專利名稱：適用于pecvd中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及PECVD (Plasma Enhanced Chemical VaporD印osition，等離子體 化學(xué)氣相沉積法)工藝，特別涉及一種適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處
理裝置。
背景技術(shù)：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、TFT-IXD、TFPV產(chǎn)業(yè)的PECVD工藝，其制程氣體主要為 SiH4，對尾氣處理主要采用燃燒的處理裝置，由此生成SiO2粉塵。SiO2粉塵在排氣管中，受 到濕度、風(fēng)速、溫度等影響因素，容易在管道內(nèi)壁附著，造成管路堵塞，而現(xiàn)有處理PECVD尾 氣SiO2粉塵防止管路堵塞的技術(shù)比較單一，并且由于清理管路費時費力，對生產(chǎn)線的停機 率影響較大。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，提供一種適用于PECVD中減少 停機率的能處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型是這樣實現(xiàn)的適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置，其特征在于，PECVD工 藝設(shè)備的尾氣處理管道的尾部端口有一密封的透明蓋板，在蓋板上有一球閥；所述PECVD 工藝設(shè)備的尾氣處理管道靠近尾部端口有一調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置。本實用新型所述的適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置，其 特征在于，PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道的尾部端口的透明蓋板是可以拆卸的。本實用新型所述的適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置，其 特征在于，所述的調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置由一管道組成，在管道內(nèi)部裝有止回閥和調(diào)風(fēng)蝶閥，所述調(diào) 節(jié)通風(fēng)裝置管道的止回閥端與PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道相連，調(diào)風(fēng)蝶閥端與空氣干 燥設(shè)備相連接。本實用新型所述的適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置，其 特征在于，所述的透明蓋板上安裝的球閥中可以插入風(fēng)速風(fēng)壓儀測試設(shè)備。本實用新型所述的一種新的疊層硅基薄膜太陽能電池激光劃線結(jié)構(gòu)的優(yōu)點在于在PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道的尾部端口安裝密封的透明蓋板，方便對管道內(nèi)粉末堆 積情況進(jìn)行監(jiān)測，同時，拆下蓋板后易于對管道進(jìn)行清理；在PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管 道上安裝調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置，可以調(diào)節(jié)通往尾氣處理管道內(nèi)的風(fēng)速、風(fēng)壓，使管道內(nèi)二氧化硅粉 塵能被高速帶走，同時降低二氧化硅在尾氣中的濃度，能夠控制通入空氣的干燥度，降低尾 氣的相對濕度，防止二氧化硅粉塵結(jié)塊，并且在管道風(fēng)機故障時，能防止管道內(nèi)廢氣外溢。

圖1適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置示意圖。[0011]圖中1、尾氣處理管道；2、透明蓋板；3、球閥；4、止回閥；5、調(diào)風(fēng)蝶閥；6、調(diào)節(jié)通 風(fēng)裝置管道；7、進(jìn)風(fēng)口。
具體實施方式
如圖1所示，PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道1的尾部端口有一密封的透明蓋板 2，在蓋板上有一球閥3，在PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道1靠近尾部端口安裝有一調(diào)節(jié)通 風(fēng)裝置，在調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置管道6中安裝有止回閥4和調(diào)風(fēng)蝶閥5，調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置管道6中安 裝止回閥4的一端與在PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道1相連接，調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置管道6中 安裝調(diào)風(fēng)蝶閥5的一端為進(jìn)風(fēng)口 7。 在工作時，如果有必要，可以再調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置的進(jìn)風(fēng)口處連接空氣干燥裝置，以便 使進(jìn)入PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道內(nèi)的空氣為干燥空氣，防止二氧化硅粉塵結(jié)塊。
權(quán)利要求適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置，其特征在于，PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道的尾部端口有一密封的透明蓋板，在蓋板上有一球閥；所述PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道靠近尾部端口有一調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置，其 特征在于，PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道的尾部端口的透明蓋板是可以拆卸的。
3.如權(quán)利要求1所述的適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置，其 特征在于，所述的調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置由一管道組成，在管道內(nèi)部裝有止回閥和調(diào)風(fēng)蝶閥，所述調(diào) 節(jié)通風(fēng)裝置管道的止回閥端與PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道相連，調(diào)風(fēng)蝶閥端與空氣干 燥設(shè)備相連接。
4.如權(quán)利要求1所述的適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置，其 特征在于，所 述的透明蓋板上安裝的球閥中可以插入風(fēng)速風(fēng)壓儀測試設(shè)備。
專利摘要適用于PECVD中處理二氧化硅粉塵的多功能尾氣處理裝置，其特征在于，PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道的尾部端口有一密封的透明蓋板，在蓋板上有一球閥；所述PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道靠近尾部端口有一調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置。本實用新型的優(yōu)點在于在PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道的尾部端口安裝密封的透明蓋板，方便對管道內(nèi)粉末堆積情況進(jìn)行監(jiān)測，同時，拆下蓋板后易于對管道進(jìn)行清理；在PECVD工藝設(shè)備的尾氣處理管道上安裝調(diào)節(jié)通風(fēng)裝置，可以調(diào)節(jié)通往尾氣處理管道內(nèi)的風(fēng)速、風(fēng)壓，使管道內(nèi)二氧化硅粉塵能被高速帶走，同時降低二氧化硅在尾氣中的濃度，能夠控制通入干燥空氣的流量，降低尾氣的相對濕度，防止二氧化硅粉塵結(jié)塊。
文檔編號F17D3/00GK201589065SQ20092024655
公開日2010年9月22日 申請日期2009年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月4日
發(fā)明者李鵬凱 申請人:新奧光伏能源有限公司