專利名稱：激光二極管芯片功率檢測(cè)電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電極，具體地說(shuō)是一種用于測(cè)量激光二極管芯片功率的電極。
背景技術(shù)：
由于半導(dǎo)體激光器有著超小型、高效率和工作高速等優(yōu)點(diǎn)，因此它已經(jīng)在光通信、 光變換、光互連、并行光波系統(tǒng)、光信息處理和光存儲(chǔ)等方面得到了廣泛的應(yīng)用。而在半導(dǎo)體激光器的制作和生產(chǎn)的工藝過(guò)程中，激光二極管芯片的功率檢測(cè)是非常重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)的檢測(cè)方法是將芯片放置在測(cè)試臺(tái)上，其中測(cè)試臺(tái)與芯片下表面接觸作為通電電路的一極，用一個(gè)探針與芯片的上表面接觸作為通電電路的另一極，然后通電形成回路，使激光二極管發(fā)光，并用光探測(cè)器的測(cè)頭測(cè)量芯片發(fā)出的光線，以實(shí)現(xiàn)測(cè)量芯片功率的目的。 隨著技術(shù)的發(fā)展，單個(gè)芯片的功率越來(lái)越大，這就需要檢測(cè)時(shí)通過(guò)芯片的電流越來(lái)越大，探針式電極與芯片的上表面是點(diǎn)接觸，當(dāng)電流較大時(shí)極易將接觸點(diǎn)處燒蝕，造成芯片的損壞。 再就是檢測(cè)時(shí)是通過(guò)一個(gè)垂直方向的移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)探針式電極與芯片上表面接觸的，探針與芯片的接觸壓力不好控制，極易將薄而脆的芯片刺傷，造成芯片損壞。因此需要一種能通過(guò)較大電流的、接觸壓力可以方便控制的激光二極管芯片功率檢測(cè)電極。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述的不足，本發(fā)明提供了一種激光二極管芯片功率檢測(cè)電極。本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種激光二極管芯片功率檢測(cè)電極，是由基座、電極片、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、減速機(jī)、凸輪、絕緣板、螺釘、絕緣墊片、鍵組成的，其特征在于電極片由逐漸變窄變薄的金屬板材制成，電極片的測(cè)頭端向下彎折成圓弧狀，電極片的另一端通過(guò)螺釘、絕緣墊片與絕緣板一起安裝在基座上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定在基座上，減速機(jī)安裝在驅(qū)動(dòng)電機(jī)端面上，使用絕緣材料制作的凸輪通過(guò)鍵安裝在減速機(jī)的輸出軸上。該發(fā)明的有益之處是能提高激光二極管芯片功率檢測(cè)效率，降低激光二極管芯片功率檢測(cè)時(shí)芯片的損壞率。


附圖I為本發(fā)明的主視圖。附圖2為本發(fā)明的附視圖。圖中，I、基座，2、螺釘，3、驅(qū)動(dòng)電機(jī)，4、鍵，5、凸輪，6、電極片，7、絕緣板，8、絕緣墊片，9、減速機(jī)。
具體實(shí)施例方式一種激光二極管芯片功率檢測(cè)電極，是由基座I、電極片6、驅(qū)動(dòng)電機(jī)3、減速機(jī)9、 凸輪5、絕緣板7、螺釘2、絕緣墊片8、鍵4組成的，其特征在于電極片6由逐漸變窄變薄的金屬板材制成，電極片6的測(cè)頭端向下彎折成圓弧狀，電極片6的另一端通過(guò)螺釘2、絕緣墊片8與絕緣板7 —起安裝在基座I上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)3固定在基座I上，減速機(jī)9安裝在驅(qū)動(dòng)電機(jī)3的端面上，凸輪5通過(guò)鍵4安裝在減速機(jī)9的輸出軸上。當(dāng)把被檢測(cè)的激光二極管芯片放到電極片6的下方時(shí)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)3通過(guò)減速機(jī)9 的輸出軸和鍵4帶動(dòng)凸輪5順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，將電極片6壓下，使電極片6的測(cè)頭端與被測(cè)激光二極管芯片的上表面接觸，然后電極片6通電進(jìn)行激光二極管芯片功率測(cè)試，當(dāng)測(cè)試完成后，驅(qū)動(dòng)電機(jī)3通過(guò)減速機(jī)9的輸出軸和鍵4帶動(dòng)絕緣凸輪5逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，電極片6在自身的彈性作用下與被測(cè)激光二極管芯片的上表面脫離接觸，完成一次檢測(cè)。本裝置可以通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)3旋轉(zhuǎn)的角度，精確的控制電極片6的下壓行程和下壓力。電極片6的測(cè)頭端向下彎折成圓弧狀，在與被測(cè)激光二極管芯片的上表面接觸時(shí)產(chǎn)生彈性變形，形成一個(gè)接觸面，從而允許電極片6與被測(cè)激光二極管芯片之間通過(guò)較大的電流。
權(quán)利要求
1.一種激光二極管芯片功率檢測(cè)電極，是由基座、電極片、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、減速機(jī)、凸輪、絕緣板、螺釘、絕緣墊片、鍵組成的，其特征在于電極片由逐漸變窄變薄的金屬板材制成，電極片的測(cè)頭端向下彎折成圓弧狀，電極片的另一端通過(guò)螺釘、絕緣墊片與絕緣板一起安裝在基座上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定在基座上，減速機(jī)安裝在驅(qū)動(dòng)電機(jī)端面上，使用絕緣材料制作的凸輪通過(guò)鍵安裝在減速機(jī)的輸出軸上。
全文摘要
一種激光二極管芯片功率檢測(cè)電極，是由基座、電極片、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、減速機(jī)、凸輪、絕緣板、螺釘、絕緣墊片、鍵組成的，其特征在于電極片由逐漸變窄變薄的金屬板材制成，電極片的測(cè)頭端向下彎折成圓弧狀，電極片的另一端通過(guò)螺釘、絕緣墊片與絕緣板一起安裝在基座上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定在基座上，減速機(jī)安裝在驅(qū)動(dòng)電機(jī)端面上，使用絕緣材料制作的凸輪通過(guò)鍵安裝在減速機(jī)的輸出軸上。該發(fā)明的有益之處是能提高激光二極管芯片功率檢測(cè)效率，降低激光二極管芯片功率檢測(cè)時(shí)芯片的損壞率。
文檔編號(hào)G01R1/04GK102590561SQ20121002459
公開日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2012年2月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月6日
發(fā)明者于復(fù)生, 張涵, 焦方方, 王傳慧, 范文利, 陳繼文 申請(qǐng)人:山東建筑大學(xué)