專利名稱：外觀檢查裝置及外觀檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢查晶片等基板的外觀的裝置及方法。
本申請要求2006年9月29日申請的日本專利申請2006—268478號 的優(yōu)先權(quán)，在這里引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
在半導體的制造工廠等中，通過檢査半導體晶片的周緣部或包括周 緣部的晶片整個面，來進行在處理的中途產(chǎn)生的損傷或缺陷等的檢查。 例如，作為自動檢査晶片的周緣部的裝置，有日本特開2003—243465號 公報所公開的裝置。該檢査裝置將晶片安裝在旋轉(zhuǎn)臺上，并在使彈性體 抵接晶片的周端面以限制晶片位置的狀態(tài)下實施檢查。在晶片的周緣部 附近，在同一平面上配置有拍攝晶片周緣部的上表面的照相機、拍攝側(cè) 面的照相機、以及拍攝下表面的照相機。在拍攝周緣部時，在指定晶片 的槽口位置后，使晶片旋轉(zhuǎn)，并從各照相機取入圖像。各照相機的圖像 在攝像數(shù)據(jù)處理部進行處理，除了槽口的部分之外，自動進行缺陷提取 處理。
通常，在這樣的裝置中已知有以下所述的要求。有時晶片的厚度和 周緣部的研磨形狀因晶片的制造商等而不同。因此，即使是用一個菜單 進行的檢查，在晶片的種類和制造批次變化時，也需要進行照相機的聚 焦(對焦)調(diào)節(jié)，以便能夠得到要檢查的部分的清楚的圖像。當在照相 機中安裝有變焦機構(gòu)的情況下，需要進行變焦調(diào)節(jié)。
此外，晶片有時在處理過程中發(fā)生微小的翹曲，特別是在周緣部發(fā) 生周向的波動。因此，每次在晶片的周緣部上改變檢查位置時，都需要 進行對焦調(diào)節(jié)和變焦調(diào)節(jié)。
再有，用于拍攝周緣部的照明也需要根據(jù)周緣部的位置、凹凸形狀、
損傷、灰塵的附著等來進行調(diào)節(jié)。在使用多個照明的情況下，需要對各 照明進行調(diào)節(jié)。
對焦調(diào)節(jié)、變焦調(diào)節(jié)、照明的調(diào)光其作業(yè)本身要耗費時間，其需要 熟練，而且，在實際進行檢查后，如果需要調(diào)節(jié)則要進行調(diào)節(jié)，要從最 初重新進行再次檢查，所以成為使檢査的節(jié)拍時間增大的原因。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于此類問題而完成，其主要目的是在使用菜單的檢查中途 能夠簡單且快速地進行調(diào)節(jié)。
為了解決上述問題，本發(fā)明涉及一種外觀檢査裝置，其具有將晶 片保持為可自由旋轉(zhuǎn)的晶片保持部；和取得晶片的周緣部的放大像的周 緣攝像部，該外觀檢查裝置按照預先設(shè)定的菜單來進行晶片的周緣部的 外觀檢査。外觀檢查裝置具有插入處理部，其在按照菜單來進行晶片 的周緣部的外觀檢査的中途，使按照菜單的檢査中斷，并執(zhí)行插入處理； 檢查條件設(shè)定部，其能夠按檢查條件的每個項目輸入檢查條件的變更，
以便能夠作為插入處理以與菜單不同的檢查條件進行檢查；以及檢查者
為了向上述檢查條件設(shè)定部輸入檢查條件而使用的輸入裝置。
在該外觀檢査裝置中，在按照菜單來實施檢查的中途，通過執(zhí)行插
入處理，能夠進行與菜單不同的條件的檢查。插入處理所進行的檢查可
在一個部位實施，也可在多個部位實施。
根據(jù)本發(fā)明，由于可在按照菜單來實施檢查的中途執(zhí)行插入處理，
所以可根據(jù)晶片的個體差和檢査者側(cè)的情況來進行與菜單不同的條件的
檢查。即使在晶片存在個體差等的情況下，也可高精度地進行檢查。由
于可在檢查過程中變更條件，所以調(diào)節(jié)容易，且可不從最初重新進行檢
査，所以可縮短檢查的節(jié)拍時間。


圖1是表示本實施方式的外觀檢查裝置的概要結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是表示周緣攝像部的照相機的配置示例的圖。
圖3是表示設(shè)定檢査條件的畫面顯示的一個示例的圖。
圖4是表示包括插入處理在內(nèi)的外觀檢查裝置的處理的流程圖。
圖5是表示具備旋控鍵的外觀檢査裝置的概要結(jié)構(gòu)的圖。 圖6是登記插入處理時的菜單時的流程圖。
具體實施例方式
如圖1所示，外觀檢查裝置1具有在未圖示的機架等上固定的基部
2，在基部2上安裝有檢查部3。檢査部3具有載置作為檢查對象的晶片 W的晶片保持部4，和接近晶片保持部4配置的、取得晶片W的周緣部 的圖像的周緣攝像部5。晶片保持部4和周緣攝像部5由裝置控制部6控 制。再有，除了周緣攝像部5以外，還可設(shè)置能夠觀察晶片W的整個面 的顯微鏡等表面檢查部。
晶片保持部4固定在基部2上，晶片保持部4具有可在圖1中X所 示的水平方向上移動的X工作臺11，在X工作臺11上安裝有可沿與X 軸正交的位于水平方向的Y軸上移動的Y工作臺12。再有，在Y工作 臺12上，安裝有可在與XY方向正交的高度方向上沿Z方向移動的Z工 作臺13。由此，晶片保持部4可相對于周緣攝像部5使晶片W相對地進 行三維移動。再有，在Z工作臺13上設(shè)有旋轉(zhuǎn)部14。旋轉(zhuǎn)部14具有可 繞Z軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)軸15。各工作臺11 13及轉(zhuǎn)軸15的驅(qū)動使用伺服電動 機、滾珠絲杠、減速機構(gòu)來進行。驅(qū)動源可使用步進電動機或線性電動 機。在轉(zhuǎn)軸15的上端設(shè)有吸附工作臺16。在吸附工作臺16的上表面， 設(shè)有通過真空吸附來保持晶片W的未圖示的吸附部。
周緣攝像部5由固定在基部2上的臂部21支撐。周緣攝像部5側(cè)視 時呈具有可容納晶片W的周緣部的凹部22的大致C字形狀，周緣攝像 部5配設(shè)有可拍攝晶片W的周緣部的照相機。圖2中表示三眼式周緣攝 像部的一個示例。照相機具有可拍攝晶片W的周緣部的上表面的第一照 相機25、可拍攝晶片W的周緣部的側(cè)面的第二照相機26、和可拍攝晶 片W的周緣部的下表面的第三照相機27。各照相機25 27構(gòu)成為，具 有CCD (Charge Coupled Device:電荷耦合器件)等攝像元件28和帶對
焦功能的變焦透鏡29，通過在光軸上設(shè)置半反射鏡30，可進行使用照明 裝置31的同軸照明。再有，照相機的數(shù)量可任意變更為一個或五個等。 在僅使用一個照相機時，通過將照相機支撐為可自由移動，來使攝像位 置能夠改變，或者固定照相機，利用可動式的反射鏡使攝像位置能夠改 變。照明裝置31不限于同軸照明，也可在離開照相機25 27的位置處 設(shè)置一個或多個。照明裝置31優(yōu)選的是能以明視場觀察周緣部。圖l所示的裝置控制部6進行晶片保持部4的各工作臺U 13及旋 轉(zhuǎn)部14的驅(qū)動控制、吸附用的真空牽引的控制、周緣攝像部5的各照相 機25 27的變焦調(diào)節(jié)、對焦調(diào)節(jié)、照明裝置31的調(diào)光、以及各照相機 25 27的圖像信號的接收。裝置控制部6例如，由電動機的驅(qū)動電路和 控制真空牽引用的閥的開關(guān)的驅(qū)動電路等構(gòu)成。再有，裝置控制部6還 與計算機41連接。計算機41是與鼠標42或鍵盤43等輸入裝置以及顯示各種設(shè)定或周 緣部的圖像的監(jiān)視器44連接的通用計算機。鼠標42、鍵盤43、監(jiān)視器 44是檢査者可操作的界面。計算機41具有與裝置控制部6、鼠標42、 鍵盤43、監(jiān)視器44連接的I/0 (輸入/輸出)裝置45;控制部46;和存 儲菜單等數(shù)據(jù)的存儲裝置47?？刂撇?6由CPU (中央運算裝置)等構(gòu) 成，其按功能劃分為根據(jù)菜單實施檢査的檢査控制部51;進行插入處理的插入處理部52;進行菜單的登記的菜單登記部53;以及進行圖像的平均輝度、最大輝度的運算和缺陷提取的圖像處理部54。再有，計算機 41可安裝在外觀檢查裝置1上，也可與裝置分開設(shè)置。也可用計算機41 和裝置控制部6形成一個控制裝置。這里，在圖3中表示監(jiān)視器44的畫面顯示的一個示例。該畫面成為 檢查條件的設(shè)定所使用的檢查條件設(shè)定部。作為檢査條件設(shè)定部而提供 的功能選擇畫面70配置于監(jiān)視器44的畫面的下側(cè)，排列顯示有從畫 面上調(diào)節(jié)照相機25 27的變焦的"ZOOM"的滾動條71;從畫面上調(diào)節(jié) 照相機25 27的對焦的"FOCUS"的滾動條72;用于從畫面上調(diào)光的 "LIGHT"的滾動條73;以及從畫面上調(diào)節(jié)晶片W的旋轉(zhuǎn)速度的"SPEED" 的滾動條74。各滾動條71 74具有在橫向上細長的滾動盒75，在滾動
盒75中設(shè)有表示當前的滾動位置的滾動塊76，在滾動盒75的兩端分別 設(shè)有一個滾動箭頭77。滾動箭頭77可用鼠標42的指針78來點擊。滾動 塊76可用鼠標42拖動移動。此外，也可用鍵盤43的方向鍵來使其移動。再有，在各滾動條71 74的附近，與當前的滾動位置對應(yīng)的設(shè)定值 的顯示欄71A 74A按檢查條件的每個項目進行設(shè)置。例如，與"ZOOM" 的滾動條71關(guān)聯(lián)地顯示的設(shè)定值"X5.00"表示選擇了 5倍來作為變焦 倍率。當在用鼠標42點擊該數(shù)值的顯示欄71A 74A而將其激活了的狀 態(tài)下，從鍵盤43輸入數(shù)值時，也可設(shè)定其檢査條件。該情況下，滾動塊 76根據(jù)所輸入的數(shù)值而移動。再有，雖然未圖示，但在作為檢查條件設(shè)定部而提供的功能選擇畫 面中，除此之外，為了設(shè)定晶片W的位置，還可設(shè)置能夠?qū)YZ各個 方向輸入條件的滾動條、設(shè)定晶片W的周向位置的滾動條。這些滾動條 可設(shè)置在功能選擇畫面70上，也可配置在可與功能選擇畫面70切換進 行顯示的其它功能選擇畫面上。下面，對該實施方式的作用進行說明。通過機械手等搬送的晶片W由未圖示的對準裝置對準，將其載置成 晶片W的中心與吸附工作臺16的旋轉(zhuǎn)中心對齊。由裝置控制部6使吸 附部真空吸附晶片W的背面的中心附近。定位并載置在晶片保持部4上的晶片W,按照預先登記的菜單來進 行周緣部的檢査。計算機41從存儲裝置47讀入由檢查者選擇的菜單， 并使檢査控制部51執(zhí)行該菜單。菜單確定照相機25 27的變焦、對焦、 照明、晶片W的旋轉(zhuǎn)速度等各種條件，以便能可靠地取得預定位置的周 緣部的圖像，裝置控制部6按照菜單將指令信號向X工作臺11等輸出。 在設(shè)定菜單時，可使用圖3所示的滾動條71 74。計算機41例如按每個 檢査位置依次記錄滾動條71 74的變化，從而生成用于檢查一塊晶片W 的菜單，菜單登記部53將其登記在存儲裝置47中。在按照菜單來進行檢查時，操作鼠標42等來讀取并執(zhí)行期望的菜 單。晶片W以預定速度旋轉(zhuǎn)，照相機25 27取得周緣部的圖像，并在 監(jiān)視器44上進行顯示。由于調(diào)節(jié)晶片保持部4的XYZ，以使周緣部的圖
像顯示在監(jiān)視器44的大致中央，所以檢查者通過目視確認監(jiān)視器44來檢查有無損傷等缺陷。檢查是在周向上隔開預定距離在多個部位或多個 區(qū)域進行，但也可在周向上連續(xù)地進行。此外，也可以預先輸入并存儲 基準畫面，取該存儲的基準畫面和觀察中的畫面的差，如果其值超過預 先設(shè)定的閾值則視為缺陷等，通過圖像處理來自動提取缺陷、并作為檢查結(jié)果而登記在存儲裝置47中。另外，也可以是圖像處理部54計算出 來自攝像元件2的圖像信號的平均輝度或最大輝度，在它們的值超過預 先設(shè)定的預定閾值時，自動進入插入處理。對于預先設(shè)定的檢查位置，在完成了有無缺陷的檢査的情況下，停 止晶片W的旋轉(zhuǎn)，并在解除吸附后通過機械手搬出晶片W。與之相對，在晶片W翹曲的情況下，晶片W的周緣部有時從照相 機25 27的焦點偏離。此外，有時照明裝置31的光量變得不合適，不 能得到足夠的亮度，或者發(fā)生過亮。在這些情況下，如果不變更檢查條 件，則無法進行外觀檢查。再有，雖然以可判別的方式顯示缺陷，但有時在監(jiān)視器44的端進行 顯示而難以看清，或者因檢查者的身體狀態(tài)等而感到旋轉(zhuǎn)速度過快。在 檢査者不同的情況下，還需要根據(jù)其熟練程度來進行旋轉(zhuǎn)速度的調(diào)節(jié)。 在這樣的情況下，雖然不是不能檢查，但優(yōu)選的是變更檢查條件。在這些情況下，檢查者按下插入按鈕來在檢查過程中變更檢查條件。 再有，插入按鈕也可將能夠通過鼠標42等在監(jiān)視器44上操作計算機41 的按鈕作為GUI (Graphical User Interface:圖形用戶界面)來提供，也 可在未圖示的操作面板上硬件地進行設(shè)置。在圖3的下方表示作為GUI 而在監(jiān)視器44上設(shè)置的插入按鈕和解除插入處理的按鈕的示例。在監(jiān)視 器44的大致整個面上顯示有檢查過程中的周緣部的圖像81，在其下方排 列配置有插入按鈕82和插入解除按鈕83 。圖4中表示插入操作時的流程圖。在步驟S101中執(zhí)行預先登記的菜 單。在檢查結(jié)束前(步驟S102中為否)，如果檢查者按下了插入按鈕82 (步驟S103中為是)，則插入處理部52可從監(jiān)視器44的周緣部的圖像 81通過檢査條件設(shè)定部即功能選擇畫面70來進行設(shè)定變更，因此通過鼠
標42等操作滾動條71 73來變更檢查條件(步驟S104)。例如，在因晶 片W的變形等而導致沒有對焦的情況下，操作"FOCUS"的滾動條72， 使對焦變化。此外，在晶片W的位置相對于周緣攝像部5偏離的情況下， 在圖像81的端顯示周緣部，因此在使其向圖像81的中央移動時，顯示 可分別設(shè)定XYZ的坐標的未圖示的滾動條，以調(diào)節(jié)晶片保持部4的XYZ。 在任何的檢查條件下，都預先確定有可設(shè)定的范圍，能夠在可設(shè)定的范 圍內(nèi)變更檢查條件。在要選擇可設(shè)定的范圍外的檢查條件的情況下，聯(lián) 鎖啟動，此類輸入為無效。然后，變更檢查條件繼續(xù)進行觀察(步驟S105)。再有，插入處理 部52也可以在按下了插入按鈕時，在按下插入解除按鈕之前，將晶片保 持部4的旋轉(zhuǎn)速度控制成在預先設(shè)定的預定值以下。由于照相機25 27 的焦點對準在周緣部，所以用目視確認在監(jiān)視器44上顯示的圖像，以調(diào) 查晶片W的周緣部有無缺陷。再有，根據(jù)需要通過按壓未圖示的保存按 鈕來保存圖像(步驟S106)。例如在需要將缺陷的狀態(tài)作為數(shù)據(jù)保留的情 況下、或使用該圖像來進行處理改良等的情況下，保存該圖像。而且， 例如，在發(fā)現(xiàn)了不得不中止處理的損傷等的情況下，通過按壓未圖示的 結(jié)束按鈕，來在該階段結(jié)束檢査(步驟S107中為是)。在沒有發(fā)現(xiàn)缺陷的情況下，或即使有缺陷也可繼續(xù)進行處理的情況 下(步驟S107中為否)，則前進到步驟S108。在需要追加地變更在當前 的功能選擇畫面70上沒有顯示的檢查條件的情況下，通過按壓未圖示的 換頁按鈕(步驟S108中為是)，而回到步驟S104。例如，可舉出還需要 進一步調(diào)節(jié)攝像角度的情況、需要將其它照明裝置點亮等那樣的變更其 它檢查條件的情況等。與之相對，在不需要以上的檢査條件的變更的情況下(步驟S108中 為否)，插入處理部52判斷是否按下了插入解除按鈕83 (步驟S109)。 在按下了插入解除按鈕83時，插入處理部52解除插入處理(步驟SllO)， 使檢查條件回到菜單設(shè)定值，前進到步驟SIOI，檢查控制部51按照通常 的菜單繼續(xù)進行檢查。此時，從開始插入處理時的檢查位置和檢查條件 再次開始檢查。 當在步驟S109中沒有按下插入解除按鈕83的情況下，保持變更后 的檢查條件回到步驟S101繼續(xù)進行檢查。再有，在檢查條件變更后，當按下在圖1中的監(jiān)視器44上所顯示的 菜單登記按鈕93時，菜單登記部53登記菜單，以在步驟S104中進行了 變更的條件覆蓋登記現(xiàn)有的菜單。另外，也可以與現(xiàn)有的菜單分開作為 新的菜單進行登記。此外，菜單登記按鈕93也可以通過硬件進行設(shè)置。在該實施方式中，在按照預先生成的菜單來進行周緣部的檢查時， 在不改變基本的菜單動作的情況下，能夠進行變更與觀察相關(guān)的檢查條 件的插入處理，因此，即使在由于晶片W存在個體差而難以進行正確的 檢查的情況下，也能夠一邊調(diào)節(jié)一邊進行檢查。即使不使外觀檢查裝置1 完全停止也能夠進行檢查。不需要每次都重新制作菜單，處理變得容易。 由于能夠在想變更檢查條件的場所進行插入處理，所以能夠在條件變更 后繼續(xù)進行期望的位置的檢査。在現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中，在變更了菜單的情況 下，必須從最初重新進行檢査，而在該實施方式中，可僅在需要的地方 變更檢查條件。這樣的效果在檢查者不同的情況、或根據(jù)檢查者的疲勞 程度而變更檢査條件的情況下也是相同的。在變更檢查條件的情況下，只要操作作為檢查條件設(shè)定部進行畫面 顯示的滾動條71 74即可，所以操作容易。利用滾動塊76的位置可目 視識別正在使用可調(diào)節(jié)范圍內(nèi)的哪一區(qū)域的條件，作為印象容易進行捕 捉。由于具體的設(shè)定值在顯示欄71A 74A中與設(shè)定項相關(guān)聯(lián)地進行顯 示，所以容易確認檢查條件的變更。再有，由于條件變更而新登記了菜 單，所以可使用該菜單來進行以后的檢查。再有， 一般在照相機的倍率提高時，使晶片的旋轉(zhuǎn)速度下降較容易 觀察，所以也可以構(gòu)成為，預先在計算機41中存儲照相機25 27的倍 率和在該倍率中容易觀察的旋轉(zhuǎn)速度之間的關(guān)系，在通過變焦來放大圖 像時，使晶片W的旋轉(zhuǎn)速度自動地變化。這樣，在關(guān)聯(lián)地調(diào)節(jié)多個檢查 條件的情況下，成為對象的設(shè)定項目并不限定于倍率和旋轉(zhuǎn)速度。 (第二實施方式)該實施方式的主要特征是插入時的處理不同。再有，圖5所示的外
觀檢查裝置l除了添加了旋控鍵(jog dial) 91來作為輸入裝置以外，其余的是與第一實施方式的結(jié)構(gòu)相同的裝置結(jié)構(gòu)。旋控鍵91是數(shù)據(jù)輸入用的界面，其通過手指使其旋轉(zhuǎn)來進行使用。 可根據(jù)旋控鍵91的旋轉(zhuǎn)方向、旋轉(zhuǎn)速度來進行各設(shè)定項目的調(diào)節(jié)。例如， 如果是變焦功能，當緩慢地旋轉(zhuǎn)旋控鍵91時，倍率的變動小，在加快旋 轉(zhuǎn)速度時，倍率的變動變大。例如，在低倍下緩慢地旋轉(zhuǎn)使倍率緩緩地 變動，隨著變成高倍率而加快旋轉(zhuǎn)，能夠迅速地使倍率變動。在使倍率 下降時，可從高倍率向低倍率迅速地使倍率下降。此外，還能夠使旋控 鍵91快速地旋轉(zhuǎn)來粗調(diào)倍率，然后，緩慢地旋轉(zhuǎn)旋控鍵91以符合適當 的倍率。在登記菜單的情況下，計算機41可如同檢查者操作旋控鍵91 那樣存儲菜單。在旋控鍵91上設(shè)有多個功能切換開關(guān)92。通過選擇功能切換開關(guān) 92，可切換檢查條件的項目。例如，在按壓分配給變焦功能的功能切換 開關(guān)92后使旋控鍵91旋轉(zhuǎn)時，可調(diào)節(jié)變焦的檢査條件。在按壓分配給 旋轉(zhuǎn)速度的功能切換開關(guān)92后使旋控鍵91旋轉(zhuǎn)時，可調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)速度的 檢查條件。功能切換開關(guān)92優(yōu)選配設(shè)成數(shù)量與檢查條件的項目的數(shù)量相 同，但也可以是每按壓一個功能切換開關(guān)92，便可按順序逐一地切換所 設(shè)定的檢查條件的項目。因此，實現(xiàn)了節(jié)約空間化。此外，在具備項目 數(shù)量的旋控鍵91的情況下，不需要功能切換開關(guān)92。如圖6中的流程圖所示，插入處理從步驟S101到步驟S108與第一 實施方式大致相同。即，當在菜單執(zhí)行過程中在步驟S103中按下了插入 按鈕82的時刻，中斷菜單，并存儲菜單中斷時的信息。然后，如果變更 了檢查條件(步驟S104)，則在變更后的檢查條件下實施基于手動操作的 觀察(步驟S105A)。雖然在手動操作中使用旋控鍵91，但也可使用在監(jiān) 視器44上顯示的滾動條71 74。在將旋轉(zhuǎn)速度分配到旋控鍵91時，當 使旋控鍵91反轉(zhuǎn)時，吸附工作臺16也反轉(zhuǎn)。如果不需要基于手動操作的檢查，則按下插入解除按鈕83 (步驟 S201)。通過按壓插入解除按鈕83，來回到按壓插入按鈕82的時刻的狀 態(tài)進行恢復(步驟S202)。
在該實施方式中，通過可進行插入處理，可獲得與第一實施方式同 樣的效果。再有，由于根據(jù)條件變更來新登記菜單，所以可使用該菜單 進行以后的檢查。再有，本發(fā)明不限于上述實施方式，其可廣泛地進行應(yīng)用。 例如，旋控鍵91可設(shè)置于圖1所示的外觀檢查裝置上。此外，圖5 所示的外觀檢査裝置也可不具有旋控鍵91。另外，可使用控制桿等來代替旋控鍵91。晶片保持部4只要可使晶片W在XYZ三個方向上移動，且可使晶 片W旋轉(zhuǎn)即可，其并不限于實施方式的結(jié)構(gòu)。此外，也可以代替使晶片 W在XYZ移動，將周緣攝像部5安裝于X工作臺、Y工作臺、Z工作臺 上，使周緣攝像部5向XYZ三個方向移動。再有，也可以將能向XYZ 中的至少一個方向移動的機構(gòu)設(shè)置于晶片保持部4側(cè)，并將可向其余兩 個方向移動的機構(gòu)設(shè)置于周緣攝像部5側(cè)。
權(quán)利要求
1.一種外觀檢查裝置，其特征在于，在該外觀檢查裝置(1)中具有將晶片(W)保持為可自由旋轉(zhuǎn)的晶片保持部(4)；取得晶片的周緣部的放大像的周緣攝像部(5)；插入處理部(52)，其在按照預先設(shè)定的菜單來進行晶片的周緣部的外觀檢查的中途，使按照菜單的檢查中斷，并執(zhí)行插入處理；檢查條件設(shè)定部，其能夠按檢查條件的每個項目輸入檢查條件的變更，以便能夠作為插入處理以與菜單不同的檢查條件進行檢查；以及檢查者為了向上述檢查條件設(shè)定部輸入檢查條件而使用的輸入裝置(42、43)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 上述插入處理部在以與菜單不同的檢查條件進行了檢查之后，使按照菜單的檢查在中斷的地方再次開始。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 上述外觀檢查裝置具有菜單登記部(53)，當通過上述插入處理部以與菜單不同的檢查條件進行了檢查之后，上述菜單登記部(53)將該檢 查條件作為新的菜單進行登記。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢査裝置，其特征在于， 依據(jù)上述菜單的檢査在周向上隔開預定距離進行多個部位或多個區(qū)域的觀察。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 上述外觀檢査裝置具有對來自上述周緣攝像部的圖像進行圖像處理的圖像處理部(54)，上述圖像處理部進行取預先輸入的基準圖像與通過 上述周緣攝像部攝像得到圖像的輝度的差的處理，并且將上述輝度的差 超過了預先設(shè)定的設(shè)定值的區(qū)域看作為缺陷。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 上述外觀檢查裝置具有從上述周緣攝像部的圖像檢測出輝度的圖像處理部，在超過預定閾值時，自動轉(zhuǎn)移到插入處理。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 上述插入處理部在進入插入處理時控制上述晶片保持部，以使在解除插入之前，使上述晶片保持部以小于等于預定的速度進行旋轉(zhuǎn)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 上述插入處理部預先存儲與上述周緣攝像部的倍率對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)速度，并根據(jù)插入處理時發(fā)生了變更的倍率來控制上述晶片保持部的旋轉(zhuǎn) 速度。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，上述檢查條件設(shè)定部具有按可變化的檢查條件的每個項目設(shè)置的滾動條(71、 72、 73、 74);和表示通過滾動條設(shè)定的條件的值的顯示欄 (71A、 72A、 73A、 74A)。
10. —種外觀檢査方法，按照預先設(shè)定的菜單使晶片(W)旋轉(zhuǎn)， 并同時觀察周緣部的放大像，從而進行晶片的周緣部的外觀檢查，在按照菜單來進行晶片的周緣部的外觀檢查的中途，接收來自檢査 者的指令，使按照菜單的檢査中斷，以檢查者進行了變更的檢查條件實 施檢查，在不同的檢查條件下的檢查結(jié)束后，再次開始依據(jù)菜單的檢查。
全文摘要
本發(fā)明提供一種外觀檢查裝置及外觀檢查方法，該外觀檢查裝置可簡單且快速地進行調(diào)節(jié)。外觀檢查裝置(1)具有將晶片(W)保持為可繞XYZ方向及Z軸自由旋轉(zhuǎn)的晶片保持部(4)，用于觀察晶片(W)周緣部的周緣攝像部(5)接近地配置。在控制外觀檢查裝置(1)的計算機(41)中具有按照菜單來執(zhí)行進行晶片(W)周緣部的外觀檢查的處理的檢查控制部(51)；和插入處理部(52)，其在檢查者選擇了插入處理時，中斷按照菜單的檢查，并從滾動條(71、72)接收檢查條件的變更。
文檔編號G01N21/88GK101158649SQ20071016165
公開日2008年4月9日 申請日期2007年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月29日
發(fā)明者橫田敦俊 申請人:奧林巴斯株式會社