專利名稱：定位測量儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種定位測量儀。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體的制造工藝都是在潔凈房內(nèi)完成的，因?yàn)榘雽?dǎo)體制造工藝的特殊要求，對于潔凈房也有特殊的要求。為了保證潔凈房能夠滿足半導(dǎo)體制造工藝的要求，必須定期對潔凈房的溫度、濕度以及空氣流速進(jìn)行定期監(jiān)控。通常潔凈房一般采用垂直送風(fēng)，由安裝在天花板上的風(fēng)機(jī)濾器單元(FanFilter·Units, FFU)將潔凈的空氣通入潔凈房，空氣自上向下通入潔凈房的鏤空地板，以便通過垂直送風(fēng)將塵埃粒子自上而下的排出。垂直送風(fēng)的送風(fēng)量直接反應(yīng)潔凈房內(nèi)的空氣流通速度，通常送風(fēng)量由出風(fēng)口附近的空氣流速來表征。而且，整個(gè)潔凈房內(nèi)溫度和濕度也區(qū)別于出風(fēng)口的溫度和濕度。因此對潔凈房的環(huán)境監(jiān)控是通過對出風(fēng)口處的溫度、濕度和空氣流速的監(jiān)控來完成的。而半導(dǎo)體制造的潔凈房的空間非常大，為了監(jiān)控整個(gè)潔凈房的溫度、濕度以及空氣流速，通常由工作人員手工攜帶測量儀器到各個(gè)測量點(diǎn)的出風(fēng)口處進(jìn)行手工測量，出風(fēng)口處通常處于天花板附近。為了便于長期監(jiān)控出風(fēng)口處的溫度、濕度以及空氣流速，通常將出風(fēng)口處定義為距離天花板30cm的位置。如圖I所示，地板到天花板的距離通常為400cm，每次測量時(shí)，工作人員都要用一個(gè)測量桿10，將測量儀器20固定于所述測量桿10的頂部，然后由工作人員將測量桿10舉起，靠人眼目測使其頂部盡可能的位于離天花板30cm的位置，然后開始進(jìn)行測量，每次測量要維持15分鐘。采用上述方法進(jìn)行測量，因?yàn)闇y量桿是靠人力舉起并目測維持在離天花板30cm的位置，而且還要維持15分鐘。這樣的測量方式，很難做到在整個(gè)測量過程中，測量儀器始終處于同一位置，更無法確定這一位置距離天花板就是30cm，當(dāng)然也無法確定每次測量測量儀器都在同一位置。上述測量位置的不確定，導(dǎo)致最后的測量值與確定位置的實(shí)際值偏差很大，無法起到對潔凈房環(huán)境的監(jiān)控作用。另外，上述方法大部分動作都是由人力完成，而且至少需要兩個(gè)工作人員的配合才能完成上述測量，為此要消耗的人力成本也比較高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種定位測量儀，達(dá)到準(zhǔn)確定位測量位置的目的，以解決上述測量位置不確定，測量值與目標(biāo)位置的實(shí)際值偏差大的問題。本實(shí)用新型的另一目的在于，減少測量的工作人員數(shù)量，降低人力成本。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種定位測量儀，包括一測量長桿，所述定位測量儀還包括測距儀和固定抓，所述測量長桿為自由伸縮測量長桿，所述測距儀和固定抓設(shè)置于所述測量長桿的一端?？蛇x的，所述固定抓為兩個(gè)，分別用于固定流速測量儀和溫濕度測量儀?？蛇x的，所述兩個(gè)固定抓位于所述測量長桿的同一高度處。[0011]可選的，所述測距儀為紅外測距儀?？蛇x的，所述定位測量儀還包括驅(qū)動模塊和處理模塊，所述處理模塊分別與所述測距儀和驅(qū)動模塊連接。可選的，所述定位測量儀還包括一手推車，所述測量長桿位于所述手推車上可選的，所述測量長桿固定于所述手推車的一個(gè)側(cè)棱。可選的，所述驅(qū)動模塊和處理模塊放置于所述手推車上。本實(shí)用新型所采用的定位測量儀包括一測量長桿，所述測量長桿為自由伸縮測量長桿；所述測量長桿頂部設(shè)置一測距儀；在所述測量長桿位于所述測距儀下方設(shè)置至少一個(gè)固定抓。所述測距儀可以自動測量其與天花板的實(shí)際距離，并將測量數(shù)值與事先設(shè)定的目標(biāo)數(shù)值進(jìn)行比較，所述測量長桿根據(jù)比較結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的伸縮，使測距儀到達(dá)并固定于 目標(biāo)位置，這時(shí)位于所述固定抓內(nèi)測量儀器就可以開始相關(guān)測量。上述測量方式，測量儀器每次測量都位于同一目標(biāo)位置，而且測量過程中，測量儀器也始終處于固定的位置，達(dá)到了準(zhǔn)確定位測量位置的目的，從而減小了測量值與目標(biāo)位置實(shí)際值的偏差。另外，將測量長桿固定于一手推車上，可以將有關(guān)測量使用的設(shè)備都放置于手推車上，利用手推車便于移動的特性，使一個(gè)工作人員就可以完成上述測量工作，減少了測量的工作人員數(shù)量，降低人力成本。

圖I為現(xiàn)有技術(shù)中的測量長桿及測量示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一中的定位測量儀的示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例二中的定位測量儀的示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的核心思想在于，所述定位測量儀的測量長桿為可自由伸縮測量長桿，并且在所述測量長桿頂部設(shè)置一測距儀，在所述測量長桿位于所述測距儀下方設(shè)置至少一個(gè)固定抓。所述測距儀可以自動測量其與天花板的實(shí)際距離，并將測量數(shù)值與事先設(shè)定的目標(biāo)數(shù)值進(jìn)行比較，所述測量長桿根據(jù)比較結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的伸縮，使測距儀到達(dá)并固定于目標(biāo)位置，這時(shí)位于所述固定抓內(nèi)測量儀器就可以開始相關(guān)測量。上述測量，測量儀器每次測量都位于同一目標(biāo)位置，而且測量過程中，測量儀器也始終處于固定的位置，達(dá)到了準(zhǔn)確定位測量位置的目的，從而減小了測量值與目標(biāo)位置實(shí)際值的偏差。另外，將測量長桿固定于一手推車上，可以將有關(guān)測量使用的設(shè)備都放置于手推車上，手推車便于移動的特性，使一個(gè)工作人員就可以完成上述測量工作，減少了測量的工作人員數(shù)量，降低人力成本。為了使本實(shí)用新型的目的，技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，
以下結(jié)合附圖來進(jìn)一步做詳細(xì)說明。實(shí)施例一如圖2所示，定位測量儀100，包括一測量長桿101，所述測量長桿101頂部設(shè)置一測距儀102 ;在所述測量長桿101位于所述測距儀102下方設(shè)置至少一個(gè)固定抓103。其中，所述測量長桿101可自由伸縮。[0026]所述測距儀102能夠自動測量測距儀與位于其對面物體的距離，如圖2所示，所述測距儀102可以自動測出其與天花板之間的距離。所述測距儀102包括一測距器和一電纜線，所述電纜線可以將測得數(shù)值傳送給所述測量長桿101。優(yōu)選的，所述測距儀102為一紅外測距儀。所述定位測量儀100還包括一驅(qū)動模塊和一處理模塊，所述處理模塊分別與所述測距儀102和驅(qū)動模塊連接。所述處理模塊與所述測距儀101的電纜線相連接，用于接收所述測距儀101的測量數(shù)值。同時(shí)，所述處理模塊還用于接收事先設(shè)定的目標(biāo)數(shù)值，并將所述測量數(shù)值與所述目標(biāo)數(shù)值進(jìn)行比較，并根據(jù)比較結(jié)果向所述驅(qū)動模塊發(fā)出指令，驅(qū)動模塊根據(jù)所述指令驅(qū)動測量長桿101進(jìn)行相應(yīng)的伸縮，最終使所述測距儀101到達(dá)目標(biāo)位置并固定于此位置。如圖2所示，在本實(shí)施例中，所述固定抓103為兩個(gè)，分別用于固定流速測量儀和溫濕度測量儀。為了使所述流速測量儀和溫濕度測量儀位于同一高度處，可以將兩個(gè)固定抓103設(shè)置在測量長桿101的同一高度處。當(dāng)然，為了測量的需要，所述固定抓103也可以多增加幾個(gè)。采用所述定位測量儀100的測量過程如下首先，將測量儀器固定于所述固定抓103內(nèi)；接著，啟動測距儀102對其與天花板之間的距離進(jìn)行測量，并將其測量數(shù)值通過電纜線傳輸給所述測量長桿201的處理模塊；接著，所述處理模塊并將所述測量數(shù)值與所述目標(biāo)數(shù)值進(jìn)行比較，并根據(jù)比較結(jié)果向所述驅(qū)動模塊發(fā)出指令；接著，所述驅(qū)動模塊根據(jù)所述指令驅(qū)動測量長桿101進(jìn)行相應(yīng)的伸縮，使所述測距儀101到達(dá)目標(biāo)位置并固定于此位置；接著，啟動測量儀器，開始對目標(biāo)位置的相關(guān)參數(shù)進(jìn)行測量；接著，關(guān)閉測距儀102，將所述測量長桿201收縮到便于攜帶的長度，并將測量儀器取下。上述測量過程中，因?yàn)闇y量長桿201為可自由伸縮，所述測量長桿201根據(jù)比較結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的伸縮，使測距儀202到達(dá)并固定于目標(biāo)位置，這時(shí)位于所述固定抓203內(nèi)測量儀器開始相關(guān)測量。測量儀器每次測量都位于同一目標(biāo)位置，而且測量過程中，測量儀器也始終處于固定的位置。另外，因?yàn)樗鰷y量長桿101可以自由伸縮，在非測量時(shí)間，可以將測量長桿收縮至便于攜帶的長度，便于工作人員在不同測量點(diǎn)之間移動。實(shí)施例二本實(shí)施例與實(shí)施例一的不同之處在于，將所述定位測量儀固定于一手推車上。如圖3所示，定位測量儀200，包括一測量長桿201，所述測量長桿201頂部設(shè)置一測距儀202 ;在所述測量長桿201位于所述測距儀202下方設(shè)置至少一個(gè)固定抓203和一抽推車204，其中，所述測量長桿201可自由伸縮。如圖3所示，所述測量長桿201位于所述手推車204上，優(yōu)選的，所述測量長桿201固定于所述手推車204的一側(cè)棱上，當(dāng)然，所述測量長桿201也可以固定于所述手推車204的一個(gè)側(cè)面。為了便于移動，可以將所述測量長桿201的驅(qū)動模塊和處理模塊放置于所述手推車204上。當(dāng)然，也可以將各種測量儀器以及測量輔助設(shè)備放置于所述手推車204上，這樣在各個(gè)測量點(diǎn)之間移動時(shí)，就只需要一個(gè)工作人員就可以完成移動以及測量工作，減少了對應(yīng)的工人員數(shù)量，降低了生產(chǎn)成本。[0037]綜上所述，本實(shí)用新型所采用的定位測量儀，因?yàn)槠錅y量長桿為可自由伸縮測量長桿，并且在所述測量長桿頂部設(shè)置一測距儀。所述定位測量儀的處理模塊將測距儀測量的測量數(shù)值與事先設(shè)定的目標(biāo)數(shù)值進(jìn)行比較，所述測量長桿根據(jù)比較結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的伸縮，使測距儀到達(dá)并固定于目標(biāo)位置，這時(shí)位于所述固定抓內(nèi)測量儀器就可以開始相關(guān)測量。上述測量，測量儀器每次測量都位于同一目標(biāo)位置，而且測量過程中，測量儀器也始終處于固定的位置，達(dá)到了準(zhǔn)確定位測量位置的目的，從而減小了測量值與目標(biāo)位置實(shí)際值的偏差。另外，將測量長桿固定于一手推車上，可以將有關(guān)測量使用的設(shè)備都放置于手推車上，手推車便于移動的特性，使一個(gè)工作人員就可以完成上述測量工作，減少了測量的工作人員數(shù)量，降低人力成本。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用新 型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種定位測量儀，包括一測量長桿，其特征在于，所述定位測量儀還包括測距儀和固定抓，所述測量長桿為自由伸縮測量長桿，所述測距儀和固定抓設(shè)置于所述測量長桿的一端。
2.如權(quán)利要求I所述的定位測量儀，其特征在于，所述固定抓為兩個(gè)，分別用于固定流速測量儀和溫濕度測量儀。
3.如權(quán)利要求2所述的定位測量儀，其特征在于，所述兩個(gè)固定抓位于所述測量長桿的同一高度處。
4.如權(quán)利要求I所述的定位測量儀，其特征在于，所述測距儀為紅外測距儀。
5.如權(quán)利要求I所述的定位測量儀，其特征在于，所述定位測量儀還包括驅(qū)動模塊和處理模塊，所述處理模塊分別與所述測距儀和驅(qū)動模塊連接。
6.如權(quán)利要求5所述的定位測量儀，其特征在于，所述定位測量儀還包括一手推車，所述測量長桿位于所述手推車上。
7.如權(quán)利要求6所述的定位測量儀，其特征在于，所述測量長桿固定于所述手推車的一個(gè)側(cè)棱。
8.如權(quán)利要求6所述的定位測量儀，其特征在于，所述驅(qū)動模塊和處理模塊放置于所述手推車上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種定位測量儀，包括一測量長桿，所述測量長桿為自由伸縮測量長桿；所述測量長桿頂部設(shè)置一測距儀；在所述測量長桿位于所述測距儀下方設(shè)置至少一個(gè)固定抓。采用本實(shí)用新型的定位測量儀，測量儀器每次測量都位于同一目標(biāo)位置，而且測量過程中，測量儀器也始終處于固定的位置，達(dá)到了準(zhǔn)確定位測量位置的目的，從而減小了測量值與目標(biāo)位置實(shí)際值的偏差。
文檔編號G01C3/00GK202793471SQ20122052044
公開日2013年3月13日 申請日期2012年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月11日
發(fā)明者施燕莉, 馬瑾怡, 周楠, 李廣寧 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司