專利名稱：修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的方法
修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的方法技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體測(cè)試的方法，尤其涉及一種測(cè)試半導(dǎo)體引腳輸出 電流的方法。背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制程中，通常會(huì)使用測(cè)試儀器對(duì)每個(gè)被測(cè)半導(dǎo)體的參數(shù)進(jìn)行測(cè) 試，以確定是否合格?，F(xiàn)有測(cè)試中，測(cè)試夾具將^l測(cè)半導(dǎo)體待測(cè)量的引腳直 接固定在測(cè)試儀器上，將電流或電壓及控制信號(hào)等用于測(cè)試的信號(hào)輸入到該 半導(dǎo)體，然后測(cè)量該半導(dǎo)體對(duì)于此輸入信號(hào)的響應(yīng)。這種測(cè)_〖式的弊端在于，測(cè)試時(shí)沒(méi)有考慮到接觸電阻的存在，因此容易導(dǎo) 致測(cè)量的值偏離真實(shí)值，從而容易導(dǎo)致測(cè)量的失真。具體來(lái)講，在半導(dǎo)體的 中測(cè)或成測(cè)時(shí)，該半導(dǎo)體的引腳一般是通過(guò)夾具與測(cè)量?jī)x器連接，從而直接 導(dǎo)致接觸電阻的產(chǎn)生。而且該接觸電阻隨接觸壓力的不同而不同，此外，該 接觸電阻還與連接的$ j腳接觸面、夾具的壓持面以及與該引腳接觸面對(duì)接的 接觸面的粗糙程度有關(guān)，因此，接觸電阻通常不能給出具體的指標(biāo)。另外，由于半導(dǎo)體一般在弱電條件下工作，輸入、輸出的電流、電壓的 值比較小，以上所述的微小接觸電阻可能會(huì)大大影響測(cè)試的準(zhǔn)確性，從而讓本來(lái)合格的半導(dǎo)體因不準(zhǔn)確的測(cè)試最終成為廢品；而讓不合格的半導(dǎo)體成為 合格產(chǎn)品。如果是后者，將給后續(xù)使用該半導(dǎo)體的產(chǎn)品帶來(lái)不良影響，甚至 直接毀壞使用該半導(dǎo)體的產(chǎn)品。于2004年3月17日公開(kāi)的中國(guó)發(fā)明專利第02136968.2號(hào)，名稱為"檢 測(cè)探針接觸電阻的測(cè)試結(jié)構(gòu)與方法"中，提供了 一種中測(cè)時(shí)測(cè)量探針接觸電阻 的結(jié)構(gòu)和方法。該探針接觸電阻的檢測(cè)結(jié)構(gòu)包括第一焊墊、第二焊墊、第 三焊墊、第一金屬導(dǎo)線和第二金屬導(dǎo)線。該第一金屬導(dǎo)線連接該第一焊墊與 該第二焊墊，其阻值為Rbl;該第二金屬導(dǎo)線連接該第二焊墊與該第三焊墊, 其阻值為Rb2。該探針接觸電阻檢測(cè)方法包括步驟測(cè)量該第一焊墊與該第 三焊墊間的第一電阻值Rl;測(cè)量該第一焊墊與該第二焊墊間的第二電阻值 R2;測(cè)量該第二焊墊與該第三焊墊間的第三電阻值R3;由該第一電阻值R1、第二電阻值R2 、第三電阻值R3與該探針接觸電阻值Ra的 一特定關(guān)系式 Rbl+Rb2+2Ra=Rl; Rbl+2Ra=R2; Rb2+2Ha-R3;可求得探針接觸電阻Ra的值 Ra= ( R2 + R3陽(yáng)Rl ) /2 ?？山逵傻玫降脑摻佑|電阻值來(lái)選擇可接受的被測(cè)參數(shù)的合格范圍，以減 小才笨針接觸電阻對(duì)測(cè)試準(zhǔn)確性的影響。但是，該方法需要增加較多元件才能 實(shí)現(xiàn)，從而加大了測(cè)試的復(fù)雜度；在檢測(cè)的接觸電阻的過(guò)程中，由于較多元 件的引入可能會(huì)《1入新的測(cè)量誤差；而且該方法只能用于中測(cè)。有鑒于此，提供一種克服以上缺陷的修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸 出電流的方法成為目前有待解決的技術(shù)課題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的 方法，不需測(cè)出接觸電阻的阻值，即可有效解決因接觸電阻而導(dǎo)致的信號(hào)輸 出《1腳輸出測(cè)試電流偏離實(shí)際值的問(wèn)題，提高測(cè)試的準(zhǔn)確性。為了達(dá)到上述目的，提供修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的方 法，該半導(dǎo)體包括電壓輸入引腳、信號(hào)輸入引腳、外接電阻引腳、信號(hào)輸出 引腳和接地引腳，該外接電阻引腳通過(guò)參考電阻R加接地。該方法包括以下 步驟在該半導(dǎo)體的電壓輸入引腳上加測(cè)試工作電壓Vc(.,信號(hào)輸入引腳輸入 測(cè)試控制信號(hào)；測(cè)量信號(hào)輸出引腳實(shí)際輸出電流I福；測(cè)量該外接電阻引腳到地的電壓V' ref及該接地引腳到地的電壓VGND ;用所測(cè)電壓V ' ,.ef和V〔;ND對(duì) 實(shí)際輸出電流I' 。ut進(jìn)行修正，修正公式為<formula>formula see original document page 5</formula>通過(guò)該修正公式得到測(cè)試修正后輸出電流I修m的值。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電 流的方法，用外接電阻引腳到地的電壓V ref及接地引腳到地的電壓VGND對(duì) 實(shí)際輸出的電流I'out進(jìn)行修正，從而在無(wú)須測(cè)出接觸電阻的阻值的情況下， 對(duì)每個(gè)被測(cè)器件的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行修正，進(jìn)而有效解決閨接觸電阻而導(dǎo)致的測(cè) 試準(zhǔn)確性下降的問(wèn)題，從而提高測(cè)試的準(zhǔn)確性。7說(shuō)明書(shū)第3/9頁(yè)此外，還提供另 一種修正半導(dǎo)體S j腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的方法， 該半導(dǎo)體包括電壓輸入引腳、信號(hào)輸入引腳、外接電阻引腳、信號(hào)輸出引腳 和接地引腳，該外接電阻引腳通過(guò)參考電阻Rext接地。該方法包括以下步驟在該半導(dǎo)體的電壓殺命入引腳上加測(cè)試工作電壓vcc,信號(hào)輸入引腳輸入測(cè)試 控制信號(hào)；測(cè)量信號(hào)輸出引腳實(shí)際輸出電流I。ut ;測(cè)量該外接電阻引腳到地 的電壓V'ref(n);計(jì)算出該測(cè)量電壓V'ref(n)經(jīng)過(guò)n次測(cè)量的平均值v' f (AVQ) = vref(i)+vref(2)+A +v:ef(n).測(cè)量該接地引腳到地的電壓VGND ;用測(cè)得的電壓VGND及計(jì)算出的電壓 V'ref (n)的平均值Vref (AVG)對(duì)實(shí)際輸出電流I'。ut進(jìn)行修正，根據(jù)公式<formula>formula see original document page 6</formula>通過(guò)該修正公式得出測(cè)試修正后輸出電流I修正的值。與現(xiàn)有4支術(shù)相比，這種修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的方法，其通過(guò)測(cè)量前n次外接電阻引腳到地的電壓V'ref (n),計(jì)算出的電壓V ret'(n)的 平均值V:ef(AVG),對(duì)于之后的測(cè)試，不在測(cè)量Vw(n),而是用該平均值V:ef(AVG)及測(cè)得的電壓V^。對(duì)實(shí)際輸出電流I。ut進(jìn)行修正。因此，也可以在無(wú)須測(cè)出接觸電阻的阻值的情況下，對(duì)每個(gè)被測(cè)器件的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行修正，進(jìn)而有效解決因接觸電阻而導(dǎo)致的測(cè)試準(zhǔn)確性下降的問(wèn)題；并且這種方法可大大簡(jiǎn)化測(cè)試搡作，提高測(cè)試效率，同時(shí)也確保測(cè)試的準(zhǔn)確性。
圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例中芯片成測(cè)時(shí)理想狀態(tài)下測(cè)試電路原理圖。圖2是本發(fā)明第 一實(shí)施例中芯片成測(cè)時(shí)考慮到接觸電阻的影響時(shí)測(cè)試電路原理圖。圖3是本發(fā)明第一實(shí)施例和第二實(shí)施例中輸入測(cè)試控制信號(hào)及輸出信號(hào)的時(shí)序圖。圖4是本發(fā)明第 一 實(shí)施例中修正芯片成測(cè)時(shí)引腳測(cè);試電壓方法的流程圖。 圖5、圖6、圖7是本發(fā)明第一實(shí)施例中芯片成測(cè)時(shí)分別在接觸電阻為0.5 歐姆、l歐姆、2歐姆的情況下實(shí)驗(yàn)結(jié)果的數(shù)據(jù)圖表。圖8是本發(fā)明第二實(shí)施例中修正芯片成測(cè)時(shí)引腳測(cè)試電壓方法的流程圖。 圖9是本發(fā)明第一實(shí)施例和第二實(shí)施例成測(cè)時(shí)兩種不同修正方法實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。圖10是本發(fā)明第三實(shí)施例和第四實(shí)施例中測(cè)時(shí)兩種不同修正方法實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。
具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。一般而言，半導(dǎo)體，特別是芯片產(chǎn)品在制造過(guò)程中，為了提前避免廢品的 發(fā)生，需要對(duì)用于該產(chǎn)品的晶圓以及將該晶圓封裝后的成品進(jìn)行兩次測(cè)試， 也即中測(cè)和成測(cè)，從而提前將不合格的晶圓或封裝后的產(chǎn)品剔除，以避免其 用于系統(tǒng)或其他元件時(shí)帶來(lái)更大損失。本發(fā)明第 一 實(shí)施例中提供一種第 一修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出 電流的方法，目的是為了解決在成測(cè)中因接觸電阻而導(dǎo)致的測(cè)試準(zhǔn)確性下降 的問(wèn)題。用于成測(cè)的測(cè)試系統(tǒng)一般包括測(cè)試裝置、適配裝置和分選機(jī)，其中該測(cè)試裝置通過(guò)該適配裝置與該分選機(jī)連接；被測(cè)半導(dǎo)體一般為芯片。在本實(shí)施例中，該測(cè)試裝置為北京新潤(rùn)泰思特測(cè)控技術(shù)有限公司生產(chǎn)的 型號(hào)BC3196D的測(cè)試機(jī)臺(tái)；該適配裝置為北京中慶微公司生產(chǎn)的型號(hào)TB9729 的適配器；該分選機(jī)為上海中藝自動(dòng)化系統(tǒng)有限公司生產(chǎn)的型號(hào)為CTS800D 的分選機(jī)；該被測(cè)芯片為北京中慶微公司生產(chǎn)的ZQ9729,以上只是用于說(shuō)明 本實(shí)施例，因此，本發(fā)明并不局限于此。上述設(shè)備及元件均為現(xiàn)有，在此不必贅述，但并不限于此。在本實(shí)施例中， 測(cè)試的環(huán)境濕度為45% ± 5%,溫度為25°C ± 3°C 。如圖1所示，11為芯片ZQ9729,該ZQ9729包4套以下管腳電壓輸入管 腳VDD、信號(hào)輸入管腳INPUT、外接電阻管腳R一EXT、接地管腳GND及 16個(gè)信號(hào)輸出管腳OUTPUT1到OUTPUT16。該芯片ZQ9729的外接電阻管 腳R一EXT通過(guò)參考電阻Rext接地。在本實(shí)施例中，該電阻Rw為1. 1Kn。該對(duì)應(yīng)的管腳抵接在分選機(jī)對(duì)應(yīng)的金手指上，金手指與該管腳機(jī)械并電 性連接。在測(cè)試過(guò)程中，若沒(méi)有接觸電阻的影響，假定管腳R—EXT到地的電壓為 Vref，則輸出管腳輸出電流為 <formula>formula see original document page 7</formula> 其中k為每個(gè)芯片的特征參數(shù)。但是在實(shí)際情況下，因?yàn)镽exl處的電壓Vrer是外接電阻管腳R一EXT相對(duì) 該接地管腳GND的電壓差。另外，由于測(cè)試時(shí)使用金手指與接地管腳GND 進(jìn)行壓接，從而導(dǎo)致產(chǎn)生接觸電阻Re,。而接觸電阻R^的存在，導(dǎo)致實(shí)際測(cè) 量到的Rext處的電壓Vret.被抬高了 。被抬高的電壓值即為接地管腳GND通過(guò) 金手指連接到地的電壓VGND ,如圖2所示。實(shí)際測(cè)量的管腳R_EXT到地的電壓V'ref, V'ref = Vref +VGND。輸出管腳實(shí)際輸出電流IV'ref xk (Vref +VGND)xk為了保證測(cè)試的準(zhǔn)確性，對(duì)實(shí)際輸出的電流值進(jìn)行修正。該修正芯片成測(cè)系統(tǒng)中引腳測(cè)試電壓方法的流程圖如圖4所示，包括以下步驟 步驟一41,將ZQ9729放置在分選機(jī)CTS800D上，該分選機(jī)在該ZQ9729的 電壓輸入引腳上加測(cè)試工作電壓Vcc =5V ，信號(hào)輸入引腳輸入測(cè)試控制信號(hào)， 控制信號(hào)包括時(shí)鐘信號(hào)CLK、串行數(shù)據(jù)信號(hào)SERIAL—OUT、數(shù)據(jù)選通信號(hào) LOAD及使能控制信號(hào)ENABLE,輸入控制信號(hào)和輸出信號(hào)的時(shí)序圖如圖 3所示，輸入控制信號(hào)僅控制每個(gè)輸出管腳是否有電流輸出，并不影響輸出電 流的大小，當(dāng)OUTPUT1到OUTPUT16邏輯輸出均為低電平時(shí)，開(kāi)始測(cè)量； 步驟二42,用萬(wàn)用表測(cè)量信號(hào)輸出引腳實(shí)際輸出電流I'。ut ，該外接電阻引腳到地的電壓V'ref及該接地引腳到地的電壓VGW);步驟三43,用所測(cè)電壓V'ref和V(;ND對(duì)實(shí)際輸出電流I'。ut進(jìn)行修正，根據(jù)理 想輸出電流和實(shí)際輸出電流的關(guān)系，可得出 loutVrefV ref' 一 VGNDI out V ref V ret'因此，輸出電流的修正值I修正為T—i —r Vref -VGND, VGNDl修正—丄out 一丄out X 、,曙 —、utX^ 、,' J。V ref V ref圖5、圖6和圖7是本發(fā)明實(shí)施例中以ZQ9729成測(cè)時(shí)為例，在接觸電阻 不同的情況下，實(shí)驗(yàn)所得結(jié)果的數(shù)據(jù)表。當(dāng)接觸電阻為O. 5歐姆、l歐姆及2 歐姆時(shí)，對(duì)應(yīng)的管腳GND通過(guò)金手指到地的電壓VGND 、管腳R—EXT到地的電壓V'ref、輸出管腳的實(shí)際輸出電流I'。ut。由圖5、圖6和圖7中凄t據(jù)可看 出，隨著接觸電阻的增大，電壓VGND隨之增大，其對(duì)電壓V:ef和實(shí)際輸出電流I'。ut的影響也就越來(lái)越大，電壓V'ref和實(shí)際輸出電流I'。ut的值都隨之增 大了。這樣，如果用這個(gè)輸出電流值來(lái)判斷芯片的合格與否，即便這個(gè)輸出電流值落入了設(shè)定的電流標(biāo)準(zhǔn)范圍之內(nèi)，也有可能是不合格的；同樣，即便這個(gè)輸出電流值落入了設(shè)定的電流標(biāo)準(zhǔn)范圍之外，也有可維是合格的。在本實(shí)施例中，選用30顆型號(hào)為ZQ9729的芯片進(jìn)行測(cè)試，分別測(cè)量出 每個(gè)芯片的測(cè)試所需參數(shù)芯片管腳R—EXT到地的電壓V rei'、管腳GND通 過(guò)金手指到地的電壓VGND和輸出管腳的實(shí)際輸出電流I'。ut 。其中，第n次測(cè)試時(shí)(n為測(cè)試次數(shù)，n=l,2,3,4,......, 30)，測(cè)量本次測(cè)試參考電阻Rref處的電壓V'ref (n)、實(shí)際輸出電流I'。ut (n)及該芯片通過(guò)金手指到地的電壓VcND(n)，根據(jù)之前給出的修正公式，可得本次測(cè)試的修正后輸出電流I修^(n)為T, 、 T , 、 T、 、 v w"n) —VGND(n) T .f 、 " VGND(n) I修n: (n) = Iout (n) = Iout(n) 'x ~~ -二 I()ut (n) x (1 — )。Vref(n) Vref(n)每個(gè)芯片有16個(gè)輸出管腳，如果其中一個(gè)輸出電流值經(jīng)過(guò)修正后不在合 格電流范圍內(nèi)，則該芯片不合格。在此，僅選擇每個(gè)芯片的管腳OUTPUT9 的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行說(shuō)明，所得測(cè)試數(shù)據(jù)如圖9所示。在成測(cè)中，判斷芯片合格 的管腳輸出電流范圍是16.35 18.75mA。通過(guò)30組試驗(yàn)數(shù)據(jù)，可以看出在第l組數(shù)據(jù)中，測(cè)量的實(shí)際輸出電流為 18.78791mA，已超出了合格電流范圍的最大值18.75 mA，利用前面的修正公 式，可得出修正后的電流值I修正(l)"。u((l)x(1-^^) = 18.73174該修正值在合格電流范圍之內(nèi)，如果該芯片的其他管腳的輸出電流經(jīng)該 方法修正后都在合格電流范圍之內(nèi)，則該芯片的此項(xiàng)測(cè)試是合格的。第21組 數(shù)據(jù)中，實(shí)際輸出電流雖然在合格電流范圍之內(nèi)，但通過(guò)修正計(jì)算后，其修 正值都小于合格電流范圍的最小值，因此可判斷該芯片的此項(xiàng)測(cè)試是不合格 的。第一種修正方法無(wú)須準(zhǔn)確測(cè)量該接觸電阻的大小，從而筒化測(cè)試的操作 和測(cè)試系統(tǒng)，提高測(cè)試的效率。本發(fā)明實(shí)第二實(shí)施例提供第二種修正半導(dǎo)體SI腳測(cè)試電壓的方法，其采 用的"i殳備和元件、測(cè)試環(huán)境的溫度和濕度均與第一實(shí)施例相同。該方法的流<formula>formula see original document page 10</formula>程圖如圖8所示。該方法包括如下步驟步驟一81，在修正開(kāi)始后，在該ZQ9729的電壓輸入引腳上加測(cè)試工作電壓 VCC=5V,信號(hào)輸入引腳輸入測(cè)試控制信號(hào)，該步驟與第一實(shí)施例中的步驟 l完全相同，在此不必贅述；步驟二 82,用萬(wàn)用表測(cè)量該外接電阻引腳到地的電壓Va.r(n); 步驟三83，計(jì)算出該測(cè)量電壓Vw(n)經(jīng)過(guò)n次測(cè)量的平均值Vref(AVG) )+A+v:"n);步驟四84，測(cè)用萬(wàn)用表量信號(hào)輸出引腳實(shí)際輸出電流I'。ut,及該接地引腳到 》也的電壓V^D ;步驟五85,用測(cè)得的電壓VcND及計(jì)算出的電壓V'ref(n)的平均值V;ef(AVG)對(duì)實(shí)際輸出電流I'。ut進(jìn)行修正，根據(jù)公式V;ef(AVG),得出測(cè)試修正后的輸出電流I修m 。該方法用前n次測(cè)量的電壓V'rd'(n)的平均值Vref (AVG)對(duì)之后測(cè)試中的 實(shí)際輸出電流I加t進(jìn)行修正。V;ef闊二V》V》)+"V》)(n為測(cè)試次數(shù))。n可得修正后的輸出電流I修『(n)為I修正(n) = 1。"咖 v;ef (AVG) = Un)X(1-^X^); 其中n=l, 2,……，30。本實(shí)施例中，利用第一實(shí)施例中測(cè)量的30顆ZQ9729芯片的測(cè)試所需參 數(shù)參考電阻Rext處的電壓V'「d'、芯片管腳GND通過(guò)金手指到地的電壓V(稀和實(shí)際輸出電流I'。ut 。對(duì)于編號(hào)為1至15的芯片測(cè)量的V'rd'(n)求平均值為Vref(AVG),用該平均值和所測(cè)得芯片管腳GND通過(guò)金手指到地的電壓 VGND(n)對(duì)實(shí)際輸出電流I'。ut(n)進(jìn)行修正；編號(hào)為16至30的芯片'測(cè)試中 不再測(cè)量V ref(n),而是用平均值Vw.(AVG)和VGND(n)對(duì)電流r。ut(n)進(jìn)行修正。計(jì)算出的前15顆芯片的V'ref (n)的平均值Vref (AVG)約等于1.2362V。所 得實(shí)際輸出電流的修正值如圖9所示。對(duì)圖9中兩種修正方法所得實(shí)際輸出電流的修正值進(jìn)行比較，可以看出，采用電壓V'ref的平均值V;ef(AVG)對(duì)實(shí)際輸出的電流j奮正與采用實(shí)際測(cè)量的 電壓V'ref對(duì)實(shí)際輸出的電流修正相比，所引起的修正結(jié)果數(shù)值的變化很小， 可以保證測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確。采用第二實(shí)施例的修正方法，對(duì)于大量的芯片測(cè)試，可以大大簡(jiǎn)化測(cè)試計(jì) 算，同時(shí)對(duì)修正測(cè)試數(shù)據(jù)誤差的效果影響很小。上述成測(cè)時(shí)的修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的兩種方法，也可方式進(jìn)行描述。用于中測(cè)的測(cè)試系統(tǒng)一般包括測(cè)試裝置、適配裝置和探針臺(tái)，其中該測(cè)試裝置通過(guò)該適配裝置與該探針臺(tái)連接；被測(cè)半導(dǎo)體一^l殳為晶圓。在中測(cè)的施例中，該測(cè)試裝置為北京新潤(rùn)泰思特測(cè)控技術(shù)有限公司生產(chǎn) 的型號(hào)BC3168的測(cè)試機(jī)臺(tái)；該適配裝置為適配裝置為北京中慶微公司生產(chǎn)的 型號(hào)TB9716的適配器；該探針臺(tái)為美國(guó)EG公司生產(chǎn)的型號(hào)為EG2001的探 針臺(tái)；被測(cè)晶圓為北京中慶樣么公司生產(chǎn)的ZQ9716,以上只是用于說(shuō)明本實(shí)施 例，因此，本發(fā)明并不局限于此。上述設(shè)備及元件均為現(xiàn)有，但并不限于此。本第三、第四實(shí)施例中測(cè)試的 環(huán)境濕度為45% ± 5%,溫度為25°C ± 3°C 。第三實(shí)施例，中測(cè)時(shí)使用與第一實(shí)施例相同的修正方法。選用30顆型號(hào) 為ZQ9716的晶圓進(jìn)行測(cè)試，每個(gè)晶圓包括以下焊點(diǎn)(PAD): VDD、 INPUT、 R—EXT、 GND及16個(gè)輸出焊點(diǎn)OUTPUTl到OUTPUT16。將該ZQ9716放 置在探針臺(tái)EG2001上，該探針臺(tái)在ZQ9716的焊點(diǎn)VDD加5V電壓，在焊 點(diǎn)INPUT輸入測(cè)試控制信號(hào)。當(dāng)晶圓置于探針臺(tái)上時(shí)，探針頂端與晶圓的每一個(gè)焊點(diǎn)機(jī)械并電性接觸。 在本次實(shí)驗(yàn)中，測(cè)量該ZQ9716的參數(shù)包括焊點(diǎn)R—EXT到地的電壓 V're"焊點(diǎn)GND通過(guò)探針到地的電壓V(;ND、輸出焊點(diǎn)的實(shí)際輸出電流I'out。 該修正方法與以上第一實(shí)施例相同，在此不必贅述。圖10是選擇ZQ9716的 焊點(diǎn)OUTPUT9的部分測(cè)試數(shù)據(jù)。中測(cè)時(shí)，判斷晶圓合格的輸出電流范圍是 15.65~18.75mA,因此通過(guò)判斷修正值是否在合格的輸出電流范圍內(nèi)來(lái)確定該 晶圓的測(cè)試焊點(diǎn)是否合格。第四實(shí)施例，中測(cè)時(shí)使用與第二實(shí)施例相同的修正方法。在本次實(shí)驗(yàn)中，利用第三實(shí)施例中測(cè)量的30顆ZQ9716的測(cè)試所需參數(shù)焊點(diǎn)R一EXT到地 的電壓V',.ef、焊點(diǎn)GND通過(guò)探針到地的電壓V^D、輸出焊點(diǎn)的實(shí)際輸出電 流I'則。對(duì)于編號(hào)為1至15的晶圓測(cè)量的V'ref(n)求平均值為Vref(AVG),用 該平均值和所測(cè)得電壓VGND(n)對(duì)實(shí)際輸出電流I'。ut(n)進(jìn)行修正；編號(hào)為16 至30的晶圓，測(cè)試中不再測(cè)量V'ref(n)，而是用平均值《f(AVG)和VGND(n)對(duì)電流I'加(n)進(jìn)行修正。前15顆晶圓的V'ref(n)的平均值V;ef(AVG)約等于1.2299V。該修正方法與以上第二實(shí)施例相同，在此不再贅述。所得實(shí)際輸出 電流的修正值如圖10所示。通過(guò)上述的試驗(yàn)，可以看出，這兩種修正方法無(wú)論是在中測(cè)時(shí)，還是在成 測(cè)時(shí)都可使用，大大提高測(cè)試準(zhǔn)確度。盡管以上實(shí)施例中所述的半導(dǎo)體為ZQ9729和ZQ9716，但本發(fā)明并不局 限于此，任何因接觸電阻而提高或降低輸出電流或電壓信號(hào)的半導(dǎo)體，皆可 通過(guò)以上實(shí)施例中所述的方法進(jìn)行修正。以上所述實(shí)施方式僅用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明，但不限于此。在不偏離本發(fā)明構(gòu)思 的條件下，所屬技術(shù)領(lǐng)域人員可做出適當(dāng)變更調(diào)整，而這些變更調(diào)整也應(yīng)納 入本發(fā)明的權(quán)利要求保護(hù)范圍之內(nèi)。1權(quán)利要求
1. 一種修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的方法，該半導(dǎo)體包括電壓輸入引腳、信號(hào)輸入引腳、外接電阻引腳、信號(hào)輸出引腳和接地引腳，該外接電阻引腳通過(guò)參考電阻Rext接地，該方法包括以下步驟在該半導(dǎo)體的電壓輸入引腳上加測(cè)試工作電壓VCC，信號(hào)輸入引腳輸入測(cè)試控制信號(hào)；測(cè)量信號(hào)輸出引腳實(shí)際輸出電流I′out；其特征在于該方法還包括測(cè)量該外接電阻引腳到地的電壓V′ref及該接地引腳到地的電壓VGND；用所測(cè)電壓V′ref和VGND對(duì)實(shí)際輸出電流I′out進(jìn)行修正，修正公式為id="icf0001" file="A2007100639610002C1.gif" wi="47" he="11" top= "107" left = "38" img-content="drawing" img-format="tif" orientation="portrait" inline="no"/>根據(jù)該修正公式得到測(cè)試修正后電流I修正的值。
2. —種修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的方法，該半導(dǎo)體包括電 壓輸入引腳、信號(hào)輸入引腳、外接電阻引腳、信號(hào)輸出引腳和接地引腳，該外接電阻引腳通過(guò)參考電阻R ext接地，該方法包括以下步驟在該半導(dǎo)體的電壓輸入引腳上加測(cè)試工作電壓Vc〔'，信號(hào)輸入引腳輸入測(cè)試控制信號(hào)；測(cè)量信號(hào)輸出引腳實(shí)際輸出電流I'。w ;其特征在于該方法還包括測(cè)量該外接電阻引腳到地的電壓V'ref(n);計(jì)算出該測(cè)量電壓V、ef(n)經(jīng)過(guò)n次測(cè)量的平均值 V' f (AVG)= V:ef(l) + Vref(2) + A +V:ef(n).測(cè)量該接地引腳到地的電壓VGND ;用測(cè)得的電壓VGND及計(jì)算出的電壓V'ref (I!)的平均值V:ef (AVG)對(duì)實(shí)際輸出電流I加t進(jìn)行修正，修正公式為 根據(jù)該修正^>式得出測(cè)試修正后的輸出電流I修m 。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的種修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的方法，其特征在于所述半導(dǎo)體為芯片或晶圓。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的種修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的 方法，其特征在于所述參考電阻Rext可以是可變電阻，用來(lái)控制輸出 電法u的大小。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的種修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的 方法，其特征在于所述測(cè)試控制信號(hào)包括時(shí)鐘信號(hào)、串行數(shù)據(jù)信號(hào)、數(shù) 據(jù)選通信號(hào)及使能控制信號(hào)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種修正半導(dǎo)體引腳測(cè)試電壓來(lái)校正輸出電流的方法，其包括以下步驟在該半導(dǎo)體的電壓輸入引腳上加測(cè)試工作電壓V_CC，信號(hào)輸入引腳輸入測(cè)試控制信號(hào)；測(cè)量信號(hào)輸出引腳實(shí)際輸出電流I_out；測(cè)量該外接電阻引腳到地的電壓V_ref及該接地引腳到地的電壓V_GND；用所測(cè)電壓V_ref或其平均值和V_GND對(duì)實(shí)際輸出電流I_out進(jìn)行修正，從而得到測(cè)試修正后電流I_修正的值。因此，在不需測(cè)出接觸電阻的阻值的情況下，可有效解決因接觸電阻而導(dǎo)致的信號(hào)輸出引腳輸出測(cè)試電流偏離實(shí)際值的問(wèn)題，提高測(cè)試的準(zhǔn)確性。
文檔編號(hào)G01R31/00GK101246830SQ20071006396
公開(kāi)日2008年8月20日 申請(qǐng)日期2007年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月15日
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