專利名稱：單色儀衍射光柵角位移的控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種單色儀衍射光柵角位移的控制方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有單色儀衍射光柵角位移的控制方法中大多采用驅(qū)動電機(jī)加上機(jī)械減速裝置而組成，由于機(jī)械減速裝置的機(jī)械間隙與機(jī)械磨損等影響，采用此種角位移控制技術(shù)的單色議的精度與穩(wěn)定性很難達(dá)到高質(zhì)量的技術(shù)要求。本發(fā)明采用了驅(qū)動電機(jī)直接帶動衍射光柵的方式來實現(xiàn)對衍射光柵角位移的控制，因此排除了機(jī)械傳動所造成的誤差與影響，而且由于增加了光電編碼器的反饋與閉環(huán)控制環(huán)節(jié)，所以大大提高了單色儀的精度和穩(wěn)定性，提升單色儀的技術(shù)品質(zhì)，滿足市場對高端單色議的需要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種結(jié)構(gòu)合理、控制精度高和穩(wěn)定性好的單色儀衍射光柵角位移的控制方法。
本發(fā)明所提供的技術(shù)方案是本控制方法去掉了現(xiàn)有單色儀中驅(qū)動電機(jī)與衍射光柵間的機(jī)械傳動結(jié)構(gòu)，采用了高精度的伺服電機(jī)直接帶動衍射光柵轉(zhuǎn)動，因此從根本上去掉了機(jī)械傳動所造成的誤差，本方案增加了光電編碼器的反饋與閉環(huán)控制環(huán)節(jié)，所以大大提高了單色儀的精度和穩(wěn)定性。


圖1為本發(fā)明的示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖具體說明實施方式如圖1所示，本控制系統(tǒng)由衍射光柵(1)，光柵座(2)，連接軸(3)，軸承(4)及軸承座(6)，伺服電機(jī)(8)與伺服電機(jī)驅(qū)動器(10)，光電編碼器(9)，角位移控制板(11)等零部件組成。
本控制方法為根據(jù)單色儀衍射光柵角位移量的要求，由角位移控制板(11)輸出設(shè)定的角位移控制信號給伺服電機(jī)驅(qū)動器(10)，伺服電機(jī)驅(qū)動器(10)將信號進(jìn)行功率放大后驅(qū)動伺服電機(jī)(8)轉(zhuǎn)動，伺服電機(jī)(8)通過連接軸(3)帶動光柵座(2)和衍射光柵(1)轉(zhuǎn)動，與此同時與伺服電機(jī)(8)同軸安裝的光電編碼器(9)檢測到伺服電機(jī)(8)的角位移量并將獲取的信息反饋給角位移控制板(11)，角位移控制板(11)根據(jù)此信息進(jìn)行計算、判斷并調(diào)整輸出信號來改變伺服電機(jī)(8)的角位移量，實現(xiàn)單色儀衍射光柵(1)的精確角位移控制。
權(quán)利要求
1.一種單色儀衍射光柵角位移的控制方法本控制系統(tǒng)由衍射光柵(1)，光柵座(2)，連接軸(3)，軸承(4)及軸承座(6)，伺服電機(jī)(8)與伺服電機(jī)驅(qū)動器(10)，光電編碼器(9)，角位移控制板(11)等零部件組成。本控制方法為根據(jù)單色儀衍射光柵(1)角位移量的要求，由角位移控制板(11)輸出設(shè)定的角位移控制信號給伺服電機(jī)驅(qū)動器(10)，伺服電機(jī)驅(qū)動器(10)將信號進(jìn)行功率放大后驅(qū)動伺服電機(jī)(8)轉(zhuǎn)動，伺服電機(jī)(8)通過連接軸(3)帶動光柵座(2)和衍射光柵(1)轉(zhuǎn)動，與此同時與伺服電機(jī)(8)同軸安裝的光電編碼器(9)檢測到伺服電機(jī)(8)的角位移量并將獲取的信息反饋給角位移控制板(11)，角位移控制板(11)根據(jù)此信息進(jìn)行計算、判斷并調(diào)整輸出信號來改變伺服電機(jī)(8)的角位移量，實現(xiàn)光柵單色儀衍射光柵(1)的精確角位移控制。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單色儀衍射光柵角位移的控制方法，其特征在于所述的衍射光柵(1)安裝在光柵座(2)上，光柵座(2)通過連接軸(3)與伺服電機(jī)(9)緊密相連。本裝置實現(xiàn)了從伺服電機(jī)(9)到衍射光柵(1)之間無機(jī)械傳動環(huán)節(jié)的緊密連接，因此排除了機(jī)械傳動所造成的誤差與影響。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單色儀衍射光柵角位移的控制方法，其特征在于本控制系統(tǒng)增加了光電編碼器(9)的反饋與閉環(huán)控制環(huán)節(jié)，所以大大提高了光柵單色儀的精度和穩(wěn)定性。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的單色儀衍射光柵角位移的控制方法，其特征在于所述的伺服電機(jī)(8)配套有光電編碼器(9)和伺服電機(jī)驅(qū)動器(10)以及由單片機(jī)系統(tǒng)組成的角位移控制板(11)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種單色儀衍射光柵角位移的控制方法?，F(xiàn)有單色儀衍射光柵角位移的控制方法中大多采用驅(qū)動電機(jī)加上機(jī)械減速裝置而組成，由于機(jī)械減速裝置的機(jī)械間隙與機(jī)械磨損等影響，采用此種角位移控制技術(shù)的單色議的精度與穩(wěn)定性很難達(dá)到高質(zhì)量的技術(shù)要求。本控制方法采用了驅(qū)動電機(jī)直接帶動衍射光柵的方式來實現(xiàn)對衍射光柵角位移的控制，因此排除了機(jī)械傳動所造成的誤差與影響，而且由于增加了光電編碼器的反饋與閉環(huán)控制環(huán)節(jié)，所以大大提高了單色儀的精度和穩(wěn)定性，提升單色儀的技術(shù)品質(zhì)，滿足市場對高端單色議的需要。
文檔編號G01J3/12GK101093175SQ20061008689
公開日2007年12月26日 申請日期2006年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月22日
發(fā)明者張祖剛, 祁志生, 王小川 申請人:北京機(jī)械工業(yè)學(xué)院