專利名稱：沉積箱真空度檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)裝置，尤其涉及一種太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中的沉積箱真 空度檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
在太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中，有一個(gè)很重要的生產(chǎn)工藝，叫做化學(xué)氣象沉積，即在一 個(gè)真空室里面通入相應(yīng)的工藝氣體，在一定的條件下，進(jìn)行非晶硅鍍層的生產(chǎn)，此生產(chǎn)過(guò)程 對(duì)真空室的真空度以及真空度精度的要求很高，這就需要有一個(gè)測(cè)量范圍大，測(cè)量精度高 的檢測(cè)裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決上述技術(shù)問題本實(shí)用新型提供一種沉積箱真空度檢測(cè)裝置，目的是增加 了真空度的測(cè)量范圍。為達(dá)上述目的本實(shí)用新型沉積箱真空度檢測(cè)裝置，由下述結(jié)構(gòu)成電磁閥，電磁閥 與進(jìn)氣管連接，在進(jìn)氣管上通過(guò)管路與電阻規(guī)連接，電磁閥與電離規(guī)連接，電離規(guī)與電離規(guī) 信號(hào)線連接，電阻規(guī)與電阻規(guī)信號(hào)線連接，電磁閥上設(shè)有電磁閥信號(hào)線。所述的進(jìn)氣管通過(guò)法蘭與電磁閥連接。所述的進(jìn)氣管與電阻規(guī)之間的管路上設(shè)有法蘭。所述的電磁閥與電離規(guī)之間通過(guò)管路連接。所述的電磁閥與電離規(guī)之間的管路上設(shè)有法蘭。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)效果將電阻規(guī)和電離規(guī)先后安裝在一個(gè)管路上，測(cè)量范圍可 從100000帕至0. 0001帕，并且中間安裝有電磁閥，可以單獨(dú)使用電阻規(guī)，也可以同時(shí)使用 電阻規(guī)和電離規(guī)，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，增加了真空度的測(cè)量范圍，測(cè)量精度高，實(shí)用性強(qiáng)。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、法蘭；2、電阻規(guī)；3、電離規(guī)；4、電阻規(guī)信號(hào)線；5、電離規(guī)信號(hào)線；6、電磁 閥；7、電磁閥信號(hào)線；8、進(jìn)氣管。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖所示本實(shí)用新型沉積箱真空度檢測(cè)裝置，由下述結(jié)構(gòu)構(gòu)成電磁閥6，電磁閥 6與進(jìn)氣管8連接，在進(jìn)氣管8上通過(guò)管路與電阻規(guī)2連接，電磁閥6與電離規(guī)3連接，電離 規(guī)3與電離規(guī)信號(hào)線5連接，電阻規(guī)2與電阻規(guī)信號(hào)線4連接，電磁閥6上設(shè)有電磁閥信號(hào) 線7，進(jìn)氣管8通過(guò)法蘭1與電磁閥6連接，進(jìn)氣管8與電阻規(guī)2之間的管路上設(shè)有法蘭，電 磁閥6與電離規(guī)3之間通過(guò)管路連接，電磁閥6與電離規(guī)3之間的管路上設(shè)有法蘭。[0014] 本實(shí)用新型當(dāng)需要單獨(dú)使用電阻規(guī)時(shí)，將電磁閥關(guān)閉，這樣電阻規(guī)測(cè)量范圍為 100000帕至10帕，而當(dāng)測(cè)量范圍需要擴(kuò)大時(shí)，將電磁閥打開，啟動(dòng)電離規(guī)，電離規(guī)的測(cè)量范 圍從10帕到0. 0001帕，這樣本實(shí)用新型的檢測(cè)范圍為100000帕至0. 0001帕。并且在真 空度達(dá)到要求后，化學(xué)氣象沉積開始后，工藝氣體會(huì)對(duì)電離規(guī)造成污染，電磁閥關(guān)閉后，對(duì) 電離規(guī)起到保護(hù)作用。
權(quán)利要求沉積箱真空度檢測(cè)裝置，其特征在于由下述結(jié)構(gòu)構(gòu)成電磁閥，電磁閥與進(jìn)氣管連接，在進(jìn)氣管上通過(guò)管路與電阻規(guī)連接，電磁閥與電離規(guī)連接，電離規(guī)與電離規(guī)信號(hào)線連接，電阻規(guī)與電阻規(guī)信號(hào)線連接，電磁閥上設(shè)有電磁閥信號(hào)線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積箱真空度檢測(cè)裝置，其特征在于所述的進(jìn)氣管通過(guò)法蘭 與電磁閥連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積箱真空度檢測(cè)裝置，其特征在于所述的進(jìn)氣管與電阻規(guī) 之間的管路上設(shè)有法蘭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積箱真空度檢測(cè)裝置，其特征在于所述的電磁閥與電離規(guī) 之間通過(guò)管路連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的沉積箱真空度檢測(cè)裝置，其特征在于所述的電磁閥與電離規(guī) 之間的管路上設(shè)有法蘭。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)裝置，尤其涉及一種太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中的沉積箱真空度檢測(cè)裝置。沉積箱真空度檢測(cè)裝置，由下述結(jié)構(gòu)成電磁閥，電磁閥與進(jìn)氣管連接，在進(jìn)氣管上通過(guò)管路與電阻規(guī)連接，電磁閥與電離規(guī)連接，電離規(guī)與電離規(guī)信號(hào)線連接，電阻規(guī)與電阻規(guī)信號(hào)線連接，電磁閥上設(shè)有電磁閥信號(hào)線。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)效果將電阻規(guī)和電離規(guī)先后安裝在一個(gè)管路上，測(cè)量范圍可從100000帕至0.0001帕，并且中間安裝有電磁閥，可以單獨(dú)使用電阻規(guī)，也可以同時(shí)使用電阻規(guī)和電離規(guī)，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，增加了真空度的測(cè)量范圍，測(cè)量精度高，實(shí)用性強(qiáng)。
文檔編號(hào)G01L21/30GK201637537SQ201020131780
公開日2010年11月17日 申請(qǐng)日期2010年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月16日
發(fā)明者李健 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)漢鋒新能源技術(shù)有限公司