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      差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:6125182閱讀:240來源:國知局
      專利名稱:差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明屬于空氣質(zhì)量檢測領(lǐng)域,特別是涉及一種利用差分吸收光譜技術(shù)的 檢測系統(tǒng)。
      背景技術(shù)
      近年來,大氣污染成為人們十分關(guān)注的問題。人們環(huán)保意識的增強(qiáng),使得 環(huán)境監(jiān)測,特別是空氣質(zhì)量監(jiān)測越來越接近人們的生活,而不是單純的科學(xué)活 動。環(huán)境狀況,包括空氣質(zhì)量的好壞也是評價(jià)投資環(huán)境的一個重要因素??諝?污染對人類的生活、生產(chǎn)以及對自然界的損害是十分嚴(yán)重的,因而進(jìn)行大氣污 染物的監(jiān)測、控制與治理具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。
      差分吸收光譜技術(shù)是空氣質(zhì)量監(jiān)測中興起的一種光學(xué)方法,其利用空氣中 的氣體分子的窄帶吸收特性來鑒別氣體成分,并根據(jù)窄帶吸收強(qiáng)度來推演出微 量氣體的濃度的大氣污染在線監(jiān)測技術(shù),該方法以其檢測限低、能同時檢出多 種污染物質(zhì)和相對低廉的設(shè)備等獨(dú)特的優(yōu)勢成為人們所看好的一種實(shí)時動態(tài)光 監(jiān)測技術(shù)。
      現(xiàn)有通過差分吸收光譜技術(shù)的空氣質(zhì)量檢測裝置在儀器設(shè)計(jì)方面,主要采
      用的是收發(fā)同置結(jié)構(gòu),具體監(jiān)測裝置如附圖2所示。燈源采用氤燈,但用傳統(tǒng)
      的光譜處理方法很難消除氙燈本身發(fā)射光譜高頻部分的影響;在光的接收裝置 中,采用的是凹面鏡的會聚作用,由圖中可以看出,其鏡本身阻擋了一部分光 信號,從而減少了光信號的強(qiáng)度;光路采取的是同光路傳輸,即光路的發(fā)射裝 置與接收裝置位于被檢測氣體的同一端,這種設(shè)計(jì)容易發(fā)生色散現(xiàn)象;光探測 器是電荷耦合器件(CCD),其主要優(yōu)點(diǎn)是掃描速度快,但在靈敏度方面遠(yuǎn)不及光 電倍增管中,尤其實(shí)時在線監(jiān)測中,光電倍增管的低噪音優(yōu)點(diǎn)更好的顯示出來<
      在濃度計(jì)算的過程中,主要依據(jù)的是光的吸收定律之Lambert—beer定律, 其公式如下
      /(義)=/。(義)x exp(義)x Cf x丄]
      Me
      xr(/i)
      /=1
      與此同時,為了得到微量氣體的濃度而需要把各種衰減作用分離開來。DOAS 技術(shù)為了解決了這個問題,它把微量氣體的吸收截面分成了隨波長低頻和高頻 變化的兩個部分
      o (X)二Ob(入)+ o ' (X) 其中OB(入)代表了吸收截面的寬帶光譜結(jié)構(gòu),即低頻部分,o'("則代 表了窄帶光譜特性,即高頻部分。
      通過相應(yīng)的數(shù)值濾波處理,可得
      /0(義)=/0 x expj Z 一《義)x C, x丄j十s腳(義)+ s臉
      /(義)=/。(義)x exp
      X
      r(義)
      a義)包含了光譜的低頻成分(除了有寬帶吸收結(jié)構(gòu)外,還有散射和大氣
      湍流對光的衰減作用),/(A)則只包含了窄帶吸收結(jié)構(gòu),而這就是被D0AS用來 測量微量氣體濃度的。從而有
      —術(shù)
      cr;(義)x丄
      Lambert-Beer定律具有線性性質(zhì),因此,空氣中諸多氣體的吸收可以看作 是線性疊加,即
      <formula>formula see original document page 6</formula>在光譜處理中,最終要求得到的就是Z)'。 在差分吸收光譜技術(shù)中,傳統(tǒng)的光譜處理方法的步驟為
      (1) 對原始測量得到的光譜進(jìn)行累加求和平均,目的是為了有效的抑制原 始測量光譜信息中噪聲的影響;
      (2) 由于在光譜記錄過程中會存在探測器的暗電流譜的干擾,所以再用去 噪后的測量光譜減去暗電流譜;
      (3) 在上一步處理的基礎(chǔ)上,用多項(xiàng)式擬合處理測量光譜,擬合求出光譜 信息中低頻部分的曲線,SP/。②;
      (4) 用擬合得到低頻部分在函數(shù)值上除以高頻部分,取其自然對數(shù)得到 Z)',即是所要的氣體吸光度曲線;最后可求出氣體的濃度。
      具體處理過程如附圖3所示,為對S02能量光譜的傳統(tǒng)處理過程,其中(a) 為原始吸收光譜,(b)為原始光譜和低頻部分多項(xiàng)式擬合曲線,(c)為差分吸 收光譜,(d)為經(jīng)過對數(shù)變換的差分吸收光譜,即吸光度曲線。
      在上述光譜處理方法中,存在如下一些不可避免的弊端,以至導(dǎo)致計(jì)算結(jié)
      果的會出現(xiàn)較大的誤差
      (1) 為了消除原始測量光譜中的消除噪聲影響,采用了傳統(tǒng)的平滑處理方 法,這種做法在消除噪聲影響的同時,也平滑掉了一部分的氣體吸收光譜中高
      頻部分的有用信息;
      (2) 低頻部分曲線的擬合時,無法將燈譜中的高頻部分濾去,所以在后面 的處理過程中就會把燈譜的高頻部分算入氣體的吸收光譜中,造成計(jì)算結(jié)果出
      現(xiàn)較大誤差。如在氙燈450nm到480nm有其自己本身的發(fā)射峰。
      (3 )數(shù)據(jù)處理過程中數(shù)學(xué)計(jì)算步驟較多,增大處理過程中本身的計(jì)算誤差;
      --
      、t.1,\
      n一
      (4)在濃度反演計(jì)算時,最小二乘法是對整個吸光度曲線來擬合求值的, 如果在氣體種類較多的情況下,濃度反演計(jì)算的精確度就會降低;另外,未考 慮的氣體也會對氣體濃度的反演計(jì)算產(chǎn)生較大的影響。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種在設(shè)計(jì)相應(yīng)的差分吸收 光譜監(jiān)測儀的基礎(chǔ)上,利用傅立葉變換對所測光譜進(jìn)行解析的系統(tǒng)。 為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的,采用的技術(shù)方案如下
      一種差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng),包括光源、光源發(fā)射裝置和光源接
      收裝置,光譜儀,光電轉(zhuǎn)換設(shè)備,以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng);所述光源發(fā)射裝置和光 源接收裝置將光源發(fā)出的光形成穿過所檢測氣體的光路,且所產(chǎn)生的光信號經(jīng) 光纖傳入光譜儀,再通過光電轉(zhuǎn)換設(shè)備將光信號轉(zhuǎn)換成電信號,最后由數(shù)據(jù)處
      理系統(tǒng)通過Lambert—beer定律對光譜進(jìn)行處理分析;所述光源發(fā)射裝置和光 源接收裝置分別位于光源的兩,!J,且所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)先采用傅立葉變換的信 號分析方法對光譜進(jìn)行處理,得到檢測氣體的吸光度曲線,并根據(jù)吸光度曲線 的強(qiáng)度,結(jié)合Lambert—beer定律得出檢測氣體的濃度。
      本發(fā)明在儀器設(shè)計(jì)方面,采用收發(fā)異置的方式,即光源發(fā)射裝置和接收裝 置分別置于光路的兩端,且采用傅立葉變換的信號分析方法先對光譜進(jìn)行處理, 由于傅立葉變換是一種時一頻轉(zhuǎn)化的分析方法,可以提取時域信號的頻率特征。 故而本發(fā)明在設(shè)計(jì)相應(yīng)的差分吸收光譜儀的基礎(chǔ)上,用傅立葉變換的信號分析 方法來處理差分吸收光譜技術(shù)中的光譜數(shù)據(jù),得到污染氣體的吸光度曲線,并 根據(jù)吸光度曲線的強(qiáng)度,結(jié)合Lambert—beer定律求出氣體的濃度。
      由于在整個監(jiān)測過程中,光信號的強(qiáng)度相當(dāng)重要,所以上述技術(shù)方案中, 所述光源采用高壓氙燈。
      所述光源發(fā)射裝置和光源接收裝置均采用凹面鏡,分別對光路進(jìn)行準(zhǔn)直和
      匯聚,且光源接收裝置為長焦距偏拋鏡,使光信號能夠完全進(jìn)入分光系統(tǒng)。
      所述光電轉(zhuǎn)換設(shè)備采用光電倍增管。由于光路穿過所要監(jiān)測的氣體(大約
      為200米到700米的光路),經(jīng)光纖傳送到光譜儀中的分光系統(tǒng)進(jìn)行分光;本發(fā) 明的光電轉(zhuǎn)換設(shè)備采用的是光電倍增管,光電信增管的突出優(yōu)點(diǎn)是高靈敏度和 低噪音,同時還具有響應(yīng)速度快,感光而積大等特點(diǎn),提高信噪比,以滿足監(jiān) 測的需要。
      至此,光信號經(jīng)光電倍增管轉(zhuǎn)化為電信號后傳入數(shù)據(jù)處理系統(tǒng),再用傅立 葉變換的方法對其光譜信息進(jìn)行分析處理。
      本發(fā)明的技術(shù)方案中,所述傅立葉變換的信號分析方法具體包括如下步

      (1) 對所測氣體的能量吸收光譜進(jìn)行傅立葉變換,得到氣體能量吸收光 譜的頻譜圖;在頻譜圖中,高頻部分對應(yīng)污染氣體的能量吸收光譜,低頻部分 對應(yīng)的是所測能量吸收光譜的低頻部分,低頻部分除了有寬帶吸收結(jié)構(gòu)外,還 包括散射和大氣湍流對光的衰減作用;
      (2) 擬合出頻譜中的低頻部分,在函數(shù)值減去低頻部分,得到被檢測氣 體的能量吸收曲線對應(yīng)的頻譜;
      (3) 將步驟(2)所得到的頻譜再經(jīng)過逆傅立葉變換,取其倒數(shù)的自然對 數(shù),得到被檢測氣體的吸光度曲線,即差分吸收光譜曲線。
      通過上述傅立葉變換的信號分析方法處理后,由吸光度曲線的函數(shù)值,并 結(jié)合Lambert—beer定律即可求出污染氣體的濃度。
      所述傅立葉變換的信號分析方法的步驟(1)對所測氣體的能量吸收光譜 分段進(jìn)行傅立葉變換,所述分段采用能量吸收光譜的特征吸收波段,采用分段 變換,而不對光源本身發(fā)射光譜的高頻部分進(jìn)行變換,從而消除了燈譜高頻部 分的影響。
      所述傅立葉變換的信號分析方法的步驟(2)對低頻部分曲線擬合是在傅 立葉變換后頻譜圖的基礎(chǔ)上,采用對稱零面積法依次找到頻譜中的頻峰,把該 峰對應(yīng)位置的數(shù)據(jù)點(diǎn)用三次樣條插值計(jì)算得到的數(shù)據(jù)點(diǎn)代替以消除該峰,得到 一條平滑的曲線,然后利用最小二乘法對得到的曲線進(jìn)行擬合,得到所檢測氣 體能量光譜低頻部分所對應(yīng)的傅立葉變換后的頻譜圖。
      本發(fā)明在儀器設(shè)計(jì)方面,結(jié)合了光強(qiáng)和光譜處理的需要,光源采用高壓氙
      燈,因?yàn)樵谔幚磉^程中時,考慮到了燈的本身發(fā)射光譜的影響,氤燈在450nm 到480nm波段有明顯的發(fā)射峰;接收裝置采用長焦距偏拋鏡,使光路不受裝置 的阻擋,完全進(jìn)入分光系統(tǒng);光探測采用的是光電倍增管,光電信增管的突出 優(yōu)點(diǎn)是高靈敏度和低噪音,同時還具有響應(yīng)速度快,感光而積大等特點(diǎn),提高 了信噪比。在整個監(jiān)測儀器設(shè)計(jì)中,考慮最主要的是信噪比的提高,因?yàn)樾旁?比對光譜的處理和濃度計(jì)算有很大影響,通過上述幾種設(shè)備的選擇和設(shè)計(jì),很 好地提高了信噪比。
      本發(fā)明結(jié)合差分吸收光譜監(jiān)測裝置和光譜處理方法,可以對從紫外到可見 光段污染氣體的吸收光譜做快速精確地解析,最終得到污染氣體的吸光度曲線 和濃度;該光譜處理過程已編寫成相應(yīng)的軟件,并結(jié)合差分吸收光譜監(jiān)測裝置, 設(shè)計(jì)成為一整套大氣污染監(jiān)測系統(tǒng)。主要監(jiān)測的污染氣體包括S02、 NOx、 CO、 03、 HCHO, 麗3、甲苯,苯甲醛等。
      本發(fā)明與傳統(tǒng)的差分吸收光譜監(jiān)測系統(tǒng)相比,具有以下獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)
      (1) 在監(jiān)測裝置方面,采用了高壓氙燈,特別是IOOOW的高壓氙燈,保 證了足夠的光強(qiáng);
      (2) 光信號的接收系統(tǒng)采用的長焦距的偏拋鏡,可以使光信號完全進(jìn)入 分光系統(tǒng),提高信噪比;
      (3) 考慮到在光譜處理過程中,對光譜的信噪比和分辨率要求比較高,
      采用了高靈敏度和低噪音的光電倍增管;
      (4) 在光譜處理時,傅立葉變換本身即可對所得到的光譜進(jìn)行的平滑處
      理,抑制光譜信息中噪音的影響;同時,可以選擇性的對經(jīng)傅立葉變換后頻譜 的低頻部分進(jìn)行平滑,這樣就不會平滑掉了氣體吸收光譜中高頻部分的有用信 息;
      (5) 在傅立葉變換的同時,對所得光譜數(shù)據(jù)首先進(jìn)行一定的插值處理,
      因?yàn)樵诟盗⑷~變換中,數(shù)據(jù)處理的精度與數(shù)據(jù)點(diǎn)的多少是直接相關(guān)的,這樣處 理的結(jié)果大大提高的光譜的分辨率,不需要通過減小采集間隔來提高光譜分辨 率,因?yàn)橛捎谑鼙O(jiān)測儀器限制,單純地通過減小采集間隔來提高光譜分辨率的
      方法容易帶來更多的噪音干擾;
      (6) 在對原始測量光譜進(jìn)行傅立葉變換的時,可以根據(jù)所測氣體的特征 吸收段進(jìn)行分段傅立葉變換,不對燈本身的發(fā)射光譜進(jìn)行變換,從而消除了燈 譜高頻部分的影響;
      (7) 在傅立葉變化中,在得到污染氣體的吸光度曲線的傅立葉變換頻譜 后,可以對頻譜進(jìn)行分段逆傅立葉變換,分段的依據(jù)是因?yàn)椴煌瑲怏w的吸光度 曲線的傅立葉變換頻譜對應(yīng)不同的頻率。在不同頻率段對氣體進(jìn)行反傅立葉變 換,可以得到一種或少數(shù)幾種氣體的吸光度曲線,在此基礎(chǔ)上用Lambert—beer 定律求出污染氣體的濃度,更加準(zhǔn)確。


      圖l為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖2為傳統(tǒng)的差分吸收光譜監(jiān)測儀收發(fā)同置結(jié)構(gòu)圖; 圖3為傳統(tǒng)差分吸收光譜技術(shù)對S02能量光譜的處理過程; 圖4為采用本發(fā)明的S02的能量吸收光譜; 圖5為圖4經(jīng)傅立葉變換后的頻譜圖6為圖4中低頻部分的擬合頻譜曲線; 圖7為采用本發(fā)明進(jìn)行處理后的S02的吸光度曲線。
      具體實(shí)施例方式
      本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖如附圖l所示,設(shè)計(jì)的差分吸收光譜監(jiān)測裝置是采用 收發(fā)異置的方式。光源采用的是1000W的高壓氤燈,光源發(fā)射裝置和光源接收 裝置采用兩個凹面鏡,且光源發(fā)射裝置和光源接收裝置分別位于光源的兩側(cè), 光探測器采用光電倍增管,數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)采用計(jì)算機(jī);所述光源發(fā)射裝置和光 源接收裝置將光源發(fā)出的光形成穿過所檢測氣體的光路,且所產(chǎn)生的光信號經(jīng) 光纖傳入光譜儀,再通過光電轉(zhuǎn)換設(shè)備將光信號轉(zhuǎn)換成電信號,最后由計(jì)算機(jī) 通過Lambert—beer定律對光譜進(jìn)行處理分析。
      下面以S02為實(shí)例,進(jìn)一步說明本裝置的實(shí)時監(jiān)測和數(shù)據(jù)處理過程,具體 過程如下
      (1) 分別把光源和光信號的接收的裝置置于光路兩端,為了測試監(jiān)測裝 置的性能及光譜分析方法的可行性,光程暫時設(shè)置為10米;
      (2) 光路經(jīng)過配置濃度為5ml/1的S02樣品池,經(jīng)凹面鏡匯聚由光纖傳入 分光系統(tǒng)進(jìn)行分光,光信號經(jīng)光電倍增管轉(zhuǎn)化為電信號后傳入計(jì)算機(jī)(掃描間 隔定為0. Olnm);
      (3) 由上述的差分吸收光譜監(jiān)測裝置獲取分辨率和信噪比較高的S02能量 吸收光譜,先S02的特征吸收波段(280 310rnn)進(jìn)行相應(yīng)的插值處理,數(shù)據(jù) 點(diǎn)由30000個增加65536個,以進(jìn)一步提高光譜分辨率,再在該吸收波段對其 進(jìn)行傅立葉變換,如附圖4和附圖5所示;
      (4) 經(jīng)過傅立葉變換之后,低頻部分曲線擬合是由傅立葉變換后的頻譜 圖得來,把有明顯峰對應(yīng)位置的數(shù)據(jù)用插值計(jì)算得到的數(shù)據(jù)代替,之后用多項(xiàng) 式擬合出一條平滑的曲線,該曲線就是原始測量氣體光譜曲線低頻部分所對應(yīng)
      的傅立葉變換頻譜圖,即附圖4中的低頻部分,擬合的曲線如附圖6所示;
      (5) 得到測量光譜的低頻頻譜,就可以用附圖5的頻譜在函數(shù)值上減去
      附圖6中低頻部分對應(yīng)的函數(shù)值,具體處理過程可以用下式表示
      <formula>formula see original document page 12</formula>
      對上式得到的函數(shù)取其倒數(shù)的自然對數(shù),即可以得到D',在圖中反映的即 是S02的吸光度曲線,具體分析結(jié)果如附圖7所示。
      (6) 經(jīng)過上面幾步光譜處理后,得到了S02的的吸光度曲線,最后根據(jù)吸 光度,并結(jié)合式2. 5求出氣體的濃度為4. 9576ml/l,測量偏差為0. 848%。
      由上面所述,可以看出,由設(shè)計(jì)的監(jiān)測裝置得到污染氣體的吸收光譜具有 較高分辨率和信噪比;光譜經(jīng)傅立葉變換,得分辨率更高的氣體吸光度曲線, 求出的氣體濃度偏差小。通過對監(jiān)測儀器的設(shè)計(jì)和選擇,再結(jié)合光譜處理系統(tǒng), 能夠快速準(zhǔn)確對大氣中的污染物進(jìn)行實(shí)時在線監(jiān)測。
      權(quán)利要求
      1、一種差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng),包括光源、光源發(fā)射裝置和光源接收裝置,光譜儀,光電轉(zhuǎn)換設(shè)備,以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng);所述光源發(fā)射裝置和光源接收裝置將光源發(fā)出的光形成穿過所檢測氣體的光路,且所產(chǎn)生的光信號經(jīng)光纖傳入光譜儀,再通過光電轉(zhuǎn)換設(shè)備將光信號轉(zhuǎn)換成電信號,最后由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)通過Lambert-beer定律對光譜進(jìn)行處理分析;其特征在于所述光源發(fā)射裝置和光源接收裝置分別位于光源的兩側(cè),且所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)先采用傅立葉變換的信號分析方法對光譜進(jìn)行處理,得到檢測氣體的吸光度曲線,并根據(jù)吸光度曲線的強(qiáng)度,結(jié)合Lambert-beer定律得出檢測氣體的濃度。
      2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng),其特征在于 所述光源采用高壓氤燈。
      3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng),其特征 在于所述光源發(fā)射裝置和光源接收裝置均采用凹面鏡,且光源接收裝置為長焦 距偏拋鏡。
      4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng),其特征在于 所述光電轉(zhuǎn)換設(shè)備采用光電倍增管。
      5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng),其特征在于 所述傅立葉變換的信號分析方法具體包括如下步驟(1) 對所測氣體的能量吸收光譜進(jìn)行傅立葉變換,得到氣體能量吸收光 譜的頻譜圖;(2) 擬合出頻譜中的低頻部分,在函數(shù)值減去低頻部分,得到被檢測氣 體的能量吸收曲線對應(yīng)的頻譜;(3) 將步驟(2)所得到的頻譜再經(jīng)過逆傅立葉變換,取其倒數(shù)的自然對數(shù),得到被檢測氣體的吸光度曲線。
      6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng),其特征在于, 所述傅立葉變換的信號分析方法的步驟(1)對所測氣體的能量吸收光譜分段進(jìn) 行傅立葉變換,所述分段采用能量吸收光譜的特征吸收波段。
      7、 根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng),其特征 在于所述傅立葉變換的信號分析方法的步驟(2)對低頻部分曲線擬合是在傅立 葉變換后頻譜圖的基礎(chǔ)上,采用對稱零面積法依次找到頻譜中的頻峰,把該峰 對應(yīng)位置的數(shù)據(jù)點(diǎn)用三次樣條插值計(jì)算得到的數(shù)據(jù)點(diǎn)代替以消除該峰,得到一 條平滑的曲線,然后利用最小二乘法對得到的曲線進(jìn)行擬合,得到所檢測氣體 能量光譜低頻部分所對應(yīng)的傅立葉變換后的頻譜圖。
      全文摘要
      本發(fā)明提供一種差分吸收光譜空氣質(zhì)量檢測系統(tǒng),包括光源、光源發(fā)射裝置和光源接收裝置,光譜儀,光電轉(zhuǎn)換設(shè)備,以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng);所述光源發(fā)射裝置和光源接收裝置分別位于光源的兩側(cè),光源發(fā)射裝置和光源接收裝置將光源發(fā)出的光形成穿過所檢測氣體的光路,且所產(chǎn)生的光信號經(jīng)光纖傳入光譜儀,再通過光電轉(zhuǎn)換設(shè)備將光信號轉(zhuǎn)換成電信號,最后由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)先采用傅立葉變換的信號分析方法對光譜進(jìn)行處理,得到檢測氣體的吸光度曲線,并根據(jù)吸光度曲線的強(qiáng)度,結(jié)合Lambert-beer定律得出檢測氣體的濃度。
      文檔編號G01N21/47GK101105446SQ20071002642
      公開日2008年1月16日 申請日期2007年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月19日
      發(fā)明者劉前林, 王立世, 黃新建 申請人:華南理工大學(xué)
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