自該混合處理鋼瓶連接出另一輸送管，分別并連至該轉(zhuǎn)換器內(nèi)部；一輸出管，一端連接至該轉(zhuǎn)換器，另一端則將該轉(zhuǎn)換器輸出的氣體輸出連接一第一鋼瓶、一第二鋼瓶、一第三鋼瓶、一第四鋼瓶與一第五鋼瓶的上部，并將氣體儲(chǔ)存；多個(gè)控制輸出管，與該第一鋼瓶、該第二鋼瓶、該第三鋼瓶、該第四鋼瓶與該第五鋼瓶連接；一壓力箱，與該第一鋼瓶、該第二鋼瓶、該第三鋼瓶、該第四鋼瓶與該第五鋼瓶下方的該控制輸出管連接，負(fù)責(zé)將該控制輸出管輸出的氣體進(jìn)行壓縮；以及一熱源轉(zhuǎn)換裝置，一端設(shè)置于該壓力箱，另一端連接于輸出的該鋼瓶附近，使高溫的壓力箱可以獲得鋼瓶輸出氣體時(shí)而進(jìn)行降溫。
2. 如權(quán)利要求l所述的無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，其中，在該混合 處理鋼瓶與該填充鋼瓶的間的該輸送管上還包含設(shè)置有一氣壓 過(guò)溫器。
3. 如權(quán)利要求l所述的無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，其中，在該混合 處理鋼瓶與該輸送管連接處，還包含有一自動(dòng)減壓安全裝置。
4. 如權(quán)利要求l所述的無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，其中，在該混合 處理鋼瓶與該轉(zhuǎn)換器的間，還包含有 一 控制開(kāi)關(guān)。
5. 如權(quán)利要求l所述的無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，其中，在該輸出 管上，還包含有一控制開(kāi)關(guān)。
6. 如權(quán)利要求l所述的無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，其中，在該輸出 管上更可外加設(shè)置有多個(gè)鋼瓶與該控制輸出管，并與該壓力箱連接。
7. 如權(quán)利要求l所述的無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，其中，在該填充 鋼瓶連接的輸送管上，還可外加并聯(lián)設(shè)置有一渦輪吸氣裝置。
8. 如權(quán)利要求l所述的無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，其中，該填充鋼 瓶與該置鋼架也可直接置換為一渦輪吸氣裝置。
9. 如權(quán)利要求l所述的無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，其中，該熱源轉(zhuǎn) 換裝置內(nèi)部可以填充天然的水。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，特別是關(guān)于一種無(wú)限填充式氣體分壓結(jié)構(gòu)，包含一置鋼架，在置鋼架上設(shè)置有多個(gè)串接的填充鋼瓶；一輸送管，一端與多個(gè)填充鋼瓶連接，另一端則和一混合處理鋼瓶與一轉(zhuǎn)換器并聯(lián)；且自該混合處理鋼瓶連接出另一輸送管，分別并連至該轉(zhuǎn)換器內(nèi)部；一輸出管，一端連接至轉(zhuǎn)換器，另一端則將轉(zhuǎn)換器輸出的氣體輸出連接鋼瓶的上部，并將氣體儲(chǔ)存；多個(gè)控制輸出管，與第一鋼瓶、該第二鋼瓶、該第三鋼瓶、該第四鋼瓶與該第五鋼瓶連接；以及一壓力箱，與鋼瓶下方的控制輸出管連接，負(fù)責(zé)將控制輸出管輸出的氣體進(jìn)行壓縮。
文檔編號(hào)F17C13/00GK201121800SQ20072018358
公開(kāi)日2008年9月24日 申請(qǐng)日期2007年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月8日
發(fā)明者鐘源政 申請(qǐng)人:鐘源政