一種測量電渦流傳感裝置軸心軌跡的實驗方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及電渦流傳感器的軸心軌跡測量實驗方法，具體為一種測量電渦流傳感裝置軸心軌跡的實驗方法。其具體步驟如下所述：將數(shù)據(jù)采集儀，啟動服務器，打開客戶端計算機，在DRVI軟件平臺的地址信息欄中輸入注冊信息及其網(wǎng)址，打開WEB版實驗指導書，在實驗目錄中選擇"電渦流傳感器軸心軌跡測量"實驗；調節(jié)電機轉速，對于客戶端的分析，首先設定數(shù)據(jù)共享服務器的IP地址，在服務器端進行數(shù)據(jù)采集的同時，點擊"運行"按鈕進行網(wǎng)絡數(shù)據(jù)采集，觀察隨著轉速的變化，軸心軌跡的變化情況，并記錄實驗結果。其有益效果在于：其能夠有效抑制管道在線、離線檢測時的某些干擾信號，對金屬管道內外壁缺陷檢測都具有較高的靈敏度。
【專利說明】一種測量電渦流傳感裝置軸心軌跡的實驗方法

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及電渦流傳感器的軸心軌跡測量實驗方法，具體為一種測量電渦流傳感裝置軸心軌跡的實驗方法。

【背景技術】
[0002]電渦流傳感器就是能靜態(tài)和動態(tài)地非接觸，高線性度，高分辨力地測量被測金屬導體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計量工具。電渦流位移傳感器能準確測量被測體(必須是金屬導體)與探頭端面之間的靜態(tài)和動態(tài)距離及其變化。
[0003]目前，化工機械拋光工藝前后均采用渦流傳感器測量硅片的銅膜厚度和形貌。隨著硅片特征尺寸的減小，芯片制造時的觀察窗也隨之減小。對于化工機械拋光過程來說，準確而靈敏的測量銅膜厚度是及其重要的。增大傳感器探針的尺寸能增強靈敏度，但它會犧牲徑向輪廓測量時的徑向分辨率。而多區(qū)分域控制的化學機械拋光工藝對硅片形貌測量時的分辨率要求較高。
[0004]現(xiàn)有技術中用于硅片膜厚測量的電渦流傳感器的探針截面多為圓形，其分辨率和靈敏度已經(jīng)不能滿足芯片制造過程中硅片膜厚測量的需求?？梢酝ㄟ^增大探針截面的尺寸來提高靈敏度，但是其徑向尺寸也增加，從而犧牲了其徑向的分辨率。渦流檢測只適用于能產(chǎn)生渦流的導電材料。同時，由于渦流是電磁感應產(chǎn)生的，在檢測時，不必要求線圈與試件緊密接觸，也不必在線圈和試件之間充填滿合劑，從而容易實現(xiàn)自動化檢驗。對管、棒、絲材表面缺陷，渦流檢查法有很高的速度和效率。渦流及其反作用磁場對代表金屬試件物理和工藝性能的多種參數(shù)有反應，因此是一種多用途的試驗方法。然而，正是由于對多種試驗參數(shù)有敏感反應，也就會給試驗結果帶來干擾信息，影響檢測的正確進行。因此，我們研制了一種測量電渦流傳感裝置軸心軌跡的實驗方法，該實驗方法操作簡便、安全，并且其對電渦流傳感裝置軸心軌跡的測量精度高。


【發(fā)明內容】

[0005]本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術存在的不足，提供一種測量電渦流傳感裝置軸心軌跡的實驗方法，該實驗方法操作簡便、安全，并且其對電渦流傳感裝置軸心軌跡的測量精度高。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的具體技術方案如下:
[0007]一種測量電渦流傳感裝置軸心軌跡的實驗方法，其具體步驟如下所述:
[0008]I)將數(shù)據(jù)采集儀，電源與計算機正確連接，在轉子實驗臺支架上安裝電渦流傳感器探頭，將輸出電纜與前置器相連，信號經(jīng)前置器處理后再經(jīng)過信號采集儀最終輸入到計算機中。
[0009]2)啟動服務器，運行DRVI主程序，開啟DRVI數(shù)據(jù)采集儀電源，然后點擊DRVI快捷工具條上的"聯(lián)機注冊"圖標，選擇其中的"DRVI采集儀主卡檢測"進行服務器和數(shù)據(jù)采集儀之間的注冊；且聯(lián)機注冊成功后，分別從DRVI工具欄和快捷工具條中啟動"DRVI微型Web服務器〃和〃內置的Web服務器〃，開始監(jiān)聽8600和8500端口。
[0010]3)打開客戶端計算機，啟動計算機上的DRVI客戶端程序，然后點擊DRVI快捷工具條上的〃聯(lián)機注冊〃圖標，選擇其中的"DRVI局域網(wǎng)服務器檢測〃，在彈出的對話框中輸入服務器IP地址，點擊〃發(fā)送〃按鈕，進行客戶端和服務器之間的認證，認證完畢即可正常運行客戶端所有功能。
[0011]4)在DRVI軟件平臺的地址信息欄中輸入注冊信息及其網(wǎng)址，打開WEB版實驗指導書，在實驗目錄中選擇〃電渦流傳感器軸心軌跡測量〃實驗，參照實驗原理和要求設計該實驗。
[0012]5)點擊附錄中該實驗腳本文件"服務器端"的鏈接，將參考的實驗腳本文件貼入DRVI軟件平臺。啟動轉子試驗臺，點擊面板中的〃運行〃按鈕，進行軸心軌跡的測量。如果波形不清楚，需要調節(jié)電渦流探頭與軸之間的距離，直到兩個方向的波形穩(wěn)定，振幅相近為止。
[0013]6)調節(jié)電機轉速，觀察隨著轉速的變化，軸心軌跡曲線的變化情況，分析并記錄實驗結果。
[0014]7)對于客戶端的分析，首先設定數(shù)據(jù)共享服務器的IP地址，在服務器端進行數(shù)據(jù)采集的同時，點擊"運行"按鈕進行網(wǎng)絡數(shù)據(jù)采集，觀察隨著轉速的變化，軸心軌跡的變化情況，并記錄實驗結果。
[0015]所述的步驟1)中電渦流傳感器探頭的X、Y向互成90度。
[0016]與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果在于:該實驗方法操作簡便、安全，并且其對電渦流傳感裝置軸心軌跡的測量精度高；并且其能夠有效抑制管道在線、離線檢測時的某些干擾信號，對金屬管道內外壁缺陷檢測都具有較高的靈敏度；還可用于機械零部件混料分選，滲碳深度和熱處理狀態(tài)評價，硬度測量等。

【具體實施方式】
[0017]以下對本發(fā)明的步驟及其有益效果進一步說明。
[0018]實施例1
[0019]一種測量電渦流傳感裝置軸心軌跡的實驗方法，其具體步驟如下所述:
[0020]1)將數(shù)據(jù)采集儀，電源與計算機正確連接，在轉子實驗臺支架上安裝電渦流傳感器探頭，將輸出電纜與前置器相連，信號經(jīng)前置器處理后再經(jīng)過信號采集儀最終輸入到計算機中。
[0021]啟動服務器，運行DRVI主程序，開啟DRVI數(shù)據(jù)采集儀電源，然后點擊DRVI快捷工具條上的〃聯(lián)機注冊〃圖標，選擇其中的"DRVI采集儀主卡檢測〃進行服務器和數(shù)據(jù)采集儀之間的注冊；且聯(lián)機注冊成功后，分別從DRVI工具欄和快捷工具條中啟動"DRVI微型Web服務器〃和〃內置的Web服務器〃，開始監(jiān)聽8600和8500端口。
[0022]打開客戶端計算機，啟動計算機上的DRVI客戶端程序，然后點擊DRVI快捷工具條上的"聯(lián)機注冊"圖標，選擇其中的"DRVI局域網(wǎng)服務器檢測〃，在彈出的對話框中輸入服務器IP地址，點擊〃發(fā)送〃按鈕，進行客戶端和服務器之間的認證，認證完畢即可正常運行客戶端所有功能。
[0023]在DRVI軟件平臺的地址信息欄中輸入注冊信息及其網(wǎng)址，打開WEB版實驗指導書，在實驗目錄中選擇〃電渦流傳感器軸心軌跡測量〃實驗，參照實驗原理和要求設計該實驗。
[0024]點擊附錄中該實驗腳本文件"服務器端"的鏈接，將參考的實驗腳本文件貼入DRVI軟件平臺。啟動轉子試驗臺，點擊面板中的〃運行〃按鈕，進行軸心軌跡的測量。如果波形不清楚，需要調節(jié)電渦流探頭與軸之間的距離，直到兩個方向的波形穩(wěn)定，振幅相近為止。
[0025]調節(jié)電機轉速，觀察隨著轉速的變化，軸心軌跡曲線的變化情況，分析并記錄實驗結果。
[0026]對于客戶端的分析，首先設定數(shù)據(jù)共享服務器的IP地址，在服務器端進行數(shù)據(jù)采集的同時，點擊"運行"按鈕進行網(wǎng)絡數(shù)據(jù)采集，觀察隨著轉速的變化，軸心軌跡的變化情況，并記錄實驗結果。
[0027]所述的步驟I)中電渦流傳感器探頭的X、Y向互成90度，該實驗方法操作簡便、安全，并且其對電渦流傳感裝置軸心軌跡的測量精度高；并且其能夠有效抑制管道在線、離線檢測時的某些干擾信號，對金屬管道內外壁缺陷檢測都具有較高的靈敏度；還可用于機械零部件混料分選，滲碳深度和熱處理狀態(tài)評價，硬度測量等。
【權利要求】
1.一種測量電渦流傳感裝置軸心軌跡的實驗方法，其特征在于:其具體步驟如下所述: 1)將數(shù)據(jù)采集儀，電源與計算機正確連接，在轉子實驗臺支架上安裝電渦流傳感器探頭，將輸出電纜與前置器相連，信號經(jīng)前置器處理后再經(jīng)過信號采集儀最終輸入到計算機中； 2)啟動服務器，運行DRVI主程序，開啟DRVI數(shù)據(jù)采集儀電源，然后點擊DRVI快捷工具條上的"聯(lián)機注冊"圖標，選擇其中的"DRVI采集儀主卡檢測"進行服務器和數(shù)據(jù)采集儀之間的注冊；且聯(lián)機注冊成功后，分別從DRVI工具欄和快捷工具條中啟動"DRVI微型Web服務器〃和〃內置的Web服務器〃，開始監(jiān)聽8600和8500端口 ； 3)打開客戶端計算機，啟動計算機上的DRVI客戶端程序，然后點擊DRVI快捷工具條上的"聯(lián)機注冊"圖標，選擇其中的"DRVI局域網(wǎng)服務器檢測"，在彈出的對話框中輸入服務器IP地址，點擊〃發(fā)送〃按鈕，進行客戶端和服務器之間的認證，認證完畢即可正常運行客戶端所有功能； 4)在DRVI軟件平臺的地址信息欄中輸入注冊信息及其網(wǎng)址，打開WEB版實驗指導書，在實驗目錄中選擇〃電渦流傳感器軸心軌跡測量〃實驗，參照實驗原理和要求設計該實驗； 5)點擊附錄中該實驗腳本文件"服務器端"的鏈接，將參考的實驗腳本文件貼入DRVI軟件平臺。啟動轉子試驗臺，點擊面板中的"運行"按鈕，進行軸心軌跡的測量。如果波形不清楚，需要調節(jié)電渦流探頭與軸之間的距離，直到兩個方向的波形穩(wěn)定，振幅相近為止； 6)調節(jié)電機轉速，觀察隨著轉速的變化，軸心軌跡曲線的變化情況，分析并記錄實驗結果O 7)對于客戶端的分析，首先設定數(shù)據(jù)共享服務器的IP地址，在服務器端進行數(shù)據(jù)采集的同時，點擊"運行"按鈕進行網(wǎng)絡數(shù)據(jù)采集，觀察隨著轉速的變化，軸心軌跡的變化情況，并記錄實驗結果。
2.根據(jù)權利要求1所述一種測量電渦流傳感裝置軸心軌跡的實驗方法，其特征在于:所述的步驟I)中電渦流傳感器探頭的X、Y向互成90度。
【文檔編號】G01D18/00GK104457819SQ201410788755
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年12月18日 優(yōu)先權日:2014年12月18日
【發(fā)明者】劉娜 申請人:劉娜