專利名稱：一種懸掛式檢測臺的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種研磨狀態(tài)檢測臺，尤其是涉及一種便于采集化學機械研磨(CMP)之后亞表面形態(tài)和生物樣本生理特征等實驗過程的視頻、圖像處理的懸掛式檢測臺。
背景技術：
在對光學元器件做化學機械研磨(CMP)進行質量控制時，腐蝕時間難以掌控，從而難以得到良好的效果。例如不清楚在硅片的什么階段腐蝕或者要腐蝕了多長時間才能達到最好效果。常用的方法是分組做實驗，每組之間腐蝕的時間不同，腐蝕完之后再去檢測，然后對比結果來估計最佳腐蝕時間，最后來通過實驗來驗證最佳腐蝕時間。在生物化學方面的實驗時，試劑對細胞等的作用效果不好掌控，實驗效率不高。常用方法是利用不同試劑量來進行對比性檢測，并定時用顯微鏡進行觀察并記錄特征，這種方法不僅使科研人員工作量大，并且不能同時對幾個點進行對比性檢測，不能長時間觀測在實驗中樣品的連續(xù)變化情況，容易丟失相關的實驗數(shù)據(jù)。中國專利CN201434891公開一種多功能旋轉自動檢測臺，包括機架，機架上依次設有上層結構、中層結構和下層結構；其中上層結構設有測量儀表；中層結構周圍分布有若干檢測機構，此種檢測臺對較大物體有較好的檢測作用，但不能檢測較小物體，而且結構復雜。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是提供結構簡單、可檢測較小物體，便于采集化學機械研磨(CMP)或生物樣本實驗過程的視頻、圖像的一種懸掛式檢測臺。本發(fā)明設有底座、十字形橫梁、旋轉臂定位軸、旋轉臂、2組攝像頭組件和2根立柱；底座表面設有平整的至少2個觀測位，各觀測位之間設有間隔槽，2根立柱分別固于底座一側，十字形橫梁兩端固于2根立柱上端，十字形橫梁設有十字形通槽，十字形通槽中設有定位孔，旋轉臂定位軸上端固于定位孔中，旋轉臂定位軸下部與旋轉臂連接，2組攝像頭組件分別設于旋轉臂一側，2組攝像頭組件均外接顯示器。所述至少2個觀測位最好為4個方形觀測位，各方形觀測位刻有十字形對焦點。所述十字形通槽中設有定位孔，最好是十字形通槽中對稱設有4個定位孔，定位孔為半圓形定位孔。所述十字形橫梁兩端固于2根立柱上端，最好是十字形橫梁兩端通過方形銷與2根立柱連接。所述十字形通槽的寬度與旋轉臂定位軸的直徑最好相等。所述2組攝像頭組件之間的間距與設于所述十字形通槽中的對稱2個定位孔之間的丨司距最好相等。與現(xiàn)有技術比較，本發(fā)明的工作原理及有益效果如下:
檢測時，調整旋轉軸，使之在4個定位孔中的某I個定位孔中定位，然后通過鎖緊螺母使旋轉軸固定，接著調節(jié)旋轉臂，在顯示器中觀察攝像頭中的圖像能對焦到方形觀測位中的十字形對焦點時，通過鎖緊螺母使旋轉臂固定，接著將準備好的光學元器件、器皿等放入測試區(qū)，通過調節(jié)攝像頭的高度來調節(jié)圖像在顯示器中的視野，直到讓攝像頭能采集到視野清晰的觀測圖像。底座表面上的間隔的4個方形觀測位的結構可避免被測產品之間的相互藥劑干擾。觀測位上放置被測物件(如光學元器件、微生物器皿等)。檢測時，選取合適的攝像頭，其中攝像頭的選取對可以檢測到的精度有很大關系，目前較多攝像頭都可以放大并能清晰地檢測到幾百微米甚至是幾十微米的級別，這在光學亞表面檢測以及微生物方面的檢測可以有很好的應用，將攝像頭對準被檢測物，調整好位置和檢測范圍，檢測過程中，可在被檢測物兩側適當加強光線，確保攝像頭能采集到清晰的圖像；攝像頭攝入的圖像通過數(shù)據(jù)線連接到相關的視頻、圖像處理芯片，最終將芯片處理后的圖像數(shù)據(jù)顯示在顯示器中，實驗人員可以觀測分析并記錄。本發(fā)明不僅具有結構簡單、操作方便、檢測過程簡便等優(yōu)點，而且便于采集化學機械研磨(CMP)(如檢測光學玻璃的表面粗糙度、亞表面損傷程度等)及生物生理等實驗過程的視頻或圖像資源，實驗過程中可以進行連續(xù)的有對比性的進行觀測。


圖1為本發(fā)明實施例的結構組成示意圖。圖2為本發(fā)明實施例的十字形橫梁結構示意圖。圖3為本發(fā)明實施例的旋轉臂定位軸結構示意圖。圖4為本發(fā)明實施例的旋轉臂結構示意圖。
具體實施例方式參見圖1 4，本發(fā)明實施例設有底座9、十字形橫梁3、旋轉臂定位軸11、旋轉臂13、2組攝像頭組件7 (含攝像頭15)及2根立柱14。底座9表面設有平整的4個方形觀測位8，4個方形觀測位8之間設有間隔槽16，2根立柱14分別固于底座9 一側，十字形橫梁3兩端固于2根立柱14上端，十字形橫梁3設有十字形通槽10，十字形通槽10中對稱設有4個半圓形定位孔2，旋轉臂定位軸11上端位于其中I個定位孔2中，并通過鎖緊螺母I鎖緊。旋轉臂定位軸11下部穿過旋轉臂13，并通過鎖緊螺母12和6鎖緊在旋轉臂13上。2組攝像頭組件7均通過調節(jié)螺母5分別對稱設于旋轉臂13 —側，2組攝像頭組件7的攝像頭15位于底座9上方。2組攝像頭組件7均與外界的顯示器數(shù)據(jù)連接。所述方形觀測位8中刻有十字形對焦點。所述十字形通槽10的寬度與旋轉臂定位軸11直徑相等。所述十字形橫梁3與2根立柱14采用方形銷4連接。通過調節(jié)螺母5可調節(jié)攝像頭15的高度，從而可調節(jié)圖像在顯示器中的視野，直到使攝像頭15能采集到視野清晰的觀測圖像。旋轉臂定位軸11為中空軸，表面設有三段螺紋和I個凸圓臺。為方便數(shù)據(jù)線的布置，旋轉臂定位軸11在十字形橫梁3上可沿著十字形通槽10移動，當移動至半圓形定位孔2時，將旋轉臂定位軸11轉入其中，便可以通過旋緊螺母I鎖緊定位。旋轉臂13的設有5個通孔，以中間通孔20為基準左右對稱分布，中間通孔20用于穿連旋轉臂定位軸11，兩側通孔19用于連接2組攝像頭組件7，兩側對稱2個通孔之間的間距等于十字形橫梁3上對稱2個半圓形定位孔之間的間距(即2組攝像頭組件之間的間距與十字形橫梁3上對稱2個半圓形定位孔之間的間距相等)。兩側通孔18用于方便數(shù)據(jù)線17的傳送。本發(fā)明實施例進行化學機械研磨(CMP)和生物生理等實驗，在顯示器中觀察攝像頭中的圖像能對焦到方形觀測位8中的十字形對焦點時，旋緊鎖緊螺母12。接著將準備好的光學元器件、器皿等放入測試區(qū)，通過鎖緊螺母5調節(jié)攝像頭的高度來調節(jié)圖像在顯示器中的視野，直到讓攝像頭15能采集到視野清晰的觀測圖像。實驗人員便可從電腦等終端設備中觀測實驗圖像或視頻并儲存，便于以后分析。若進行對比試驗時，可將試驗樣品放入其中2個對應的方形檢測位8中，調整兩個攝像頭15到合適位置，接通外部終端設備，便可獲得相對應對比圖像?？捎糜趯Ρ葍煞N試劑的效果，或是由于試劑濃度不同對試驗品產生不同的影響，效率高，操作簡便。
權利要求
1.一種懸掛式檢測臺，其特征在于，設有底座、十字形橫梁、旋轉臂定位軸、旋轉臂、2組攝像頭組件和2根立柱； 底座表面設有平整的至少2個觀測位，各觀測位之間設有間隔槽，2根立柱分別固于底座一側，十字形橫梁兩端固于2根立柱上端，十字形橫梁設有十字形通槽，十字形通槽中設有定位孔，旋轉臂定位軸上端固于定位孔中，旋轉臂定位軸下端與旋轉臂連接，2組攝像頭組件分別設于旋轉臂一側，2組攝像頭組件均外接顯示器。
2.如權利要求1所述的一種懸掛式檢測臺，其特征在于，所述至少2個觀測位為4個方形觀測位，各方形觀測位刻有十字形對焦點。
3.如權利要求1所述的一種懸掛式檢測臺，其特征在于，所述十字形通槽中設有定位孔，是十字形通槽中對稱設有4個定位孔。
4.如權利要求3所述的一種懸掛式檢測臺，其特征在于，所述定位孔為半圓形定位孔。
5.如權利要求1所述的一種懸掛式檢測臺，其特征在于，所述十字形橫梁兩端固于2根立柱上端，是十字形橫梁兩端通過方形銷與2根立柱連接。
6.如權利要求1所述的一種懸掛式檢測臺，其特征在于，所述十字形通槽的寬度與旋轉臂定位軸的直徑相等。
7.如權利要求1所述的一種懸掛式檢測臺，其特征在于，所述2組攝像頭組件之間的間距與設于所述十字形通槽中的對稱2個定位孔之間的間距相等。
全文摘要
一種懸掛式檢測臺，涉及一種研磨狀態(tài)檢測臺。提供結構簡單、可檢測較小物體，便于采集化學機械研磨或生物樣本實驗過程的視頻、圖像的一種懸掛式檢測臺。設有底座、十字形橫梁、旋轉臂定位軸、旋轉臂、2組攝像頭組件和2根立柱；底座表面設有平整的至少2個觀測位，各觀測位之間設有間隔槽，2根立柱分別固于底座一側，十字形橫梁兩端固于2根立柱上端，十字形橫梁設有十字形通槽，十字形通槽中設有定位孔，旋轉臂定位軸上端固于定位孔中，旋轉臂定位軸下部與旋轉臂連接，2組攝像頭組件分別設于旋轉臂一側，2組攝像頭組件均外接顯示器。
文檔編號G01N21/00GK103149150SQ20131004073
公開日2013年6月12日 申請日期2013年1月31日 優(yōu)先權日2013年1月31日
發(fā)明者彭云峰, 郭龍, 郭隱彪, 胡陳林 申請人:廈門大學