探針及電學(xué)特性測(cè)試系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種探針，包括主體和探針前端，主體與探針前端相連，探針前端設(shè)置至少兩個(gè)探針爪，探針爪的直徑范圍為5μm～30μm，探針爪之間的最大間距小于300μm。上述探針的探針前端設(shè)置至少兩個(gè)探針爪，探針扎到測(cè)試電極上時(shí)，多根探針爪增加了探針一次扎針成功率，從而有利于節(jié)省測(cè)試工時(shí)，提高測(cè)試設(shè)備效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】探針及電學(xué)特性測(cè)試系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及信號(hào)檢測(cè)領(lǐng)域，特別是涉及探針及使用上述探針的電學(xué)特性測(cè)試系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]TEG(Test Electric Group，電學(xué)特性測(cè)量設(shè)備)測(cè)試中需要使用探針，傳統(tǒng)的探針結(jié)構(gòu)如圖1所示，探針100包括主體110，主體110 一端只設(shè)置一個(gè)探針爪120，探針爪120的直徑較小，約ΙΟμπι左右。將探針扎到測(cè)試電極上時(shí)，由于扎針的精度有限，時(shí)常會(huì)出現(xiàn)一次不能準(zhǔn)確扎針到所需要的測(cè)試電極上的情況，因而需要重復(fù)扎針，導(dǎo)致扎針成功率低，影響測(cè)試工時(shí)，降低測(cè)試設(shè)備的效率。
[0003]目前業(yè)界已有的解決方法主要有以下兩種:
[0004]第一種:在探針上方加裝攝像裝置，扎針后拍照，手動(dòng)左右上下校準(zhǔn)，保證扎針的準(zhǔn)確性。
[0005]第二種:同樣在探針上方加裝攝像裝置，然后進(jìn)行預(yù)扎針，此時(shí)探針和測(cè)試電極距離較近，但不接觸，拍照后進(jìn)行分析，對(duì)探針位置進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)償，保證扎針成功。
[0006]以上兩種方法不僅增加了設(shè)備成本，而且增加了測(cè)試工時(shí)，降低測(cè)試設(shè)備的效率。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]基于此，有必要針對(duì)扎針工時(shí)長(zhǎng)、測(cè)試設(shè)備效率低的問(wèn)題，提供一種探針及使用上述探針的電學(xué)特性測(cè)試系統(tǒng)。
[0008]—種探針,包括主體和探針前端,所述主體與所述探針前端相連,所述探針前端設(shè)置至少兩個(gè)探針爪，所述探針爪的直徑范圍為5 μ m~30 μ m，所述探針爪之間的最大間距小于300 μ m。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述至少兩個(gè)探針爪呈傘狀分布。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述探針爪的直徑為10 μ m，所述探針爪之間的最大間隔為80 μ m0
[0011]一種電學(xué)特性測(cè)試系統(tǒng)，包括測(cè)試模塊和上述的探針，所述測(cè)試模塊包括至少兩個(gè)測(cè)試電極，所述至少兩個(gè)探針爪之間的最大間距小于相鄰兩個(gè)所述測(cè)試電極的最小間距。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，相鄰兩個(gè)所述測(cè)試電極的間距為100 μ π!~300 μ m。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述測(cè)試電極的形狀為矩形，所述測(cè)試電極的長(zhǎng)邊長(zhǎng)為300 μ m，所述測(cè)試電極的寬邊長(zhǎng)為100μπι。
[0014]上述探針的探針前端設(shè)置至少兩個(gè)探針爪，探針扎到測(cè)試電極上時(shí)，多根探針爪增加了探針一次扎針成功率，從而有利于節(jié)省測(cè)試工時(shí)，提高測(cè)試設(shè)備效率。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為傳統(tǒng)的探針結(jié)構(gòu)圖；
[0016]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的探針結(jié)構(gòu)圖；
[0017]圖3為測(cè)試模塊的分布示意圖。
[0018]圖中:探針100，主體110，探針爪120，探針200，主體210，探針前端220，第一探針爪222，第二探針爪224，第三探針爪226，測(cè)試模塊300，測(cè)試電極310。

【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0020]TEG測(cè)試系統(tǒng)中，探針爪的直徑范圍設(shè)置一般為5 μ m?30 μ m,測(cè)試對(duì)象的測(cè)試電極一般呈矩形(如正方形)，其邊長(zhǎng)范圍在100 μ m?300 μ m。相鄰測(cè)試電極之間的間隔范圍的大小與測(cè)試電極大小一樣，即相鄰測(cè)試電極之間的間隔范圍為100 μ m?300 μ m。
[0021]傳統(tǒng)的探針，只設(shè)有一個(gè)探針爪，由于探針爪的直徑均比較小，通常由于扎針的精度有限，時(shí)常會(huì)出現(xiàn)一次不能準(zhǔn)確扎針到所需要的測(cè)試電極上的情況。
[0022]為此，如圖2所示，本實(shí)用新型提出一種探針200，其包括主體210和探針前端220，主體210與探針前端220相連，探針前端220設(shè)置第一探針爪222、第二探針爪224和第三探針爪226，探針前端220設(shè)置有三個(gè)探針爪，在扎針時(shí)，測(cè)試電極有可能同三個(gè)探針爪中的任一個(gè)接觸，這樣就提高了扎針的成功率，需指出，此處是以三個(gè)探針爪為例進(jìn)行說(shuō)明，但探針爪的數(shù)量不限于三個(gè)，其數(shù)量大于一個(gè)即可，即至少有兩個(gè)。
[0023]TEG測(cè)試中測(cè)試電極的邊長(zhǎng)范圍在100 μ m?300 μ m，相鄰測(cè)試電極之間的間隔范圍為100 μ m?300 μ m。為了避免探針200的多個(gè)探針爪分別扎到兩個(gè)測(cè)試電極上造成相鄰測(cè)試電極短路，本實(shí)用新型中，多個(gè)探針爪之間的最大間隔設(shè)置為小于相鄰測(cè)試電極之間的最小間隔。這樣扎針時(shí)，不會(huì)出現(xiàn)同一個(gè)探針的兩個(gè)探針爪分別與不同的測(cè)試電極接觸的情況。多個(gè)探針爪呈傘狀分布，當(dāng)然不限于此分布方式，只要保證不會(huì)出現(xiàn)同一個(gè)探針的兩個(gè)探針爪分別與不同的測(cè)試電極接觸的情況即可。
[0024]請(qǐng)參考圖2，本實(shí)用新型中，第一探針爪222、第二探針爪224和第三探針爪226的直徑均為10 μ m。第一探針爪222與第二探針爪224的間距D為80 μ m，大于第一探針爪222與第三探針爪226的間距和第二探針爪224與第三探針爪226的間距。即探針200中，多個(gè)探針爪之間的最大間距為80 μ m。
[0025]如圖3所示，測(cè)試模塊300包括六個(gè)測(cè)試電極310，測(cè)試電極310為矩形，長(zhǎng)邊長(zhǎng)為300 μ m，寬邊長(zhǎng)為100 μ m，均勻排列。相鄰兩個(gè)測(cè)試電極310的寬邊間距dl為300 μ m，長(zhǎng)邊間距d2為100 μ m。
[0026]進(jìn)行TEG測(cè)試時(shí)，需要保證每個(gè)測(cè)試電極310上均有探針爪扎到，將探針200扎到測(cè)試模塊300上，探針200包括三個(gè)探針爪，扎探針200的過(guò)程中增大了扎中的幾率，即提高了扎針的成功率。同時(shí)由于第一探針爪222與第二探針爪224的間距D為80 μ m，小于相鄰兩個(gè)測(cè)試電極310的寬邊間距dl (300 μ m)和長(zhǎng)邊間距d2 (100 μ m)，避免了單根探針200扎到相鄰兩個(gè)測(cè)試電極310上造成短路的問(wèn)題，扎探針200時(shí)測(cè)試電極310之間不會(huì)相互干擾，從而有利于節(jié)省測(cè)試工時(shí)，提高測(cè)試設(shè)備效率。
[0027]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專(zhuān)利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專(zhuān)利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種探針，包括主體和探針前端，其特征在于，所述主體與所述探針前端相連，所述探針前端設(shè)置至少兩個(gè)探針爪，所述探針爪的直徑范圍為5 μ m~30 μ m，所述探針爪之間的最大間距小于300 μ m。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于，所述至少兩個(gè)探針爪呈傘狀分布。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于，所述探針爪的直徑為10μ m，所述探針爪之間的最大間隔為80 μ m。
4.一種電學(xué)特性測(cè)試系統(tǒng),其特征在于，包括測(cè)試模塊和如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的探針，所述測(cè)試模塊包括至少兩個(gè)測(cè)試電極，所述探針爪之間的最大間距小于相鄰兩個(gè)所述測(cè)試電極的最小間距。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電學(xué)特性測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，相鄰兩個(gè)所述測(cè)試電極的間距為100μL?~300 μ m。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電學(xué)特性測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)試電極的形狀為矩形，所述測(cè)試電極的長(zhǎng)邊長(zhǎng)為300μm，所述測(cè)試電極的寬邊長(zhǎng)為100μm。
【文檔編號(hào)】G01R31/00GK203858274SQ201420283500
【公開(kāi)日】2014年10月1日 申請(qǐng)日期:2014年5月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月29日
【發(fā)明者】向長(zhǎng)江 申請(qǐng)人:昆山國(guó)顯光電有限公司