專利名稱：一種rfid高頻芯片四通道測(cè)試裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)試裝置及方法，尤其涉及一種RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置及方法。
背景技術(shù)：
RFID (Radio Frequency Identification，射頻識(shí)別)是一種利用射頻通信實(shí)現(xiàn)的非接觸式自動(dòng)識(shí)別技術(shù)，RFID標(biāo)簽具有體積小、容量大、壽命長(zhǎng)、可重復(fù)使用等特點(diǎn)，可支持快速讀寫、非可視識(shí)別、移動(dòng)識(shí)別、多目標(biāo)識(shí)別、定位及長(zhǎng)期跟蹤管理，一個(gè)典型的基于RFID 技術(shù)的應(yīng)用系統(tǒng)由RFID讀卡器和RFID電子標(biāo)簽、RFID應(yīng)用軟件三部分組成，利用RFID 射頻技術(shù)在讀卡器和電子標(biāo)簽之間進(jìn)行非接觸的數(shù)據(jù)傳輸，達(dá)到目標(biāo)識(shí)別和數(shù)據(jù)交換的目的。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制造流程上，主要可分成IC設(shè)計(jì)、晶圓制造、晶圓測(cè)試及晶圓封裝幾大步驟，其中所謂的晶圓測(cè)試步驟，就是對(duì)晶圓上的每顆晶粒進(jìn)行電性特性檢測(cè)，以檢測(cè)和淘汰晶圓上的不合格晶粒。進(jìn)行晶圓測(cè)試時(shí)，利用晶圓探針卡的探針刺入晶粒上的接點(diǎn)墊(pad)而構(gòu)成電性接觸，再將經(jīng)由探針?biāo)鶞y(cè)得的測(cè)試訊號(hào)送往自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)做分析與判斷，藉此可取得晶圓上每顆晶粒的電性特性測(cè)試結(jié)果，所用到的設(shè)備有測(cè)試機(jī)、 探針卡、探針臺(tái)等。目前普遍采用測(cè)試機(jī)控制的多路測(cè)試技術(shù)，它是以探針臺(tái)作為精密定位單元，由測(cè)試機(jī)控制內(nèi)部繼電器切換至不同的待測(cè)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行測(cè)試，比如中國(guó)專利 CN101738573A公開(kāi)的一種晶圓測(cè)試裝置及其測(cè)試方法，中國(guó)專利CN101261306A公開(kāi)的全自動(dòng)晶圓測(cè)試方法及實(shí)現(xiàn)該測(cè)試方法的設(shè)備等，上述技術(shù)方案中涉及的探針臺(tái)或晶圓測(cè)試平臺(tái)每運(yùn)動(dòng)一次僅完成一個(gè)芯片的測(cè)試，因此存在速度慢、效率低的缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述存在的問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供一種可同時(shí)完成多片芯片測(cè)試的RFID 高頻芯片四通道測(cè)試裝置及方法，測(cè)試速度快，效率高，測(cè)試成本低廉。本發(fā)明的目的是通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置，其中，包括—探針臺(tái)，包括一運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與一探針卡，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)承載待測(cè)晶圓，所述晶圓上規(guī)則分布有多片待測(cè)RFID高頻芯片，所述探針卡上設(shè)置有探針，用于在測(cè)試時(shí)和所述RFID 高頻芯片接觸；一上位機(jī)，與所述探針臺(tái)連接，用于控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的移動(dòng)；一 RFID閱讀器，用于和所述RFID高頻芯片通訊；所述上位機(jī)連接所述RFID閱讀器并控制其發(fā)出測(cè)試信號(hào)，根據(jù)所述待測(cè)芯片返回信號(hào)判斷測(cè)試結(jié)果，保存到數(shù)據(jù)庫(kù)。上述RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置，其中，所述待測(cè)晶圓上四片芯片為一組，分別通過(guò)四個(gè)頻率通道與所述RFID閱讀器進(jìn)行信號(hào)交換。
上述RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置，其中，所述探針卡設(shè)有八根探針，每?jī)筛鶠橐唤M且相互平行排列，所述每個(gè)待測(cè)芯片使用一組探針進(jìn)行測(cè)試。上述RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置，其中，所述上位機(jī)通過(guò)GPIB與所述探針臺(tái)連接。上述RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置，其中，所述上位機(jī)通過(guò)RS-232與所述RFID 閱讀器連接。一種如上述RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置的測(cè)試方法，其包括以下步驟加載一 RFID高頻半導(dǎo)體晶圓片至所述探針臺(tái)；所述上位機(jī)控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿X-Y軸定向運(yùn)動(dòng)，使得所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)第一組待測(cè)RFID高頻芯片移動(dòng)到所述探針下面；所述上位機(jī)控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿Z軸定向運(yùn)動(dòng)，使得所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)向上抬升，所述探針與所述待測(cè)芯片接觸；所述上位機(jī)打開(kāi)測(cè)試頻道，控制所述RFID閱讀器發(fā)出所需測(cè)試的信號(hào)，根據(jù)所述待測(cè)芯片返回的信號(hào)判斷測(cè)試結(jié)果，并把測(cè)試時(shí)間、通道號(hào)、芯片位置、發(fā)送及接收的信號(hào)和測(cè)試結(jié)果保存到數(shù)據(jù)庫(kù)中；所述上位機(jī)根據(jù)測(cè)試結(jié)果對(duì)不合格芯片作標(biāo)記；所述上位機(jī)控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿X-Y軸定向運(yùn)動(dòng)，使得所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)第二組待測(cè)RFID高頻芯片移動(dòng)到所述探針下面；重復(fù)上述步驟直到所述待測(cè)晶圓上所有的RFID高頻芯片組被測(cè)試完畢為止。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果體現(xiàn)在1、減少了相鄰芯片之間的信號(hào)干擾，提高了測(cè)試良率；2、測(cè)試時(shí)間大量縮短，提高產(chǎn)品的測(cè)試速度，節(jié)省測(cè)試成本；3、可以覆蓋所有RFID高頻芯片的測(cè)試指令，測(cè)試方便、可控、效率高；4、整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)成本低。


圖1是本發(fā)明RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置及方法中的裝置中運(yùn)動(dòng)平臺(tái)承載待測(cè)晶圓的俯視圖；圖2是本發(fā)明RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置及方法中裝置部分結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合示意圖和具體操作實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。請(qǐng)參看圖1和圖2，本發(fā)明RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置主要包括一個(gè)探針臺(tái)和一個(gè)上位機(jī)7，其中探針臺(tái)包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1和探針卡6，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1承載著待測(cè)晶圓2，用于提供X-Y-Z三軸方向的定向移動(dòng)，X-Y-Z三軸方向參看箭頭標(biāo)識(shí)，上位機(jī)7通過(guò)GPIB接口與探針臺(tái)連接，控制運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1的移動(dòng)。待測(cè)晶圓2上規(guī)則分布有多片待測(cè)RFID高頻芯片3， 芯片每四片為一組并兩兩排列，探針卡6上有八根探針4，每?jī)筛鶠橐唤M且相互平行排列， 在測(cè)試時(shí)和待測(cè)芯片3接觸，每個(gè)待測(cè)芯片使用一組探針測(cè)試。一個(gè)芯片3的兩個(gè)接點(diǎn)墊 (PAD) 5分別扎上兩根探針傳輸信號(hào)，由于物理位置是相互平行，信號(hào)傳輸方向正好相反，這
4樣可以抵消針上傳輸信號(hào)由于電磁效應(yīng)而產(chǎn)生的磁場(chǎng)干擾。本裝置還設(shè)有一個(gè)RFID閱讀器，用于和RFID高頻芯片通訊，具體位置可以設(shè)在探針臺(tái)上或者別處，只要保證待測(cè)芯片3 處于閱讀器的磁場(chǎng)范圍之內(nèi)。相應(yīng)地，每個(gè)待測(cè)芯片上設(shè)有匹配天線，可以發(fā)送和接收信號(hào)，天線未在圖中標(biāo)出。上位機(jī)7通過(guò)RS-232接口與RFID閱讀器連接并控制其發(fā)出測(cè)試信號(hào)，根據(jù)待測(cè)芯片3返回的信號(hào)判斷測(cè)試結(jié)果，保存到數(shù)據(jù)庫(kù)。待測(cè)晶圓上四片芯片為一組，分別通過(guò)四個(gè)頻率通道與RFID閱讀器進(jìn)行信號(hào)交換。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議規(guī)定，高頻RFID芯片工作的諧振頻率在13. 56MHz士7KHz，為了防止相鄰芯片之間由于同頻率下傳輸信號(hào)有很大的干擾，設(shè)置信號(hào)發(fā)生器的四個(gè)通道的信號(hào)頻率為第一頻道為14. 2MHz、第二頻道為13. 8MHz、第三頻道為14MHz、第四頻道為12. 8MHz。本發(fā)明RFID高頻芯片四通道測(cè)試方法，主要包括以下步驟加載一 RFID高頻半導(dǎo)體晶圓片2至探針臺(tái)；上位機(jī)7控制運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1沿X-Y軸定向運(yùn)動(dòng)，X-Y軸如圖1中箭頭所示，使得運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1帶動(dòng)第一組待測(cè)RFID高頻芯片3移動(dòng)到探針4下面；上位機(jī)7控制運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1沿Z軸定向運(yùn)動(dòng)，Z軸如圖2中箭頭所示，使得運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 1向上抬升，探針4與待測(cè)芯片3接觸；上位機(jī)7打開(kāi)四個(gè)測(cè)試頻道，控制RFID閱讀器發(fā)出所需測(cè)試的信號(hào)，根據(jù)待測(cè)芯片3返回的信號(hào)判斷測(cè)試結(jié)果，并把測(cè)試時(shí)間、通道號(hào)、芯片位置、發(fā)送及接收的信號(hào)和測(cè)試結(jié)果保存到數(shù)據(jù)庫(kù)中；上位機(jī)7根據(jù)測(cè)試結(jié)果對(duì)不合格芯片作標(biāo)記；上位機(jī)7控制運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1沿X-Y軸定向運(yùn)動(dòng)，使得運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1帶動(dòng)第二組待測(cè)RFID 高頻芯片移動(dòng)到探針4下面；重復(fù)上述步驟直到待測(cè)晶圓2上所有的RFID高頻芯片組被測(cè)試完畢為止。以上對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)描述，但本發(fā)明并不限制于以上描述的具體實(shí)施例，其只是作為范例。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，任何對(duì)該RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置及方法進(jìn)行的等同修改和替代也都落在本發(fā)明的范疇之中。因此，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍下所作出的均等變換和修改，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置，其特征在于，包括一探針臺(tái)，包括一運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與一探針卡，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)承載待測(cè)晶圓，所述晶圓上規(guī)則分布有多片待測(cè)RFID高頻芯片，所述探針卡上設(shè)置有探針，用于在測(cè)試時(shí)和所述RFID高頻芯片接觸；一上位機(jī)，與所述探針臺(tái)連接，用于控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的移動(dòng)；一 RFID閱讀器，用于和所述RFID高頻芯片通訊；所述上位機(jī)連接所述RFID閱讀器并控制其發(fā)出測(cè)試信號(hào)，根據(jù)所述待測(cè)芯片返回信號(hào)判斷測(cè)試結(jié)果，保存到數(shù)據(jù)庫(kù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置，其特征在于，所述待測(cè)晶圓上四片芯片為一組，分別通過(guò)四個(gè)頻率通道與所述RFID閱讀器進(jìn)行信號(hào)交換。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置，其特征在于，所述探針卡設(shè)有八根探針，每?jī)筛鶠橐唤M且相互平行排列，所述每個(gè)待測(cè)芯片使用一組探針進(jìn)行測(cè)試。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置，其特征在于，所述上位機(jī)通過(guò)GPIB與所述探針臺(tái)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置，其特征在于，所述上位機(jī)通過(guò)RS-232與所述RFID閱讀器連接。
6.一種如權(quán)利要求1所述的RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置的測(cè)試方法，其特征在于， 包括以下步驟加載一 RFID高頻半導(dǎo)體晶圓片至所述探針臺(tái)；所述上位機(jī)控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿X-Y軸定向運(yùn)動(dòng)，使得所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)第一組待測(cè) RFID高頻芯片移動(dòng)到所述探針下面；所述上位機(jī)控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿Z軸定向運(yùn)動(dòng)，使得所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)向上抬升，所述探針與所述待測(cè)芯片接觸；所述上位機(jī)打開(kāi)測(cè)試頻道，控制所述RFID閱讀器發(fā)出所需測(cè)試的信號(hào)，根據(jù)所述待測(cè)芯片返回的信號(hào)判斷測(cè)試結(jié)果，并把測(cè)試時(shí)間、通道號(hào)、芯片位置、發(fā)送及接收的信號(hào)和測(cè)試結(jié)果保存到數(shù)據(jù)庫(kù)中；所述上位機(jī)根據(jù)測(cè)試結(jié)果對(duì)不合格芯片作標(biāo)記；所述上位機(jī)控制所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿X-Y軸定向運(yùn)動(dòng)，使得所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)第二組待測(cè) RFID高頻芯片移動(dòng)到所述探針下面；重復(fù)上述步驟直到所述待測(cè)晶圓上所有的RFID高頻芯片組被測(cè)試完畢為止。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種RFID高頻芯片四通道測(cè)試裝置及方法，其中裝置至少包括一探針臺(tái)，包括一運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與一探針卡，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)承載待測(cè)晶圓，用于提供X-Y-Z三軸方向的定向移動(dòng)，晶圓上規(guī)則分布有多片待測(cè)RFID高頻芯片，探針卡上的探針在測(cè)試時(shí)和芯片接觸；一上位機(jī)，與探針臺(tái)連接，控制運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的移動(dòng)；還設(shè)有一個(gè)RFID閱讀器；探針卡設(shè)有八根探針，每?jī)筛鶠橐唤M且相互平行排列，每個(gè)待測(cè)芯片對(duì)應(yīng)一組探針；上位機(jī)連接RFID閱讀器并控制其發(fā)出測(cè)試信號(hào)，根據(jù)待測(cè)芯片返回信號(hào)判斷測(cè)試結(jié)果，保存到數(shù)據(jù)庫(kù)。本發(fā)明提高了測(cè)試良率和產(chǎn)品的測(cè)試速度，節(jié)省了測(cè)試成本。
文檔編號(hào)G06K7/00GK102401873SQ20101028177
公開(kāi)日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2010年9月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月15日
發(fā)明者莊雪亞, 楊光, 王林忠 申請(qǐng)人:江蘇凱路威電子有限公司