專利名稱：缺陷檢查系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于檢查半導體晶片、LCD(液晶顯視器)基片、印制電路板等表面缺陷的缺陷檢查系統(tǒng)。
背景技術：
一般，在半導體晶片制造工序中，在由硅構成的基片上通過成膜層形成圖形化的具有抗蝕劑的膜。
但在這種光刻工藝中，若在基片表面上所涂敷的抗蝕劑上，出現(xiàn)膜層不均勻或沾附灰塵等，則在腐蝕后會造成圖形線寬不合格或者圖形內(nèi)產(chǎn)生針孔等缺陷。
因此，在腐蝕前的基片制造工序中，通常，對全部基片都要進行有無缺陷的檢查。這種全數(shù)基片檢查的方法大都是由檢驗員以目視方式來觀察基片的表面。但是，若采用這種由檢驗員以目視方式來觀察基片的方法，則不能不考慮檢驗員判斷能力的差異以及檢驗員進出凈化室時身體上產(chǎn)生灰塵的影響。因此，最近研究出一種在消除檢驗員判斷能力差異的同時能從凈化室外部檢查基片缺陷的缺陷檢查系統(tǒng)。
這種缺陷檢查系統(tǒng)為了消除檢驗員判斷能力的差異，預先制定出一種決定缺陷抽取及程度的處理方法，根據(jù)該方法來檢測表面缺陷。該處理方法的編制是例如，用CCD攝像機來拍攝一批被驗產(chǎn)品中任意一片基片的圖像，對該已拍攝的2維圖像進行圖像處理，這樣來抽取傷痕、不勻、灰塵等各種缺陷。檢驗員一邊確認該缺陷抽取程度，用操作部來輸入那種決定抽取條件的參數(shù)值，進行調(diào)整，一邊決定參數(shù)，使合格與否的判斷達到最佳狀態(tài)。并且，一邊由檢驗員用目視或顯微鏡來觀看實際缺陷，一邊對缺陷進行登錄，以使分類。
但是，過去的處理方法的制定是對許多基片一片一片地改變那種決定缺陷抽取條件的參數(shù)值，然后用圖像重新的確認缺陷的抽取程度，這樣的處理對每塊基片都重復進行數(shù)次，以便決定參數(shù)，使合格與否的判斷達到最佳狀態(tài)。因此，制定處理方法的工作要花費很多時間，而且，與其他基片的比較只能按數(shù)值進行。所以，存在的問題是對不同的檢驗員，在處理方法的內(nèi)容方面容易產(chǎn)生誤差。
本發(fā)明的目的在于提供一種缺陷抽取用的處理方法的制定簡單易行，而且可靠性很高的缺陷檢查系統(tǒng)。
發(fā)明的公開(1)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)具有圖像取得裝置，用于取得在制造工序中作為處理對象的被檢查物體二維圖像；缺陷抽取裝置，用于對該圖像取得裝置所取得的圖像按照采用規(guī)定參數(shù)的缺陷抽取算法來抽取缺陷；顯示裝置，用于顯示由該缺陷抽取裝置抽取的上述被檢查物體的缺陷圖像；參數(shù)調(diào)整裝置，用于根據(jù)對上述被檢查物體的缺陷抽取程度來調(diào)整上述參數(shù)；以及缺陷抽取裝置，用于根據(jù)由上述缺陷抽取裝置所抽取的缺陷的信息，來判斷上述被檢查物體是否合格。
(2)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述合格與否判斷裝置具有的功能是對由上述缺陷抽取裝置所抽取的缺陷信息與缺陷詞典中所登錄的缺陷數(shù)據(jù)進行對照，判斷出上述缺陷的種類；及把新出現(xiàn)的缺陷數(shù)據(jù)登錄到上述缺陷詞典內(nèi)。
(3)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且上述參數(shù)調(diào)整裝置由滑動開關構成，該開關顯示在上述顯示裝置的畫面上用于調(diào)整參數(shù)，該滑動開關和上述被檢查物體的圖像同時顯示在上述顯示裝置的畫面上。
(4)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且上述缺陷抽取裝置具有預先自動設定參數(shù)的功能，該參數(shù)用于判斷缺陷已知的被檢查物體。
(5)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且上述合格與否判斷裝置對上述被檢查物體的圖像進行是否合格的判斷，該被檢查物體圖像是按照上述參數(shù)調(diào)整裝置所設定的參數(shù)由上述缺陷抽取裝置進行缺陷抽取后而獲得的。
(6)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述顯示裝置具有把上述缺陷抽取裝置所抽取的許多個被檢查物體圖像加以縮小進行一覽顯示的功能。
(7)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(6)所述的系統(tǒng)，而且上述顯示裝置對把圖像縮小后而形成的縮小預顯示(thumbnail)圖像進行一覽顯示。
(8)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(7)所述的系統(tǒng)，而且，上述顯示裝置對每批存放上述被檢查物體的片盒分別顯示上述縮小預顯示圖像。
(9)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述顯示裝置在與上述缺陷抽取裝置所抽取的許多被檢查物體的圖像進行顯示的區(qū)域不同的區(qū)域內(nèi)，顯示出由上述合格與否判斷裝置判斷為不合格的被檢查物體的圖像。
(10)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述顯示裝置把由上述缺陷抽取裝置所抽取的缺陷重合到上述被檢查物體的圖像上進行顯示。
(11)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述顯示裝置對各個圖像分別用顏色或文字來顯示出由上述合格與否判斷裝置進行合格與否判斷的結果。
(12)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述顯示裝置對上述缺陷按其種類不同分別用不同顏色加以區(qū)分進行顯示。
(13)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述顯示裝置對于利用由上述參數(shù)調(diào)整裝置更改后的參數(shù)進行抽取的缺陷，更改該缺陷顏色進行顯示。
(14)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述規(guī)定的參數(shù)根據(jù)缺陷種類、檢查條件或檢查方法進行準備。
(15)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述參數(shù)調(diào)整裝置能對上述規(guī)定參數(shù)設定下限值和上限值，上述缺陷抽取裝置把超過上述下限值的圖像數(shù)據(jù)中超過上述上限值的抽取來作為缺陷。
(16)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述缺陷抽取裝置具有對由上述顯示裝置指定的缺陷進行登錄的功能。
(17)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述上述顯示裝置具有根據(jù)由上述參數(shù)調(diào)整裝置更改后的參數(shù)來顯示上述被檢查物體的圖像的功能。
(18)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述顯示裝置具有顯示缺陷種類的列表框，在指定了該列表框內(nèi)所顯示的任一種缺陷的情況下，顯示出與該被指定種類相對應的缺陷。
(19)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述顯示裝置在進行了規(guī)定操作時，重新顯示出由上述參數(shù)調(diào)整裝置更改參數(shù)之前的圖像。
(20)本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)是上述(1)所述的系統(tǒng)，而且，上述顯示裝置對于已由上述合格與否判斷裝置判斷為合格的被檢查物體的圖像框的顏色加以改變后進行顯示。
附圖的簡單說明

圖1是表示涉及本發(fā)明的實施例的缺陷檢查系統(tǒng)構成概況的圖。
圖2是表示涉及本發(fā)明實施例的顯示部的畫面顯示例的圖。
圖3是說明涉及本發(fā)明實施例的缺陷抽取用的閾值的圖。
圖4是表示涉及本發(fā)明實施例的缺陷檢查系統(tǒng)的缺陷檢測動作過程的流程圖。
圖5是表示涉及本發(fā)明實施例的缺陷判斷時的顯示部的顯示例的圖。
圖1是表示涉及本發(fā)明的實施例的缺陷檢查系統(tǒng)構成概況的圖。在圖1中，照明部1對圖中未示的載物臺上放置的被檢查物體基片2表面以規(guī)定的入射角投射照明光線。并且，在照明部1對面的位置(反射方向)上布置有作為攝像裝置的行傳感器攝像機3。該行傳感器攝像機3拍攝那種受到照明部1的直線狀照明光的基片2表面的圖像。在行傳感器攝像機3上連接有圖像輸入部4，在該圖像輸入部4上通過圖像存儲部5連接有控制部6。
一邊使上述載物臺向一個方向移動，一邊用行傳感器攝像機3拍攝基片2表面的每1行圖像，并將其輸入到圖像輸入部4內(nèi)，圖像輸入部4把由行傳感器攝像機3拍攝的每1行圖像接合在一起，生成基片2表面整體的2維圖像。由圖像輸入部4生成的2維圖像的像素數(shù)據(jù)被存儲在圖像存儲部5內(nèi)，然后送入到控制部6內(nèi)。
控制部6具有缺陷抽取部601。在控制部6上連接有輸入部7、顯示部8、是否合格判斷部9和缺陷詞典10。缺陷抽取部601根據(jù)采用規(guī)定參數(shù)的缺陷抽取算法，消除基片固有的外形圖像或特定圖形圖像等，從存儲在圖像存儲部5內(nèi)的全基片圖像中抽取缺陷部分。上述參數(shù)也可以從外部更改，通過更改來調(diào)整缺陷的抽取程度(靈敏度)。在此情況下，上述參數(shù)由基片2表面的傷痕、不勻、灰塵等各種缺陷、或者疑似缺陷抽取所必須的缺陷座標(偏移量)、分散值、濃淡等特征值構成。
輸入部7如下所述由顯示部8上所顯示的由按鈕和游標(slider)構成。由檢驗員從輸入部7向缺陷抽取部601內(nèi)輸入?yún)?shù)等。顯示器8顯示出由控制部6指示的各種圖像。是否合格判斷部9按照缺陷詞典10內(nèi)所存儲的缺陷數(shù)據(jù)來核對缺陷抽取部601所抽取的缺陷信息，判斷該缺陷的種類等，同時，判斷對象基片是否合格。在缺陷詞典10內(nèi)預先存儲有傷痕和不勻等各種缺陷數(shù)據(jù)，并且，在發(fā)現(xiàn)了新的缺陷的情況下，根據(jù)控制部6的指示將其登錄為新的缺陷數(shù)據(jù)。
圖2是表示顯示部8中的畫面顯示例的圖。在顯示部8的畫面上的圖像顯示區(qū)域以外，顯示出一種發(fā)揮輸入部7的功能的按鈕開關和滑動開關等。上限值用滑動開關7a和下限值用滑動開關7b，被用于由檢驗員更改對缺陷抽取部601的參數(shù)，調(diào)整缺陷抽取用的閾值上限值和下限值。而且，也可以采用這樣一種構成，即上述參數(shù)可以按照缺陷，檢查條件、檢查方法，抽取方法的各個種類分別作為參數(shù)組進行準備，能用輸入部7來更改這許多與參數(shù)組相對應的參數(shù)。并且，也可以采用這樣的構成，即能夠用輸入部7來更改這樣一些參數(shù)，它們用于檢測那種利用圖中未示出的顯微鏡來攝像時下層膜和上層膜的圖像重合偏差、以及測量那種基片周邊部的抗蝕劑切割量。另外，輸入部7并非僅限于顯示到顯示部8上的，也可以是具有觸摸盤或輸入開關的外部操作部。
在這樣構成的缺陷檢查系統(tǒng)中，首先制定一種處理方法，用來決定作為判斷是否合格的標準的缺陷抽取程度。最初以圖中未示出的片盒內(nèi)的處理方法檢查批量為單位，選擇基片2。在處理方法檢查批量中，預先放有許多片已知有缺陷的基片和許多片合格的基片。
若用行傳感器攝像機3來拍攝該處理方法檢查批量的各基片2的圖像，則該拍攝圖像通過圖像輸入部4而生成為2維圖像。該2維圖像的像素數(shù)據(jù)被存儲到圖像存儲部5內(nèi)，再被送入到控制部6的缺陷抽取部601內(nèi)。在此情況下，在缺陷抽取部601中，預先自動地設定這樣一種參數(shù)，該參數(shù)能分選出以下兩種基片；一種是已知存在各種缺陷的多塊基片；另一種是只存在非廢品性質的缺陷的多塊合格基片，利用該參數(shù)，按照缺陷抽取算法來進行缺陷抽取。
這樣，每批片盒，均對全部基片或者用孔口(slot)選擇的各基片，按照缺陷抽取算法進行缺陷抽取，其結果如下所述作為縮小預顯示圖像顯示在顯示器8上。
圖2表示上述缺陷抽取時的顯示部8上的顯示例。在顯示部8的畫面左側的區(qū)域8 a內(nèi)，對全部基片均按照孔口順序或ID代碼順序、或者隨機地在縱橫方向上排列，顯示出基片圖像81。在畫面右側的區(qū)域8b上在縱向上排列顯示出預先作為廢品而登錄的不合格基片圖像82。
另外，在區(qū)域8a的各基片圖像81上作為按照設定參數(shù)判斷為是否合格的結果，顯示出表示合格品的‘OK’或者表示廢品的‘NG’字樣，在區(qū)域8b內(nèi)所顯示的各不合格基片圖像82上也顯示出表示廢品的‘NG’字樣。而且，在區(qū)域8b的各不合格基片圖像82上也可以顯示出實際的缺陷信息。
在此狀態(tài)下，檢驗員利用圖中未示出的鼠標器把指針80對準到顯示部8的縮小預顯示圖像的規(guī)定部位上，對鼠標進行右或左單擊操作，即可對區(qū)域8a或區(qū)域8b的縮小預顯示畫面進行縮小或放大顯示。并且，檢驗員用鼠標把指針80對準到區(qū)域8a或區(qū)域8b的縮小預顯示畫面上的特定基片81、82上，對鼠標進行雙擊，即可僅把由指針80指定的圖像顯示到1個畫面上。
而且，圖2表示在區(qū)域8a中顯示出16張基片圖像81。但一般在一個片盒中放入25塊基片，所以，其余的9張基片圖像81也可以顯示出來。在此情況下，圖2中未表示出的9張基片圖像81可以通過上卷區(qū)域8a而顯示出來。并且，同樣，圖2中未表示出的廢品基片圖像82，可以通過上卷區(qū)域8b而顯示出來。
其次，檢驗員通過輸入部7一邊觀看縮小預顯示圖像上所顯示出的基片圖像81，一邊調(diào)整決定缺陷抽取條件的參數(shù)。在此情況下，檢驗員用鼠標，對顯示在顯示器8的畫面上的滑動開關7a、7b進行滑動操作，以此來調(diào)整參數(shù)，例如調(diào)整圖3所示的用于抽取缺陷的對亮度上限值a和下限值b的閾值。在此，根據(jù)自動設定的參數(shù)，全部基片都沒有廢品，在縮小預顯示畫面上的全部基片畫面上均顯示出‘OK’字樣，對此，由檢驗員按照降低上限值a的方向進行調(diào)整。
這樣，在缺陷抽取部601中，對于存儲在圖像存儲部5內(nèi)的全部基片2的像素數(shù)據(jù)，按照采用重新設定的參數(shù)的缺陷抽取算法來重新進行缺陷抽取，對縮小預顯示圖像進行更新。該縮小預顯示圖像隨每次更改參數(shù)而進行更新。在此情況下，具體來說，超過了圖3所示的下限值b的基片2的像素數(shù)據(jù)被看作是可能有缺陷，把超過了下限值b的基片2的像素數(shù)據(jù)中超過了上限值a的作為缺陷抽取來。也就是說，對下限值b以下的基片2的圖像數(shù)據(jù)不進行缺陷抽取，所以，能減少缺陷抽取處理的工作量，提高其處理速度。
這樣，若降低參數(shù)的下限值，提高缺陷抽取程度，則表示在區(qū)域8a中過去曾顯示出表示合格的‘OK’字樣的基片圖像81中抽取了缺陷，對該基片圖像81進行是否合格的判斷，顯示出表示廢品的‘NG’的字樣，以取代表示合格的‘OK’字樣。在圖2中，標注了符號A的基片圖像81表示該狀態(tài)。
在此情況下，被判斷為廢品的基片圖像81的框部分811的顏色發(fā)生變化，所以一眼即可看出廢品基片。在此狀態(tài)下，檢驗員利用鼠標對被判斷為廢品的多個基片圖像81進行拖和放(drag & drop)操作，或者用指針80進行指定，這樣，即可對其進行匯總，使其移動到區(qū)域8b內(nèi)，作為不合格基片進行登錄。因此，對于那些按照最初設定的參數(shù)未能發(fā)現(xiàn)其缺陷的合格基片，更改參數(shù)，進行缺陷抽取，在發(fā)現(xiàn)了不能作為合格品在生產(chǎn)線上繼續(xù)流動加工的缺陷的情況下，可將該基片作為廢品基片進行登錄。與此相反，根據(jù)檢驗員的仔細判斷，認為在區(qū)域8b中的不合格基片圖像82也可以作為合格品投入到生產(chǎn)線上繼續(xù)加工時，則也可以把該圖像82消掉。在此情況下，對于在參數(shù)更改前被判斷為廢品的基片，作為合格基片顯示出來。
而且，若檢驗員利用鼠標，把指針80對準到圖2所示的顯示部8的畫面上的‘自動設定’鈕8K上，進行單擊操作，則參數(shù)被自動地設定到預先設定的值上。這樣，對于進行過下述的合格品/廢品的判斷的各基片圖像8 1，可以再次進行缺陷抽取。該參數(shù)值反映在滑動開關7a、7b的位置上。并且，若檢驗員利用鼠標，把指針80對準到圖2所示的顯示部8的畫面上的‘返回原位’鈕8c上進行單擊操作，則可以重新顯示出按照更改前參數(shù)的各基片圖像81。在該操作中，通過一次點擊可重新顯示出由上次參數(shù)決定的圖像；通過二次點擊可重新顯示出由上上次參數(shù)決定的圖像。也就是說，根據(jù)點擊次數(shù)，按照參數(shù)更改經(jīng)過來重新顯示圖像。這樣一來，檢驗員對參數(shù)更改后的圖像和更改前的圖像進行比較，即可決定最佳參數(shù)。
以下，同樣地，由檢驗員一邊操縱滑動開關7a、7b，更改參數(shù)，調(diào)整那種缺陷抽取用的閾值的上限值a和下限值b，一邊調(diào)查在區(qū)域8a的顯示出‘OK’的基片圖像81中出現(xiàn)缺陷部的程度，或者向廢品轉移的程度。在此情況下，在圖像中通過更改參數(shù)而被作為缺陷部抽取來的部分，更改顏色進行顯示。例如，在缺陷部增加的情況下缺陷部的顏色更改為桔黃色；在缺陷部減少的情況，缺陷部的顏色更改為灰色。并且，也可以更改缺陷部增加的基片圖像81的框部分811的顏色。另外，在對每種缺陷分別標注不同顏色的情況下，也可以根據(jù)參數(shù)更改的經(jīng)過，來改變?nèi)毕蒿@示色的濃度。
在這些動作之后，若檢驗員認為是最適合于抽取的參數(shù)時，把指針80對準到圖2所示的顯示部8的畫面上的‘結束’鈕8d上，進行點擊操作，則對于最初選擇的處理方法檢查批量單位的各基片2，上述參數(shù)被決定為缺陷抽取部601中的參數(shù)，按照該參數(shù)最終由檢驗員判斷為廢品的不合格基片畫面82被進行登錄。
而且，檢驗員把指針80對準到圖2所示的顯示部8的畫面上的‘顯示/非顯示’鈕8e上進行單擊操作，這樣，即可切換缺陷部的顯示的ON/OFF(顯示/非顯示)。并且，在不顯示缺陷部的非顯示的情況下，在畫面上強調(diào)顯示圖像的對比度，這樣，使檢驗員容易看清實際的基片狀態(tài)。
以后，對其他檢查批量單位的各基片2，也和上述一連串動作一樣，通過決定缺陷抽取部601中的參數(shù)來進行各處理方法的制定。
以下，在上述處理方法制定后，對實際檢查對象的基片進行缺陷抽取。
圖4是表示采用本缺陷檢查系統(tǒng)進行缺陷檢測的動作過程的流程圖。首先在401步，由控制部6的缺陷抽取部601從按上述方法制定的許多處理方法中選擇出與作為檢查對象的檢查批相適應的處理方法。然后，在402步，用行傳感器攝像機3來拍攝被檢查批的各基片2的表面圖像，利用缺陷組成部4來把這些被拍攝圖像生成為2維圖像。這些2維圖像的像素數(shù)據(jù)被存儲到圖像存儲部5內(nèi)，再被送入到缺陷抽取部601內(nèi)。
下面，在403步，由缺陷抽取部601利用與已選擇的處理方法相對應的參數(shù)來對各基片2進行缺陷抽取。然后，在404步由控制部6把各基片2的圖像以及缺陷抽取部601的缺陷抽取結果作為縮小預顯示圖像顯示在顯示部8的區(qū)域8a內(nèi)。
在此情況下，在顯示部8的區(qū)域8a內(nèi)，和圖2所示一樣，對檢查批的全部基片2按照孔口順序、ID代碼順序或者隨機地沿縱橫方向來排列顯示基片圖像81。這時，對抽取了缺陷的基片2，在基片圖像81上重疊地顯示出缺陷部。另一方面，在顯示部8的區(qū)域8b中，和圖2所示一樣，在制定上述處理方法時或上次檢查時，抽取缺陷作為廢品而登錄的各不合格基片圖像82在重疊上缺陷部的狀態(tài)下沿縱向排列顯示。在此狀態(tài)下，檢驗員利用鼠標，把指針對準到區(qū)域8a或8b內(nèi)所顯示的某一基片圖像81、82上，進行單擊操作，這樣，即可僅把該圖像作為1個圖像進行放大顯示。
下面，在405步，由檢驗員觀看顯示部8，判斷缺陷抽取性能是否充分，在不充分的情況下，在406步，更改對缺陷抽取部601的參數(shù)。在此情況下，由檢驗員按照上述方法對顯示在顯示部8的畫面上的滑動開關7a、7b進行操作，以此來更改參數(shù)。這樣一來，在上述403步，再次由缺陷抽取部601利用已被更改的參數(shù)來對各基片2進行缺陷抽取。然后，進行上述404步以后的處理。在此情況下，最好對被更改的處理方法的內(nèi)容進行記錄和管理。
在上述405步，在判斷出缺陷抽取性能充分的情況下，在407步，由檢驗員從輸入部7輸入規(guī)定的指示，進行缺陷判斷。在此情況下，各基片2的缺陷信息從缺陷抽取部601送到合格與否判斷部9內(nèi)，由合格與否判斷部9來進行缺陷判斷。在合格與否判斷部9中，對這些缺陷信息和存儲在缺陷詞典10中的缺陷數(shù)據(jù)進行對照，判斷由缺陷抽取部601抽取的缺陷的種類等。并且，合格與否判斷部9根據(jù)該判斷結果，進行各基片2是否可以流入到下面的生產(chǎn)線上，即各基片2是否合格(合格品/廢品)等判斷。而且，該缺陷判斷和合格與否判斷，其方法也可以是由檢驗員觀看下述顯示部8的畫面。
圖5是表示缺陷判斷時顯示部8上的顯示例的圖。在畫面的大體上中央?yún)^(qū)域8f內(nèi)缺陷部11a、11b、11c重疊到基片2的圖像上進行顯示。在區(qū)域8f的左下部分上顯示出一覽表12，該表中列出了各缺陷部11a、11b、11c的種類(缺陷名稱)、正確性(作為缺陷判斷標準的缺陷的分散性(距離))。在畫面右側的區(qū)域8g內(nèi)，登錄在詞典10內(nèi)的各缺陷13的圖像沿縱向排列進行顯示。在圖5中未顯示出的其他缺陷13的圖像可以通過對區(qū)域8g進行上卷而進行顯示。而且，各缺陷部11a、11b、11c也可以用不同的顏色來區(qū)分不同種類的缺陷進行顯示。并且，也可以在一覽表12中除顯示距離(分散值)外，也還可以顯示出長度、半徑、對比度、方向性、園度、寬度、位置等作為各種缺陷的特征量。
在此情況下，由檢驗員利用鼠標，把指針80對準到顯示部8的畫面的規(guī)定部位上，進行單擊操作，即可縮小或放大區(qū)域8f的整體圖像。并且，檢驗員利用鼠標，把指針80對準到缺陷部11a、11b、11c中的任一個上或者一覽表12中的任意缺陷名稱上，進行單擊操作，即可使相應種類的各缺陷13顯示到區(qū)域8g內(nèi)。并且，如果檢驗員選擇，顯示部8的畫面上的由下拉列表框構成的缺陷種類更改框8I所表示的其他缺陷種類，那么，區(qū)域8g的顯示被更改成相應的缺陷種類。也就是說，與缺陷種類更改框8i上所表示的各缺陷種類相對尖的各缺陷，預先登錄在缺陷詞典10內(nèi)，當檢驗員指定任一種缺陷時，就從該缺陷詞典10中讀出與該缺陷種類相對應的各缺陷，并顯示到區(qū)域8g內(nèi)。并且，當檢驗員點擊區(qū)域8g的規(guī)定缺陷13時，就顯示出發(fā)生了該缺陷的基片2的整體圖像。這樣，即可識別缺陷在整個基片上的位置和方向。
下面，在408步，由缺陷抽取部601判斷在各基片2的缺陷信息中有無應當重新在缺陷詞典10中登錄的缺陷信息。在此，在有重新登錄的缺陷信息的情況下，在409步，由缺陷抽取部601在缺陷詞典10中進行登錄。而且，該缺陷登錄也可以由檢驗員通過觀看顯示部8的畫面而從輸入部7來進行。在此情況下，例如，檢驗員利用鼠標把指針80對準到圖5區(qū)域8f中所顯示的缺陷部11a、11b、11c中希望重新登錄的缺陷部上，通過單擊操作進行選擇，再對畫面上的‘缺陷登錄’鈕8j進行單擊。這樣，被選擇的缺陷部的信息就從缺陷抽取部601重新登錄到缺陷詞典10內(nèi)。而且，即使通過拖和放把缺陷部11a、11b、11c中希望登錄的缺陷部移動到區(qū)域8g內(nèi)也能將其登錄到缺陷詞典10內(nèi)。并且，也可以通過施和放對多個缺陷進行臨時登錄，在決定最終登錄的缺陷時，通過單擊‘缺陷登錄’鈕8j而一起進行登錄。
以后，一面更換作為檢查對象的檢查批，一面重復進行上述一連串的動作，以此進行各基片表面缺陷檢查，同時進行新缺陷的登錄。
若采用本實施例，則把以檢查批量為單位的許多基片2的表面圖像顯示到顯示部8的同一畫面上，在此狀態(tài)下，利用輸入部7的上限值用滑動開關7a和下限值用滑動開關7b來更改缺陷抽取部601的參數(shù)，調(diào)整用于缺陷抽取的閾值的上限值和下限值，即缺陷抽取靈敏度。然后，檢驗員一面以視覺方式在畫面上觀看通過上述調(diào)整而在各基片2的表面圖像上出現(xiàn)的缺陷部程度等，一面設定最佳缺陷抽取環(huán)境。這樣一來，就能使缺陷抽取用的處理方法的制定工作簡單易行而且可靠性高。
并且，通過對傷痕、不勻、灰塵等每種缺陷分別準備從輸入部7輸入的參數(shù)，即可設定精度更高的缺陷抽取環(huán)境。再者，缺陷部重疊在顯示部8所顯示的基片2的表面圖像上進行顯示，所以，能正確地掌握缺陷部在基片2表面上的位置。
并且，根據(jù)作為被檢查物體的基片2的合格與否判斷結果，可以特定工藝的異常，而且能判斷是否把基片2轉移到下面的工藝中，或者再次返回到上流工藝中。
而且，本發(fā)明并非僅限于上述實施例，在不改變主要意圖的范圍內(nèi)可以適當改變實施例。
產(chǎn)業(yè)上應用的可能性若采用本實施例，則能提供一種其缺陷抽取用的處理方法的制定工作簡單易行而且可靠性高的缺陷檢查系統(tǒng)。
權利要求
1.一種缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于具有圖像取得裝置，用于取得在制造工序中作為處理對象的被檢查物體的二維圖像；缺陷抽取裝置，用于對該圖像取得裝置所取得的圖像按照采用規(guī)定參數(shù)的缺陷抽取算法來抽取缺陷；顯示裝置，用于顯示由該缺陷抽取裝置抽取的上述被檢查物體的缺陷圖像；參數(shù)調(diào)整裝置，用于根據(jù)對上述被檢查物體的缺陷抽取程度來調(diào)整上述參數(shù)；以及合格與否判斷裝置，用于根據(jù)由上述缺陷抽取裝置所抽取的缺陷的信息來判斷上述被檢查物體是否合格。
2.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述合格與否判斷裝置具有，對由上述缺陷抽取裝置所抽取的缺陷信息與缺陷詞典中所登錄的缺陷數(shù)據(jù)進行對照，并判斷出上述缺陷的種類；及把新出現(xiàn)的缺陷數(shù)據(jù)登錄到上述缺陷詞典內(nèi)的功能。
3.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述參數(shù)調(diào)整裝置由滑動開關構成，該開關顯示是在上述顯示裝置的畫面上用于調(diào)整參數(shù)的，該滑動開關和上述被檢查物體的圖像同時顯示在上述顯示裝置的畫面上。
4.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述缺陷抽取裝置具有預先自動設定參數(shù)的功能，該參數(shù)用于判斷缺陷已知的被檢查物體。
5.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述合格與否判斷裝置對上述被檢查物體的圖像進行是否合格的判斷，該被檢查物體圖像是按照上述參數(shù)調(diào)整裝置所設定的參數(shù)，由上述缺陷抽取裝置進行缺陷抽取后而獲得的。
6.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置具有把上述缺陷抽取裝置所抽取的許多個被檢查物體圖像加以縮小進行一覽顯示的功能。
7.如權利要求6所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置對把圖像縮小后而形成的縮小預顯示(thumbnail)圖像進行一覽顯示。
8.如權利要求7所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置對每批存放上述被檢查物體的片盒分別顯示上述縮小預顯示圖像。
9.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置，在與上述缺陷抽取裝置所抽取的許多被檢查物體的圖像進行顯示的區(qū)域不同的區(qū)域內(nèi)，顯示出由上述合格與否判斷裝置判斷為不合格的被檢查物體的圖像。
10.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置，把由上述缺陷抽取裝置所抽取的缺陷重合到上述被檢查物體的圖像上進行顯示。
11.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置，對各個圖像分別用顏色或文字來顯示出由上述合格與否判斷裝置進行合格與否判斷的結果。
12.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置，對上述缺陷按其種類不同分別用不同顏色加以區(qū)分進行顯示。
13.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置，對于利用由上述參數(shù)調(diào)整裝置更改后的參數(shù)進行抽取的缺陷，更改該缺陷顏色而進行顯示。
14.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述規(guī)定的參數(shù)是根據(jù)缺陷的種類、檢查條件或檢查方法進行準備。
15.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述參數(shù)調(diào)整裝置，能對上述規(guī)定的參數(shù)設定下限值和上限值，上述缺陷抽取裝置，把超過上述下限值的圖像數(shù)據(jù)中超過上述上限值的作為缺陷抽取出。
16.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述缺陷抽取裝置具有對由上述顯示裝置指定的缺陷進行登錄的功能。
17.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置具有根據(jù)由上述參數(shù)調(diào)整裝置更改后的參數(shù)來顯示上述被檢查物體的圖像的功能。
18.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置具有顯示缺陷種類的列表框，在指定了該列表框內(nèi)所顯示的任一種缺陷的情況下，顯示出與該被指定種類相對應的缺陷。
19.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置在進行了規(guī)定操作時，重新顯示出由上述參數(shù)調(diào)整裝置更改參數(shù)之前的圖像。
20.如權利要求1所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于上述顯示裝置對于已由上述合格與否判斷裝置判斷為合格的被檢查物體的圖像框的顏色加以改變后進行顯示。
全文摘要
本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)具有:圖像取得裝置,用于取得在制造工序中作為處理對象的被檢查物體的二維圖像;缺陷抽取裝置,用于對該圖像取得裝置所取得的圖像按照采用規(guī)定參數(shù)的缺陷抽取算法來抽取缺陷;顯示裝置,用于顯示由該缺陷抽取裝置抽取的上述被檢查物體的缺陷圖像;參數(shù)調(diào)整裝置,用于根據(jù)對上述被查物體的缺陷抽取程度來調(diào)整上述參數(shù);以及合格與否判斷裝置,用于根據(jù)由上述被檢缺陷抽取裝置所抽取的缺陷的信息來判斷上述被檢查物體是否合格。
文檔編號G01N21/94GK1339140SQ00803250
公開日2002年3月6日 申請日期2000年11月28日 優(yōu)先權日1999年11月29日
發(fā)明者田中利彥 申請人:奧林巴斯光學工業(yè)株式會社