專利名稱：薄膜型探針單元及其制造方法和使用其測試對象的方法
薄膜型探針單元及其制造方法和使用其測試對象的方法發(fā)明背景 發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明一般地涉及薄膜型探針單元及其制造方法和使用其測試測試對象的方法， 尤其涉及用于在驅(qū)動IC的、以微小間距排列的、向其施加不同信號的導(dǎo)線之間形成裕量 (margin)以向測試對象施加精確信號的薄膜型探針單元及其制造方法和測試測試對象的 方法。
背景技術(shù)：
一般而言，在平板顯示設(shè)備或半導(dǎo)體(下文中稱作“測試對象”)的制造過程中要 進(jìn)行若干次電測試。例如，液晶顯示面板通過在薄膜晶體管基板和彩色濾光器基板之間注入液晶的單 元工藝、向該單元附連具有驅(qū)動IC的集成電路薄膜的模塊工藝、以及向該模塊安裝框架的 裝配工藝來制造。在模塊工藝之前要對單元進(jìn)行電測試。更具體地，以在驅(qū)動IC附連到單元連接區(qū)之前，將單元連接區(qū)的電極電連接至驅(qū) 動IC的狀態(tài)下，通過向電極施加信號來執(zhí)行電測試，并且將無異常的單元傳送至模塊工 藝。為了執(zhí)行電測試，使用探針單元。刀片式探針被廣泛使用?，F(xiàn)有刀片式探針單元 包括探針單元、印刷電路板(PCB)、柔性印刷電路(FPC)、連接至FPC的驅(qū)動IC、將驅(qū)動IC的 導(dǎo)線與單元(測試對象)電極電連接的刀片。S卩，刀片式探針單元是通過將刀片臨時插入到最終會互連的測試對象的電極和驅(qū) 動IC之間、并通過向電極施加信號來測試測試對象的測試設(shè)備。這樣做有可能丟失信號， 艮口，所施加的信號可能沒有傳輸?shù)綔y試對象的電極。此外，刀片必須作為單獨的部分制造， 并且必須以微小間距排列。為了克服上述問題，本申請人已開發(fā)了薄膜型探針單元(韓國專利KR720378)。參 考

圖1，薄膜型探針單元1包括探針塊10、驅(qū)動IC 20、以及FPC 40。按壓構(gòu)件30附連于驅(qū) 動IC 20的一側(cè)。PCB (未示出)電連接至FPC 40的另一側(cè)。即，薄膜型探針單元1采用驅(qū) 動IC 20與測試對象的連接區(qū)直接接觸，而非插入刀片。這樣做則可克服上述問題。參考 圖4，驅(qū)動IC 20配置成使芯片22安裝于絕緣基板21上，接觸測試對象的連接區(qū)130的電 極的導(dǎo)線23制做在芯片22的兩側(cè)，且在另一側(cè)制做導(dǎo)線24電連接至FPC。特別地，當(dāng)制造 驅(qū)動IC時，所形成的驅(qū)動IC的導(dǎo)線23的間距窄于測試對象電極的間距。因而要求加寬導(dǎo) 線23的間距使其等于電極的間距。 同時，將參考圖2描述一般的液晶顯示面板100。如圖所示，液晶顯示面板100通 過在TFT基板110和彩色濾光器基板120間注入液品來構(gòu)造，并且包括與探針單元接觸的 連接區(qū)130。將參考圖3詳細(xì)描述連接區(qū)130。連接區(qū)130包括彩色輸入單元(信道單元)132和形成在彩色輸入單元132的兩側(cè)的電源單元(Mont Blanc連接區(qū))134。彩色輸入單元 132包括多個R、G、B電極，而電源單元134包括經(jīng)其施加不同信號的多個電極a 1。 圖4是利用薄膜型探針單元測試液晶顯示面板的示意圖。如圖所示，驅(qū)動IC 20 的導(dǎo)線23接觸電源單元134的第一至第十二電極a 1。在這種情況下，不同信號分別施 加于第一至第十二電極a 1，從而對液晶顯示面板進(jìn)行電測試。即，一個信號施加于一個 電極，而且在相鄰電極上施加不同于所施加的信號的信號。此外，如圖所示，多條導(dǎo)線可以接觸一個電極。例如，6條導(dǎo)線23a接觸第六電極 f。這種情況下，向接觸一個電極的導(dǎo)線施加相同信號。然而，因為電極a 1以及導(dǎo)線按微小間距形成，電極a 1的及導(dǎo)線間的裕量非 常窄。因此，導(dǎo)線必須僅接觸驅(qū)動IC的相應(yīng)電極，但是可能接觸到在一組導(dǎo)線與另一組導(dǎo) 線之間的界面處是相鄰電極。例如，所有6條導(dǎo)線23a必須僅接觸第六電極f，但是導(dǎo)線23a中最左邊的導(dǎo)線 23a’可能接觸到置于第六電極f左側(cè)處的第五電極e。導(dǎo)線23a的最右邊的導(dǎo)線23a”可 能接觸到置于第六電極f右側(cè)處的第七電極g。在這種情況下，向第六電極f施加的信號也施加至第五電極e或者第七電極g。這 樣，當(dāng)施加信號有誤時，探針單元和/或液晶顯示面板可能嚴(yán)重受損。此外，不同信號可能 相互重疊從而導(dǎo)致電短路。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而做出的，且本發(fā)明提供一種通過在驅(qū)動IC的、按微小間 距形成的、施加不同信號的導(dǎo)線之間形成足夠裕量來精確地向測試對象電極施加信號的薄 膜型探針單元及其制造方法和測試測試對象的方法。根據(jù)本發(fā)明的諸方面，提供一種通過接觸驅(qū)動IC中形成的用于以測試對象電極 驅(qū)動該測試對象的導(dǎo)線來測試測試對象的薄膜型探針單元，該薄膜型探針單元包括諸導(dǎo) 線中的任意一條做成與電極無電接觸的虛設(shè)導(dǎo)線。虛設(shè)導(dǎo)線包括施加相同信號的導(dǎo)線中的任意一條。當(dāng)向其施加相同信號的一組導(dǎo)線包括兩條導(dǎo)線時，兩條中的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo) 線。當(dāng)向其施加相同信號的一組導(dǎo)線包括三條或更多條導(dǎo)線時，該三條或更多條最外面的 任意一條做成虛設(shè)導(dǎo)線。虛設(shè)導(dǎo)線通過去除諸導(dǎo)線中的任意一條而形成。虛設(shè)導(dǎo)線通過在諸線中的任意一條上涂敷絕緣層形成。本發(fā)明還提供用于接觸驅(qū)動IC的導(dǎo)線以利用測試對象的電極驅(qū)動測試對象的薄 膜型探針單元的制造方法，該方法包括將諸導(dǎo)線中的任意一條做成與測試對象的電極無 電接觸的虛設(shè)導(dǎo)線。虛設(shè)導(dǎo)線包括施加相同信號的導(dǎo)線中的任意一條。當(dāng)向其施加相同信號的一組導(dǎo)線包括兩條導(dǎo)線時，兩條中的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo) 線。當(dāng)向其施加相同信號的一組導(dǎo)線包括三條或更多條導(dǎo)線時，該三條或更多條最外面的 任意一條做成虛設(shè)導(dǎo)線。虛設(shè)導(dǎo)線通過去除諸導(dǎo)線中的任意一條而形成。
虛設(shè)導(dǎo)線通 過刮擦并去除諸導(dǎo)線中的任意一條而形成。虛設(shè)導(dǎo)線通過應(yīng)用化學(xué)蝕刻或投射激光而去除諸導(dǎo)線中的任意一條。虛設(shè)導(dǎo)線通過在諸導(dǎo)線中的任意一條上涂敷絕緣層形成。本發(fā)明還提供一種通過接觸驅(qū)動IC中形成的導(dǎo)線以驅(qū)動測試對象來測試測試對 象的方法，包括以向其施加相同信號的導(dǎo)線中的任意一條不與測試對象電極電連接的狀 態(tài)施加一信號。當(dāng)施加相同信號的一組導(dǎo)線包括兩條導(dǎo)線時，兩條導(dǎo)線中的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo) 線，并且在虛設(shè)導(dǎo)線不與電極電接觸的狀態(tài)下施加該信號。當(dāng)施加相同信號的一組導(dǎo)線包 括三或更多條導(dǎo)線時，三條或更多條導(dǎo)線中最外面的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo)線，并且在虛設(shè) 導(dǎo)線不與電極電接觸的狀態(tài)下施加該信號。根據(jù)本發(fā)明，在驅(qū)動IC的、按微小間距形成的、向其施加不同信號的導(dǎo)線之間形 成足夠裕量，從而可向測試對象的電極施加精確信號。這樣，可防止向測試對象的電極錯誤地施加信號和因不同信號的疊加而引起的電 短路。附圖簡述通過結(jié)合附圖與下面的具體描述，本發(fā)明的目的、特征以及優(yōu)點更加明顯，其中圖1是現(xiàn)有探針單元的分解立體圖；圖2是液晶現(xiàn)實面板的示意圖；圖3是圖2中的現(xiàn)有液晶顯示面板的連接區(qū)的示意圖；圖4是圖1中的探針單元的使用示意圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明的實施例的探針單元的使用示意圖。
具體實施例方式下文中，參考附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實施例。根據(jù)本發(fā)明的實施例的薄膜型探針單元包括探針塊和FPC。由于探針塊和FPC與 圖1中所示的相同，省略其描述。接觸測試對象的電極的一組導(dǎo)線中的任意一條是不與電極電接觸的虛設(shè)導(dǎo)線。圖5示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的探針單元的驅(qū)動IC 200的使用。如圖所示，在本 實施例中，驅(qū)動IC 200包括安裝于絕緣基板210上的芯片220、形成于芯片220兩側(cè)且接觸 測試對象的連接區(qū)130的電極的導(dǎo)線230、形成于芯片220的另一側(cè)且電連接至FPC的導(dǎo) 線240。接觸測試對象的電極的導(dǎo)線230包括多條虛設(shè)導(dǎo)線234a 234k。如圖5的放大 圖所示，除虛設(shè)導(dǎo)線以外的導(dǎo)線230接觸測試對象的電極并且向其施加信號。S卩，位于組導(dǎo) 線與另一組導(dǎo)線之間的界面處的導(dǎo)線做成虛設(shè)導(dǎo)線。例如，圖5示出置于導(dǎo)線234”最左側(cè)處的虛設(shè)導(dǎo)線234e接觸連接區(qū)130的電源 單元中所形成的第六電極，虛設(shè)導(dǎo)線234f置于其最右側(cè)處。這樣，防止了必須接觸第六電極f的導(dǎo)線234”接觸到第五電極e或者第七電極g。 從而防止了施加于第六電極f的信號施加到第五電極e或者第七電極g。以同樣地方式，接觸第七電極g的導(dǎo)線234'，，的最左邊的線234g和最右邊的線 234h作成虛設(shè)導(dǎo)線。這樣，防止了必須接觸第七電極g的那組導(dǎo)線234’，，接觸第六電極f或者第八電極h而向其施加錯誤信號。此外，置于第一至第十二的電極a 1之間的界面處的導(dǎo)線做成虛設(shè)導(dǎo)線234a 234k。由于這種配置，相應(yīng)的各組導(dǎo)線分別接觸相對應(yīng)的電極并且被防止接觸相鄰電極。這 樣，為了防止施加錯的信號，向虛設(shè)導(dǎo)線施加一信號，從而可以更精確、更安全地執(zhí)行測試 對象的電測試。

為此，當(dāng)相同的信號施加于像第一電極a的情況樣的兩條導(dǎo)線時，將兩條導(dǎo)線中 的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo)線?；蛘?，當(dāng)相同的信號施加于像第六電極f的情況一樣的三條或更多導(dǎo)線時，最外 面的導(dǎo)線做成虛設(shè)導(dǎo)線或者最外面的導(dǎo)線中的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo)線。當(dāng)相同的信號施加 于多于三條的導(dǎo)線時，位于導(dǎo)線的最外面的兩條或多條導(dǎo)線可做成虛設(shè)導(dǎo)線。同時，可能有若干種方法將一些導(dǎo)線做成虛設(shè)導(dǎo)線。例如，利用蝕刻劑的化學(xué)蝕刻 可形成虛設(shè)導(dǎo)線?？赏ㄟ^利用堅硬構(gòu)件刮擦導(dǎo)線的一部分以去除導(dǎo)線、通過應(yīng)用化學(xué)蝕刻、或者通 過投射激光形成虛設(shè)導(dǎo)線。在要做成虛設(shè)導(dǎo)線的導(dǎo)線的上側(cè)涂敷絕緣層，從而避免與電極進(jìn)行電接觸。虛設(shè) 導(dǎo)線根據(jù)其他眾所周知的方式或方法來制造。將描述利用根據(jù)本發(fā)明的薄膜型探針單元測試測試對象的方法。當(dāng)多條導(dǎo)線接觸 測試對象的電極從而多條導(dǎo)線接觸單個電極時，將其中一些導(dǎo)線做成虛設(shè)導(dǎo)線以防止一些 導(dǎo)線發(fā)生電接觸；導(dǎo)線之間形成足夠裕量；以及向?qū)Ь€施加信號用以測試。提供本發(fā)明的示例性實施例是為了根據(jù)特定示例便于描述和理解本發(fā)明，而非限 制本發(fā)明的范圍。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員會理解，可實踐多種變化和修改而不背離本發(fā)明的 精神。
權(quán)利要求
1.一種用于通過接觸驅(qū)動IC中形成的導(dǎo)線以利用所述測試對象的電極驅(qū)動所述測試 對象來測試測試對象的薄膜型探針單元，所述薄膜型探針單元包括所述導(dǎo)線中任意一條 做成與電極無電接觸的虛設(shè)導(dǎo)線。
2.如權(quán)利要求1所述的薄膜型探針單元，其特征在于，所述虛設(shè)導(dǎo)線包括向其施加相 同信號的導(dǎo)線中的任意一條。
3.如權(quán)利要求2所述的薄膜型探針單元，其特征在于，當(dāng)向其施加相同信號的一組導(dǎo) 線包括兩條導(dǎo)線時，所述兩條導(dǎo)線中的任意條做成虛設(shè)導(dǎo)線。
4.如權(quán)利要求2所述的薄膜型探針單元，其特征在于，當(dāng)向其施加相同信號的一組導(dǎo) 線包括三條或更多條導(dǎo)線時，所述三條或更多條導(dǎo)線中最外面的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo)線。
5.如權(quán)利要求1所述的薄膜型探針單元，其特征在于，所述虛設(shè)導(dǎo)線通過去除導(dǎo)線中 的任意一條形成。
6.如權(quán)利要求1所述的薄膜型探針單元，其特征在于，所述虛設(shè)導(dǎo)線通過在所述導(dǎo)線 中的任意一條上涂敷絕緣層形成。
7.一種用于接觸驅(qū)動IC的導(dǎo)線以利用所述測試對象的電極驅(qū)動所述測試對象的薄膜 型探針單元的制造方法，所述方法包括將所述導(dǎo)線中的任意一條做成與測試對象的電極 無電接觸的虛設(shè)導(dǎo)線。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述虛設(shè)導(dǎo)線包括向其施加相同信號的導(dǎo) 線中的任意一條。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，當(dāng)向其施加相同信號的一組導(dǎo)線包括兩條 導(dǎo)線時，所述兩條導(dǎo)線中的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo)線。
10.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，當(dāng)向其施加相同信號的一組導(dǎo)線包括三條 或更多條導(dǎo)線時，所述三條或更多條導(dǎo)線中最外面的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo)線。
11.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述虛設(shè)導(dǎo)線通過去除導(dǎo)線中的任意一條 形成。
12.如權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，所述虛設(shè)導(dǎo)線通過刮擦和去除所述導(dǎo)線 中的任意一條形成。
13.如權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，所述虛設(shè)導(dǎo)線通過應(yīng)用化學(xué)蝕刻或投射 激光以去除所述導(dǎo)線中的任意一條形成。
14.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述虛設(shè)導(dǎo)線通過在所述導(dǎo)線中的任意一 條上涂敷絕緣層形成。
15.一種通過接觸驅(qū)動IC中形成的導(dǎo)線以驅(qū)動所述測試對象來測試測試對象的方法， 包括以向其施加相同信號的導(dǎo)線中的任意條不與所述測試對象的電極電連接的狀態(tài)施加 一信號。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，當(dāng)向其施加相同信號的一組導(dǎo)線包括兩 條導(dǎo)線時，所述兩條導(dǎo)線中的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo)線，所述信號在所述虛設(shè)導(dǎo)線不與所述 電極電接觸的狀態(tài)下施加。
17.如權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，當(dāng)向其施加相同信號的一組導(dǎo)線包括三 條或更多條導(dǎo)線時，所述三條或更多條導(dǎo)線中最外面的任意一條做成虛設(shè)導(dǎo)線，所述信號 在所述虛設(shè)導(dǎo)線不與所述電極電接觸的狀態(tài)下施加。
全文摘要
本發(fā)明提供了通過在驅(qū)動IC的、按微小間距形成的、向其施加不同信號的導(dǎo)線之間形成充足裕量來精確地向測試設(shè)備的電極施加信號的薄膜型探針單元及其制造方法和測試測試對象的方法。該薄膜型探針單元包括各導(dǎo)線中的任意一條做成與電極無電接觸的虛設(shè)線。
文檔編號G01R31/00GK102103151SQ201010511679
公開日2011年6月22日 申請日期2010年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月1日
發(fā)明者金憲敏 申請人:寇地斯股份有限公司