專利名稱：一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在生產(chǎn)柔性基材金屬化薄膜過程中，對金屬化薄膜的電阻 進(jìn)行在線測量的裝置。
背景技術(shù)：
在柔性基材金屬化薄膜的各項(xiàng)性能參數(shù)中，薄膜電阻是最重要最直接的參 數(shù)之一。它不僅可以反映薄膜的厚度，而且與薄膜的光學(xué)等其它性能密切相關(guān)。 因此，成膜過程中，通過在線連續(xù)測量薄膜電阻，從而控制金屬化薄膜的成膜 條件，使所成薄膜的表面電阻在設(shè)定水平上均勻一致，由此還可以控制薄膜的 其它性能，提高產(chǎn)品質(zhì)量和合格率。
現(xiàn)有在線測量金屬化薄膜電阻的技術(shù)中，有一種方法是將金屬化薄膜夾在2 個金屬輥之間，測量金屬輥之間的表面電阻。但是，這種方法僅能測量長度方 向的表面電阻，對幅寬方向的表面電阻卻無能為力。
此外，還有一種方法是，通過外加磁場，測量金屬化薄膜內(nèi)感生的電流渦 流，從而計算出薄膜的表面電阻。然而，這種方法在測量表面電阻較大(大于 10Q/口)的金屬化薄膜時，需要施加極高的磁場強(qiáng)度；此外，在線連續(xù)測量時， 由于塑料基材的抖動，使傳感器部與金屬化薄膜間的距離發(fā)生變化，造成耦合 電感不能穩(wěn)定，測量誤差較大。
還有，作為對上述技術(shù)進(jìn)行的改進(jìn)，在測量金屬化薄膜內(nèi)感生渦流的同時， 測量金屬化薄膜的溫度以及金屬化薄膜與傳感器之間的距離，然后計算出薄膜 電阻。但是，進(jìn)行這種測量的裝置很復(fù)雜，價格昂貴；其次，該方法需要對每一種待測樣品進(jìn)行距離和溫度校正，測量極不方便；再次，由于溫度傳感器與 金屬化薄膜非接觸，距離約幾毫米，使測量溫度和金屬化薄膜的實(shí)際溫度有一 定誤差，從而給計算結(jié)果帶來誤差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提出一種柔性基材金屬化薄 膜電阻的在線測量裝置，它可在線準(zhǔn)確測出柔性基材金屬化薄膜的電阻，用以 根據(jù)金屬化薄膜電阻的變化，調(diào)節(jié)鍍膜工藝參數(shù)，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量和合格率。
本發(fā)明的技術(shù)方案是，所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置包括
測量輥，所述測量輥有兩端分別經(jīng)軸承裝在支座上的輥軸，由固定安裝在該輥
軸上的絕緣內(nèi)襯和套裝在該絕緣內(nèi)襯外周的橡膠圈組成輥體，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是，
所述輥體一端固定安裝有隨動接線圓盤，該隨動接線圓盤上沿徑向設(shè)有至少一
組電刷且每組電刷由兩個電刷組成；所述隨動接線圓盤外側(cè)對應(yīng)設(shè)有固定安裝
在支座上的固定接線圓盤且該固定接線圓盤內(nèi)側(cè)端面設(shè)有至少一組銅環(huán)且每組
銅環(huán)由兩只銅環(huán)組成， 一組銅環(huán)中的兩只銅環(huán)分別同對應(yīng)一組電刷中的兩個電
刷對應(yīng)相接觸；所述輥體上裝有至少一組測量銅環(huán)且每組測量銅環(huán)由兩只測量
銅環(huán)組成，其中每只測量銅環(huán)分別經(jīng)裝在輥體中的屏蔽導(dǎo)線同對應(yīng)一組電刷中
的一只對應(yīng)電刷連接；而固定接線圓盤上每組銅環(huán)的兩只銅環(huán)經(jīng)相應(yīng)屏蔽饋線
及真空陶瓷封裝凸緣、信號線同電阻檢測儀連接；所述測量銅環(huán)的外徑不小于
所述橡膠圈的外徑。
以下對本發(fā)明做出進(jìn)一步說明。
參見圖1和圖2，本發(fā)明所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置包括 測量輥27，所述測量輥27有兩端分別經(jīng)軸承17裝在支座16上的輥軸20，由 固定安裝在該輥軸20上的絕緣內(nèi)襯5和套裝在該絕緣內(nèi)襯5外周的橡膠圈4組成輥體，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是，所述輥體一端固定安裝有隨動接線圓盤8，該隨動接線 圓盤8上沿徑向設(shè)有至少一組電刷且每組電刷由兩個電刷9組成；所述隨動接
線圓盤8外側(cè)對應(yīng)設(shè)有固定安裝在支座16上的固定接線圓盤15且該固定接線 圓盤15內(nèi)側(cè)端面設(shè)有至少一組銅環(huán)且每組銅環(huán)由兩只銅10環(huán)組成， 一組銅環(huán)
中的兩只銅環(huán)10分別同對應(yīng)一組電刷中的兩個電刷9對應(yīng)相接觸；所述輥體上
裝有至少一組測量銅環(huán)且每組測量銅環(huán)由兩只測量銅環(huán)3組成，其中每只測量 銅環(huán)3分別經(jīng)裝在輥體中的屏蔽導(dǎo)線6同對應(yīng)一組電刷中的一只對應(yīng)電刷9連 接；而固定接線圓盤15上每組銅環(huán)的兩只銅環(huán)10經(jīng)相應(yīng)屏蔽饋線11及真空陶 瓷封裝凸緣12、信號線13同電阻檢測儀14連接；所述測量銅環(huán)3的外徑不小 于所述橡膠圈4的外徑。
為了使所述測量銅環(huán)3的外周表面有優(yōu)良的接觸導(dǎo)電性，可在所述測量銅 環(huán)3的外周表面鍍.層金。
實(shí)際應(yīng)用時，可將測量機(jī)構(gòu)設(shè)計為圖l所示的組成，即在測量輥27的兩側(cè) 對稱地設(shè)置兩個導(dǎo)向輥23、 25，同時相應(yīng)配置兩個可以通過導(dǎo)向輥精確控制基 材張力的張力控制器24、 26;待測的金屬化薄膜帶28在運(yùn)行中同測量輥27保 持一定的接觸面；測量輥27運(yùn)轉(zhuǎn)時，隨動接線圓盤8隨該測量輥同軸轉(zhuǎn)動；一 組測量銅環(huán)的兩只測量銅環(huán)3之間的金屬化薄膜帶28的電阻則被由該兩只測量 銅環(huán)3及相應(yīng)電刷、電刷銅環(huán)、電阻檢測儀組成的檢測回路測量出來。
由以上可知，本發(fā)明為一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置，它 可在線準(zhǔn)確測出柔性基材金屬化薄膜的電阻，且結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠。


圖1是本發(fā)明一種實(shí)施例的在線測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是圖1中A—A向剖視結(jié)構(gòu)示意圖。在圖中
l一柔性基材，2 —-金屬化薄膜，3--測量銅環(huán)，
4 —橡膠圈，5--絕緣內(nèi)襯，6--屏蔽導(dǎo)線，
7 —導(dǎo)線通道，8—-隨動接線圓盤，9 —-電刷，
IO —銅環(huán)，11.一屏蔽饋線，
12 —真空陶瓷封接凸緣，13-信號線，14 —-電阻測量儀，
15 —固定接線圓盤，16.一支座，17 —-軸承，
18 —螺釘，19-一螺釘，20 —-輥軸，
21—鍵，22-一徑向線槽，23、25—導(dǎo)向輥，
24、 26 —張力控制器，27-一測量輥，28—-金屬化薄膜帶
具體實(shí)施例方式
參見圖l，測量系統(tǒng)包括測量輥27，該測量輥27的兩側(cè)對稱地設(shè)有兩個導(dǎo) 向輥23、 25，導(dǎo)向輥23、 25由表面光滑的不銹鋼軸構(gòu)成；兩導(dǎo)向輥23、 25分 別設(shè)置可以精確測量和控制基材1張力的己有技術(shù)之張力控制器24、 26;兩導(dǎo) 向輥23、 25的直徑均為lOOram，長1500mm。并且，兩導(dǎo)向輥23、 25與測量輥 27之間成倒三角配置，測量輥位于底部，軸線平行，兩導(dǎo)向輥軸線分別與測量 輥軸線所成平面之間的夾角為120° ;導(dǎo)向輥軸線與測量輥軸線間的距離為 200咖。
如圖2所示，所述測量輥27有兩端分別經(jīng)軸承17裝在支座16上的輥軸20， 由固定安裝在該輥軸20上的絕緣內(nèi)襯5和套裝在該絕緣內(nèi)襯5外周的橡膠圈4 組成輥體，所述輥體一端固定安裝有隨動接線圓盤8，該隨動接線圓盤8上沿徑 向設(shè)有三組電刷且每組電刷由兩個電刷9組成；所述隨動接線圓盤8外側(cè)對應(yīng) 設(shè)有固定安裝在支座16上的固定接線圓盤15且該固定接線圓盤15內(nèi)側(cè)端面設(shè)有三組銅環(huán)且每組銅環(huán)由兩只銅環(huán)10組成， 一組銅環(huán)中的兩只銅環(huán)10分別同 對應(yīng)一組電刷中的兩個電刷9對應(yīng)相接觸；所述輥體上裝有三組測量銅環(huán)且每
組測量銅環(huán)由兩只測量銅環(huán)3組成，其中每只測量銅環(huán)3分別經(jīng)裝在輥體中的 屏蔽導(dǎo)線6同對應(yīng)一組電刷中的一只對應(yīng)電刷9連接；而固定接線圓盤15上每 組銅環(huán)的兩只銅環(huán)10經(jīng)相應(yīng)屏蔽饋線11及真空陶瓷封裝凸緣12、信號線13同 電阻檢測儀14連接；所述測量銅環(huán)3的外徑不小于所述橡膠圈4的外徑。
進(jìn)一步地，所述測量銅環(huán)3的外周表面有鍍金層，并在測量時使金屬化薄 膜2緊密接觸測量輥27 (柔性基材1上沉積金屬化薄膜2就做成了金屬化薄膜 帶)；橡膠圈4用乙腈基橡膠做成，其外徑與測量銅環(huán)3的外徑相同；絕緣內(nèi)襯 5用聚四氟乙烯制作，它由圖2所示的七段組成。
測量銅環(huán)3通過屏蔽導(dǎo)線6，經(jīng)輥體內(nèi)部的導(dǎo)線通道7，與固定在測量輥輥 體端部并隨測量輥同軸轉(zhuǎn)動的隨動接線圓盤8上的電刷9對應(yīng)連接；與電刷接 觸的各銅環(huán)10引出屏蔽饋線11，通過真空陶瓷封接凸緣12引出到真空室外側(cè)， 然后通過信號線13與電阻測量儀14相連。
隨動接線圓盤8由絕緣的聚四氟乙烯做成，它通過螺釘19固定在測量輥上， 并隨測量輥同軸轉(zhuǎn)動。
固定接線圓盤15用聚四氟乙烯做成，它通過螺釘18固定在支座16上。
測量輥27的外徑為150mm，寬1500隱；輥軸直徑60mm;測量銅環(huán)3外徑 150ram，厚度4mm，寬度為5咖；橡膠圈4厚度為2mm。每組測量銅環(huán)的兩個銅環(huán) 距離為50mm。相鄰兩組測量銅環(huán)之間的距離為525mm。測量銅環(huán)在輥體上的位 置為，距離測量輥中央部位向左向右25mm的位置以及距離測量輥端面200皿和 250mm的位置個各布置一個測量銅環(huán)。
權(quán)利要求
1、一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置，包括測量輥(27)，所述測量輥(27)有兩端分別經(jīng)軸承(17)裝在支座(16)上的輥軸(20)，由固定安裝在該輥軸(20)上的絕緣內(nèi)襯(5)和套裝在該絕緣內(nèi)襯(5)外周的橡膠圈(4)組成輥體，其特征是，所述輥體一端固定安裝有隨動接線圓盤(8)，該隨動接線圓盤(8)上沿徑向設(shè)有至少一組電刷且每組電刷由兩個電刷(9)組成；所述隨動接線圓盤(8)外側(cè)對應(yīng)設(shè)有固定安裝在支座(16)上的固定接線圓盤(15)且該固定接線圓盤(15)內(nèi)側(cè)端面設(shè)有至少一組銅環(huán)且每組銅環(huán)由兩只銅(10)環(huán)組成，一組銅環(huán)中的兩只銅環(huán)(10)分別同對應(yīng)一組電刷中的兩個電刷(9)對應(yīng)相接觸；所述輥體上裝有至少一組測量銅環(huán)且每組測量銅環(huán)由兩只測量銅環(huán)(3)組成，其中每只測量銅環(huán)(3)分別經(jīng)裝在輥體中的屏蔽導(dǎo)線(6)同對應(yīng)一組電刷中的一只對應(yīng)電刷(9)連接；而固定接線圓盤(15)上每組銅環(huán)的兩只銅環(huán)(10)經(jīng)相應(yīng)屏蔽饋線(11)及真空陶瓷封裝凸緣(12)、信號線(13)同電阻檢測儀(14)連接；所述測量銅環(huán)(3)的外徑不小于所述橡膠圈(4)的外徑。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置，其特征 是，所述測量銅環(huán)(3)的外周表面有鍍金層。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置，其特征 是，所述輥體上裝有三組測量銅環(huán)。
全文摘要
一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置，它的測量輥有裝在支座上的輥軸和由絕緣內(nèi)襯及套其外周的橡膠圈組成的輥體；輥體一端固定有隨動接線圓盤且其上設(shè)有至少一組電刷且每組電刷有兩個電刷；固定在支座上的固定接線圓盤內(nèi)側(cè)端面設(shè)有至少一組銅環(huán)且每組銅環(huán)有兩只銅環(huán)，各銅環(huán)分別同一只電刷對應(yīng)相接觸；輥體上裝有至少一組測量銅環(huán)且每組測量銅環(huán)有兩只測量銅環(huán)，各測量銅環(huán)分別經(jīng)屏蔽導(dǎo)線同對應(yīng)的一只電刷連接；固定接線圓盤上的銅環(huán)經(jīng)相應(yīng)屏蔽饋線及真空陶瓷封裝凸緣、信號線同電阻檢測儀連接。它可在線準(zhǔn)確測出柔性基材金屬化薄膜的電阻，且結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠。
文檔編號G01R27/02GK101592688SQ200910043249
公開日2009年12月2日 申請日期2009年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月29日
發(fā)明者偉 劉, 偉 李, 李再軻 申請人:湖南瀚麒科技發(fā)展有限公司