一種藍寶石表面檢測儀主體結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu),包括由下臺面(5)和立柱(10)構(gòu)成的支架;所述立柱(10)上設(shè)置有光學頭(12);所述光學頭(12)的下方設(shè)置有測量盤(1);所述下臺面(5)設(shè)置有滑軌(4),所述滑軌(4)上設(shè)置有滑塊(3),所述滑塊(3)上設(shè)置有軸承座(2),所述軸承座(2)上設(shè)置有軸承(9);所述軸承(9)與測量盤(1)的中心固定連接。
【專利說明】一種藍寶石表面檢測儀主體結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種光電子信息【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其涉及一種藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]第三代半導體材料氮化鎵(GaN)基發(fā)光半導體(LED)由于具有響應速度快、壽命長、耐沖擊、抗震、高效節(jié)能等優(yōu)異特性,在銀行、體育場、機場、車站以及室內(nèi)外廣告牌等領(lǐng)域的顯示設(shè)備中,具有廣闊的市場應用前景:尤其是在這些領(lǐng)域最常用到的大屏幕動態(tài)顯示器中,它是最關(guān)鍵的器件之一。此外,GaN基藍、綠光LED還可以用于家電和信息數(shù)碼設(shè)備,如計算機和手機等的狀態(tài)顯示和背景照明等消費電子領(lǐng)域。其制作的白色固態(tài)光源體積小、重量輕、壽命長,掀起了照明領(lǐng)域新一輪的革命。然而為了使氮化鎵在藍寶石襯底上均勻生長,對藍寶石襯底的機械參數(shù),包括厚度、彎曲度、翹曲度、表面平整度等等參數(shù)的要求都非常高。但是在生產(chǎn)過程中,而達成這一要求則離不開高精度、高效率的表面檢測儀器。
[0003]傳統(tǒng)的藍寶石表面檢測儀器的主體結(jié)構(gòu)由兩大部分構(gòu)成。第一部分為帶動整個測量盤的前后運動機構(gòu),第二部分為測量盤的自轉(zhuǎn)機構(gòu)。而帶動整個測量盤前后運動的機構(gòu)所采用的方法是手輪轉(zhuǎn)動帶動手輪上的斜齒輪轉(zhuǎn)動,斜齒輪的轉(zhuǎn)動帶動與之相嚙合的斜齒條的前后運動,斜齒條的前后運動帶動固定斜齒條的燕尾基座的前后運動,基座上設(shè)有測量盤。從而實現(xiàn)測量盤的前后方向的運動。但是這種結(jié)構(gòu)存在前后運動行程有限,尤其是轉(zhuǎn)動的小手輪的效率很低,對大尺寸的藍寶石尤其是還固定在陶瓷盤上的藍寶石的檢測帶來困難,同時這種機構(gòu)對機械加工的精度要求也較高。
實用新型內(nèi)容
[0004]為了克服現(xiàn)有結(jié)構(gòu)存在前后運動行程有限,尤其是轉(zhuǎn)動的小手輪的效率很低,對大尺寸的藍寶石尤其是還固定在陶瓷盤上的藍寶石的檢測帶來困難,以及這種機構(gòu)對機械加工的精度要求也較高;本實用新型提供一種新式結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)不僅行程大、效率高,而且加工簡單,操作方便。
[0005]本實用新型提出一種藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu),包括由下臺面和立柱構(gòu)成的支架;所述立柱上設(shè)置有光學頭;所述光學頭的下方設(shè)置有測量盤;所述下臺面設(shè)置有滑軌,所述滑軌上設(shè)置有滑塊,所述滑塊上設(shè)置有軸承座,所述軸承座上設(shè)置有軸承;所述軸承與測量盤的中心固定連接。
[0006]作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu)的改進:所述滑軌的數(shù)量為至少兩個;所述任意滑軌均設(shè)置有相對應的滑塊;所述軸承座固定在滑塊上。
[0007]作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu)的進一步改進:所述軸承座和軸承之間設(shè)置有卡簧。
[0008]作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu)的進一步改進:所述下臺面的上表面平整度在0.03mm以內(nèi)。
[0009]作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu)的進一步改進:所述滑軌通過滑軌鎖緊螺絲與下臺面的上表面相互固定;所述軸承座通過滑塊鎖緊螺絲與滑塊相互固定。
[0010]作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu)的進一步改進:所述測量盤的上表面平整度控制在0.02mm內(nèi)。
[0011]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:在測量盤的中心設(shè)立軸承使其可以繞中心轉(zhuǎn)動,軸承的外圈固定在軸承座中,軸承座的兩端設(shè)有直線滑軌的滑塊,兩個滑塊通過對應的滑軌固定于下臺面上。當人將陶瓷盤(粘有藍寶石)放置在測量盤上時,即可轉(zhuǎn)動和推動測量盤實現(xiàn)其轉(zhuǎn)動和前后方向的運動,從而可以通過光學系統(tǒng)檢測藍寶石的表面加工質(zhì)量。實際操作的過程中省去了前后方向的轉(zhuǎn)動手輪,簡化了操作過程,提高了生產(chǎn)效率。
[0012]本實用新型的有益效果是,解決了大尺寸的藍寶石尤其是還固定在陶瓷盤上的藍寶石的檢測問題,簡化了操作過程,提高了生產(chǎn)率,降低了生產(chǎn)的成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]下面結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】作進一步詳細說明。
[0014]圖1是本實用新型的正面結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]圖2是本實用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0016]實施例1、圖1和圖2給出了一種藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu),包括由下臺面5和立柱10構(gòu)成的支架;立柱10上設(shè)置有對藍寶石襯底晶片的表面進行檢測的光學頭12。
[0017]在光學頭12的下方設(shè)置有測量盤I ;下臺面5的上表面平整度控制在0.03mm以內(nèi),并在該上表面通過若干滑軌鎖緊螺絲6固定有滑軌4 ;為了確?;械姆€(wěn)定,滑軌4的數(shù)量設(shè)置為至少兩根;在滑軌4上設(shè)置有相應的滑塊3,在滑塊3上的上方通過滑塊鎖緊螺絲7固定有軸承座2 (為了保持穩(wěn)定,多個滑軌4配套多個滑塊3,而軸承座2通過滑塊鎖緊螺絲7分別與多個滑塊3進行固定,通過這種方式固定,可以確?;瑝K3上方的裝置不會在通過滑軌4進行滑行的時候,產(chǎn)生徑向的位移);軸承座2上設(shè)置有軸承9 ;軸承座2和軸承9之間設(shè)置有卡簧8,通過卡簧8確保軸承9在軸承座2內(nèi)轉(zhuǎn)動的時候不會產(chǎn)生徑向的位移;軸承9與測量盤I下表面的中心相互固定連接。測量盤I的上表面平整度控制在0.02mm。
[0018]實際使用的時候,本實用新型設(shè)置如下:
[0019]1、先檢查下臺面5的上表面平整度,將平整度最好控制在0.03mm以內(nèi);
[0020]2、然后檢查兩排滑軌固定螺絲孔的平行度,誤差最好控制在0.03mm內(nèi),檢查合格后鎖緊螺絲6將滑軌4 (配套滑塊3)固定在下臺面5上;
[0021]3、檢查測量盤I的上表面平整度最好控制在0.02mm以內(nèi),檢查合格,在測量盤I的下表面中心點固定軸承9,并卡好卡簧8 ;
[0022]4、將軸承9壓入軸承座2,檢查轉(zhuǎn)動是否平穩(wěn),根據(jù)檢查的結(jié)果,如果平穩(wěn),則繼續(xù)下一步,如果不平穩(wěn),則重新安裝;
[0023]5、將軸承座2通過鎖緊螺絲7鎖緊在滑塊3上;
[0024]6、在下臺面5上固定立柱10,根據(jù)測量盤I的位置固定橫梁11,并在測量盤I的正上方的橫梁11上固定光學頭12,將光學頭12接電纜13等,完成其他的設(shè)備連接;
[0025]7、試著前后運動和轉(zhuǎn)動整個結(jié)構(gòu),待全部運轉(zhuǎn)正常后轉(zhuǎn)入正式生產(chǎn)。
[0026]最后,還需要注意的是,以上列舉的僅是本實用新型的一個具體實施例。顯然,本實用新型不限于以上實施例,還可以有許多變形。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能從本實用新型公開的內(nèi)容直接導出或聯(lián)想到的所有變形,均應認為是本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu),包括由下臺面(5)和立柱(10)構(gòu)成的支架;所述立柱(10)上設(shè)置有光學頭(12);其特征是:所述光學頭(12)的下方設(shè)置有測量盤⑴; 所述下臺面(5)設(shè)置有滑軌(4),所述滑軌(4)上設(shè)置有滑塊(3),所述滑塊(3)上設(shè)置有軸承座(2),所述軸承座(2)上設(shè)置有軸承(9); 所述軸承(9)與測量盤(I)的中心固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu),其特征是:所述滑軌(4)的數(shù)量為至少兩個; 所述任意滑軌(4)均設(shè)置有相對應的滑塊(3); 所述軸承座(2)固定在滑塊(3)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu),其特征是:所述軸承座⑵和軸承(9)之間設(shè)置有卡簧(8)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu),其特征是:所述下臺面(5)的上表面平整度在0.03mm以內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu),其特征是:所述滑軌(4)通過滑軌鎖緊螺絲¢)與下臺面(5)的上表面相互固定; 所述軸承座(2)通過滑塊鎖緊螺絲(7)與滑塊(3)相互固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的藍寶石襯底晶片的表面檢測儀主體結(jié)構(gòu),其特征是:所述測量盤(I)的上表面平整度控制在0.02mm內(nèi)。
【文檔編號】G01B11/30GK204142202SQ201420451657
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年8月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月12日
【發(fā)明者】胡榮杰, 唐旭, 劉浦鋒, 宋洪偉, 陳猛 申請人:上海超硅半導體有限公司