專利名稱：基板檢查夾具以及具備該基板檢查夾具的基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及能夠?yàn)榱耸褂|頭與在多個(gè)單位檢查基板上各自形成的電路圖形接觸
并檢查該電路圖形而進(jìn)行檢查夾具頭的位置的修正的檢查夾具以及具備該檢查夾具的基 板檢查裝置。 在本發(fā)明中，檢查基板不限于印刷電路基板，能夠適用于在例如柔性基板、多層布 線基板、液晶顯示器或等離子顯示器用的電極板以及半導(dǎo)體封裝用的封裝基板或薄膜載體 等各種基板或者半導(dǎo)體晶片等形成的電氣布線的檢查。在該說明書中，將這些各種布線基 板統(tǒng)稱為"基板"。
背景技術(shù)：
專利文獻(xiàn)1 :日本特開平8-21867號(hào)公報(bào) 在專利文獻(xiàn)1中，公開了這樣的構(gòu)成對(duì)應(yīng)于將成為檢查對(duì)象的多個(gè)單位檢查基 板配置成多行和多列的矩陣狀的薄片基板的各單位檢查基板的檢查點(diǎn)而配置各檢查夾具 頭，對(duì)該薄片基板內(nèi)的多個(gè)單位檢查基板進(jìn)行一次檢查。 可是，在制造將多個(gè)單位檢查基板配置成矩陣狀的薄片基板時(shí)，在該層壓工序中， 有時(shí)候各單位檢查基板的檢查點(diǎn)從設(shè)計(jì)上的目標(biāo)位置偏移。這是因?yàn)椋谝勒斩逊e構(gòu)造來 制造的基板中，在利用高溫壓焊來固定構(gòu)成基板的基體材料，從而對(duì)各層進(jìn)行層壓時(shí)，產(chǎn)生 收縮誤差，由此，檢查點(diǎn)有時(shí)候從設(shè)計(jì)上的目標(biāo)位置偏移。 如果存在這樣的檢查點(diǎn)的位置偏移，則有時(shí)候檢查用探針不能與檢查點(diǎn)恰當(dāng)?shù)亟?觸，不能進(jìn)行正確的檢查，或?qū)⒄５幕迮袛酁椴涣计?。尤其是，即使這樣的位置偏移很 小，也會(huì)隨著布線圖形的細(xì)密化而成為更深刻的問題。
專利文獻(xiàn)2 :日本特開2008-170365號(hào)公報(bào) 在專利文獻(xiàn)2中，公開了相對(duì)于橫向地排列成一列的3個(gè)單位檢查基板的正中的 單位檢查基板而移動(dòng)兩側(cè)的2個(gè)單位檢查基板，調(diào)整各個(gè)之間的距離。

發(fā)明內(nèi)容
收縮誤差的修正與相鄰的單位檢查基板間的距離相對(duì)應(yīng)，僅調(diào)整檢查夾具頭的位 置是不夠的，因而有必要使檢查夾具頭沿除此以外的方向移動(dòng)并進(jìn)行其位置的調(diào)整。
另外，隨著布線圖形的細(xì)密化，有必要更正確地消除用于配置各個(gè)檢查夾具頭的 設(shè)定位置和檢查點(diǎn)的位置偏移。 而且，為了在薄片基板上形成許多單位檢查基板，期望能夠同時(shí)地一次檢查更多 的單位檢查基板。 為了解決上述課題，本發(fā)明的檢查夾具具備用于檢查薄片基板上的各單位檢查基 板的布線圖形的檢查夾具頭，用于通過移動(dòng)檢查夾具并使檢查夾具頭與薄片基板上的單位 檢查基板對(duì)應(yīng)來進(jìn)行布線圖形的檢查的基板檢查裝置。檢查夾具頭具備多個(gè)檢查用探針， 用于通過與單位檢查基板的布線圖形上的檢查點(diǎn)對(duì)應(yīng)并接觸來進(jìn)行布線圖形的檢查；探針頭，保持多個(gè)檢查用探針；基臺(tái)，保持探針頭；第1移動(dòng)設(shè)備，設(shè)在基臺(tái)上，在與單位檢查基 板的面平行的面內(nèi)，沿第1方向移動(dòng)探針頭；以及第2移動(dòng)設(shè)備，設(shè)在基臺(tái)上，在與單位檢查 基板的面平行的面內(nèi)，沿與第1方向不同的第2方向移動(dòng)探針頭，其中，通過使第1移動(dòng)設(shè) 備和第2移動(dòng)設(shè)備的一方或兩方起作用，能夠修正多個(gè)檢查用探針和檢查點(diǎn)的對(duì)應(yīng)的位置 的偏移。 在該檢查夾具中，第1移動(dòng)設(shè)備和第2移動(dòng)設(shè)備能夠沿相互正交的方向移動(dòng)檢查 夾具。而且，也可以具備在與單位檢查基板的面平行的面內(nèi)旋轉(zhuǎn)檢查夾具的旋轉(zhuǎn)設(shè)備。第 l移動(dòng)設(shè)備和第2移動(dòng)設(shè)備也可以各自具備使檢查夾具前進(jìn)和后退的突出和拉扯設(shè)備。移 動(dòng)設(shè)備也可以具備壓電馬達(dá)。能夠具備多個(gè)檢查夾具頭。多個(gè)檢查夾具頭配置成矩陣狀， 個(gè)別的檢查夾具頭能夠與將單位檢查基板配置成矩陣狀的薄片基板的單位檢查基板各自 對(duì)應(yīng)。多個(gè)檢查夾具頭以與配置成矩陣狀的單位檢查基板的一部分的配置成列狀的單位基 板個(gè)別對(duì)應(yīng)的方式配置成列狀，如果所對(duì)應(yīng)的單位檢查基板的檢查結(jié)束，則多個(gè)檢查夾具 頭可以與接下來的單位檢查基板的一部分的配置成列狀的單位基板個(gè)別對(duì)應(yīng)。在薄片基板 上，單位檢查基板配置成矩陣狀，另外，多個(gè)檢查夾具頭隔開間隔而配置，在薄片基板中，不 相鄰的單位檢查基板和隔開間隔而配置的檢查夾具頭對(duì)應(yīng)。 另外，基板檢查裝置具備上述檢查夾具；基板搬送設(shè)備，將薄片基板搬送至檢查 裝置；位置檢測設(shè)備，檢測薄片基板上的單位檢查基板的位置；檢查夾具移動(dòng)設(shè)備，將檢查 夾具移動(dòng)至檢查位置；以及控制裝置，在與檢查夾具頭的多個(gè)檢查用探針之間收發(fā)基板檢 查用的信號(hào)并取得單位檢查基板的電氣特性，另外，控制多個(gè)檢查夾具頭的各自的第1移 動(dòng)設(shè)備和第2移動(dòng)設(shè)備以及旋轉(zhuǎn)設(shè)備的動(dòng)作，其中，通過控制裝置，求出薄片基板的單位檢 查基板的設(shè)計(jì)位置和由位置檢測設(shè)備檢測出的單位檢查基板的檢測位置的偏移的大小，基 于偏移的大小，控制第1移動(dòng)設(shè)備和第2移動(dòng)設(shè)備以及旋轉(zhuǎn)設(shè)備并修正規(guī)定的檢查夾具頭 的位置，由此，能夠使檢查夾具頭的檢查用探針與單位檢查基板的檢查點(diǎn)恰當(dāng)?shù)亟佑|。
依照本發(fā)明，可以提供一種能夠沿各種方向自如地變更各檢查夾具頭的位置的檢 查夾具以及具備該檢查夾具的基板檢查裝置。 另外，依照本發(fā)明，可以提供一種能夠更精密地調(diào)整各檢查夾具頭的位置的檢查 夾具以及具備該檢查夾具的基板檢查裝置。 而且，依照本發(fā)明，可以提供一種能夠一次同時(shí)地檢查薄片基板中的更多單位檢 查基板的檢查夾具以及具備該檢查夾具的基板檢查裝置。


圖1是顯示薄片基板的一個(gè)示例的平面圖。 圖2是圖1所示的薄片基板的一部分的放大平面圖。 圖3是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的檢查夾具的簡略化的側(cè)面圖。 圖4A是圖3所示的本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的檢查夾具的簡略化的平面圖。 圖4B是用于說明檢查夾具的一個(gè)檢查夾具頭的位置的調(diào)整例的簡略化的平面圖。 圖5是顯示將薄片基板放置在基板檢查裝置的檢查位置的狀態(tài)的簡略化的一部 分放大側(cè)面圖。
圖6是顯示在薄片基板的下方配置具備2個(gè)檢查夾具頭的檢查夾具的狀態(tài)的側(cè)面圖。 圖7是顯示進(jìn)行檢查夾具頭的位置的調(diào)整時(shí)的順序的流程。 圖8A是本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式的檢查夾具的簡略化的平面圖。 圖8B是圖8A的實(shí)施方式的檢查夾具的簡略化的正面圖。 圖9是本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施方式的檢查夾具的簡略化的平面圖。 圖10A是用于說明圖8A所示的共同基臺(tái)的情況和圖9所示的分離基臺(tái)的情況的
使用時(shí)的不同的平面圖。 圖10B是用于說明圖8A所示的共同基臺(tái)的情況和圖9所示的分離基臺(tái)的情況的 使用時(shí)的不同的平面圖。 圖11是用于說明使用圖9所示的實(shí)施方式的檢查夾具來檢查薄片基板的狀態(tài)的 平面圖。 圖12是用于說明使用圖9所示的實(shí)施方式的檢查夾具來檢查另一個(gè)薄片基板的
狀態(tài)的平面圖。
符號(hào)說明1、100...薄片基板2...單位檢查基板10...攝像機(jī)20...定位標(biāo)記30...檢查夾具30A、30B.檢查夾具頭31、41......探針頭42...移動(dòng)設(shè)備42X、42Y...移動(dòng)裝置45...基臺(tái)47X、47Y...壓電馬達(dá)48X、48Y.測微頭48tx、48ty.前端部50X、50Y...突起52X、52Y...螺旋彈簧80、80-2、80-4...檢查夾具82-1、82-2...檢查夾具頭82-lX、82-lYl、82-lY2...移動(dòng)裝置82s...移動(dòng)臺(tái)82m...可動(dòng)部82r...旋轉(zhuǎn)部144X、144Y...導(dǎo)軌
具體實(shí)施例方式
以下，能夠基于附圖，提供本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的檢查夾具以及具備該檢查夾具的基板檢查裝置。 而且，在各附圖中，為了容易理解，各部件的厚度、長度、形狀、部件彼此的間隔等 進(jìn)行放大 縮小 變形 簡略化等。另外，在各圖中，由根據(jù)XYZ軸的正交坐標(biāo)系表示各方
向。在該正交坐標(biāo)系中，關(guān)于由"x"表示的軸，從圖的紙面的表側(cè)朝向背側(cè)的方向是正方
向，關(guān)于由" "表示的軸，從圖的紙面的背側(cè)朝向表側(cè)的方向是正方向。另外，根據(jù)必要， 以朝向與圖的紙面正交的方向的軸的正方向而順時(shí)針旋轉(zhuǎn)(例如，在圖1中，朝向該紙面左 旋)的方式表示角度9 。
(薄片基板的概述) 圖1是顯示薄片基板(片基板)的一個(gè)示例的平面圖。如圖1所示，薄片基板1的 成為檢查對(duì)象的多個(gè)單位檢查基板2形成為多行多列的矩陣狀。在圖1中，在該薄片基板 1上，沿X方向(橫方向)排列的4列基板表示從2-1至2-12沿Y方向(縱方向)排列成 12行的48片單位檢查基板2。單位檢查基板的數(shù)量不限于本實(shí)施例，能夠使用由配置成任 意的行數(shù)和列數(shù)的單位檢查基板構(gòu)成的薄片基板。在檢查結(jié)束后，薄片基板1被分割成每 個(gè)單位檢查基板2。 圖2是薄片基板1的一部分的放大平面圖。各單位檢查基板2具有使用銅等金屬 的印刷布線和通過薄的金屬薄片的夾入等而形成的多個(gè)布線圖形(圖中未顯示)，在圖2中 顯示了該布線圖形上的矩形的多個(gè)檢查點(diǎn)3。通過使檢查用探針的前端與該檢查點(diǎn)3抵接 并使基板檢查裝置的控制裝置起作用，從而能夠進(jìn)行各布線圖形的電氣特性(電阻值、短 路、斷線的有無等)的檢查。為此，多個(gè)檢查點(diǎn)3以規(guī)定的配置形態(tài)配置在各單位檢查基板2 上。雖然圖中未正確地顯示，但長方形的各檢查點(diǎn)3的縱X橫的尺寸例如為40 ii mX50 ii m， 相鄰的檢查點(diǎn)3的間隔例如為30iim。各檢查點(diǎn)的縱和橫的長度的尺寸以及相鄰的檢查點(diǎn) 的間隔根據(jù)布線圖形的不同而不同。 另外，如圖2所示，在各單位檢查基板的相對(duì)的2個(gè)角上各形成有1個(gè)用于定位的 標(biāo)記20。由于能夠以標(biāo)記20的位置為基準(zhǔn)而正確地進(jìn)行各檢查點(diǎn)3的位置的確定，因而如 果檢查夾具頭的規(guī)定的部分的位置與標(biāo)記20的位置一致，則能夠使檢查夾具頭的檢查用 探針的前端與檢查點(diǎn)3適當(dāng)接觸。 在圖2中，在各單位檢查基板上各設(shè)置2個(gè)用于定位的標(biāo)記20，但也可以設(shè)置2個(gè) 以上，或者，也可以設(shè)置1個(gè)。但是，在設(shè)置至少2個(gè)的情況下，也能夠在XY平面上進(jìn)行在 單位檢查基板上是否產(chǎn)生角度e的旋轉(zhuǎn)誤差的判斷。
(檢查夾具的構(gòu)造) 圖3是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的檢查夾具30的簡略化的正面圖。圖4A和圖4B 是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的檢查夾具30的簡略化的平面圖。 如圖3所示，檢查夾具30具備2個(gè)檢查夾具頭30A、30B，檢查夾具30的各檢查夾 具頭分別具備探針頭31、41。探針頭31、41具備多個(gè)檢查用探針31p、41p，保持該檢查用探 針的后端側(cè)的基部31b、41b，該檢查用探針的前端部的引導(dǎo)用的導(dǎo)向部31g、41g以及連結(jié) 基部31b、41b和導(dǎo)向部31g、41g的支柱33、43。 多個(gè)檢查用探針31p、41p經(jīng)由線31L、41L而連接到圖中未顯示的基板檢查裝置的
控制裝置上，在檢查基板時(shí)，將電流供給到檢查點(diǎn)或測量在檢查點(diǎn)間產(chǎn)生的電壓。 探針頭31、41的基部31b、41b分別固定在支撐臺(tái)31s、41s上，支撐臺(tái)31s還固定在基臺(tái)45上。另一方面，探針頭41的支撐臺(tái)41s通過導(dǎo)軌部44Y而裝載在可動(dòng)部46上， 可動(dòng)部46通過導(dǎo)軌部44X而裝載在基臺(tái)45上。為此，支撐臺(tái)41s能夠相對(duì)于該可動(dòng)部46 而沿著導(dǎo)軌部44Y在Y軸方向上往復(fù)自如地移動(dòng)，另外，支撐臺(tái)41s和可動(dòng)部46能夠成為 一體，沿著導(dǎo)軌部44X在X軸方向上往復(fù)自如地移動(dòng)。 在可動(dòng)部46的上部設(shè)有沿Y軸方向具有長邊方向的電磁石35Y，通過使電流在其 流過，從而能夠使支撐臺(tái)41s吸附在可動(dòng)部46上并固定在該位置。 另外，在基臺(tái)45上設(shè)有沿X軸方向具有長邊方向的電磁石35X，通過使電流在其流 過，從而能夠使可動(dòng)部46吸附在基臺(tái)45上并固定在該位置。 為此，為了將檢查夾具頭30B固定在特定的位置，有必要使電磁石35Y、35X這兩者 起作用。 如圖4A所示，在基臺(tái)45上設(shè)有移動(dòng)設(shè)備的2個(gè)移動(dòng)裝置42Y、42X。移動(dòng)裝置42Y 沿著Y軸而移動(dòng)檢查夾具頭30B，并具備壓電馬達(dá)47Y和測微頭48Y。測微頭48Y的微分筒 48sy的前端部48ty與從檢查夾具頭30B的支撐臺(tái)41s (圖3)突出的突起50Y抵接。螺旋 彈簧52Y的一端連接到突起50Y上，另一端固定在基臺(tái)45上。螺旋彈簧52Y通常沿壓縮的 方向發(fā)揮作用力，如果測微頭48Y的微分筒48sy的前端部48ty后退，則與此相伴的是，螺 旋彈簧52Y起著使檢查夾具頭30B與突起50Y —起后退(沿+Y方向移動(dòng))的作用。
另外，移動(dòng)裝置42X沿著X軸而移動(dòng)檢查夾具頭30B，具備與移動(dòng)裝置42Y相同的 另外的壓電馬達(dá)47X和測微頭48X。移動(dòng)裝置42X的測微頭48X的微分筒48sx的前端部 48tx與從檢查夾具頭30B的可動(dòng)部46或支撐臺(tái)41s (圖3)突出的突起50X抵接。螺旋彈 簧52X的一端連接到突起50X上，另一端固定在基臺(tái)45上。螺旋彈簧52X通常沿壓縮的方 向發(fā)揮作用力，如果測微頭48X的微分筒48sx的前端部48tx后退，則與此相伴的是，螺旋 彈簧52X起著使檢查夾具頭30B與突起50X—起后退(沿+X方向移動(dòng))的作用。
如果驅(qū)動(dòng)壓電馬達(dá)47Y，則根據(jù)其旋轉(zhuǎn)方向，測微頭48Y的微分筒48sy的前端部 48ty前進(jìn)(即突出)或后退(即退縮)規(guī)定的距離，使突起50Y移動(dòng)該距離。該移動(dòng)距離 在例如士5ym的范圍內(nèi)。在前端部48ty突出的情況下，抵抗螺旋彈簧52Y的作用力，前端 部48ty沿Y軸的負(fù)方向推壓突起50Y而移動(dòng)。在前端部48ty退縮的情況下，通過螺旋彈 簧52Y的作用力，根據(jù)前端部48ty退縮的距離沿Y軸的正方向拉扯突起50Y而移動(dòng)。
圖4B顯示了通過將檢查夾具頭30B沿著X軸和Y軸方向相對(duì)于檢查夾具頭30A 移動(dòng)規(guī)定距離來調(diào)整檢查夾具頭30B的位置的狀態(tài)。 通常能夠以檢查夾具頭30A的位置為基準(zhǔn)而確定檢查夾具30的位置。可是，在制 造薄片基板時(shí)的層壓工序中，例如在依照堆積構(gòu)造來制造的基板中，在利用高溫壓焊來固 定構(gòu)成基板的基體材料，從而對(duì)各層進(jìn)行層壓時(shí)，產(chǎn)生收縮誤差，由此，檢查點(diǎn)有時(shí)候從設(shè) 計(jì)上的目標(biāo)位置偏移。為此，即使在一旦以檢查夾具頭30A的位置為基準(zhǔn)而確定檢查夾具 頭30B的位置的情況下，有時(shí)候也有必要略微調(diào)整檢查夾具頭30B的位置，使檢查用探針 31p、41p的前端恰當(dāng)?shù)嘏c檢查點(diǎn)3相對(duì)。 此時(shí)，在圖4B中，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)裝置42Y或42X的一方，例如移動(dòng)裝置42X的壓電馬達(dá) 47X，使測微頭48X的微分筒48sx的前端部48tx后退規(guī)定長度的程度，由此，通過螺旋彈簧 52X的拉扯力，將檢查夾具頭30B與突起50X —起沿著X軸向正方向移動(dòng)前端部48tx后退 的距離的程度。該檢查夾具頭30B的移動(dòng)沿著導(dǎo)軌部44X進(jìn)行。接著，驅(qū)動(dòng)壓電馬達(dá)47Y，使測微頭48Y的微分筒48sy的前端部48ty突出規(guī)定長度的程度，由此，抵抗螺旋彈簧52Y 的拉扯力，如果將檢查夾具頭30B與突起50Y—起沿著Y軸向負(fù)方向移動(dòng)，則檢查夾具頭 30B沿著導(dǎo)軌部44Y移動(dòng)。但是，也可以不分別驅(qū)動(dòng)，而是同時(shí)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)裝置42Y和42X而 將檢查夾具頭30B移動(dòng)至規(guī)定的位置。 圖5是顯示將圖1所示的薄片基板1那樣的由單位檢查基板的例如2-A和2-B的 2列構(gòu)成的薄片基板100從附圖的表面朝向背面而放在基板檢查裝置(圖中未顯示整體) 的檢查位置的狀態(tài)的簡略化的一部分放大側(cè)面圖。而且，在圖5以及后述的圖6中，請(qǐng)注意 與圖1和圖2所示的薄片基板1的表面相當(dāng)?shù)幕?00的表面以朝向下方的方式配置。艮卩， 在圖5和圖6中，在薄片基板100的下側(cè)的面上形成有檢查點(diǎn)3。 如圖5所示，由基板檢查裝置的基板保持機(jī)構(gòu)25和26夾緊薄片基板100的端部 并平坦地保持薄片基板100。但是，在圖5和圖6中，省略了夾緊機(jī)構(gòu)的詳細(xì)說明。
為了檢測各單位檢查基板的位置，攝像機(jī)10配置在薄片基板100的下方，得到薄 片基板100的形成有單位檢查基板的電路圖形的面的全體的圖像數(shù)據(jù)。該圖像數(shù)據(jù)被送到 圖中未顯示的基板檢查裝置的控制裝置，于是，基于各單位檢查基板的定位標(biāo)記20(圖2) 而確定各單位檢查基板的位置。 圖6是顯示在薄片基板100的下方配置檢查夾具30的檢查夾具頭30A、30B的狀 態(tài)的側(cè)面圖。在此，基于1個(gè)單位檢查基板2-A的定位標(biāo)記的位置數(shù)據(jù)，使固定在基臺(tái)45 上的檢查夾具頭30A與其相對(duì)配置，將檢查夾具頭30A的檢查用探針31p的前端以與相對(duì) 的單位檢查基板2-A的檢查點(diǎn)3正確地接觸的方式配置。另一方面，如果與該檢查夾具頭 30A的配置一起，如后述那樣，基于設(shè)在與單位檢查基板2-A (與檢查夾具頭30A相對(duì))相 鄰的單位檢查基板2-B上的定位標(biāo)記，將與檢查夾具頭30A鄰接的檢查夾具頭30B以檢查 夾具頭30B與該單位檢查基板2-B相向的方式配置，則有時(shí)候檢查夾具頭30B的檢查用探 針41p的前端不與該單位檢查基板2-B的檢查點(diǎn)恰當(dāng)?shù)叵鄬?duì)。此時(shí)，如以下參照?qǐng)D7所說 明的，進(jìn)行檢查夾具頭30B的位置的調(diào)整，檢查夾具頭30B的檢查用探針的前端能夠正確地 接觸與其相對(duì)的單位檢查基板的檢查點(diǎn)3。(檢查夾具頭的位置的調(diào)整) 圖7是顯示相對(duì)于圖6的薄片基板100的單位檢查基板2-A、2-B而調(diào)整檢查夾具 頭30A、30B并對(duì)其進(jìn)行配置時(shí)的順序的流程。 如上述那樣，檢查夾具頭30A固定在基板45上的規(guī)定的位置，另外，檢查夾具頭 30B可移動(dòng)地配置在該共同的基臺(tái)45上。如果初期(在開始檢查前)在設(shè)計(jì)上以檢查夾具 頭30A的規(guī)定的部位與單位檢查基板2-A的標(biāo)記20相對(duì)的方式配置，則檢查夾具頭30B以 檢查夾具頭30B的規(guī)定的部位與單位檢查基板2-B的標(biāo)記20相對(duì)的方式配置?？墒牵趯?shí) 際的配置的情況下，由于在規(guī)定的部位和標(biāo)記20之間產(chǎn)生位置偏移，因而進(jìn)行各檢查夾具 頭的位置的調(diào)整，從而按照以下的順序消除該位置偏移。 在步驟S71中，最初，如針對(duì)圖5而說明的，由攝像機(jī)10拍攝各單位檢查基板2的 定位標(biāo)記20(圖2)，由基板檢查裝置的控制裝置從該拍攝的圖像求出單位檢查裝置2-A和 2-B的各自的標(biāo)記20的位置的數(shù)據(jù)。 接著，在步驟S72中，基于成為基準(zhǔn)的單位檢查基板2-A的位置數(shù)據(jù)，以與該位置 相對(duì)應(yīng)的方式設(shè)定檢查夾具頭30A的位置的應(yīng)當(dāng)移動(dòng)的位置。在此，位置的設(shè)定意味著設(shè)定在XYZ坐標(biāo)系上的特定的位置，實(shí)際上，不論是否將檢查夾具頭移動(dòng)至該位置。
如果設(shè)定檢查夾具頭30A的位置，則以檢查夾具頭30A的該位置為基準(zhǔn)，基于設(shè)計(jì) 上的數(shù)據(jù)，以與單位檢查基板2-B相對(duì)應(yīng)的方式設(shè)定檢查夾具頭30B的應(yīng)當(dāng)移動(dòng)的位置。
如果進(jìn)行上述的位置的設(shè)定，則在設(shè)計(jì)上，當(dāng)移動(dòng)檢查夾具頭30A而以與單位檢 查基板2-A相對(duì)的方式配置時(shí)，檢查夾具頭30B也與單位檢查基板2-B相對(duì)?？墒牵缟?述那樣，在單位檢查基板的制造階段中，有時(shí)候尺寸上產(chǎn)生收縮誤差，此時(shí)，檢查夾具頭30B 的應(yīng)當(dāng)移動(dòng)的位置和單位檢查基板30B的實(shí)際的位置產(chǎn)生偏移。結(jié)果，可能引起檢查夾具 頭30B的檢查用探針41p的前端從檢查基板2-B的檢查點(diǎn)的位置偏移而不能與該位置恰當(dāng) 地接觸的情況。 在那樣的情況下，有必要略微調(diào)整檢查夾具頭30B的位置。為此，在步驟S73中， 首先，以在步驟S72設(shè)定的檢查夾具頭30A的應(yīng)當(dāng)移動(dòng)的位置為基準(zhǔn)，求出檢查夾具頭30B 的修正前的設(shè)計(jì)上的應(yīng)當(dāng)移動(dòng)的位置。接著，以在步驟S71求出的單位檢查基板2-A的標(biāo) 記的位置為基準(zhǔn)，求出設(shè)計(jì)上的單位檢查基板2-B的標(biāo)記20的位置。接著，對(duì)該設(shè)計(jì)上求 出的單位檢查基板2-B的標(biāo)記20的位置和在步驟S71求出的單位檢查基板2-B的標(biāo)記20 的實(shí)際的位置進(jìn)行比較，求出X軸方向和Y軸方向上的位置的偏移的大小。接著，在檢查夾 具頭30B的修正前的設(shè)計(jì)上的應(yīng)當(dāng)移動(dòng)的位置上加上或減去該位置偏移，求出修正檢查夾 具頭30B的應(yīng)當(dāng)移動(dòng)的位置后的設(shè)定值。 通過該步驟S73，以檢查夾具頭30A為基準(zhǔn)，能夠求出檢查夾具頭30B的應(yīng)當(dāng)移動(dòng)
的修正位置?；谠撔拚恢茫O(shè)定檢查夾具頭30B的修正后的位置。 接著，在步驟S74中，為了將檢查夾具頭30B恰當(dāng)?shù)嘏渲迷谛拚蟮脑O(shè)定位置，以
檢查夾具頭30A為基準(zhǔn)而調(diào)整檢查夾具頭30B在基臺(tái)45上的位置。如參照?qǐng)D4A和圖4B
所說明的，該位置的調(diào)整根據(jù)必要而驅(qū)動(dòng)移動(dòng)裝置42Y或42X的一方或兩方，使檢查夾具頭
30B相對(duì)于檢查夾具頭30A靠近或遠(yuǎn)離規(guī)定的距離。該規(guī)定的距離相當(dāng)于在步驟S73求出
的位置的偏移的大小。 接著，在步驟S75中，基于在步驟S72設(shè)定的檢查夾具頭30A的位置數(shù)據(jù)，以與成 為基準(zhǔn)的單位檢查基板2-A相對(duì)的方式配置檢查夾具頭30A。由此，檢查夾具頭30A的檢 查用探針31p的前端與單位檢查基板2-A的規(guī)定的檢查點(diǎn)接觸。如果像那樣以與單位檢查 基板2-A相對(duì)的方式配置檢查夾具頭30A，則如上述那樣，由于調(diào)整了檢查夾具頭30B的位 置，因而檢查夾具頭30B也與單位檢查基板2-B恰當(dāng)?shù)叵鄬?duì)，從而檢查用探針41p的前端能 夠與單位檢查基板2-B的規(guī)定的檢查點(diǎn)接觸。 如上述那樣，在步驟S74中，根據(jù)表示與檢查夾具頭30B相關(guān)的X軸方向和Y軸方 向上的設(shè)定位置的偏移的數(shù)據(jù)值的大小，由移動(dòng)裝置42X和42Y修正檢查夾具頭30B的位 置。以下，具體地說明該位置的修正。 例如，依照在步驟S71求出的數(shù)據(jù)，單位檢查基板2-B上的規(guī)定的檢查點(diǎn)從1個(gè)應(yīng) 當(dāng)對(duì)應(yīng)的檢查夾具頭30B的檢查用探針41p的前端的位置沿Y軸方向偏移-3 m，而且，在 該檢查點(diǎn)從該檢查用探針41p的前端的位置沿X軸方向偏移+2 m的情況下，如下地修正 該偏移。在此，雖然直接以在探針的前端的位置和檢查點(diǎn)的位置之間存在偏移的狀況進(jìn)行 了說明，但在數(shù)據(jù)上，基于單位檢查基板2-B的規(guī)定的標(biāo)記20的位置和以與其對(duì)應(yīng)的方式 設(shè)置的檢查夾具頭30B上的規(guī)定的位置之間的偏移的大小，更容易進(jìn)行修正。
在以上述狀況修正偏移的情況下，在圖4A中，有必要首先向下方移動(dòng)檢查夾具頭 30B。為此，將壓電馬達(dá)47Y驅(qū)動(dòng)規(guī)定量，使測微頭48Y的微分筒48sy的前端部48ty突出 +3 ii m。由此，前端部48ty將從支撐臺(tái)41s突出的突起50Y移動(dòng)與其對(duì)應(yīng)的距離的+3 y m。 與此相伴，能夠沿著導(dǎo)軌部44Y在Y方向上將檢查夾具頭30B移動(dòng)-3 y m。
另外，而且有必要將檢查夾具頭30B向沿著X軸的正方向，即圖4A中的右側(cè)移動(dòng) 2 ii m。為此，將壓電馬達(dá)47X驅(qū)動(dòng)規(guī)定量，將測微頭48X的微分筒48sx的前端部48tx退縮 2 P m的長度的程度。由此，通過螺旋彈簧52X的拉扯力，將從可動(dòng)部46突出的突起50X拉 扯并移動(dòng)與其對(duì)應(yīng)的距離的+2 P m。與此相伴，能夠沿著導(dǎo)軌部44X在X方向上將檢查夾具 頭30B移動(dòng)+2 ii m。 如上述那樣，如果將檢查夾具頭30B沿Y方向的負(fù)方向移動(dòng)3iim，而且，沿X方向 的正方向移動(dòng)2iim，則如圖4B那樣，朝向該圖時(shí)，檢查夾具頭30B成為向右下方向稍稍移動(dòng) 的狀態(tài)。 另一方面，作為另一個(gè)狀況，說明在圖4A中通過將檢查夾具頭30B向右上移動(dòng)來 消除檢查點(diǎn)和檢查用探針的前端的位置的偏移的情況。例如，在將檢查夾具頭30B沿Y方 向的正方向移動(dòng)5 ii m，而且，沿著X軸向負(fù)方向移動(dòng)1 ii m的情況下，首先，將壓電馬達(dá)47Y 驅(qū)動(dòng)規(guī)定量，將測微頭48Y的微分筒48sy的前端部48ty退縮5 y m的長度的程度。由此， 通過螺旋彈簧52Y的拉扯力，將從支撐臺(tái)41s突出的突起50Y拉扯并移動(dòng)與其對(duì)應(yīng)的距離 5 ii m。與此相伴，能夠沿著導(dǎo)軌部44Y在Y方向上將檢查夾具頭30B移動(dòng)+5 y m。
接著，為了沿X方向的負(fù)方向移動(dòng)檢查夾具頭30B，將壓電馬達(dá)47X驅(qū)動(dòng)規(guī)定量， 使測微頭48X的微分筒48sx的前端部48tx突出1 y m。由此，前端部48tx將從支撐臺(tái)41s 突出的突起50X移動(dòng)與其對(duì)應(yīng)的距離+1 P m。與此相伴，能夠沿著導(dǎo)軌部44X在X方向上將 檢查夾具頭30B移動(dòng)-1 ii m。 那些移動(dòng)的結(jié)果為能夠?qū)z查夾具頭30B向圖4A中的右上方移動(dòng)，沿Y方向移動(dòng) +5 u m，沿X方向移動(dòng)_1 u m。檢查夾具頭30B的移動(dòng)可以先進(jìn)行X軸方向或Y軸方向的任一個(gè)，或者也可以同
時(shí)進(jìn)行兩方的移動(dòng)。(基板的檢查) 如上述那樣，在使檢查夾具30與薄片基板1相對(duì)時(shí)，如圖4B所示，沿著上述的順 序調(diào)整檢查夾具頭30B的位置。在該狀態(tài)下，如果使檢查夾具頭30A、30B分別與單位檢查 基板2-A、2-B對(duì)應(yīng)，則檢查夾具頭30A、30B的檢查用探針的前端能夠與單位檢查基板2-A、 2-B的檢查點(diǎn)3恰當(dāng)?shù)亟佑|。 其后，通過基板檢查裝置的控制裝置，使規(guī)定的電流在檢查用探針上流動(dòng)并測量
檢查用探針間的電壓，調(diào)查規(guī)定的布線圖形的電氣特性。(其他實(shí)施方式) 在上述實(shí)施例中，雖然對(duì)使用具備檢查夾具頭30A、30B的檢查夾具30的情況進(jìn)行 了說明，但也可以并列配置多個(gè)那樣的檢查夾具并使用將檢查夾具頭配置成2行2列或2 以上的數(shù)量的行和列的檢查夾具。 另外，雖然顯示了使用壓電馬達(dá)和測微頭以作為移動(dòng)設(shè)備的示例，但也可以例如 僅使用壓電馬達(dá)而直接使檢查夾具頭往復(fù)自如。另外，也可以使用其他直線往復(fù)移動(dòng)設(shè)備。
另外，在上述實(shí)施例中，顯示了使用導(dǎo)軌，從而能夠沿X軸方向和Y軸方向移動(dòng)檢 查夾具頭的示例。除此之外，例如，也可以在支撐臺(tái)41s和可動(dòng)部46之間、可動(dòng)部46和基 臺(tái)45之間等配置旋轉(zhuǎn)臺(tái)，在XY平面內(nèi)將檢查夾具頭旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度e 。
例如，在圖8A和圖8B中，顯示了能夠?qū)z查夾具頭旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度e的本發(fā)明的 另一個(gè)實(shí)施方式的檢查夾具80。 圖8A是檢查夾具80的平面圖，圖8B是檢查夾具80的正面圖。檢查夾具80具備 2個(gè)檢查夾具頭82-1、82-2，這些檢查夾具頭具備如圖3所示的探針頭30A、30B。雖然各探 針頭固定在各支撐臺(tái)82s上，但在圖8A和圖8B中，為了圖的簡略化而省略這些探針頭。
與圖3所示的檢查夾具30不同，檢查夾具80的2個(gè)檢查夾具頭82-1、82-2將探 針頭，為了不僅一方而是兩方一起沿X軸方向和Y軸方向移動(dòng)并能夠旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度，具備相 同的構(gòu)成的移動(dòng)裝置。以下，對(duì)一方的檢查夾具頭82-1或82-2的構(gòu)成進(jìn)行說明。
檢查夾具頭82-l、82-2的支撐臺(tái)82s經(jīng)由導(dǎo)軌144X而裝載在可動(dòng)部82m上。由 此，支撐臺(tái)82s相對(duì)于可動(dòng)部82m而沿著X軸方向自如地移動(dòng)。另外，可動(dòng)部82m經(jīng)由導(dǎo)軌 144Y而裝載在旋轉(zhuǎn)部82r上。由此，可動(dòng)部82m相對(duì)于旋轉(zhuǎn)部82r而沿著Y軸方向自如地 移動(dòng)。雖然在圖8A和圖8B中省略，但是在支撐臺(tái)82s和可動(dòng)部82m之間或可動(dòng)部82m和 旋轉(zhuǎn)部82r之間，分別設(shè)置圖3所示的電磁石35X、35Y那樣的電磁石。如果使這些電磁石 起作用，則能夠停止支撐臺(tái)82s和可動(dòng)部82m之間的相對(duì)的動(dòng)作以及可動(dòng)部82m和旋轉(zhuǎn)部 82r之間的相對(duì)的動(dòng)作。例如，如果使兩方的電磁石起作用，則檢查夾具頭能夠僅由旋轉(zhuǎn)部 82r旋轉(zhuǎn)。 旋轉(zhuǎn)部82r為圓板狀，能夠以中心軸82C為中心而旋轉(zhuǎn)。如果旋轉(zhuǎn)部82r旋轉(zhuǎn)，則 固定在其上方的探針頭也旋轉(zhuǎn)。 如圖8A所示，在檢查夾具頭82-l、82-2上分別設(shè)有3個(gè)移動(dòng)裝置(82_1X、82_1Y1、 82-lY2)、(82-2X、82-2Yl、82-2Y2)。這些移動(dòng)裝置經(jīng)由腳部81而固定在基臺(tái)145上。各檢 查夾具頭的3個(gè)移動(dòng)裝置是相同的構(gòu)成，以下，作為代表，對(duì)檢查夾具頭82-1的移動(dòng)裝置進(jìn) 行說明。 移動(dòng)裝置82-1X沿著X軸移動(dòng)檢查夾具頭82-1 ，具備使微分筒85突出或退縮的驅(qū) 動(dòng)部84。微分筒85的前端與從檢查夾具頭82-l的支撐臺(tái)82s突出的突起86s抵接。在該 突起86s和固定部88之間配置有螺旋彈簧87，螺旋彈簧87通常沿拉扯方向發(fā)揮作用力。
在該構(gòu)成中，如果驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部84而使微分筒85突出，則支撐臺(tái)82s與突起86s — 起沿著導(dǎo)軌144X向X軸的負(fù)方向移動(dòng)該突出的程度。在這種情況下，螺旋彈簧87抵抗作 用力而被推壓，收縮該移動(dòng)的程度。另一方面，如果驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部84而使微分筒85退縮，則 通過螺旋彈簧87的作用力，將支撐臺(tái)82s與突起86s —起推壓，支撐臺(tái)82沿著導(dǎo)軌144X 向X軸的正方向移動(dòng)微分筒退縮的程度。驅(qū)動(dòng)部84也可以與圖3、圖4A的實(shí)施例相同，由壓電馬達(dá)和測微頭構(gòu)成。
移動(dòng)裝置82-1Y1和移動(dòng)裝置82-1Y2用于沿著Y軸移動(dòng)檢查夾具頭82_1 ，并用于 以中心軸82C為中心而將檢查夾具頭82-1旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度。這些移動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)部84、螺旋 彈簧87以及固定部88的構(gòu)造和作用與移動(dòng)裝置82-lX相同。但是，移動(dòng)裝置82-lYl和移 動(dòng)裝置82-1Y2的微分筒85所抵接的突起86m從可動(dòng)部82m突出。在使用移動(dòng)裝置82-1Y1和移動(dòng)裝置82-1Y2而使檢查夾具頭82_1沿著Y軸直線地移動(dòng)的情況下，同時(shí)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)裝置82-1Y1和移動(dòng)裝置82-1Y2的驅(qū)動(dòng)部84，使微分筒85 同時(shí)突出或退縮，在平行地保持2個(gè)突起86m的狀態(tài)下使2個(gè)突起86m沿相同的方向移動(dòng)。
例如，如果使2個(gè)微分筒85同時(shí)突出，則由2個(gè)微分筒85將2個(gè)突起86m平行地 沿相同的方向推壓該突出的程度。結(jié)果，可動(dòng)部82m能夠沿著導(dǎo)軌144Y向Y軸的正方向直 線地移動(dòng)。在這種情況下，2個(gè)螺旋彈簧87抵抗作用力而被推壓，收縮該移動(dòng)的程度。另一 方面，如果使2個(gè)微分筒85同時(shí)退縮，則通過2個(gè)螺旋彈簧87的作用力，將2個(gè)突起86m 平行地沿相同的方向推壓。為此，可動(dòng)部82m被推壓而沿著導(dǎo)軌144Y直線地向Y軸的負(fù)方 向移動(dòng)微分筒退縮的程度。 另一方面，為了使用移動(dòng)裝置82-1Y1和移動(dòng)裝置82-1Y2而繞著中心軸82C將檢 查夾具頭82-1旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度，同時(shí)驅(qū)動(dòng)這些驅(qū)動(dòng)部84，在使一方的微分筒85突出的同時(shí)， 使另一方的微分筒85反而退縮相同的距離。例如，在圖8A中，在使檢查夾具頭82-1的移 動(dòng)裝置82-1Y1的微分筒85突出的同時(shí)，使移動(dòng)裝置82-1Y2的微分筒85退縮與該突出的 距離相同的程度。由此，移動(dòng)裝置82-lYl的突起86m在圖8A中向上方移動(dòng)，另一方面，移 動(dòng)裝置82-1Y2的突起86m在圖8A中向下方移動(dòng)。結(jié)果，在可動(dòng)部82m上，在圖8A中以中 心軸82C為中心而產(chǎn)生右旋的力矩。由此，可動(dòng)部82m繞著中心軸82C向右進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。旋 轉(zhuǎn)角度由2個(gè)微分筒85的突出或退縮的距離決定。 在圖8A和圖8B中，顯示了將檢查夾具頭82-1、82-2配置在共同的基臺(tái)145上的 檢查夾具80。圖9顯示了將檢查夾具頭82-l、82-2分別配置在各自的基臺(tái)145A、145B上的 檢查夾具80-2。例如，空出l塊單位檢查基板的程度的空間而將檢查夾具頭82-l和檢查夾 具頭82-2隔離配置。在維持該配置的狀態(tài)下將基臺(tái)145A和145B保持在圖中未顯示的檢 查夾具頭移動(dòng)設(shè)備上。 圖IOA和圖10B是用于說明如圖8A和圖8B的實(shí)施方式那樣使用將檢查夾具頭 82-1、82-2配置在共同的基臺(tái)145上的檢查夾具80而配置單位檢查基板的情況(以下，稱 為"圖8的共同基臺(tái)的情況")和如圖9的實(shí)施方式那樣使用將檢查夾具頭82-1、82-2分別 配置在各自的基臺(tái)145A、145B上的檢查夾具80-2而配置單位檢查基板的情況(以下，稱為 "圖9的分離基臺(tái)的情況")的不同的平面圖。 圖IOA用于說明圖8的共同基臺(tái)的情況，相對(duì)于由單位檢查基板1、2、3以及4構(gòu) 成的薄片基板而配置檢查夾具80的情況符合。在單位檢查基板1、2、3以及4上分別對(duì)應(yīng) 有1個(gè)檢查夾具頭。為此，在使檢查夾具頭82-1 、82-2沿著X軸排列的情況下，最初，在進(jìn)行 應(yīng)當(dāng)配置的位置的設(shè)定的調(diào)整后，使檢查夾具頭82-1、82-2分別與單位檢查基板1和2相 對(duì)應(yīng)。如果在該狀態(tài)下這些單位檢查基板的檢查結(jié)束，則接著，使共同的基臺(tái)145在圖10A 中平行地向下方(Y軸的負(fù)方向)移動(dòng)，使檢查夾具頭82-1、82-2分別與單位檢查基板3和 4相對(duì)應(yīng)。在該狀態(tài)下，進(jìn)行單位檢查基板3和4的檢查。 代替上述示例，使檢查夾具80在XY平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)90度，換句話說，在圖10A中，將檢 查夾具80放置在縱方向(沿著Y軸的方向)上，使檢查夾具頭82-2位于檢查夾具頭82-1 之下，由此，檢查夾具頭82-l、82-2也可以分別與排列在左側(cè)的一列的單位檢查基板1、3相 對(duì)應(yīng)。這種情況下，如果在該狀態(tài)下單位檢查基板1、3的檢查結(jié)束，則就這樣將檢查夾具80 平行地向右側(cè)移動(dòng)，使檢查夾具頭82-1、82-2分別與排列在右側(cè)的一列的單位檢查基板2、 4相對(duì)應(yīng)。在該狀態(tài)下，進(jìn)行單位檢查基板2和4的檢查。
圖10B用于說明圖9的分離基臺(tái)的情況，對(duì)具備由虛線表示的3行X3列的單位檢 查基板1-9的薄片基板進(jìn)行檢查的情況符合。在該圖的實(shí)施方式中，使圖9的分離的基臺(tái) 145A、145B上的檢查夾具頭82-1、82-2分別與單位檢查基板1、3相對(duì)應(yīng)而配置。S卩，檢查夾 具頭82-1和檢查夾具頭82-2跨過單位檢查基板2而配置，使檢查夾具頭與單位檢查基板 2不對(duì)應(yīng)。在該狀態(tài)下，如果單位檢查基板1、3的檢查結(jié)束，則驅(qū)動(dòng)保持基臺(tái)145A、145B的 移動(dòng)設(shè)備(圖中未顯示)，將基臺(tái)145A、145B在圖10B中平行地向下方移動(dòng)，使檢查夾具頭 82-1、82-2分別與單位檢查基板4、6相對(duì)應(yīng)而配置。在該配置的狀態(tài)下，如果單位檢查基 板4、6的檢查結(jié)束，則驅(qū)動(dòng)保持基臺(tái)145A、145B的移動(dòng)設(shè)備(圖中未顯示)，使基臺(tái)145A、 145B在圖10B中平行地進(jìn)一步向下方移動(dòng)，使檢查夾具頭82-1、82-2與單位檢查基板7、9 相對(duì)應(yīng)而配置。 在圖9的分離基臺(tái)的情況下，在根據(jù)上述配置的檢查的情況下，單位檢查基板2、5 以及8不由檢查夾具頭進(jìn)行檢查。為此，進(jìn)而移動(dòng)檢查夾具，使檢查夾具頭82-1與單位檢 查基板2對(duì)應(yīng)并將檢查夾具頭82-2移動(dòng)至單位檢查基板3的右側(cè)的空間，在該狀態(tài)下，由 檢查夾具頭82-1進(jìn)行單位檢查基板2的檢查。接著，就這樣將檢查夾具頭82-1 、82-2向下 方移動(dòng)，使檢查夾具頭82-1與單位檢查基板5對(duì)應(yīng)，進(jìn)行該檢查。最后，進(jìn)而就這樣將檢查 夾具頭82-l、82-2向下方移動(dòng)，使檢查夾具頭82-l與單位檢查基板8對(duì)應(yīng)，進(jìn)行該檢查。
接著，參照?qǐng)D11和圖12，說明這樣的方法例如使用檢查夾具80-4(圖中未顯 示)，該檢查夾具80-4以能夠?qū)z查夾具頭與圖10B的4個(gè)單位檢查基板1、3、7、9分別相 對(duì)的方式具備4個(gè)檢查夾具，并使檢查夾具頭與薄片基板110U20的單位檢查基板對(duì)應(yīng)。
檢查夾具80-4例如平行地排列2個(gè)圖9的檢查夾具80_2，并將其隔離相當(dāng)于1個(gè) 單位檢查基板的寬度或長度的距離。換句話說，檢查夾具80-4在4個(gè)檢查夾具頭的相鄰的 檢查夾具頭之間分別隔開相當(dāng)于1個(gè)單位檢查基板的空間而配置。像那樣配置的4個(gè)檢查 夾具頭在就這樣排列的狀態(tài)下能夠通過圖中未顯示的檢查夾具頭移動(dòng)設(shè)備而在單位檢查 基板之間移動(dòng)。 具體地，如圖11所示，說明由4行X4列的單位檢查基板構(gòu)成的薄片基板110。
最初，在圖11中，移動(dòng)檢查夾具80-4，使各檢查夾具頭與標(biāo)有虛線的圓印的單位 檢查基板A-1、B-1、C-1、D-1的各自的位置對(duì)應(yīng)。由此，能夠1次同時(shí)地進(jìn)行4個(gè)單位檢查 基板A-1、B-1、C-1、D-1的檢查。 接著，在圖11中，將檢查夾具80-4向右側(cè)(X軸的正方向)移動(dòng)，使檢查夾具頭與 相鄰的標(biāo)有虛線的三角形的單位檢查基板A-2、B-2、C-2、D-2分別對(duì)應(yīng)。由此，進(jìn)行這些單 位檢查基板的檢查。 接著，在圖11中，將檢查夾具80-4向左斜下側(cè)(同時(shí)沿X軸和Y軸的負(fù)方向)移 動(dòng)，使各檢查夾具頭與左斜下側(cè)的標(biāo)有虛線的倒三角形的單位檢查基板A-3、 B-3、 C-3、 D-3 分別對(duì)應(yīng)。由此，進(jìn)行這些單位檢查基板的檢查。 而且，在圖11中，將檢查夾具80-4向右側(cè)(X軸的正方向)移動(dòng)，使各檢查夾具頭 與相鄰的標(biāo)有虛線的星印的單位檢查基板A-4、B-4、C-4、D-4分別對(duì)應(yīng)。由此，進(jìn)行這些單 位檢查基板的檢查。 如上述那樣，依照該移動(dòng)方法，通過將檢查夾具80-4移動(dòng)3次，能夠進(jìn)行全部16 個(gè)單位檢查基板的檢查。
圖12說明由6行X6列的單位檢查基板構(gòu)成的薄片基板120的情況。 與圖11的情況相同，這種情況下，使用以在4個(gè)檢查夾具頭的相鄰的檢查夾具頭
之間分別具有相當(dāng)于1個(gè)單位檢查基板的空間的方式配置的檢查夾具80-4。 首先，在圖11中，代表性地，使檢查夾具80-4的檢查夾具頭與標(biāo)有虛線的圓印的4
個(gè)單位檢查基板1分別對(duì)應(yīng)，進(jìn)行這些單位檢查基板的檢查。接著，將檢查夾具80-4向右
側(cè)移動(dòng)，使各檢查夾具頭與相鄰的單位檢查基板2對(duì)應(yīng)，進(jìn)行這些單位檢查基板的檢查。同
樣地，移動(dòng)檢查夾具頭，以依次檢查相鄰的單位檢查基板，如果右側(cè)的檢查夾具頭進(jìn)行薄片
基板的右端的列的單位檢查基板的檢查，則檢查夾具移動(dòng)至下1層的行，從左端的單位檢
查基板進(jìn)行檢查。即，在圖11中，如果標(biāo)有"4"的數(shù)字的4個(gè)單位檢查基板的檢查結(jié)束，則
接著同時(shí)進(jìn)行標(biāo)有相同的數(shù)字"5"的單位檢查基板的檢查。以后，按照連續(xù)的號(hào)碼的順序，
同樣地，以標(biāo)有相同的數(shù)字的單位檢查基板作為一組，同時(shí)進(jìn)行檢查。 在圖11的情況下，如該圖所示，有時(shí)候在1塊單位檢查基板上標(biāo)有多個(gè)數(shù)字。這 意味著重復(fù)進(jìn)行檢查。例如，標(biāo)有數(shù)字"1、3、9、11"的單位檢查基板在第l次、第3次、第9 次以及第11次的檢查時(shí)被進(jìn)行檢查。 在該情況下，例如，僅利用最初的檢查的值而不利用其他的檢查的值，或利用多次 的檢查的值的平均值等，能夠針對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行任意的處理。 如此，即使對(duì)一部分單位檢查基板進(jìn)行重復(fù)的檢查，在圖12的實(shí)施例中，也能夠 以16次的檢查進(jìn)行全部36個(gè)單位檢查基板的檢查。 另外，在圖9、圖10B、圖11以及圖12中，作為檢查夾具，雖然使用以在4個(gè)檢查夾 具頭的相鄰的檢查夾具頭之間分別具有相當(dāng)于1個(gè)單位檢查基板的空間的方式配置的檢 查夾具，但該空間的大小也可以不相當(dāng)于1個(gè)單位檢查基板，而是相當(dāng)于多個(gè)單位檢查基 板的大小。于是，能夠分散地檢查單位檢查基板。 以上雖然對(duì)本發(fā)明的檢查夾具以及具備該檢查夾具的基板檢查裝置的優(yōu)選的實(shí) 施方式進(jìn)行說明，但本發(fā)明不限制于該實(shí)施方式，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員容易進(jìn)行的增加、刪 除、改變等被包含在本發(fā)明中，另外，要知道本發(fā)明的技術(shù)范圍由所附的權(quán)利要求的范圍的 記載確定。
權(quán)利要求
一種檢查夾具，具備用于檢查薄片基板上的各單位檢查基板的布線圖形的檢查夾具頭，用于通過移動(dòng)該檢查夾具并使所述檢查夾具頭與所述薄片基板上的單位檢查基板對(duì)應(yīng)來進(jìn)行所述布線圖形的檢查的基板檢查裝置，所述檢查夾具頭具備多個(gè)檢查用探針，用于通過與所述單位檢查基板的布線圖形上的檢查點(diǎn)對(duì)應(yīng)并接觸來進(jìn)行該布線圖形的檢查；探針頭，保持該多個(gè)檢查用探針；基臺(tái)，保持該探針頭；第1移動(dòng)設(shè)備，設(shè)在該基臺(tái)上，在與所述單位檢查基板的面平行的面內(nèi)，沿第1方向移動(dòng)所述探針頭；以及第2移動(dòng)設(shè)備，設(shè)在所述基臺(tái)上，在與所述單位檢查基板的面平行的面內(nèi)，沿與所述第1方向不同的第2方向移動(dòng)所述探針頭，其中，通過使所述第1移動(dòng)設(shè)備和第2移動(dòng)設(shè)備的一方或兩方起作用，能夠修正所述多個(gè)檢查用探針和所述檢查點(diǎn)的對(duì)應(yīng)的位置的偏移。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，所述第1移動(dòng)設(shè)備和所述第2移動(dòng)設(shè) 備沿相互正交的方向移動(dòng)所述檢查夾具。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，還具備在與所述單位檢查基板的面 平行的面內(nèi)旋轉(zhuǎn)所述檢查夾具的旋轉(zhuǎn)設(shè)備。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，所述第1移動(dòng)設(shè)備和第2移動(dòng)設(shè)備各 自具備使所述檢查夾具前進(jìn)和后退的突出和拉扯設(shè)備。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，所述移動(dòng)設(shè)備具備壓電馬達(dá)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，具備多個(gè)檢查夾具頭。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查夾具，其特征在于，所述多個(gè)檢查夾具頭配置成矩陣狀， 個(gè)別的檢查夾具頭能夠與將單位檢查基板配置成矩陣狀的薄片基板的所述單位檢查基板 各自對(duì)應(yīng)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查夾具，其特征在于，所述多個(gè)檢查夾具頭以與配置成矩 陣狀的單位檢查基板的一部分的配置成列狀的單位基板個(gè)別對(duì)應(yīng)的方式配置成列狀，如果所對(duì)應(yīng)的單位檢查基板的檢查結(jié)束，則所述多個(gè)檢查夾具頭能夠與接下來的單位檢查基板 的一部分的配置成列狀的單位基板個(gè)別對(duì)應(yīng)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查夾具，其特征在于，在薄片基板上，單位檢查基板配置成 矩陣狀，另外，所述多個(gè)檢查夾具頭隔開間隔而配置，在所述薄片基板中，不相鄰的單位檢 查基板和隔開所述間隔而配置的檢查夾具頭對(duì)應(yīng)。
10. —種基板檢查裝置，具備 根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查夾具； 基板搬送設(shè)備，將所述薄片基板搬送至檢查裝置； 位置檢測設(shè)備，檢測該薄片基板上的所述單位檢查基板的位置； 檢查夾具移動(dòng)設(shè)備，將所述檢查夾具移動(dòng)至所述檢查位置；以及控制裝置，在與所述檢查夾具頭的所述多個(gè)檢查用探針之間收發(fā)基板檢查用的信號(hào)并 取得單位檢查基板的電氣特性，另外，控制所述多個(gè)檢查夾具頭的各自的所述第1移動(dòng)設(shè) 備和第2移動(dòng)設(shè)備以及所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備的動(dòng)作，其中，通過所述控制裝置，求出所述薄片基板的單位檢查基板的設(shè)計(jì)位置和由所述位置檢測 設(shè)備檢測出的所述單位檢查基板的檢測位置的偏移的大小，基于該偏移的大小，控制所述 第1移動(dòng)設(shè)備和第2移動(dòng)設(shè)備以及所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備并修正規(guī)定的檢查夾具頭的位置，由此，使 所述檢查夾具頭的檢查用探針與所述單位檢查基板的檢查點(diǎn)恰當(dāng)?shù)亟佑|。
全文摘要
本發(fā)明涉及基板檢查夾具以及具備該基板檢查夾具的基板檢查裝置。檢查夾具具備用于檢查薄片基板上的各單位檢查基板的布線圖形的檢查夾具頭，檢查夾具頭具備多個(gè)檢查用探針，用于通過與單位檢查基板的布線圖形上的檢查點(diǎn)對(duì)應(yīng)并接觸來進(jìn)行布線圖形的檢查；探針頭，保持多個(gè)檢查用探針；基臺(tái)，保持探針頭；第1移動(dòng)設(shè)備，設(shè)在基臺(tái)上，在與單位檢查基板的面平行的面內(nèi)，沿第1方向移動(dòng)探針頭；第2移動(dòng)設(shè)備，設(shè)在基臺(tái)上，在與單位檢查基板的面平行的面內(nèi)，沿與第1方向不同的第2方向移動(dòng)探針頭。通過使第1移動(dòng)設(shè)備和第2移動(dòng)設(shè)備的一方或兩方起作用，能夠修正多個(gè)檢查用探針和檢查點(diǎn)的對(duì)應(yīng)的位置的偏移。
文檔編號(hào)G01R31/28GK101726631SQ20091020994
公開日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2009年10月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月23日
發(fā)明者長谷川寬 申請(qǐng)人:日本電產(chǎn)麗德株式會(huì)社