專利名稱：一種基板檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于檢測(cè)異常點(diǎn)的基板檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
生產(chǎn)液晶面板的過程中，在基板上涂覆好聚酰亞胺(Polyimide，簡(jiǎn)稱PI)后，需要對(duì)涂布的PI液進(jìn)行預(yù)固化形成取向膜，預(yù)固化效果的好壞直接決定著成膜特性，進(jìn)而影響液晶顯示面板的畫面顯示質(zhì)量。目前取向膜預(yù)固化工藝采用熱板式加熱，熱板式加熱會(huì)造成基板表面受熱不均，為了解決受熱不均通常采用接近式針腳(Pin)，但是Pin與周圍空氣溫度存在溫度差異，造成Pin端基板表面形成針腳云紋(Pin Mura)、干燥污潰或其它污潰等形成的影響最終產(chǎn)品 畫面品質(zhì)的異常點(diǎn)。目前在取向膜預(yù)固化工序尚沒有實(shí)時(shí)檢測(cè)PinMura的方法，通常的確認(rèn)方法是對(duì)預(yù)固化后的基板進(jìn)行抽檢，在宏觀微觀檢查機(jī)上進(jìn)行目視檢查，在這種目視檢查方法下不能實(shí)時(shí)檢測(cè)Pin Mura、干燥污潰或其它異常點(diǎn)是否發(fā)生，存在產(chǎn)品質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容(一 )要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是如何實(shí)時(shí)地檢測(cè)出基板上出現(xiàn)的Pin Mura、干燥污潰及其它異常點(diǎn)。( 二 )技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種基板檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)所述基板上的異常點(diǎn)，包括數(shù)據(jù)處理設(shè)備、顯示設(shè)備及至少一個(gè)圖像采集設(shè)備；所述圖像采集設(shè)備連接所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，用于將采集到的基板的圖像發(fā)送給所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備連接所述顯示設(shè)備，用于提取所述圖像中的異常點(diǎn)的坐標(biāo)，并將所述坐標(biāo)和所述圖像發(fā)送給所述顯示設(shè)備。其中，所述圖像采集設(shè)備為一個(gè)，所述圖像采集設(shè)備位于待檢測(cè)基板的中心的上方。其中，所述圖像采集設(shè)備為多個(gè)，所述多個(gè)圖像采集設(shè)備均勻分布在待檢測(cè)基板的中心及針腳與基板接觸點(diǎn)的上方。其中，還包括三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備，所述三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備分別連接所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備和所述圖像采集設(shè)備，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備將針腳坐標(biāo)和所述異常點(diǎn)的坐標(biāo)發(fā)送給所述三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備，所述三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備根據(jù)所述針腳坐標(biāo)和異常點(diǎn)的坐標(biāo)調(diào)整所述圖像采集設(shè)備的位置。其中，所述圖像采集設(shè)備為紅外攝像機(jī)，所述紅外攝像機(jī)將采集到的基板的紅外圖像發(fā)送給所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備提取所述紅外圖像中的色斑坐標(biāo)，并將所述色斑坐標(biāo)和所述紅外圖像發(fā)送給所述顯示設(shè)備。[0013]其中，還包括數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器，所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器連接所述紅外攝像機(jī)和所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，用于將所述紅外圖像中不同的色斑轉(zhuǎn)換成不同的溫度值，并將所述色斑的位置坐標(biāo)和對(duì)應(yīng)的溫度值發(fā)送給所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備將所述色斑的位置坐標(biāo)和對(duì)應(yīng)的溫度值繪制成溫度曲線圖后將所述溫度曲線圖發(fā)送給所述顯示設(shè)備。其中，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備包括計(jì)算機(jī)主機(jī)或單片機(jī)。(三)有益效果本實(shí)用新型的基板檢測(cè)裝置通過圖像采集設(shè)備實(shí)時(shí)采集基板表面的圖像，將采集到的圖像在顯示設(shè)備上呈現(xiàn)，并利用計(jì)算機(jī)或單片機(jī)內(nèi)的基板圖像的異常點(diǎn)坐標(biāo)和異常點(diǎn)在基板上的坐標(biāo)的一一對(duì)應(yīng)關(guān)系能夠精確地檢測(cè)出基板表面的Pin Mura、干燥污潰及其它異常點(diǎn)。

圖I是實(shí)用新型實(shí)施例I的一種基板檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是實(shí)用新型實(shí)施例2的一種基板檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是實(shí)用新型實(shí)施例3的一種基板檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是圖3中的基板檢測(cè)裝置在檢測(cè)基板表面的針腳云紋及干燥污潰時(shí)的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。實(shí)施例I本實(shí)施例的基板檢測(cè)裝置如圖I所示，包括數(shù)據(jù)處理設(shè)備、顯示設(shè)備及至少一個(gè)圖像采集設(shè)備。圖像采集設(shè)備能夠采集待檢測(cè)的基板表面的圖像，從而獲得異常點(diǎn)的圖像。本實(shí)施例中數(shù)據(jù)處理設(shè)備為計(jì)算機(jī)主機(jī)，圖像采集設(shè)備為紅外攝像機(jī)，以采集Pin Mura和干燥污潰的異常點(diǎn)為例進(jìn)行具體說明。紅外攝像機(jī)連接計(jì)算機(jī)主機(jī)，用于將采集到的基板的紅外圖像發(fā)送給計(jì)算機(jī)主機(jī)，計(jì)算機(jī)主機(jī)連接顯示設(shè)備，用于將紅外圖像發(fā)送給顯示設(shè)備顯示。紅外攝像機(jī)感應(yīng)的是紅外線，紅外圖像其實(shí)是紅外攝像機(jī)感應(yīng)物體紅外線輻射所生成的圖像。物體的溫度越高，輻射出的紅外線越多，圖像上呈現(xiàn)的顏色也不同，即溫度相同的區(qū)域呈現(xiàn)相同的顏色，不同溫度呈現(xiàn)不同的顏色。由于在Pin Mura和干燥污潰處的溫度與無Pin Mura和干燥污潰處的溫度不同。在基板表面的紅外圖像中，存在Pin Mura和干燥污潰處的地方都將呈現(xiàn)異常色彩的色斑(異常點(diǎn)處都會(huì)呈現(xiàn)不同的色斑)。根據(jù)事先設(shè)置好的紅外攝像機(jī)的系統(tǒng)或顯示設(shè)備的坐標(biāo)系與基板表面坐標(biāo)系的關(guān)系很容易地檢測(cè)出基板表面的Pin Mura和干燥污潰的位置。優(yōu)選地，包括多個(gè)紅外攝像機(jī)，圖I中示出了 n個(gè)紅外攝像機(jī)，所有紅外攝像機(jī)采集的紅外圖像應(yīng)該覆蓋整個(gè)基板表面?？梢允辜t外攝像機(jī)均勻分布在Pin與基板接觸點(diǎn)的上方和基板中心的上方，以保證紅外攝像機(jī)能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)基板中心和pin與基板接觸點(diǎn)處的溫度。若為一個(gè)紅外攝像機(jī)時(shí)，也要保證該紅外攝像機(jī)能夠拍攝整個(gè)基板表面，即有足夠大的廣角或是離基板表面有一定的距離，最好使紅外攝像機(jī)位于基板中心上方。對(duì)于多個(gè)紅外攝像機(jī)的情況，采集圖像發(fā)送到計(jì)算機(jī)主機(jī)后，計(jì)算機(jī)主機(jī)會(huì)根據(jù)紅外攝像機(jī)的坐標(biāo)和拍攝范圍對(duì)圖像的拼接和裁剪等處理，這些處理過程均可采用現(xiàn)有的很成熟的圖像處理軟件完成，此處不再贅述。上述基板檢測(cè)裝置能夠方便、實(shí)時(shí)地檢測(cè)出基板表面由于pin導(dǎo)致的Pin Mura和干燥污潰，或其它存在于基板上的異常點(diǎn)，從而提高產(chǎn)品良率，降低后期宏觀檢測(cè)的人力和材料成本。實(shí)施例2本實(shí)施例的基板檢測(cè)裝置如圖2所示，包括數(shù)據(jù)處理設(shè)備(本實(shí)施例中數(shù)據(jù)處理設(shè)備為計(jì)算機(jī)主機(jī))、顯示設(shè)備、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器及至少一個(gè)紅外攝像機(jī)。本實(shí)施例與實(shí)施例I 不同的是在紅外攝像機(jī)和計(jì)算機(jī)主機(jī)之間增加了一個(gè)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器，該數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器分別連接紅外攝像機(jī)和計(jì)算機(jī)主機(jī)，用于將紅外圖像的色斑轉(zhuǎn)換成溫度值，并將該色斑的位置坐標(biāo)及對(duì)應(yīng)的溫度值發(fā)送給計(jì)算機(jī)主機(jī)。計(jì)算機(jī)主機(jī)根據(jù)色斑的位置坐標(biāo)及對(duì)應(yīng)的溫度值繪制溫度曲線圖，并將所述溫度曲線圖發(fā)送給顯示設(shè)備顯示。本實(shí)施例將色斑轉(zhuǎn)換成具體的溫度值，并以溫度曲線的形式顯示，即將色斑進(jìn)行量化后顯示，數(shù)值的大小可以更直觀地看出PinMura和干燥污潰的嚴(yán)重程度。因此本實(shí)施例的將溫度曲線結(jié)合基板的紅外圖像的顯示方式能夠更準(zhǔn)確地檢測(cè)出基板表面的PinMura和干燥污潰。實(shí)施例3本實(shí)施例的基板檢測(cè)裝置是在實(shí)施例I或?qū)嵤├?的基礎(chǔ)上改進(jìn)得到的。即增加了一個(gè)三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備，使得紅外攝像機(jī)能夠在基板表面上方的三維方向上移動(dòng)。三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備分別連接計(jì)算機(jī)主機(jī)和紅外攝像機(jī)，以改進(jìn)實(shí)施例2中的基板檢測(cè)裝置為例，如圖3所示。在檢測(cè)前向計(jì)算機(jī)主機(jī)輸入pin在基板表面布局的坐標(biāo)，計(jì)算機(jī)主機(jī)將pin布局的坐標(biāo)發(fā)送給三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備。三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備根據(jù)計(jì)算機(jī)主機(jī)發(fā)送來的針腳坐標(biāo)調(diào)整紅外攝像機(jī)的位置，在多個(gè)紅外攝像機(jī)的情況下，使得紅外攝像機(jī)的位置盡量位于pin與基板接觸點(diǎn)的上方和基板中心的上方，一個(gè)紅外攝像機(jī)時(shí)能夠使該紅外攝像機(jī)能夠拍攝整個(gè)基板表面(三維方向上移動(dòng)紅外攝像機(jī))。由于采用三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備可以根據(jù)不同的pin布局方便地調(diào)整紅外攝像機(jī)的位置，以便對(duì)Pin云紋及干燥污潰實(shí)現(xiàn)精確地檢測(cè)。優(yōu)選地，計(jì)算機(jī)主機(jī)還用于將顯示設(shè)備顯示的紅外圖像中的色斑的坐標(biāo)發(fā)送給三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備。三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備根據(jù)該坐標(biāo)再對(duì)紅外攝像機(jī)進(jìn)行微調(diào)，以達(dá)到更清晰地顯示色斑的效果，這樣可以使得轉(zhuǎn)換后的溫度值更準(zhǔn)確。本實(shí)施例相對(duì)于實(shí)施例I和2，能夠方便地對(duì)紅外攝像機(jī)進(jìn)行控制，以及更加準(zhǔn)確地控制紅外攝像機(jī)拍攝到pin云紋及干燥污潰，從而更準(zhǔn)確地檢測(cè)出pin云紋及干燥污潰的坐標(biāo)和污染物的嚴(yán)重程度。上述3個(gè)實(shí)施例中的計(jì)算機(jī)主機(jī)還可以是單片機(jī)，圖像采集設(shè)備也不限于紅外攝像機(jī)。以實(shí)施例3的基板檢測(cè)裝置為例，說明其工作原理如下如圖4所示，將多個(gè)紅外攝像機(jī)I (圖中有4個(gè)紅外攝像機(jī)I)固定于可以三軸移動(dòng)的固定架2上，并將載有紅外攝像機(jī)I的固定架2置于取向膜預(yù)固化工序的腔室3中；在計(jì)算機(jī)主機(jī)4中輸入Pin 5的布局坐標(biāo)(Pin Layout),計(jì)算機(jī)主機(jī)4將該坐標(biāo)發(fā)送到三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備6中，三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備6的控制軟件通過輸入的Pin Layout粗調(diào)多路紅外攝像機(jī)I的三維坐標(biāo)，從而將多路紅外攝像機(jī)I采集的基板7中心和Pin 5周圍的紅外圖像實(shí)時(shí)傳遞給計(jì)算機(jī)主機(jī)4，并將紅外圖像中的色斑通過數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器8轉(zhuǎn)換成溫度值。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器8將色斑的坐標(biāo)和對(duì)應(yīng)的溫度值發(fā)送到計(jì)算機(jī)主機(jī)4。計(jì)算機(jī)主機(jī)4將紅外圖像傳輸?shù)斤@示設(shè)備9上實(shí)時(shí)顯示，并將色斑坐標(biāo)及對(duì)應(yīng)的溫度值繪制成溫度曲線。同時(shí)將溫度曲線發(fā)送到顯示設(shè)備9實(shí)時(shí)顯示。計(jì)算機(jī)主機(jī)4還將紅外圖像上的色斑坐標(biāo)發(fā)送到三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備6，三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備6還根據(jù)顯示設(shè)備9上的顯示的色斑坐標(biāo)和色環(huán)圖像微調(diào)紅外攝像機(jī)I的三維坐標(biāo)以達(dá)到最佳檢測(cè)效果。由于紅外攝像機(jī)I的系統(tǒng)坐標(biāo)或顯示設(shè)備9的軟件界面內(nèi)的坐標(biāo)與Pin的Layout坐標(biāo)相對(duì)應(yīng)，當(dāng)監(jiān)控的某個(gè)Pin存在Pin Mura和干燥污潰時(shí)，對(duì)應(yīng)Pin周圍的溫度分布異常于正常區(qū)間，則通過坐標(biāo)很容易找到該P(yáng)in的位置。以上實(shí)施方式僅用于說明本實(shí)用新型，而并非對(duì)本實(shí)用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實(shí)用新型的范疇，本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求1.一種基板檢測(cè)裝置，其特征在于，包括數(shù)據(jù)處理設(shè)備、顯示設(shè)備及至少一個(gè)圖像采集設(shè)備；所述圖像采集設(shè)備連接所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，用于將采集到的基板的圖像發(fā)送給所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備連接所述顯示設(shè)備，用于提取所述圖像中的異常點(diǎn)的坐標(biāo)，并將所述坐標(biāo)和所述圖像發(fā)送給所述顯示設(shè)備。
2.如權(quán)利要求I所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述圖像采集設(shè)備為一個(gè)，并且位于待檢測(cè)基板的中心的上方。
3.如權(quán)利要求I所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述圖像采集設(shè)備為多個(gè)，并且均勻分布在待檢測(cè)基板的中心及針腳與基板接觸點(diǎn)的上方。
4.如權(quán)利要求I所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備，所述三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備分別連接所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備和所述圖像采集設(shè)備，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備將針腳坐標(biāo)和所述異常點(diǎn)的坐標(biāo)發(fā)送給所述三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備，所述三維驅(qū)動(dòng)伺服設(shè)備根據(jù)所述針腳坐標(biāo)和異常點(diǎn)的坐標(biāo)調(diào)整所述圖像采集設(shè)備的位置。
5.如權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述圖像采集設(shè)備為紅外攝像機(jī)，所述紅外攝像機(jī)將采集到的基板的紅外圖像發(fā)送給所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備提取所述紅外圖像中的色斑坐標(biāo)，并將所述色斑坐標(biāo)和所述紅外圖像發(fā)送給所述顯示設(shè)備。
6.如權(quán)利要求5所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器，所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器連接所述紅外攝像機(jī)和所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，用于將所述紅外圖像中不同的色斑轉(zhuǎn)換成不同的溫度值，并將所述色斑的位置坐標(biāo)和對(duì)應(yīng)的溫度值發(fā)送給所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備將所述色斑的位置坐標(biāo)和對(duì)應(yīng)的溫度值繪制成溫度曲線圖后將所述溫度曲線圖發(fā)送給所述顯示設(shè)備。
7.如權(quán)利要求I所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備包括計(jì)算機(jī)主機(jī)或單片機(jī)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種基板檢測(cè)裝置，涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，該裝置用于檢測(cè)所述基板上的異常點(diǎn)，包括數(shù)據(jù)處理設(shè)備、顯示設(shè)備及至少一個(gè)圖像采集設(shè)備；所述圖像采集設(shè)備連接所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，用于將采集到的基板的圖像發(fā)送給所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備連接所述顯示設(shè)備，用于提取所述圖像中的異常點(diǎn)的坐標(biāo)，并將所述坐標(biāo)和所述圖像發(fā)送給所述顯示設(shè)備。本實(shí)用新型能夠精確地檢測(cè)出基板表面的針腳云紋、干燥污漬及其它異常點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01N21/88GK202548061SQ20122015730
公開日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月13日
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