專利名稱：一種用于co的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于電化學(xué)領(lǐng)域，特別適用于大氣監(jiān)測、汽車尾氣監(jiān)控及其他科學(xué)研究。
一種用于大氣監(jiān)測的薄膜型傳感器，其特征在于傳感器由部分穩(wěn)定的氧化鋯等氧離子導(dǎo)體和鈉矽慷(NASICON)或鈉beta氧化鋁雙固體電解質(zhì)構(gòu)成，無參比電極；輔助電極由Ba(NO3)2等硝酸鹽及Na2CO3等碳酸鹽構(gòu)成，氧化鋯薄膜采用射頻濺射技術(shù)制作，碳酸鹽、硝酸鹽采用厚膜技術(shù)制作，鉑電極可用濺射等薄膜技術(shù)制作。
整個傳感器的直徑僅0.8～1.2cm，厚0.3～0.5cm，可同時測試大氣中的CO2及NOx含量；信號以毫伏(mV)輸出，易于和自控設(shè)備連接；應(yīng)答時間20-30秒；使用溫度350-450℃；不受氧或氮等氣體干擾，可直接放置于大氣中；測試范圍1-150ppm NOx；0.01-0.5％CO2；計算公式及測試準(zhǔn)確度CO2在673KlogC(質(zhì)量％)＝3.933-0.01452E(mV)±0.0963；在723KlogC(質(zhì)量％)＝4.206-0.01336E(mV)±0.0391。
NOx在673KlogC(ppm)＝3.412-0.02112E(mV)±0.269；在723KlogC(ppm)＝2.414-0.01120E(mV)±0.197。
本發(fā)明優(yōu)點在于該傳感器體積小，結(jié)構(gòu)簡單，成本低，而且可對CO2-NOx兩種氣體實現(xiàn)同時測量。
4-NASICON或Naβ-Al2O3片 2，7，9-鉑電極 1，6，10-鉑電極引線3-Na2CO3輔助電極 5-YSZ薄膜 8-Ba(NO3)2輔助電極
權(quán)利要求
1.一種用于CO2-NOx氣體監(jiān)測的薄膜型傳感器，其特征在于傳感器由部分穩(wěn)定的氧化鋯等氧離子導(dǎo)體和鈉矽慷(NASICON)雙固體電解質(zhì)構(gòu)成，無參比電極；輔助電極由Ba(NO3)2等硝酸鹽及Na2CO3等碳酸鹽構(gòu)成，氧化鋯薄膜采用射頻濺射技術(shù)制作，碳酸鹽、硝酸鹽采用厚膜技術(shù)制作，鉑電極可用濺射等薄膜技術(shù)制作。
2.如權(quán)利要求1所述的薄膜型傳感器，其特征在于傳感器由部分穩(wěn)定的氧化鋯等氧離子導(dǎo)體和鈉beta氧化鋁雙固體電解質(zhì)構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明屬于電化學(xué)領(lǐng)域，特別適用于大氣監(jiān)測、汽車尾氣監(jiān)控及其他科學(xué)研究。特征在于傳感器由部分穩(wěn)定的氧化鋯等氧離子導(dǎo)體和鈉矽慷(NASICON)或鈉beta氧化鋁雙固體電解質(zhì)構(gòu)成，無參比電極；輔助電極由Ba(NO
文檔編號G01N27/407GK1403807SQ0214640
公開日2003年3月19日 申請日期2002年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月5日
發(fā)明者洪彥若, 孫加林, 王嶺, 金從進(jìn) 申請人:北京科技大學(xué)