專利名稱：粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅鞯闹谱鞣椒?br> 技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型公開了粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅?，尤其涉及用于測(cè)量凹凸曲面エ件的表面粗糙度的ー種曲面?zhèn)鞲衅?。屬于電子儀器技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在粗糙測(cè)量?jī)x現(xiàn)有技術(shù)中，曲面?zhèn)鞲衅鞔嬖谝韵虏蛔阒幍谝?、曲面?zhèn)鞲衅髌渲饕M成，包括電感測(cè)頭，而電感測(cè)頭部分選用材質(zhì)差，易磨損，誤差大；第二、觸針尖端曲率半徑大，當(dāng)觸針尖端半徑與表面的曲率半徑相比為很大時(shí)，觸針會(huì)跳過較小半徑的曲率凹面，這樣就減小了對(duì)短波長(zhǎng)量的靈敏度，引起測(cè)量誤差，導(dǎo)致被測(cè)物的測(cè)量值產(chǎn)生誤差，影響測(cè)量精度，如圖I所示。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足之處，從而提供了ー種用于測(cè)量凹凸曲面、平面、柱面粗糙度的粗糙測(cè)量?jī)x用曲面?zhèn)鞲衅?。本?shí)用新型是通過如下的方法實(shí)現(xiàn)的粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅?，其組成包括電感測(cè)頭，所述電感測(cè)頭101的一端觸于被測(cè)物102。所述曲面?zhèn)鞲衅鱅材質(zhì)為紅寶石或金剛石。所述電感測(cè)頭101包括觸針201和導(dǎo)頭202。所述觸針(201)成鉆石形或錐形。所述觸針201由金剛石制成；所述觸針尖端曲率半徑小于2um。所述觸針201為0 360度錐角。所述導(dǎo)頭202由紅寶石制成。所述導(dǎo)頭202滑行方向半徑為I 58mm。所述導(dǎo)頭202滑行方向?yàn)榭v向。所述被測(cè)物102的凹凸曲面的曲率半徑大于0. I 5mm。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、外形小巧、攜帯方便、高精度、無誤差等優(yōu)點(diǎn)；其主要用于測(cè)量エ件的表面粗糙度。
圖I傳統(tǒng)觸針工作誤差影響示意圖圖2本實(shí)用新型結(jié)合被測(cè)物表示曲面?zhèn)鞲衅鹘Y(jié)構(gòu)組成圖3本實(shí)用新型觸針和導(dǎo)頭工作結(jié)構(gòu)圖圖4本實(shí)用新型觸針工作無誤差示意圖具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖作進(jìn)一歩描述本實(shí)用新型[0025]實(shí)施例I :一種粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅?，其組成包括電感測(cè)頭，所述電感測(cè)頭(101)的一端觸于被測(cè)物(102);所述電感測(cè)頭(101)的一端連接有測(cè)桿。所述曲面?zhèn)鞲衅?I)材質(zhì)為紅寶石或金剛石。所述電感測(cè)頭(101)包括觸針(201)和導(dǎo)頭(202)。進(jìn)ー步所述觸針(201)成鉆石形或錐形。
進(jìn)ー步所述觸針(201)由金剛石制成；所述觸針尖端曲率半徑小于2um。進(jìn)ー步所述觸針(201)為0 360度錐角。進(jìn)ー步所述導(dǎo)頭(202)由紅寶石制成。進(jìn)ー步所述導(dǎo)頭(202)滑行方向半徑為I 58mm ;所述導(dǎo)頭(202)滑行方向半徑為 40mmo進(jìn)ー步所述導(dǎo)頭(202)滑行方向?yàn)榭v向；滑行軌跡垂直于被測(cè)物(103)的表面紋理。所述被測(cè)物(102)的凹凸曲面的曲率半徑大于0. I 5mm ;所述曲面?zhèn)鞲衅骺蓽y(cè)量曲率半徑大于3_的凹凸曲面エ件的表面粗糙度，也可測(cè)量適合的平面、柱面，可配合測(cè)量平臺(tái)TA610/TA620使用。進(jìn)ー步所述測(cè)桿(103)與電感測(cè)頭(101)用螺釘相連接。實(shí)施例2曲面?zhèn)鞲衅鞯奶攸c(diǎn)是用一只尖端曲率半徑很小的觸針與被測(cè)表面直接接觸，以跟蹤描繪出被測(cè)輪廓的幾何形狀，當(dāng)觸針尖端半徑與表面的曲率半徑相比為很小時(shí)，觸針的移動(dòng)會(huì)很準(zhǔn)確地反映表面的形狀，當(dāng)曲率增大時(shí)，觸針會(huì)跳過較小半徑的曲率凹面，這樣就減小了對(duì)短波長(zhǎng)量的靈敏度，引起測(cè)量誤差，如圖I和4所示。對(duì)一臺(tái)粗糙度測(cè)量?jī)x來說，它所能相應(yīng)的表面波長(zhǎng)的上限是截止波長(zhǎng)，即儀器能夠相應(yīng)的表面特征中的最長(zhǎng)的間距，截止波長(zhǎng)是根據(jù)測(cè)量對(duì)象的精度等級(jí)在0. 08_至0. 8_之間選擇，而觸針半徑值限定了儀器能夠響應(yīng)的短波分量，一臺(tái)儀器相應(yīng)的范圍是用截止波長(zhǎng)和所能測(cè)量到的最短波長(zhǎng)的比率，即帶寬來表示，帶寬的大小和穩(wěn)定與否，是儀器的主要精度指標(biāo)。
權(quán)利要求1.粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅?，其組成包括電感測(cè)頭(101)，其特征在于，所述電感測(cè)頭(101)的一端觸于被測(cè)物(102)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅鳎涮卣髟谟?，所述曲面?zhèn)鞲衅?I)材質(zhì)為紅寶石或金剛石。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅鳎涮卣髟谟?，所述電感測(cè)頭(101)包括觸針(201)和導(dǎo)頭(202)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅鳎涮卣髟谟?，所述觸針(201)成鉆石形或錐形。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅?，其特征在于，所述觸針(201)由金剛石制成；所述觸針尖端曲率半徑小于2um。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅?，其特征在于，所述觸針(201)為0 360度錐角。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅?，其特征在于，所述?dǎo)頭(202)由紅寶石制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅?，其特征在于，所述?dǎo)頭(202)滑行方向半徑為I 58mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅?，其特征在于，所述?dǎo)頭(202)滑行方向?yàn)榭v向。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅?，其特征在于，所述被測(cè)物(102)的凹凸曲面的曲率半徑大于0. I 5mm。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種粗糙測(cè)量?jī)x的曲面?zhèn)鞲衅鳎浣M成包括電感測(cè)頭(101)，所述電感測(cè)頭(101)的一端觸于被測(cè)物(102)；所述曲面?zhèn)鞲衅?1)材質(zhì)為紅寶石、金剛石。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、外形小巧、攜帶方便、高精度、無誤差等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01B7/34GK202432986SQ20112052285
公開日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月15日
發(fā)明者華強(qiáng), 郭勇, 韓芬英, 黃海東 申請(qǐng)人:杭州工具量具有限公司