專利名稱：使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路芯片測試技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
集成電路芯片(integrated circuit chip, IC芯片)的電性測試在半導(dǎo)體制作工藝(semiconductor process)的各階段中都是相當重要的。每一個IC芯片都必須接受測 試以確保其電性功能(electrical function)。在集成電路芯片的測試過程中，使用的測試設(shè)備主要包括測試機(AutomaticTest Equipment, ATE)、探針臺(prober)及handler。其中，測試機是用于晶圓和其他成品測試的一種專用設(shè)備，可以實現(xiàn)各種電性參數(shù)的測量，以檢測集成電路芯片的電性功能。探針臺是集成電路制造過程中用于晶圓測試的一種設(shè)備，主要完成晶圓的固定步距移動。handler也是集成電路制造過程中用于晶圓測試的一種設(shè)備，主要用于成品的測試。具體的，Handler用于測試成品，prober用于測試晶圓。通常的，所述測試機包括電源輸出端口及多個數(shù)字端口等功能端口。當進行集成電路芯片測試時，所述電源輸出端口與測試芯片的電源管腳相連，用以向所述測試芯片提供電源。通常的，所述電源輸出端口的輸出信號都能夠滿足集成電路芯片測試的要求。但是，電源輸出端口的輸出信號具有較長的時延，通常該時延是一個毫秒級別的量，當對于集成電路芯片測試的要求比較嚴時，特別的，當面對測試芯片要求電源的上電在微秒級別并測試其功能或參數(shù)時，該電源輸出端口的輸出信號將不能滿足集成電路芯片測試的要求。因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員一直在試圖解決這一難題，S卩如何提供一延遲時間在微秒級別的輸出電源。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)及方法，以解決現(xiàn)有的測試芯片電源供給過程中，電源輸出信號的延時較長的問題。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)，所述使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)包括測試機及電流轉(zhuǎn)換器，其中，所述測試機包括數(shù)字端口，所述數(shù)字端口與所述電流轉(zhuǎn)換器連接。可選的，在所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)中，所述測試機包括多個數(shù)字端口，所述電流轉(zhuǎn)換器的數(shù)量為多個，其中，每個數(shù)字端口與一個或者多個電流轉(zhuǎn)換器連接?？蛇x的，在所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)中，所述數(shù)字端口輸出數(shù)字信號，所述數(shù)字信號為電壓信號。可選的，在所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)中，所述電流轉(zhuǎn)換器將系統(tǒng)中的電流信號放大，并輸出放大后的電流信號。
可選的，在所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)中，所述電流轉(zhuǎn)換器輸出的放大后的電流信號的電流強度大于測試芯片要求的電流強度。本發(fā)明還提供一種上述使 用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)實現(xiàn)的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法，所述使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法包括所述數(shù)字端口向所述電流轉(zhuǎn)換器輸出數(shù)字信號，所述數(shù)字信號為電壓信號；所述電流轉(zhuǎn)換器對系統(tǒng)中的電流信號進行轉(zhuǎn)換，并輸出轉(zhuǎn)換后的電流信號?？蛇x的，在所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法中，所述電流轉(zhuǎn)換器對系統(tǒng)中的電流信號進行放大，并輸出放大后的電流信號。可選的，在所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法中，所述電流轉(zhuǎn)換器輸出的放大后的電流信號的電流強度大于測試芯片要求的電流強度。在本發(fā)明提供的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)及方法中，通過數(shù)字端口及電流轉(zhuǎn)換器的共同作用向測試芯片提供電源，由此可得到基本毫無延遲，或者說延遲控制在微秒級別的電源輸出信號，從而在集成電路芯片測試過程中，對于電源的供給滿足了要求。


圖I是本發(fā)明實施例的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)的框結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明實施例的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法的流程示意圖。
具體實施例方式以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明提出的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)及方法作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。請參考圖1，其為本發(fā)明實施例的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)的框結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I所示，所述使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)包括測試機I及電流轉(zhuǎn)換器2，其中，所述測試機I包括數(shù)字端口 10，所述數(shù)字端口 10與所述電流轉(zhuǎn)換器2連接。在本實施例中，所述數(shù)字端口 10的數(shù)量為5個，分別為第一數(shù)字端口 10a、第二數(shù)字端口 10b、第三數(shù)字端口 10c、第四數(shù)字端口 IOd及第五數(shù)字端口 IOe(在此，需說明的是，第一數(shù)字端口 10a、第二數(shù)字端口 10b、第三數(shù)字端口 10c、第四數(shù)字端口 IOd及第五數(shù)字端口 IOe為相同的數(shù)字端口，在此僅為了方便區(qū)分而給予不同的命名)。在此，每個數(shù)字端口10與一個電流轉(zhuǎn)換器2連接，其中，第一數(shù)字端口 IOa與第一電流轉(zhuǎn)換器2a連接、第二數(shù)字端口 IOb與第二電流轉(zhuǎn)換器2b連接、第三數(shù)字端口 IOc與第三電流轉(zhuǎn)換器2c連接、第四數(shù)字端口 IOd與第四電流轉(zhuǎn)換器2d連接、第五數(shù)字端口 IOe與第五電流轉(zhuǎn)換器2e連接(在此，需說明的是，第一電流轉(zhuǎn)換器2a、第二電流轉(zhuǎn)換器2b、第三電流轉(zhuǎn)換器2c、第四電流轉(zhuǎn)換器2d及第五電流轉(zhuǎn)換器2e為相同的電流轉(zhuǎn)換器，在此僅為了方便區(qū)分而給予不同的命名)。當然，在本發(fā)明的其他實施例中，每個數(shù)字端口 10也可以與多個電流轉(zhuǎn)換器連接，例如每個數(shù)字端口 10與兩個電流轉(zhuǎn)換器連接，又例如每個數(shù)字端口 10與三個電流轉(zhuǎn)換器連接,對此,本申請并不做限定。由此，在本實施例提供的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)中，能夠產(chǎn)生5個電源輸出信號，從而可以滿足5個待測芯片3的電源供給。在本實施例中，第一電流轉(zhuǎn)換器2a與第一待測芯片3a連接、第二電流轉(zhuǎn)換器2b與第二待測芯片3b連接、第三電流轉(zhuǎn)換器2c與第三待測芯片3c連接、第四電流轉(zhuǎn)換器2d與第四待測芯片3d連接、第五電流轉(zhuǎn)換器2e與第五待測芯片3e連接，由此，5個待測芯片3均能夠得到數(shù)字端口 10輸出的、經(jīng)過電流轉(zhuǎn)換器2轉(zhuǎn)換后的電源信號。對于測試機I而言，由于數(shù)字端口 10輸出的是數(shù)字信號，因此，其能夠毫無延遲(或者說延遲控制在微秒級別)的直接輸出信號，所輸出的信號再經(jīng)過電流轉(zhuǎn)換器2 (其中，所述電流轉(zhuǎn)換器2可以選擇通用的一些電流轉(zhuǎn)換器，例如buffer等，由于電流轉(zhuǎn)換器2對 于電流的轉(zhuǎn)換速度極快，其基本不占用工作時間，因此輸出的電源信號仍舊能夠滿足延遲控制的要求)的轉(zhuǎn)換，便能夠滿足待測芯片對于電源的要求。其中，采用所述使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)實現(xiàn)的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法具體請參考圖2，其為本發(fā)明實施例的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法的流程示意圖。如圖2所示，所述使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法包括S40 :所述數(shù)字端口 10 (相應(yīng)參考圖I)向所述電流轉(zhuǎn)換器2 (相應(yīng)參考圖I)輸出數(shù)字信號，所述數(shù)字信號為電壓信號；S41 :所述電流轉(zhuǎn)換器2 (相應(yīng)參考圖I)對系統(tǒng)中的電流信號進行轉(zhuǎn)換，并輸出轉(zhuǎn)換后的電流信號。具體的，所述電流轉(zhuǎn)換器2將系統(tǒng)中的電流信號(也即數(shù)字端口 10輸出的電壓信號對應(yīng)的電流信號)放大，經(jīng)過放大之后，再輸出至待測芯片3。優(yōu)選的，所述電流轉(zhuǎn)換器2輸出的放大后的電流信號的電流強度大于測試芯片3要求的電流強度，即所述電流轉(zhuǎn)換器2輸出的電流信號強度大于測試芯片3所需的電流信號的強度，由此，便能夠極大的滿足測試芯片3進行測試時對于電源中電流信號強度的要求，以防止因為系統(tǒng)中的電流被鉗制住，導(dǎo)致驅(qū)動能力受限的問題。由于數(shù)字端口 10輸出的數(shù)字信號(即電壓信號)與測試機I上的電源輸出端口(圖I中未不出)所輸出的電源信號中的電壓信號強度相同，因此,對于數(shù)字端口 10輸出的電壓信號可不予轉(zhuǎn)換，即所述數(shù)字端口 10輸出的電壓信號經(jīng)過電流轉(zhuǎn)換器2之后，直接傳輸給待測芯片3，也就是說，所述電流轉(zhuǎn)換器2不對所述電壓信號進行處理。綜上，在本實施例提供的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)及方法中，通過數(shù)字端口及電流轉(zhuǎn)換器的共同作用向測試芯片提供電源，由此可得到基本毫無延遲，或者說延遲控制在微秒級別的電源輸出信號，從而在集成電路芯片測試過程中，對于電源的供給滿足了要求。此外，由于通常所述測試機上的數(shù)字端口的數(shù)量較多，因此，通過利用所述測試機上的數(shù)字端口提供電源信號，能夠滿足多片待測芯片對于電源的需求，從而提高測試效率，降低測試成本。上述描述僅是對本發(fā)明較佳實施例的描述，并非對本發(fā)明范圍的任何限定，本發(fā)明領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi) 容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)，其特征在于，包括測試機及電流轉(zhuǎn)換器，其中，所述測試機包括數(shù)字端口，所述數(shù)字端口與所述電流轉(zhuǎn)換器連接。
2.如權(quán)利要求I所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)，其特征在于，所述測試機包括多個數(shù)字端口，所述電流轉(zhuǎn)換器的數(shù)量為多個，其中，每個數(shù)字端口與一個或者多個電流轉(zhuǎn)換器連接。
3.如權(quán)利要求I所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)字端口輸出數(shù)字信號，所述數(shù)字信號為電壓信號。
4.如權(quán)利要求3所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)，其特征在于，所述電流轉(zhuǎn)換器將系統(tǒng)中的電流信號放大，并輸出放大后的電流信號。
5.如權(quán)利要求4所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)，其特征在于，所述電流轉(zhuǎn)換器輸出的放大后的電流信號的電流強度大于測試芯片要求的電流強度。
6.一種使用如權(quán)利要求I所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)實現(xiàn)的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法，其特征在于，包括 所述數(shù)字端口向所述電流轉(zhuǎn)換器輸出數(shù)字信號，所述數(shù)字信號為電壓信號； 所述電流轉(zhuǎn)換器對系統(tǒng)中的電流信號進行轉(zhuǎn)換，并輸出轉(zhuǎn)換后的電流信號。
7.如權(quán)利要求6所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法，其特征在于，所述電流轉(zhuǎn)換器對系統(tǒng)中的電流信號進行放大，并輸出放大后的電流信號。
8.如權(quán)利要求7所述的使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的方法，其特征在于，所述電流轉(zhuǎn)換器輸出的放大后的電流信號的電流強度大于測試芯片要求的電流強度。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)及方法，其中，所述使用測試機數(shù)字通道作為芯片電源的系統(tǒng)包括測試機及電流轉(zhuǎn)換器，其中，所述測試機包括數(shù)字端口，所述數(shù)字端口與所述電流轉(zhuǎn)換器連接。在此，通過數(shù)字端口及電流轉(zhuǎn)換器的共同作用向測試芯片提供電源，由此可得到基本毫無延遲，或者說延遲控制在微秒級別的電源輸出信號，從而在集成電路芯片測試過程中，對于電源的供給滿足了要求。
文檔編號G01R31/28GK102967821SQ20121054678
公開日2013年3月13日 申請日期2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月14日
發(fā)明者劉杰, 牛勇, 徐惠, 張志勇, 施瑾, 湯雪飛, 葉建明 申請人:上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司