專利名稱：測量半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)性能參數(shù)的輔助裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別涉及半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)性能參數(shù)的測量技術(shù)。
背景技術(shù)：
精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是光學(xué)檢測加工和半導(dǎo)體制造行業(yè)許多重要設(shè)備的核心子系統(tǒng)，它在運(yùn)動(dòng)過程中，有可能產(chǎn)生軸方向、橫向、縱向、縱搖(pitch)方向、偏轉(zhuǎn)(yaw)方向、橫搖(roll)方向這六個(gè)自由度方向的位置偏差，在機(jī)械設(shè)計(jì)、采購驗(yàn)貨、故障維修時(shí)，常常需要測量這些位置偏差，以保證平臺(tái)在很高的速度和加速度下達(dá)到納米級(jí)定位精度。目前測量上述偏差的常用設(shè)備是激光干涉儀，它利用激光作為長度基準(zhǔn)，是一種對位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(平面度、直線度等)進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。其測量原理是激光經(jīng)半反射鏡，將光束一分為二，一束射向一個(gè)固定反射 鏡形成參考路徑，一束射向可移動(dòng)的反射鏡形成測量路徑。兩反射鏡所反射的光，回到半反射鏡內(nèi)重新會(huì)合，合并成一道光束并產(chǎn)生干涉條紋射至光電傳感器，傳感器感測出這些條紋的明暗變化，經(jīng)后級(jí)信號(hào)處理電路加以處理，即可算出移動(dòng)反射鏡所移動(dòng)的距離。借助激光干涉儀，現(xiàn)有測量運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度和重復(fù)性的方法為運(yùn)動(dòng)控制卡發(fā)送控制信號(hào)給驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)至設(shè)定位置，停留一段時(shí)間。在此時(shí)間內(nèi)，激光干涉儀根據(jù)預(yù)先設(shè)定的觸發(fā)停留時(shí)間和位置誤差帶檢測到平臺(tái)到達(dá)目標(biāo)位置后，自動(dòng)記錄平臺(tái)的實(shí)際位置值。停留時(shí)間結(jié)束后，平臺(tái)運(yùn)動(dòng)到下一個(gè)目標(biāo)位置點(diǎn)，重復(fù)以上記錄過程，直至完成所有設(shè)定位置點(diǎn)，得到平臺(tái)的定位精度和重復(fù)性結(jié)果(經(jīng)激光干涉儀軟件處理)。測量過程需要確定兩個(gè)重要時(shí)間參數(shù)，即平臺(tái)停留時(shí)間和激光干涉儀觸發(fā)停留時(shí)間。平臺(tái)停留時(shí)間設(shè)置太短，會(huì)導(dǎo)致激光干涉儀無法及時(shí)記錄位置值，測試失?。挥|發(fā)停留時(shí)間過短，會(huì)在平臺(tái)尚未穩(wěn)定到達(dá)預(yù)定位置時(shí)記錄位置值，影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。因此，上述兩個(gè)時(shí)間長度一般需要多次嘗試確定，降低了測量效率和準(zhǔn)確性，而且如果平臺(tái)運(yùn)動(dòng)速度或兩個(gè)測量點(diǎn)之間距離改變，時(shí)間長度需要重新確定。與定位精度和重復(fù)性測量不同，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)平面度、直線度等參數(shù)測量方法為控制卡控制驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)動(dòng)，當(dāng)平臺(tái)到達(dá)設(shè)定位置時(shí)，必須手動(dòng)操作激光干涉儀軟件記錄位置值，因此，需要投入人力，而且由于引入人為判斷因素，現(xiàn)有方法暴露出測量結(jié)果不準(zhǔn)確、費(fèi)時(shí)、低效率等缺點(diǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)需要事先嘗試確定停留時(shí)間和觸發(fā)時(shí)間，或者需要人工干預(yù)的技術(shù)問題，提出一種自動(dòng)的測量半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)性能參數(shù)的技術(shù)將是十分有利的。根據(jù)本實(shí)用新型的第一個(gè)方面，提供了一種用于測量半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)性能參數(shù)的輔助裝置，所述平臺(tái)能夠被驅(qū)動(dòng)以運(yùn)動(dòng)，其特征在于，包括-傳感器，用于在所述平臺(tái)被驅(qū)動(dòng)至給定位置后，測量指示所述平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的信號(hào)；[0009]-處理器，與所述傳感器相連，用于根據(jù)所述信號(hào)判斷所述平臺(tái)是否已經(jīng)穩(wěn)定，在判斷穩(wěn)定后控制觸發(fā)器產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)；以及-觸發(fā)器，與所述處理器相連，用于向指示一平臺(tái)性能參數(shù)的測量設(shè)備產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，該觸發(fā)信號(hào)指示該測量設(shè)備開始測量所述平臺(tái)的性能參數(shù)。根據(jù)該方面，能夠自動(dòng)地判斷平臺(tái)穩(wěn)定，并且在穩(wěn)定后自動(dòng)地觸發(fā)測量設(shè)備開始測量，無需事先實(shí)驗(yàn)出停留時(shí)間和觸發(fā)時(shí)間，也不需要人工干預(yù)，同時(shí)保證了測量的準(zhǔn)確性和快速性，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化的測量。根據(jù)一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式，所述傳感器包括所述傳感器包括-位置傳感器，用于產(chǎn)生與所述平臺(tái)的實(shí)際位置有關(guān)的位置信號(hào)；所述處理器用于以下至少任一項(xiàng)-計(jì)算所述位置信號(hào)與一定位置的差異，在所述差異保持在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，判斷所述平臺(tái)穩(wěn)定；-確定所述位置信號(hào)是否保持在一定范圍內(nèi)，當(dāng)保持時(shí)判斷所述平臺(tái)穩(wěn)定。根據(jù)一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式，所述位置傳感器安裝于所述平臺(tái)，其中，包括如下任一情況所述位置傳感器安裝于所述平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于測量所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在行程內(nèi)的位置；所述位置傳感器安裝于所述平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體，用于測量所述平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體的位置。本實(shí)施方式提供了判斷該平臺(tái)是否穩(wěn)定的一種具體實(shí)施方式
，使用位置傳感器來判斷該平臺(tái)是否穩(wěn)定的實(shí)施方式，能夠比較準(zhǔn)確的進(jìn)行判斷。根據(jù)一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式，所述傳感器包括-激光干涉儀系統(tǒng)，用于照射設(shè)置于所述平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體上的反光鏡，并測量所述反光鏡提供的光學(xué)信號(hào)；和/或，所述處理器用于確定所述光學(xué)信號(hào)是否保持在一定范圍內(nèi)，當(dāng)保持時(shí)判斷所述平臺(tái)穩(wěn)定。本實(shí)施方式提供了判斷該平臺(tái)是否穩(wěn)定的另一種具體實(shí)施方式
，使用激光干涉儀系統(tǒng)所采集的光學(xué)信號(hào)來判斷，由于光學(xué)信號(hào)的分辨率較高，因此能夠比較準(zhǔn)確的進(jìn)行判斷。根據(jù)一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式，所述測量設(shè)備包括激光干涉儀系統(tǒng)。根據(jù)一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式，所述處理器和觸發(fā)器被實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)控制系統(tǒng)的控制卡中；和/或，該輔助裝置還包括-接口裝置，與所述觸發(fā)器相連，用于連接到所述測量設(shè)備，將所述觸發(fā)信號(hào)轉(zhuǎn)換為所述測量設(shè)備能夠識(shí)別的格式，并且隔離所述輔助裝置和所述測量設(shè)備。本實(shí)施方式給出了將本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)在實(shí)際的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中的實(shí)施方式，對實(shí)際的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)不需要做出大的改變，具有很好的兼容性。

[0031]通過閱讀參照以下附圖所作的對非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加明顯圖I是根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中的示意圖；圖2是根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式的變化例實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中的示意圖；圖3是根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式的方法的流程圖；圖4是根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施方式實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中的示意圖。
具體實(shí)施方式
下面通過具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。 圖I和圖2示出了半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)，該機(jī)臺(tái)帶有根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施方式的用于測量的平臺(tái)性能參數(shù)的系統(tǒng)。如圖所示，整個(gè)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)一般包括下面幾個(gè)部件控制卡、驅(qū)動(dòng)器、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(包括電機(jī))以及放置于運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的運(yùn)動(dòng)體組成?？刂瓶ㄅc驅(qū)動(dòng)器相連，驅(qū)動(dòng)器與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接到運(yùn)動(dòng)體。控制卡提供的控制信號(hào)經(jīng)驅(qū)動(dòng)器轉(zhuǎn)換為電機(jī)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)后，驅(qū)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體實(shí)現(xiàn)X、Y、Z和Theta四個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)。本實(shí)施方式中，測量半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)性能參數(shù)的輔助裝置基本地包括-傳感器，用于在平臺(tái)被驅(qū)動(dòng)至給定位置后，測量指示平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的信號(hào)；-處理器，與傳感器相連，用于根據(jù)信號(hào)判斷所述平臺(tái)是否已經(jīng)穩(wěn)定，在判斷穩(wěn)定后控制觸發(fā)器產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)；-觸發(fā)器，與處理器相連，用于向指示一平臺(tái)性能參數(shù)的測量設(shè)備產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，該觸發(fā)信號(hào)指示該測量設(shè)備開始測量平臺(tái)的性能參數(shù)。用于測量半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)性能參數(shù)的方法包括如下步驟i.驅(qū)動(dòng)所述平臺(tái)移動(dòng)；ii.驅(qū)動(dòng)所述平臺(tái)至給定位置后，檢測指示所述平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的信號(hào)；iii.根據(jù)該信號(hào)判斷所述平臺(tái)是否已經(jīng)穩(wěn)定；以及iv.在判斷所述平臺(tái)穩(wěn)定后，測量所述平臺(tái)的性能參數(shù)。下面將通過兩個(gè)實(shí)施方式及其變化來對本實(shí)用新型進(jìn)行詳述。第一實(shí)施方式在第一實(shí)施方式中，使用位置傳感器提供的位置信號(hào)來判斷平臺(tái)是否穩(wěn)定。下面將詳述這個(gè)實(shí)施方式。首先，如圖3所示，控制卡發(fā)出的控制信號(hào)經(jīng)驅(qū)動(dòng)器機(jī)構(gòu)放大后提供給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體按照設(shè)置的速度、加速度等運(yùn)動(dòng)參數(shù)進(jìn)行點(diǎn)到點(diǎn)運(yùn)動(dòng)。可以理解，針對測量不同的平臺(tái)性能參數(shù)，驅(qū)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)的方式不同。例如，控制卡控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在行程范圍內(nèi)移動(dòng)一定距離，從而將平臺(tái)移動(dòng)到預(yù)定位置。在驅(qū)動(dòng)平臺(tái)至預(yù)定位置后，檢測指示平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的信號(hào)。在一個(gè)實(shí)施方式中，在圖I和圖2所示，傳感器是位置傳感器，它檢測與平臺(tái)的實(shí)際位置有關(guān)的位置信號(hào)。在一種情況中，如圖I所示，位置傳感器安裝于平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體，用于測量平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體所在的位置。在另一種情況中，如圖2所示，該位置傳感器能夠安裝于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于測量驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在其行程范圍內(nèi)的位置，該位置與平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體所在位置有關(guān)。在測量得到位置信號(hào)后，根據(jù)該信號(hào)判斷平臺(tái)是否已經(jīng)穩(wěn)定。在一個(gè)實(shí)施方式中，由與傳感器相連的處理器根據(jù)該信號(hào)判斷平臺(tái)是否已經(jīng)穩(wěn)定。在一種情況下，如圖I所示，位置傳感器測量的是平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體所在的位置，則處理器計(jì)算該實(shí)際位置與該平臺(tái)需要被驅(qū)動(dòng)到的期望位置的差異，在差異保持在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，判斷平臺(tái)穩(wěn)定。例如，當(dāng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體被驅(qū)動(dòng)至期望位置時(shí)，可能在該位置左右晃動(dòng)，當(dāng)晃動(dòng)的范圍持續(xù)減小至一定程度，即該實(shí)際位置與該給定位置的差異保持在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，從測量設(shè)備的精度上可以認(rèn)為該平臺(tái)已經(jīng)穩(wěn)定。這一范圍的大小可以預(yù)先確定。在另一種情況下，如圖2所示，位置傳感器測量的是驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在其行程范圍內(nèi)的位置，由于平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，所以驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)本身的穩(wěn)定性可以反映出平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體的穩(wěn)定性。因此，處理器計(jì)算驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的實(shí)際位置與驅(qū)動(dòng)裝置的期望位置之間差異，在差異保持在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，判斷平臺(tái)穩(wěn)定。如果處理器判斷該差異仍預(yù)定范圍外，證明平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體還沒有穩(wěn)定下來，則傳感器繼續(xù)測量，處理器繼續(xù)判斷，直至該差異處于預(yù)定范圍之內(nèi)。在一個(gè)變化的實(shí)施方式中，不需要考慮期望位置，而僅考慮位置信號(hào)本身的變化情況來判斷運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是否穩(wěn)定。例如，位置信號(hào)在越來越小的范圍內(nèi)左右波動(dòng)，即保持在一定范圍內(nèi)，可以認(rèn)為該平臺(tái)已經(jīng)穩(wěn)定。這一范圍的大小可以預(yù)先確定。在判斷該平臺(tái)已經(jīng)穩(wěn)定后，處理器控制觸發(fā)器向指示一平臺(tái)性能參數(shù)的測量設(shè)備產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，該觸發(fā)信號(hào)指示該測量設(shè)備開始測量、計(jì)算平臺(tái)的性能參數(shù)。如圖I和圖2所示，處理器和觸發(fā)器可以實(shí)現(xiàn)在控制卡中。在一個(gè)實(shí)施方式中，可以對控制卡進(jìn)行編程，將這兩個(gè)器件的功能加入；在另一個(gè)實(shí)施方式中，可以將硬件形式的這兩個(gè)器件植入到控制卡之中。出于觸發(fā)信號(hào)格式轉(zhuǎn)換以及電路隔離的目的，本實(shí)用新型的實(shí)施方式在觸發(fā)器和測量設(shè)備之間，還可以進(jìn)一步包括一個(gè)接口裝置，用于將觸發(fā)信號(hào)轉(zhuǎn)換為測量設(shè)備能夠識(shí)別的格式，并且隔離本輔助裝置和測量設(shè)備。例如，測量設(shè)備默認(rèn)為高電平，下降沿觸發(fā)。則平臺(tái)尚未穩(wěn)定前，接口裝置輸出為高電平，測量設(shè)備無觸發(fā)信號(hào)輸入，沒有操作；平臺(tái)穩(wěn)定后，接口裝置的輸出由高變低，并且保持信號(hào)低電平例如大于2 μ S，使測量設(shè)備識(shí)別到該觸發(fā)，并開始測量。在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，測量設(shè)備包括激光干涉儀系統(tǒng)，它包括一個(gè)通常實(shí)現(xiàn)在PC中的激光干涉儀測量模塊，激光頭，以及安裝在平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體上的激光干涉儀的反射鏡。該放射鏡與平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體一起做點(diǎn)到點(diǎn)運(yùn)動(dòng)。激光頭發(fā)出的光線經(jīng)干涉鏡后照射到反射鏡上，經(jīng)反射鏡反射后的反射光再次經(jīng)過干涉鏡由激光頭所接收，光學(xué)信號(hào)由激光干涉儀測量模塊所收集并計(jì)算，以獲得實(shí)時(shí)準(zhǔn)確反饋運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的位置值，實(shí)現(xiàn)位置測量。使用激光干涉儀測量半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)性能參數(shù)的方法本身是本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知的，本實(shí)用新型在此不再贅述。使用激光干涉儀軟件及其提供的API (應(yīng)用程序接口)、DLL (動(dòng)態(tài)鏈接庫)可方便地實(shí)現(xiàn)以下功能激光干涉儀測量模塊的輸入接口接收到接口裝置輸出的下降沿觸發(fā)信號(hào)后，啟動(dòng)激光干涉儀記錄讀數(shù)，之后進(jìn)行計(jì)算。第二實(shí)施方式[0065]在另一個(gè)變化的實(shí)施方式中，并不使用位置傳感器提供位置信號(hào)來判斷平臺(tái)是否穩(wěn)定，而是使用分辨能力更強(qiáng)的光學(xué)信號(hào)。下面將對這個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行詳述，重點(diǎn)描述的是與以上第一實(shí)施方式的區(qū)別。與以上實(shí)施方式類似的，首先，驅(qū)動(dòng)平臺(tái)至給定位置。而后，如圖4所示，激光干涉儀測量模塊可以控制激光干涉儀開始運(yùn)作，發(fā)出的光線經(jīng)干涉鏡后照射到反射鏡上，經(jīng)反射鏡反射后的反射光再次經(jīng)過干涉鏡由干涉儀所接收，光學(xué)信號(hào)由激光干涉儀控制系統(tǒng)所收集。由于平臺(tái)是否穩(wěn)定直接影響了該光學(xué)信號(hào)是否穩(wěn)定，所以與激光干涉儀測量模塊相連的PC組件中的處理器能夠確定光學(xué)信號(hào)在越來越小的范圍內(nèi)左右波動(dòng)，即保持在一定范圍內(nèi)，可以認(rèn)為該平臺(tái)已經(jīng)穩(wěn)定。這一范圍的大小可以預(yù)先確定。當(dāng)判斷平臺(tái)仍未穩(wěn)定時(shí)，激光干涉儀繼續(xù)測量，處理器繼續(xù)判斷，直至該光學(xué)信號(hào)穩(wěn)定。在判斷該平臺(tái)已經(jīng)穩(wěn)定后，處理器控制觸發(fā)器向激光干涉儀產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，該觸發(fā)信號(hào)指示該激光干涉儀系統(tǒng)開始測量、計(jì)算平臺(tái)的性能參數(shù)。當(dāng)然，本實(shí)用新型還可有其他多種實(shí)施例，在不背離本實(shí)用新型精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本實(shí)用新型作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。例如，以上的位置傳感器或光學(xué)傳感器可以被耦接于平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體的速度傳感器所代替，當(dāng)速度傳感器指示的平臺(tái)運(yùn)動(dòng)體的運(yùn)動(dòng)速度保持低于一定速度時(shí)，能夠判斷該運(yùn)動(dòng)平臺(tái)已經(jīng)穩(wěn)定，并開始測量。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解上述方法中的全部或部分步驟可通過程序來指令相關(guān)硬件完成，所述程序可以存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)中，如只讀存儲(chǔ)器、磁盤或光盤等。可選地，上述實(shí)施例的全部或部分步驟也可以使用一個(gè)或多個(gè)集成電路來實(shí)現(xiàn)。相應(yīng)地，上述實(shí)施例中的各模塊/單元可以采用硬件的形式實(shí)現(xiàn)，也可以采用軟件功能模塊的形式實(shí)現(xiàn)。本實(shí)用新型不限制于任何特定形式的硬件和軟件的結(jié)合。
權(quán)利要求1.一種用于測量半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)性能參數(shù)的輔助裝置，所述平臺(tái)能夠被驅(qū)動(dòng)以運(yùn)動(dòng)，其特征在于，包括 -傳感器，用于在所述平臺(tái)被驅(qū)動(dòng)至給定位置后，測量指示所述平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的信號(hào); -處理器，與所述傳感器相連，用于根據(jù)所述信號(hào)判斷所述平臺(tái)是否已經(jīng)穩(wěn)定，在判斷穩(wěn)定后控制觸發(fā)器產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)；以及 -觸發(fā)器，與所述處理器相連，用于向指示一平臺(tái)性能參數(shù)的測量設(shè)備產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，該觸發(fā)信號(hào)指示該測量設(shè)備開始測量所述平臺(tái)的性能參數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的輔助裝置，其特征在于，所述傳感器包括 -位置傳感器，用于產(chǎn)生與所述平臺(tái)的實(shí)際位置有關(guān)的位置信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輔助裝置，其特征在于，所述位置傳感器安裝于所述平臺(tái)，其中，包括如下任一情況 所述位置傳感器安裝于所述平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于測量所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在行程內(nèi)的位置； 所述位置傳感器安裝于所述平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體，用于測量所述平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的輔助裝置，其特征在于，所述處理器和觸發(fā)器被實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)控制系統(tǒng)的控制卡中； 該輔助裝置還包括 -接口裝置，與所述觸發(fā)器相連，用于連接到所述測量設(shè)備，將所述觸發(fā)信號(hào)轉(zhuǎn)換為所述測量設(shè)備能夠識(shí)別的格式，并且隔離所述輔助裝置和所述測量設(shè)備； 所述測量設(shè)備包括激光干涉儀系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的輔助裝置，其特征在于，所述傳感器包括_激光干涉儀系統(tǒng)，用于照射設(shè)置于所述平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體上的反光鏡，并測量所述反光鏡提供的光學(xué)信號(hào)。
專利摘要現(xiàn)有的測量半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)性能參數(shù)的技術(shù)中，需要事先嘗試確定平臺(tái)運(yùn)動(dòng)到給定位置后的停留時(shí)間和測量設(shè)備的觸發(fā)時(shí)間，或者在平臺(tái)運(yùn)動(dòng)到給定位置后需要人工干預(yù)啟動(dòng)測量，本實(shí)用新型提出了測量半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的平臺(tái)性能參數(shù)的輔助裝置，該輔助裝置包括傳感器，用于在平臺(tái)被驅(qū)動(dòng)至給定位置后，測量指示平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的信號(hào)；處理器，用于根據(jù)信號(hào)判斷平臺(tái)是否已經(jīng)穩(wěn)定，在判斷穩(wěn)定后控制觸發(fā)器產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)；以及，觸發(fā)器，用于向指示一平臺(tái)性能參數(shù)的測量設(shè)備產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，指示該測量設(shè)備開始測量。本實(shí)用新型能自動(dòng)地判斷平臺(tái)穩(wěn)定，無需事先實(shí)驗(yàn)出停留時(shí)間和觸發(fā)時(shí)間，也不需人工干預(yù)，同時(shí)保證了測量的準(zhǔn)確性和快速性，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化測量。
文檔編號(hào)G01B11/02GK202582492SQ201120573650
公開日2012年12月5日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者郭亞娟, 邱青菊, 李賓 申請人:睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司