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      透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:5941976閱讀:224來源:國知局
      專利名稱:透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種用于產(chǎn)品質(zhì)量檢測領(lǐng)域,特別涉及一種利用微電流探測技術(shù)檢測透明薄膜上微孔缺陷的檢測系統(tǒng)。
      背景技術(shù)
      薄膜作為電子設(shè)備的附屬部件,越來越多的得到應(yīng)用。薄膜的生產(chǎn)工藝中,不可避免的會產(chǎn)生微笑的雜質(zhì)微粒,會在薄膜上形成較為微小的微孔,因而,薄膜微孔缺陷檢測是檢查薄膜缺陷的基本項目。對于有色薄膜上存在微孔缺陷的檢測,通常是通過薄膜對光的吸收特性來檢測,即直接通過對光觀察即可實現(xiàn)檢測的目的,檢測方法比較簡單。而對于透明的薄膜,當(dāng)存在微孔缺陷時,由于薄膜本身具有透明的特性,通過透光性則檢測實現(xiàn)較為困難,甚至無法實現(xiàn),因而,現(xiàn)有技術(shù)中,透明薄膜的微孔缺陷檢測較為困難。
      因此,需要一種用于透明薄膜微孔缺陷的檢測方式,能夠較為簡單準(zhǔn)確的獲取透明薄膜的微孔缺陷,以保證透明薄膜的成品合格率。發(fā)明內(nèi)容
      有鑒于此,本發(fā)明的目的提供一種透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),用于檢測薄膜,能夠較為簡單準(zhǔn)確的獲取透明薄膜的微孔缺陷,以保證透明薄膜的成品合格率。
      本發(fā)明的透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),包括取樣組件和微電流電路;所述取樣組件包括硬質(zhì)導(dǎo)電體I和硬質(zhì)導(dǎo)電體II,被檢測薄膜位于所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I與硬質(zhì)導(dǎo)電體II之間被緊密擠壓,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體II與被檢測薄膜接觸的表面設(shè)有柔性導(dǎo)電層;
      所述微電流電路包括電源和電流檢測單元,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I、硬質(zhì)導(dǎo)電體II和電流檢測單元串聯(lián)于電源組成串聯(lián)電路。
      進一步,還包括用于輸送被檢測薄膜的工件輸送裝置,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I和硬質(zhì)導(dǎo)電體II均為滾筒結(jié)構(gòu),所述柔性導(dǎo)電層位于硬質(zhì)導(dǎo)電體I或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體II外圓表面;
      進一步,所述工件輸送裝置為滾筒輸送裝置,包括卷膜滾筒和輸送滾筒,卷膜滾筒和輸送滾筒均設(shè)有用于驅(qū)動其轉(zhuǎn)動的輸送驅(qū)動電機,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體 II設(shè)有用于驅(qū)動其轉(zhuǎn)動的同步驅(qū)動電機,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I、硬質(zhì)導(dǎo)電體II、卷膜滾筒和輸送滾筒的線速度相同;
      進一步,還包括控制系統(tǒng),所述控制系統(tǒng)包括
      速度采集單元,用于采集硬質(zhì)導(dǎo)電體I、硬質(zhì)導(dǎo)電體II、卷膜滾筒和輸送滾筒的線速度;
      控制單元,用于采集電流檢測單元的電流信號和速度采集單元的速度信號,對滾筒輸送電機和同步驅(qū)動電機發(fā)出命令信號;
      自動標(biāo)記單元,與被檢測薄膜對應(yīng)設(shè)置用于接收控制單元的控制信號并對被檢測CN 102539482 A薄膜的缺陷點進行標(biāo)記;
      進一步,所述柔性導(dǎo)電層位于硬質(zhì)導(dǎo)電體I外圓表面;
      進一步,所述柔性導(dǎo)電層為導(dǎo)電軟膠;
      進一步,硬質(zhì)導(dǎo)電體I設(shè)置同步驅(qū)動電機,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體II為隨動。
      本發(fā)明的有益效果本發(fā)明的透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),利用柔性導(dǎo)電層的受壓變形特性,當(dāng)被檢測薄膜出現(xiàn)微孔缺陷時,柔性導(dǎo)電層被擠入微孔,與另一導(dǎo)電體電接觸,實現(xiàn)導(dǎo)電,則會在回路中產(chǎn)生微電流,電流檢測單元產(chǎn)生電流顯示;而對于具有導(dǎo)電性質(zhì)的薄膜,則會使電流產(chǎn)生變化,通過觀察或者采集回路中的電流狀況,能夠輕易獲得薄膜微孔缺陷,由此可見,本發(fā)明用于檢測薄膜,能夠較為簡單準(zhǔn)確的獲取透明薄膜的微孔缺陷,以保證透明薄膜的成品合格率;當(dāng)然,本系統(tǒng)雖然對透明薄膜具有較好的效果,同樣適用于不透光薄膜微孔缺陷的檢測,具有較高的效率,節(jié)約人力成本。


      下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步描述。
      圖I為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理示意圖2為微孔缺陷檢測原理圖。
      具體實施方式
      圖I為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理示意圖,圖2為微孔缺陷檢測原理圖,如圖所示本實施例的透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),包括取樣組件和微電流電路;所述取樣組件包括硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I,被檢測薄膜4位于所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2與硬質(zhì)導(dǎo)電體 II I之間被緊密擠壓,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I與被檢測薄膜接觸的表面設(shè)有柔性導(dǎo)電層3 ;柔性導(dǎo)電層3為具有一定的柔性及彈性的導(dǎo)電層,易發(fā)生變形并易于恢復(fù)常態(tài);也就是柔性導(dǎo)電層3可以在硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I上均設(shè)置,也可以只設(shè)置其中之一,均能實現(xiàn)發(fā)明目的;
      所述微電流電路包括電源7和電流檢測單元8,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2、硬質(zhì)導(dǎo)電體 II I和電流檢測單元8串聯(lián)于電源7組成串聯(lián)電路;電流檢測單元8可以是電流表、電壓表以及電流傳感器等等。
      本實施例中,還包括用于輸送被檢測薄膜的工件輸送裝置,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2 和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I均為滾筒結(jié)構(gòu),所述柔性導(dǎo)電層3位于硬質(zhì)導(dǎo)電體I或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體 II外圓表面;為能充分全面的檢測薄膜,滾筒結(jié)構(gòu)的硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I的長度尺寸均大于等于被檢測薄膜寬度,且柔性導(dǎo)電層3沿被檢測薄膜寬度方向全面設(shè)置于硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I。
      本發(fā)明使用時,如圖I所示被檢測薄膜4位于硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I之間按流水線運輸,硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I反向轉(zhuǎn)動,硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I可以具有驅(qū)動轉(zhuǎn)動,也可沒有,而利用被檢測薄膜拉動也能實現(xiàn)轉(zhuǎn)動;柔性導(dǎo)電層3在擠壓力作用下緊壓被檢測薄膜4,當(dāng)被檢測薄膜4具有微孔缺陷時,柔性導(dǎo)電層在擠壓力作用下進入微孔,當(dāng)擠壓力的大小能夠使柔性導(dǎo)電層局部形成變形部b擠入微孔 a并與被檢測薄膜4另一側(cè)硬質(zhì)導(dǎo)電體電接觸(如圖2所示),則會實現(xiàn)導(dǎo)電,電流檢測單CN 102539482 A元測得電流或電流變化,以此為判斷被檢測薄膜是否具有微孔缺陷的依據(jù);而至于柔性導(dǎo)電層3與擠壓力之間的關(guān)系,則是柔性導(dǎo)電層3具有足夠的柔軟和彈性,即能實現(xiàn)局部變形形成變形部b進入微孔a。
      本實施例中,所述工件輸送裝置為滾筒輸送裝置,包括卷膜滾筒6和輸送滾筒5, 卷膜滾筒6和輸送滾筒5均設(shè)有用于驅(qū)動其轉(zhuǎn)動的輸送驅(qū)動電機,如圖所不,輸送驅(qū)動電機分為卷膜滾筒電機6a和輸送滾筒電機5a,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I設(shè)有用于驅(qū)動其轉(zhuǎn)動的同步驅(qū)動電機,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2、硬質(zhì)導(dǎo)電體II I、卷膜滾筒6和輸送滾筒5的線速度相同;通過驅(qū)動電機控制,各個滾筒的轉(zhuǎn)動實現(xiàn)被檢測薄膜4在各點的線速度相同,避免檢測時對被檢測薄膜4出現(xiàn)拉扯或者積聚,影響薄膜成品質(zhì)量。
      本實施例中,還包括控制系統(tǒng),所述控制系統(tǒng)包括
      速度采集單元,用于采集硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2、硬質(zhì)導(dǎo)電體II I、卷膜滾筒6和輸送滾筒5的線速度;如圖所示,速度采集單元包括硬質(zhì)導(dǎo)電體I速度傳感器13、卷膜滾筒速度傳感器11和輸送滾筒速度傳感器12,由于硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2和硬質(zhì)導(dǎo)電體II I轉(zhuǎn)速相同,因而只設(shè)置一個速度傳感器即可實現(xiàn)發(fā)明目的;
      控制單元9,用于采集電流檢測單元8的電流信號和速度采集單元(硬質(zhì)導(dǎo)電體I 速度傳感器13、卷膜滾筒速度傳感器11和輸送滾筒速度傳感器12)的速度信號,對滾筒輸送電機(卷膜滾筒電機6a和輸送滾筒電機5a)發(fā)出命令信號,用于調(diào)整轉(zhuǎn)速,實現(xiàn)對輸送速度的控制,同時對同步驅(qū)動電機發(fā)出命令信號,實現(xiàn)同步調(diào)整控制;控制單元9可以是計算機或者直接為PLC自動控制單元,均能實現(xiàn)本發(fā)明的目的;
      自動標(biāo)記單元10,與被檢測薄膜4對應(yīng)設(shè)置用于接收控制單元9的控制信號并對被檢測薄膜4的缺陷點進行標(biāo)記;自動標(biāo)記單元10可以為通過電磁閥控制的顏色標(biāo)記設(shè)備,電磁閥由控制單元進行控制;也可以是通過自動控制單元控制液壓系統(tǒng)實現(xiàn)自動畫線動作的設(shè)備,而上述設(shè)備屬于現(xiàn)有技術(shù),在此不再贅述;而自動控制單元根據(jù)被檢測薄膜的輸送速度,以及自動標(biāo)記單元的設(shè)置位置,能夠自動控制被檢測薄膜的停止位置,即標(biāo)記的位置。
      本實施例中,所述柔性導(dǎo)電層3位于硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2外圓表面,而由于硬質(zhì)導(dǎo)電體 II I表面較硬,利于柔性導(dǎo)電層發(fā)生擠壓變形,容易實現(xiàn)接觸導(dǎo)電。
      本實施例中,所述柔性導(dǎo)電層3為導(dǎo)電軟膠;容易獲得,成本較低,并且具有較好的彈性。
      本實施例中,硬質(zhì)導(dǎo)電體I 2設(shè)置同步驅(qū)動電機2a,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體II I為隨動, 更能實現(xiàn)同步運轉(zhuǎn),保證被檢測薄膜不受損害。
      最后說明的是,以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制,盡管參照較佳實施例對本發(fā)明進行了詳細說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,可以對本發(fā)明的技術(shù)方案進行修改或者等同替換,而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的宗旨和范圍,其均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
      權(quán)利要求
      1.一種透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),其特征在于包括取樣組件和微電流電路;所述取樣組件包括硬質(zhì)導(dǎo)電體I和硬質(zhì)導(dǎo)電體II,被檢測薄膜位于所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I 與硬質(zhì)導(dǎo)電體Ii之間被緊密擠壓,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體Ii與被檢測薄膜接觸的表面設(shè)有柔性導(dǎo)電層;所述微電流電路包括電源和電流檢測單元,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I、硬質(zhì)導(dǎo)電體Ii和電流檢測單元串聯(lián)于電源組成串聯(lián)電路。
      2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),其特征在于還包括用于輸送被檢測薄膜的工件輸送裝置,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I和硬質(zhì)導(dǎo)電體II均為滾筒結(jié)構(gòu),所述柔性導(dǎo)電層位于硬質(zhì)導(dǎo)電體I或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體II外圓表面。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),其特征在于所述工件輸送裝置為滾筒輸送裝置,包括卷膜滾筒和輸送滾筒,卷膜滾筒和輸送滾筒均設(shè)有用于驅(qū)動其轉(zhuǎn)動的輸送驅(qū)動電機,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體II設(shè)有用于驅(qū)動其轉(zhuǎn)動的同步驅(qū)動電機,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I、硬質(zhì)導(dǎo)電體II、卷膜滾筒和輸送滾筒的線速度相同。
      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),其特征在于還包括控制系統(tǒng),所述控制系統(tǒng)包括速度采集單元,用于采集硬質(zhì)導(dǎo)電體I、硬質(zhì)導(dǎo)電體II、卷膜滾筒和輸送滾筒的線速度;控制單元,用于采集電流檢測單元的電流信號和速度采集單元的速度信號,對滾筒輸送電機和同步驅(qū)動電機發(fā)出命令信號;自動標(biāo)記單元,與被檢測薄膜對應(yīng)設(shè)置用于接收控制單元的控制信號并對被檢測薄膜的缺陷點進行標(biāo)記。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),其特征在于所述柔性導(dǎo)電層位于硬質(zhì)導(dǎo)電體I外圓表面。
      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),其特征在于所述柔性導(dǎo)電層為導(dǎo)電軟膠。
      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),其特征在于硬質(zhì)導(dǎo)電體I設(shè)置同步驅(qū)動電機,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體II為隨動。
      全文摘要
      本發(fā)明公開了一種透明薄膜微孔缺陷微電流檢測系統(tǒng),包括取樣組件和微電流電路;取樣組件包括硬質(zhì)導(dǎo)電體I和硬質(zhì)導(dǎo)電體II,被檢測薄膜位于所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I與硬質(zhì)導(dǎo)電體II之間被緊密擠壓,所述硬質(zhì)導(dǎo)電體I或/和硬質(zhì)導(dǎo)電體II與被檢測薄膜接觸的表面設(shè)有柔性導(dǎo)電層;本發(fā)明利用柔性導(dǎo)電層的受壓變形特性,當(dāng)被檢測薄膜出現(xiàn)微孔缺陷時,柔性導(dǎo)電層被擠入微孔,與另一導(dǎo)電體電接觸,實現(xiàn)導(dǎo)電,則會在回路中產(chǎn)生微電流或電流變化,通過觀察或者采集回路中的電流狀況,能夠輕易獲得薄膜微孔缺陷,由此可見,本發(fā)明用于檢測薄膜,能夠較為簡單準(zhǔn)確的獲取透明薄膜的微孔缺陷,以保證透明薄膜的成品合格率,同樣適用于不透光薄膜微孔缺陷的檢測。
      文檔編號G01N27/00GK102539482SQ20121002876
      公開日2012年7月4日 申請日期2012年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月9日
      發(fā)明者張玉, 胡建明, 譚波 申請人:重慶師范大學(xué)
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