專利名稱：電路圖案檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及電路圖案檢查裝置，該電路圖案檢査裝置能夠非接觸式 檢查在襯底的上面形成的導電圖案是否良好，襯底通過固定的傳感器 部分。
背景技術：
近年來的顯示裝置，取代陰極射線管等真空管顯示裝置，在玻璃襯 底上使用液晶的顯示裝置，即所謂液晶顯示裝置或者等離子顯示裝置 成為主流。所述顯示裝置的制造過程中，對于玻璃襯底上形成的電路 配線構成的導電圖案，進行檢査是否存在斷線或者短路。到目前為止的一般導電圖案的檢査方法，例如專利文獻1中記載的 接觸式檢查方法，檢查探針的針尖順次接觸導電圖案的兩端，從一端 的檢査探針施加直流檢査信號，檢査通過另一端的檢査探針傳輸?shù)闹?流檢査信號，根據(jù)是否有檢查信號檢查是否存在斷線或者短路。(端部 連接方式)。不同的檢查方法還有專利文獻2中記載的方法，使至少兩個檢査探 針與導電圖案的兩端在不接觸的電容耦合狀態(tài)下一邊移動， 一邊從一 個檢査探針施加交流檢查信號，通過另一個檢查探針檢査經(jīng)過導電圖 案傳輸?shù)慕涣鳈z査信號。根據(jù)檢查信號的波形變化，檢査導電圖案中 是否存在斷線或短路。專利文獻1:日本特開昭62-269075號公報專利文獻2:日本特開2004-191381號公報
發(fā)明內容發(fā)明要解決的技術問題上述液晶顯示裝置中是，根據(jù)用戶的需要，通過制造技術進步，實 現(xiàn)顯示畫面大型化和像素精細化。而且，制造商為了對應產(chǎn)量的增加 或者降低單位產(chǎn)品的制造成本，需要在一次制造過程中制造盡可能多 的產(chǎn)品，建造使用對應于大型襯底的制造裝置的生產(chǎn)線。因此，電路 圖案檢查裝置中，也需要制造成能夠對應大型襯底。特別是，像素精細化的電子線路檢査裝置中，由于端部連接式檢查 裝置對于每個制品，需要制成間隙狹窄的多個檢查探針構成的探針卡， 制造成本提高。而且，端部與線寬極小的狹窄導電圖案接觸造成損傷， 有可能成為后續(xù)制造過程中產(chǎn)生不合格的原因，也不能說是適合檢査 精細化圖案的檢查裝置。由于上述理由，希望使用檢査探針與導電圖 案非接觸式的電容耦合式檢查裝置。在非端部連接式，而是利用非接觸式的電容耦合的檢査裝置中，檢 査探針與導電圖案離開一定距離相對向，接收導電圖案傳輸?shù)慕涣鳈z 查信號，所以檢査信號為微小信號。為了提高檢查精度，要求檢查出 的整個交流檢査信號中波動少，突出不良之處的信號變化。因此，在通過配列的導電圖案上方時，保持相同的電容耦合狀態(tài)， 即，檢査探針與導電圖案之間的距離維持在數(shù)十微米單位級內很重要?？墒?，如圖8所示，作為檢查對象的大型玻璃襯底4，與大小相比 較厚度很薄，容易受重力影響，承載的檢查臺52的表面高度差(hl、 h2)影響大。而且，由于處理過程中的加熱，存在發(fā)生極小的整體彎 曲的情況。而且，檢查探針51的移動機構中，由于在數(shù)米的四方的玻 璃襯底上移動，移動機構的結構復雜。為了解決這樣的大型襯底產(chǎn)生的問題，需要制造平坦的檢查臺和移 動機構，所述移動機構需要在檢査時不向上吸附玻璃檢査襯底，并且
高度(檢査探針與襯底之間的距離)不變化。不論從何種角度出發(fā)都 可以推定，對于大型襯底，要求檢查精度保持現(xiàn)在的精度或者比現(xiàn)在 的檢査精度高，技術難度變高，成本會大幅度增加。因此，本發(fā)明的目的是提供一種電路圖案檢查裝置，能夠維持相對 向的導電圖案與檢查探針之間保持一定距離，適合檢査大型化襯底上 形成的導電圖案的斷線和短路。解決問題的技術手段為了實現(xiàn)上述目的，提供一種電路圖案檢査裝置，具有傳感器部， 相對于傳送的襯底上形成的多列導電圖案，以電容耦合的非接觸方式 施加交流檢査信號，以非接觸方式檢測該導電圖案傳輸?shù)纳鲜鼋涣鳈z 查信號；檢查臺，與上述傳感器部以一定距離相對向，由導電體構成； 傳送機構，傳送上述襯底通過上述傳感器部和上述檢查臺之間；襯底 位置調整機構，設置在上述檢査臺的與上述傳感器部相對向面?zhèn)龋?通過的上述襯底維持在既定距離的空氣上浮狀態(tài)；判斷部，根據(jù)上述 傳感器部連續(xù)獲得的上述檢査信號發(fā)生急劇振幅變化判斷導電圖案不 良情況。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，相對向的導電圖案與檢査探針之間維持一定距離，能 夠提供適合檢査大型襯底上形成的導電圖案的斷線或者短路的電路圖 案檢查裝置。


圖1是表示涉及本發(fā)明一個實施方式的電路圖案檢查裝置的模塊結構例子的圖；圖2是表示圖1所示檢測信號處理部的結構例子的圖；圖3是表示從斜上方看本實施方式的電路圖案檢査裝置外觀結構例子的圖4是表示從上方看本實施方式的電路圖案檢查裝置外觀結構例子的圖；圖5 (a)是用于說明檢査臺與傳感器部大小的圖，圖5 (b)是表 示設置在檢查臺上面的襯底位置調整機構的圖；圖6是用于說明用涉及本實施方式構成的檢查部與檢査臺進行檢 查的原理圖；圖7是用于說明襯底的移動距離與傳感器部的輸出信號之間關系 的圖；圖8是用于說明將大型襯底放置于臺子上在傳感器部移動的結構 的圖。符號說明1傳感器部la施加探針lb檢測探針2檢査信號供給部3檢測信號處理部4襯底(玻璃襯底)5檢查臺6襯底位置調整機構7傳送機構8控制部9退避機構10高度位置調整機構11輸入部12顯示部13距離測量傳感器14攝像部15主機裝置16中央處理部(CPU)17存儲部18判斷部19導電圖案21放大電路22帶通濾波器23整流電路24平流電路31裝置底座部(臺架)32支柱33導向部33a導向軌道34傳感器支撐部件35傳送臺架36制動器部件37傳送用輥輪具體實施方式
下面，參照附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。 本發(fā)明的電路圖案檢查裝置，檢査在玻璃制的襯底表面上為了形 成點矩陣顯示面板以一定間隔成列形成的導電圖案是否良好。本實施 方式中，導電圖案的圖案寬度大致相同，各個圖案的間隔也大致相同。 但是，在傳感器部移動時，如果在相同導電圖案的兩個端部，是傳感 器對相對向的圖案，那么即使導電圖案的中間寬度變化，或各個圖案 的間隔不相同，該電路圖案檢査裝置也能夠進行檢査。圖1是表示涉及本發(fā)明的電路圖案檢查裝置的模塊結構例子的圖， 圖2是表示檢測信號處理部的結構例子的圖。該電路圖案檢査裝置大致由如下部件構成傳感器部l，對作為檢 查對象的導電圖案進行非接觸檢查；檢查臺5，在與傳感器部1分離并 相對向檢査時維持分離距離(高度)；傳送機構7，搬送檢查對象的襯 底4通過傳感器部1與檢査臺5之間；控制部8，控制整個裝置，根據(jù) 從傳感器部1獲得的檢查信號，判斷襯底4上形成的多個導電圖案19 是否有斷線及短路、判斷是否良好。而且，作為外圍機構設置有鍵盤或者觸摸屏等輸入部11、顯示設 定條件或者檢查條件等的顯示部12。而且，也可以設置用于遠距離管 理或者監(jiān)視的主機裝置15?？梢詮闹鳈C裝置15輸入檢查條件等。而且，在圖3和圖4表示電路圖案檢査裝置的外觀結構的例子。本實施方式由如下部分構成底座部(臺架)31，是比作為檢查 對象的襯底寬度長的矩形形狀;支柱32，分別設置在底座部31的兩端； 導向部33，橫架在支柱之間；多根導向軌道33a，設置在導向部33的 上面；傳感器支撐部件34，設置為可以在導向軌道33a上滑動；傳感 器部1，吊裝在傳感器支撐部件34;檢查臺7，設置于傳感器部1的下 方相對向位置。而且，在底座部31上具有傳送臺架35，沿著與導向 部33垂直的襯底傳送方向設置；制動器部件36，可以在傳送臺架35 上移動，配合制動襯底4的前端和后端；多個傳送用輥輪37，在傳送 臺架35上方夾住檢查臺7，在傳送方向上流側和下流側均勻設置。而 且，在下面的說明中，相對于配列地配置的導電圖案的寬度方向(圖3 中的X方向或者襯底的傳送方向)，稱為傳感器部的各個探針的長度， 檢査臺中也同樣稱為檢查臺的長度。在這樣的結構中，傳感器部1設置有至少一對的施加探針la和檢
測探針lb。本實施方式中的兩個探針沒有針尖，而是根據(jù)所對向的檢 査對象面積具有一定面積(根據(jù)設計，例如相對于導電體圖案，對著 一個圖案或兩個圖案的程度)的電極板。從檢査信號供給部2向施加探針la供給交流波形的檢查信號，通過電容耦合將所述檢査信號施加 在作為檢查對象的導電圖案19。檢測探針lb位于作為相同檢査對象的 導電圖案19上方，接收(檢測)通過電容耦合導電圖案19傳輸?shù)臋z 查信號。檢測探針lb檢測出作為檢査對象的導電圖案19斷線不良情 況。本實施方式中，檢測探針lb形成為的長度與導電圖案19的寬度 大致相同或者至少比包含導電圖案19之間間距寬度的長度還短。這是 為了容易確定有不良情況的導電圖案。但是，實際中，即使檢測探針 lb對著兩個或三個導電圖案，施加探針la和檢測探針lb各自中心正 對著相同導電圖案，由此也能夠根據(jù)檢測出的信號的峰值確定存在有 不良情況的導電圖案。而且，檢測探針lb的附近也可以設置第二檢測 探針(圖中未示出)，位于與作為檢查對象的導電圖案19鄰接的導電 圖案的上方，檢測作為檢查對象的導電圖案19中的短路。因此，如果只檢查斷路，可以由一對探針構成。在檢査短路的情 況下，最好是由一個施加探針la和兩個檢測探針lb構成，也可以適 當選擇設置。而且，如果是具有對著兩個導電圖案19的寬度(面積) 的檢測探針lb，用一個檢測探針lb就可以檢查斷路和短路是否良好。 而且，第二檢測探針不必位于與作為檢查對象的導電圖案19鄰接的導 電圖案上方，設置在離開數(shù)個導電圖案距離的位置也可以檢測。所具有的這些探針對的數(shù)目根據(jù)形成在襯底4上的導電圖案組(制 品中構成一個顯示面板的導電圖案的劃分)而不同，本實施方式的圖4 所示的例子中，為了同時檢査兩個組，設置了兩組探針對。所述探針 對的數(shù)目由襯底的樣式確定，不使用的探針對退避在導向部33上的襯 底檢査范圍之外。而且，本實施方式中，設置有高度位置調整機構10，由控制部8 控制，用于調整傳感器部1和檢査臺5之間的相對距離(高度位置)； 退避機構9，使傳感器部1沿與襯底4的傳送方向垂直的方向移動，退 避到既定位置。退避機構9由導向部33、設置在傳感器部1或者導向部33的驅動
部(圖中未示出)構成。在傳感器部1不使用時，裝置停止時以及進行檢修維護時等，退避機構9使傳感器部1在導向部33上移動，退避 到襯底檢查范圍的外面。如果使用所述退避機構9，也可以沿著導電圖 案19的形成方向移動，對于判斷出存在不良情況的導電圖案19，為了 檢測出圖案的什么位置存在不良處，也可以兼作使傳感器部1沿著導 電圖案的形成方向移動的移動機構。而且，所述導電圖案中不良處的 位置檢測，也可以其他方式、設置移動機構。
而且，在檢查臺5或者傳感器部1的附近，設置距離測量傳感器 13，用于測量襯底4與檢查臺5之間的距離以及檢查臺5與傳感器部1 之間的距離。距離測量傳感器13，例如可以使用激光，照射襯底4， 根據(jù)所述微小反射光檢測襯底4與檢査臺5之間的距離。或者，照射 襯底4上的導電圖案19，根據(jù)所述反射光檢測距離，減去襯底4的厚 度，計算襯底4與檢査臺5之間的距離也可以。同樣，檢査臺5或者 傳感器部1之間的距離也可以根據(jù)反射光測量。
還有，傳感器部1的附近設置對襯底4的導電圖案19攝像的攝像 部14，根據(jù)拍攝的圖像進行檢査開始位置的位置確定。而且，附帶設 置在傳感器部l上，可以一體移動，對檢測出的圖案上的不良處攝像， 并使圖像顯示也可以。
檢查臺5由導電體構成，如圖5 (a)所示，它的寬度L2特別是相 對于傳感器部1的檢測探針lb的寬度Ll，為從相同寬度至2倍以下的 寬度。而且，如圖5 (b)所示，檢查臺5的上面設置有襯底位置調整 機構6。
本實施方式中的襯底位置調整機構6，例如由如下部分構成空氣 吐出部61，圓盤形狀，由多孔材料形成；吸引口62，設置在圓盤中央 或附近位置；空氣供給部63，由向空氣吐出部61提供空氣的壓縮機等 構成；空氣吸引部64，由從吸引口62進行吸氣的泵等構成。本實施方 式中，在圖5 (b)中，原理上示出了四個空氣吐出部61，但是并不限 于此，只要設置空氣吐出部的個數(shù)能夠使通過傳感器部1與檢查臺6 之間的襯底以既定距離(距離檢査臺既定距離或者距離傳感器部既定 距離中的任何一個均可)維持空氣上浮的狀態(tài)就可以。因此，空氣吐 出部61配置成多列也可以。另外，本實施方式中表示為空氣吐出部61
從上方看呈圓形，但并不限于此，設置成呈矩形的矩陣配置或者適當 的偏離設置都可以。還有，空氣吐出部61形成為六角形、蜂窩形狀配 置也可以。而且，襯底位置調整機構6利用公知的氣浮機構也可以。由于空氣供給部63中必須供給一定流量的空氣，例如也可以使用質量流量控 制器來控制。另外，不限于空氣，也可以使用氮氣或者惰性氣體。而 且，由于制造過程的關系，如果在導電圖案成膜之后立即進行檢査， 同時調整用于上浮的吐出氣體的溫度(降低溫度)、同時對襯底4進行 冷卻處理等也可以。在該結構中，空氣吐出部61通過多孔材料從整個表面均勻吐出空 氣。而且，吸引口 62以某種程度吸引吐出的空氣。在這樣的結構中， 通過增減空氣吐出量和吸引量的比率，使玻璃等襯底4位于檢查臺5 上，襯底4 一方面通過吐出的空氣上浮， 一方面通過吸引限制上浮的 距離。即，所述檢查臺的上方的襯底4，在上浮距離被調整的位置，處 于空中停止的狀態(tài)。本實施方式中，構成為襯底4維持在從檢查臺5 開始上浮一定距離的狀態(tài)。所述上浮機構不限于上述構成。而且，本實施方式中，檢查時，由于固定檢査臺5和傳感器部1， 設置有傳送機構7，傳送襯底4通過檢查臺5與傳感器部1之間。傳送機構7可以使用作為傳送手段的各種公知機構。例如，皮帶 傳送機構、設置有多個輥輪的輥輪傳送機構、使用線性電動機的電動 機滑動傳送機構、通過空氣上浮的空氣上浮傳送機構等，將這些機構 組合也可以。本實施方式中，如圖3和圖4所示例子，在檢查臺5的 傳送方向的上流側和下流側配置，使用分別的多個輥輪37構成的輥輪 傳送機構。本實施方式中，配置為夾持檢査臺7，在上流側和下流側分 開，與制動器部有一部分重合。所述輥輪37設置有圖中未示出的旋轉 驅動機構，通過控制部8的控制進行旋轉，傳送承載的襯底4。而且， 如果能夠將襯底4傳送到適當?shù)姆秶鷥?，就不必在全部輥?7上設置 驅動機構。本實施方式中，例如，襯底4的前端側和后端側分別設置有制動 器部36。制動器部36設置有在傳送方向上以一定速度滑動移動的滑動 機構。這些制動器部36在由輥輪37傳送襯底4時，能夠控制為以一
定速度傳送襯底4。而且，在輥輪37沒有設置驅動機構的自由狀態(tài)， 或者取代輥輪37用空氣上浮機構處于上浮的狀態(tài)下，通過使制動器部 36在傳送方向滑動，也可以進行襯底傳送。而且，作為變形例，例如，也可以采用使用皮帶傳送裝置的皮帶 傳送機構。皮帶傳送裝置，制有避開檢查臺7的皮帶軌道也是可以的。 即，構成為，皮帶傳送裝置在檢査臺7的近前，首先往下沉，穿過檢 査臺7的下方后，再次升起。通過這種結構，由于夾著檢査臺7的上 流側和下流側的襯底傳送速度相同，因此容易控制傳送速度。而且， 皮帶傳送裝置上有多個小孔開口，內部設置有風扇等，通過從內側吸 氣，能夠在襯底4吸附在皮帶傳送裝置的狀態(tài)下進行傳送，能夠防止 傳送途中襯底偏離。另外，檢測信號處理部3由如下部件構成放大電路21，將傳感 器部1輸出的微小模擬檢測信號放大到既定電壓電位(可以判斷是否 良好的電位)；帶通濾波器22，從放大電路21放大的檢測信號中去除 噪聲成分，通過必要的頻帶；整流電路23，將來自帶通濾波器22的檢 測信號全波整流；平流電路24，將全波整流后的檢測信號平流處理。 而且，進行全波整流的整流電路23及使檢測信號平流的平流電路24 不是必須具備的?？刂撇?具有中央處理器(CPU) 16，根據(jù)程序或設定的計算 條件進行計算處理；存儲部17，存儲CPU 16使用的程序、控制參數(shù) 以及檢査結果等；判斷部18，根據(jù)CPU16設定的判斷基準，判斷檢査 對象的導電圖案是否存在斷線不良情況或者短路不良情況。而且，檢査信號供給部2，作為檢査信號產(chǎn)生例如交流200KHz、 200V的正弦波信號，供給到施加探針la。在這種情況下，由于帶通濾 波器22檢測出的檢查信號也是200KHz，所以使用通過200KHz頻帶 領域的濾波器。而且，檢査信號不限于正弦波信號，只要是有振幅的 信號就可以，矩形波或者脈沖波形也可以。下面，說明這樣構成的本實施方式的電路圖案檢查裝置的檢査過程。首先，啟動時，由檢查者輸入裝置內各個組成部分的初始設定、 輸入檢查參數(shù)(由作為檢查對象的襯底和導電圖案確定的檢査參數(shù))、
設定檢查條件。檢查條件作為預定的檢査參數(shù)，是由作為檢查對象的 襯底和導電圖案確定的數(shù)值。例如，作為檢查對象的襯底的尺寸大小 和厚度等的設定、傳感器部相對于導電圖案的位置配合等根據(jù)常規(guī)進 程的設定。此時，使用模型襯底等進行條件設定及試驗性的檢査也可 以。此時，作為檢査對象的襯底4通過襯底位置調整機構6從檢査臺5 開始調整為例如上浮30|Lim的狀態(tài)。而且，通過高度位置調整機構10 進行高度(Z方向)調整，使傳感器部1的施加探針la和檢測探針lb 與襯底4上的導電圖案的距離為適合進行施加和檢測檢査信號的距離。 在實際中對導電圖案進行信號施加/檢測的同時進行所述調整也可以。 而且，傳感器部1的施加探針la和檢測探針lb位于導電圖案的兩端 上方，非接觸地定位。然后，向上流側的傳送機構7供給檢查對象的襯底4。此時，傳送 用輥輪37上，制動器部36分別在襯底4的前端和后端。傳感器部1 的位置調整確認后，通過傳送機構7將襯底4傳送到檢査開始位置。 此時，例如，通過攝像部14拍攝的圖像確認開始位置。根據(jù)來自控制部8的實施檢査的指令，傳送機構7傳送襯底4，如 果對著檢查臺5，通過傳感器部1向導電圖案施加檢查信號，進行檢測 通過導電圖案傳輸?shù)臋z查信號。檢測信號輸入到檢測信號處理部3。檢測信號處理部3如圖2所示，首先通過放大電路21將輸入的檢 測信號放大到必要的電位。然后，放大的檢測信號通過只允許檢査信 號的頻帶通過的帶通濾波器22,除去噪聲成分。然后，通過帶通濾波 器22的檢測信號通過整流電路23全波整流。而且，全波整流后的檢 測信號通過平流電路24進行平流，生成檢測信號。所述檢測信號通過 控制器8中未圖示的A/D轉換部進行數(shù)字化處理。CPU 16變換進行A/D變換后的數(shù)字檢測信號，傳輸?shù)脚袛嗖?8。 判斷部18檢測讀出的檢測信號中是否有瞬間急劇變化，然后通過所述 變化的正負方向，判斷是否有斷線或者短路。具體地，對于通過傳感器部1連續(xù)檢測的檢測信號，判斷相對于 近前的檢測信號值是否發(fā)生急劇變化(具有峰值并恢復到原信號值附 近的信號值振幅變化)，導電圖案中是否存在短路或者斷線等不良情
況。而且，來自根據(jù)本實施方式的傳感器部1的檢測信號以一定的電 壓電位推移，例如檢測出的檢測信號的電位中即使發(fā)生波動等上下變 動，也能夠進行上述判斷。即，對于信號值的急劇變化，預先設定判 斷電位，對從近前的信號值開始超過所述判斷電位的急劇變化進行判 斷為不良情況，相對于波動等緩慢檢測信號電位變化，不進行良好/不 良情況的判斷。因此，判斷基準對于信號值的經(jīng)時變化，在正負方向 上與判斷電位(信號值)重疊，通常根據(jù)在近前的檢測信號值或者由 預先設定的期間內平均的檢測信號值得到的正負某個范圍(以檢測信 號值為中心的寬度)進行判斷，檢測出在所述范圍的上限或者下限之 外的檢測信號，判斷檢查對象的導電圖案不良。而且，預先設定的期 間內平均的檢測信號值，也可以是所述期間整體(累計值)的平均值， 也可以是所述期間中多次取得的檢測信號值的平均值。而且，如果檢 測信號值為a，判斷電位為b，自檢測信號值開始的正負某個范圍的上限或下限中，判斷是否良好的范圍上限是a+b，范圍的下限是a-b。圖6是表示檢査部和檢查臺中進行檢査的原理。如圖6所示，傳 送中的襯底4通常由檢査臺5維持上浮30pm的狀態(tài)。因此，即使襯底 4發(fā)生彎曲或歪斜，由于能夠對襯底4的檢査對象區(qū)域進行位置調整， 因此傳感器部1與導電圖案之間的距離一定。圖7表示襯底4的移動距離和從傳感器部1輸出信號(放大處理 之后)的一個例子。通過本實施方式的襯底位置調整機構6調整襯底4 的位置的結果A是推移0.3V。另一方面，襯底位置調整機構6不工作， 不進行襯底4的位置調整的結果B，由于襯底4的高度變化，傳感器 部1和導電圖案之間的距離變化，所述結果B在大約0.12V至大約 0.19V的范圍內變化。共計在大約24mm、大約53mm的位置處檢測出 不良的地方。而且，以前，利用軟件對輸出結果的波動進行補償。本 實施方式中，由于能夠直接利用硬件的輸出結果進行判斷，不需要進 行平坦化的軟件處理，因此能夠實現(xiàn)裝置結構簡單化和判斷快速化。如上所述說明，根據(jù)本實施方式，由于傳感器部中的施加探針和 檢測探針與導電圖案非接觸，不會發(fā)生實施檢査時因為接觸導電圖案 發(fā)生的損傷，能夠防止表面損傷或剝離等。而且，檢查時，傳感器部與檢査臺之間的距離固定，其間襯底通過檢查臺上方的一定位置。因此，傳感器部與襯底上的導電圖案之間 的距離一定，能夠防止檢測信號中發(fā)生電位波動等上下變動。而且，由于襯底在傳感器部和檢查臺之間進行位置調整而通過規(guī) 定位置，即使在傳送過程中發(fā)生上下變動或者襯底彎曲或歪斜，檢測 結果也不會發(fā)生問題。因此，不需要高精度傳送機構，能夠利用簡單 的傳送機構。因此，不僅能夠降低裝置的制造成本，還可以使用各種 傳送機構。而且，本實施方式中，由于不是承載固定襯底的裝置的現(xiàn)有檢査 臺，因此不會因為襯底的大小尺寸而需要較高平面精度的臺面，因此 檢查臺的制造不需要高度熟練的技術。而且，不是采用傳感器部在襯 底上移動的結構，因此不需要用于移動檢査的傳感器移動機構，只需 要檢査前進行高度調整的簡單小型調整機構就可以實現(xiàn)。而且，通過在作為檢查對象的襯底寬度的設計階段考慮、傳感器 部的數(shù)目和設置傳感器部的導向部的長度，即使是尺寸不同的襯底， 只需要將傳感器部與襯底配合移動到導向部上，對于各種尺寸的襯底 都可以進行相同的檢查，使裝置具有高通用性。而且，能夠在結構上 增減傳感器部的數(shù)量，使用者能夠容易地應對襯底檢査要求的做法。而且，由于傳感器部與導電圖案之間的距離一定，使耦合的靜電 容量不發(fā)生上下變動的電位波動，不需要軟件處理，不存在需要提高 控制部處理能力的問題，結果處理簡單化，而且能夠提高檢測時間等 響應性能。而且，能夠容易地判斷不良之處的信號電位變化，能夠抑 制發(fā)生誤判斷。導向部設置有退避機構，使傳感器部能夠沿著襯底上形成的導電 圖案的圖案方向進行退避移動，因此在發(fā)現(xiàn)導電圖案上存在不良情況 時，利用退避機構使傳感器部沿著導電圖案移動，能夠檢測出導電圖 案的不良之處的位置。
權利要求
1、一種電路圖案檢查裝置，其特征在于，具有傳感器部，相對于傳送的襯底上形成的多列導電圖案，以電容耦合的非接觸方式施加交流檢查信號，以非接觸方式檢測該導電圖案傳輸?shù)纳鲜鼋涣鳈z查信號；檢查臺，與上述傳感器部分離相對向，由導電體構成；傳送機構，傳送上述襯底通過上述傳感器部與上述檢查臺之間；襯底位置調整機構，設置在上述檢查臺的與上述傳感器部相對向面?zhèn)?，使通過的上述襯底維持在既定距離的空氣上浮狀態(tài)；判斷部，根據(jù)上述傳感器部連續(xù)獲得的上述檢測信號發(fā)生急劇振幅變化，判斷導電圖案不良情況。
2、 根據(jù)權利要求1所述的電路圖案檢査裝置，其特征在于，上述 襯底位置調整機構具有空氣吐出部，由多孔材料形成，使氣體透過；吸引口，設置在上述空氣吐出部內或者附近，吸引從所述空氣吐出 部吐出的上述氣體；空氣供給部，向上述空氣吐出部提供空氣； 空氣吸引部，從上述吸引口進行吸氣；通過增減從上述空氣吐出部吐出的上述氣體的吐出量和從上述吸 引口吸引空氣的吸引量之間的比率，使上述襯底在上述檢查臺上以既 定距離，維持上浮的狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種通過非接觸式傳感器進行導電圖案檢查的電路圖案檢查裝置，解決由于大型化的襯底產(chǎn)生檢查臺表面高度差或者襯底彎曲，檢查時傳感器部移動機構的移動精度和技術難度提高，影響制造成本的問題。本發(fā)明的電路圖案檢查裝置中，在檢查時非接觸式傳感器部和檢查臺固定，傳送的襯底距離檢查臺一定距離處上浮狀態(tài)下通過，使作為檢查對象的襯底上的導電圖案與傳感器部之間保持一定距離，能夠抑制檢測出的檢測信號的電位發(fā)生波動等上下變動，能夠使用簡單的傳送機構。
文檔編號G01R31/02GK101398464SQ20081021147
公開日2009年4月1日 申請日期2008年9月26日 優(yōu)先權日2007年9月26日
發(fā)明者石岡圣悟, 羽森寬 申請人:Oht株式會社