專利名稱：集成電路微觀尺寸納微檢測儀的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及微電子檢測儀技術領域，具體涉及一種集成電路微觀尺寸納微檢測儀。
技術背景現代微電子工業(yè)當中，在集成電路最前道的加工階段有一種重要的工藝環(huán)節(jié)-光亥|J、刻蝕工藝，該工藝的作用是在微電子產品的原材料底片上通過光刻、刻蝕等技術將其做成微電子產品芯片。在該工藝中，有一些重要的工藝參數，包括微觀尺寸、套刻類型及點距等參數，這些參數的異常會直接導致微電子產品芯片的報廢，因此集成電路加工后均需要進行檢測?，F有的檢測技術大都采用在顯微鏡下手動調焦，通過人工觀測對微觀尺寸、套刻參數及點距等工藝參數進行檢測，核心缺陷如下I、通過手工上下片的方式，對微電子產品進行逐個檢測，此種方法不僅效率低下，并且在上下片的同時不能保障水平度等參數，同時還有可能會對產品造成損傷；2、手動調焦的方法，由于操作員在操作熟練度和視覺感知方面的差異，其重復性精度極低，最多能達到50微米的精度，不足以滿足此類測量的工藝精度要求；3、單一的光源配置，并且采用手動調光，此種方法，不能保證多次檢測的光照亮度均勻，從而影響檢測精度；4、無配套隔震設施或簡易隔震，由于該項檢測需要在高倍數下實現，無隔震或簡單的隔震效果便不能保證檢測的精度
實用新型內容
本實用新型的目的是提供一種集成電路微觀尺寸納微檢測儀，它克服了現有技術的缺點、增加了功能、降低了成本、簡化了結構、易于制造、故障率低、安全可靠、節(jié)能環(huán)保、便于操作。為了解決背景技術所存在的問題，本實用新型是采用以下技術方案它包含工業(yè)用CXD相機I、顯微鏡2、樣品臺3、自動聚焦裝置4、光源箱5、晶圓角度調整裝置6、大理石桌面7、隔震系統(tǒng)8、晶圓片盒9、液晶顯示器10、懸臂11、配電箱12、柜架13和自動上下片裝置14，工業(yè)用CXD相機I通過標準C接口連接在顯微鏡2上，樣品臺3通過螺紋連接固定在顯微鏡2的底座上，自動聚焦裝置4通過聯(lián)軸器連接在顯微鏡2的升降部上，光源箱5通過卡口固定在顯微鏡2上，晶圓片盒9、晶圓角度調整裝置6、自動上下片裝置14及顯微鏡2的底座均通過螺紋連接固定在大理石桌面7上，大理石桌面7的下端面與柜架13之間設置有隔震系統(tǒng)8，懸臂11通過螺紋連接固定在柜架13側面，液晶顯示器10通過螺紋連接固定在懸臂11上，配電箱12置于柜架13內。所述的自動上下片裝置14為機械手。所述的晶圓角度調整裝置6為角度探測器。[0012]所述的自動聚焦裝置4為聚焦馬達。所述的自動上下片裝置14上配備角度探測器，且采用機械手可實現自動上下片，保證產品良率；配備角度探測器可保障上下片的水平度，實現快速自動化檢測前提。所述的隔震系統(tǒng)8為氣浮式隔震系統(tǒng)，可有效隔離震動源，保障檢測精度。本實用新型用自動聚焦裝置4配合工業(yè)用CXD相機I、顯微鏡2實現自動聚集的能力，代替?zhèn)鹘y(tǒng)手動聚焦的方法，排除了操作員操作習慣和視覺感知上的差異對測量結果產生的影響，保障檢測的重復性精度，大大提高檢測性能；光源箱5同時配備了環(huán)形光和反射、透射多種照明方式，并且用自動調光取代手動調節(jié)，可以滿足各種微電子產品的光照需求，同時保障檢測精度，從而提高檢測性能。本實用新型克服了現有技術的缺點、增加了功能、降低了成本、簡化了結構、易于制造、故障率低、安全可靠、節(jié)能環(huán)保、便于操作。

圖I為本實用新型的立體結構示意圖，圖2為圖I的主視圖，圖3為圖2的俯視圖，圖4為圖2的左視圖。
具體實施方式
參照圖I-圖4，本具體實施方式
采用以下技術方案它包含工業(yè)用C⑶相機I、顯微鏡2、樣品臺3、自動聚焦裝置4、光源箱5、晶圓角度調整裝置6、大理石桌面7、隔震系統(tǒng)
8、晶圓片盒9、液晶顯示器10、懸臂11、配電箱12、柜架13和自動上下片裝置14，工業(yè)用CXD相機I通過標準C接口連接在顯微鏡2上，樣品臺3通過螺紋連接固定在顯微鏡2的底座上，自動聚焦裝置4通過聯(lián)軸器連接在顯微鏡2的升降部上，光源箱5通過卡口固定在顯微鏡2上，晶圓片盒9、晶圓角度調整裝置6、自動上下 片裝置14及顯微鏡2的底座均通過螺紋連接固定在大理石桌面7上，大理石桌面7的下端面與柜架13之間設置有隔震系統(tǒng)8，懸臂11通過螺紋連接固定在柜架13側面，液晶顯示器10通過螺紋連接固定在懸臂11上，配電箱12置于柜架13內。所述的自動上下片裝置14為機械手。所述的晶圓角度調整裝置6為角度探測器。所述的自動聚焦裝置4為聚焦馬達。所述的自動上下片裝置14上配備角度探測器，且采用機械手可實現自動上下片，保證產品良率；配備角度探測器可保障上下片的水平度，實現快速自動化檢測前提。所述的隔震系統(tǒng)8為氣浮式隔震系統(tǒng)，可有效隔離震動源，保障檢測精度。本具體實施方式
用自動聚焦裝置4配合工業(yè)用C⑶相機I、顯微鏡2實現自動聚集的能力，代替?zhèn)鹘y(tǒng)手動聚焦的方法，排除了操作員操作習慣和視覺感知上的差異對測量結果產生的影響，保障檢測的重復性精度，大大提高檢測性能；光源箱5同時配備了環(huán)形光和反射、透射多種照明方式，并且用自動調光取代手動調節(jié)，可以滿足各種微電子產品的光照需求，同時保障檢測精度，從而提高檢測性能。[0028]本具體實施方式
克服了現有技術的缺點、增加了功能、降低了成本、簡化了結構、 易于制造、故障率低、安全可靠、節(jié)能環(huán)保、便于操作。
權利要求1.集成電路微觀尺寸納微檢測儀，其特征在于它包含工業(yè)用C⑶相機(I)、顯微鏡(2)、樣品臺(3)、自動聚焦裝置(4)、光源箱(5)、晶圓角度調整裝置(6)、大理石桌面(7)、隔震系統(tǒng)(8)、晶圓片盒(9)、液晶顯示器(10)、懸臂(11)、配電箱(12)、柜架(13)和自動上下片裝置(14)，工業(yè)用C⑶相機(I)通過標準C接口連接在顯微鏡(2)上，樣品臺(3)通過螺紋連接固定在顯微鏡(2)的底座上，自動聚焦裝置(4)通過聯(lián)軸器連接在顯微鏡(2)的升降部上，光源箱(5)通過卡口固定在顯微鏡(2)上，晶圓片盒(9)、晶圓角度調整裝置￠)、自動上下片裝置(14)及顯微鏡(2)的底座均通過螺紋連接固定在大理石桌面(7)上，大理石桌面(7)的下端面與柜架(13)之間設置有隔震系統(tǒng)(8)，懸臂(11)通過螺紋連接固定在柜架(13)側面，液晶顯示器(10)通過螺紋連接固定在懸臂(11)上，配電箱(12)置于柜架(13)內。
2.根據權利要求I所述的集成電路微觀尺寸納微檢測儀，其特征在于所述的自動上下片裝置(14)為機械手。
3.根據權利要求I所述的集成電路微觀尺寸納微檢測儀，其特征在于所述的晶圓角度調整裝置￠)為角度探測器。
4.根據權利要求I所述的集成電路微觀尺寸納微檢測儀，其特征在于所述的隔震系統(tǒng)(8)為氣浮式隔震系統(tǒng)。
5.根據權利要求I所述的集成電路微觀尺寸納微檢測儀，其特征在于所述的自動聚焦裝置(4)為聚焦馬達。
專利摘要集成電路微觀尺寸納微檢測儀，它涉及微電子檢測儀技術領域。它的工業(yè)用CCD相機(1)通過標準C接口連接在顯微鏡(2)上，樣品臺(3)通過螺紋連接固定在顯微鏡(2)的底座上，自動聚焦裝置(4)通過聯(lián)軸器連接在顯微鏡(2)的升降部上，大理石桌面(7)的下端面與柜架(13)之間設置有隔震系統(tǒng)(8)。它克服了現有技術的缺點、增加了功能、降低了成本、簡化了結構、易于制造、故障率低、安全可靠、節(jié)能環(huán)保、便于操作。
文檔編號G01N21/88GK202661393SQ201220088148
公開日2013年1月9日 申請日期2012年3月12日 優(yōu)先權日2012年3月12日
發(fā)明者謝歷銘 申請人:蘇州愛特盟光電有限公司