本發(fā)明涉及一種探針，具體講，涉及一種柔性探針。

背景技術(shù)：

電器件封裝前均要求進(jìn)行芯片級檢測，其檢測方法是利用探針在超凈環(huán)境中對芯片進(jìn)行性能檢測，檢測內(nèi)容包括正反向準(zhǔn)靜態(tài)特性檢測和動態(tài)特性檢測等。

現(xiàn)有的檢測探針為一維點(diǎn)狀結(jié)構(gòu)，該探針在接觸芯片表面金屬層時為非柔性接觸，檢測過程中極易造成芯片表面金屬層損傷，使金屬電極損毀，導(dǎo)致芯片在檢測過程中被損壞，帶來嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。此外，現(xiàn)有技術(shù)采用的點(diǎn)接觸結(jié)構(gòu)探針，接觸點(diǎn)較小，檢測過程中易導(dǎo)致正向電流分布不均勻或反向電場聚集等問題，影響檢測結(jié)果甚至損壞芯片，造成電器件的損毀。

因此，需要提供一種針對上述現(xiàn)有技術(shù)不足的改進(jìn)技術(shù)方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是克服上述現(xiàn)有探針檢測技術(shù)中易損毀芯片造成電器件的損毀，同時導(dǎo)致正向電流分布不均勻及反向電場聚集等方面的問題，提出一種二維或三維結(jié)構(gòu)柔性探針，該探針使用過程中能避免損壞芯片和電器件，且安全性能極高

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種柔性探針，所述探針包括支撐臂、柔性接觸探針及連接支撐臂與柔性接觸探針的柔性連接點(diǎn)，所述柔性連接包括固定或可拆卸，所述柔性接觸探針為二維或三維結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述柔性接觸探針為煙斗狀或湯匙狀，所述煙斗狀或湯匙狀的柔性探針空間體積為1μm³～0.1m³。

進(jìn)一步的，所述支撐臂為金屬材料，所述金屬材料為銅、鋁、銀、金。

進(jìn)一步的，所述支撐臂為長方體結(jié)構(gòu)，其中，長、寬、高的值為1μm～100cm。

進(jìn)一步的，所述支撐臂為圓柱體結(jié)構(gòu)，其中，所述圓柱體的長度和半徑的取值為1μm～100cm。

進(jìn)一步的，所述柔性連接包括螺紋、卡槽或彈簧。

進(jìn)一步的，所述柔性接觸探針是由圓柱體或長方體加工制備；所述柔性接觸探針為金屬材料，所述金屬材料為銅、鋁、銀、金。

與最接近的現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的技術(shù)方案具有如下優(yōu)異效果：

1、本發(fā)明提供的探針帶有可固定、可拆卸的柔性接觸點(diǎn)，便于更換受損的探針。

2、本發(fā)明提供的探針采用二維或三維結(jié)構(gòu)的煙斗狀或湯匙狀結(jié)構(gòu)，替換現(xiàn)有技術(shù)中的一維點(diǎn)接觸結(jié)構(gòu)的探針，能避免在芯片檢測過程中損傷芯片表面金屬層及損毀電器件。

3、本發(fā)明提供的探針與芯片電極接觸面大，能在大電流器件檢測過程中使電流分布更均勻，避免一維點(diǎn)狀探針尖端帶電打火燒毀器件，顯著提高了電器件芯片級檢測過程的安全性。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1現(xiàn)有技術(shù)所用一維點(diǎn)狀探針結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2本發(fā)明煙斗狀柔性探針三維結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3本發(fā)明湯匙狀柔性探針二維結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：11、支撐臂；12、柔性連接點(diǎn)；13、柔性接觸探針。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施 例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

如圖2和圖3所示，本發(fā)明提供的一種柔性探針，探針包括支撐臂11、柔性接觸探針13及連接支撐臂11與柔性接觸探針13的柔性連接點(diǎn)12，柔性連接可固定連接或可拆卸，柔性接觸探針13為二維或三維結(jié)構(gòu)；柔性接觸探針13為煙斗狀或湯匙狀，煙斗狀或湯匙狀的柔性探針空間體積為1μm³～0.1m³。

支撐臂11為金屬材料，所述金屬材料為銅、鋁、銀、金。所述支撐臂11為長方體結(jié)構(gòu)或圓柱體結(jié)構(gòu)，其中，為長方體結(jié)構(gòu)時，長、寬、高的值為1μm～100cm；為圓柱體結(jié)構(gòu)時，圓柱體的長度和半徑的取值為1μm～100cm。柔性連接點(diǎn)12的固定連接方式為螺紋、卡槽或彈簧。柔性接觸探針13是由圓柱體或長方體加工制備，柔性接觸探針13為金屬材料，所述金屬材料為銅、鋁、銀、金。

此外，在一個具體實(shí)施例中，一種柔性探針，包括支撐臂11、柔性連接點(diǎn)12、柔性接觸探針13，柔性連接可固定連接、可拆卸，柔性接觸探針13為煙斗狀，為三維結(jié)構(gòu)。所述支撐臂11為金屬材料鋁制成；支撐臂11為長方體結(jié)構(gòu)，長、寬、高的值為4cm、100mm和300um。柔性連接點(diǎn)12的固定方式為螺紋固定。煙斗狀柔性接觸探針13的材料為金屬材料銅，是由長度為2cm，半徑為60μm的圓柱體加工而成，因此其空間體積為5.35×10^-5cm³。

優(yōu)選的，一種柔性探針，包括支撐臂11、柔性連接點(diǎn)12、柔性接觸探針13，柔性連接可固定連接、可拆卸，柔性接觸探針13為煙斗狀，為三維結(jié)構(gòu)。所述支撐臂11為金屬材料銀制成；支撐臂11為圓柱體結(jié)構(gòu)，圓柱體的長度為15cm，半徑為500μm。柔性連接點(diǎn)12的固定方式為卡槽固定。煙斗狀柔性接觸探針13的材料為金屬材料鋁，是由長、寬、高的值為3cm、200mm和260um的長方體加工而成，因此其空間體積為8.15×10^-5cm³。

優(yōu)選的，在一個具體實(shí)施例中，一種柔性探針，包括支撐臂11、柔性連接點(diǎn)12、柔性接觸探針13，柔性連接可固定連接、可拆卸，柔性接觸探針13為湯匙狀，為二維結(jié)構(gòu)。所述支撐臂11為金屬材料銅制成；支撐臂11為圓柱體結(jié)構(gòu)，圓柱體的長度為6cm，半徑為200μm。柔性連接點(diǎn)12的固定方式為卡槽固定。湯匙狀柔性接觸探針13的材料為金屬材料銅，是由長度為1cm，半徑為50μm的圓柱體加工而成，因此其空間體積為7.85×10^-5cm³。

優(yōu)選的，在一個具體實(shí)施例中，一種柔性探針，包括支撐臂11、柔性連接點(diǎn)12、柔性接觸探針13，柔性連接可固定連接、可拆卸，柔性接觸探針13為湯匙狀，為二維結(jié)構(gòu)。所述支撐臂11為金屬材料銅制成；支撐臂11為長方體結(jié)構(gòu)，長、寬、高的值為6cm、69mm和260um。柔性連接點(diǎn)12的固定方式為彈簧固定。所述煙斗狀柔性接觸探針13的材料為金屬材料鋁，是由長度為1cm，半徑為80μm的圓柱體加工而成，因此其空間體積約為4.65×10^-5cm³。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均在本發(fā)明待批權(quán)利要求保護(hù)范圍之內(nèi)。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供的一種柔性探針，探針包括支撐臂、柔性接觸探針及柔性連接點(diǎn)，柔性可固定連接或可拆卸，柔性接觸探針為二維或三維結(jié)構(gòu)；柔性接觸探針為煙斗狀或湯匙狀且其空間體積為1μm3～0.1m3。本發(fā)明提供的探針帶有可固定、可拆卸的柔性接觸點(diǎn)，便于更換受損的探針；采用二維或三維結(jié)構(gòu)的煙斗狀或湯匙狀結(jié)構(gòu)，替換現(xiàn)有技術(shù)中的一維點(diǎn)接觸結(jié)構(gòu)的探針，能避免在芯片測試過程中損傷芯片表面金屬層及損毀電器件；該探針與芯片電極接觸面大，能在大電流器件測試過程中使電流分布更均勻，避免一維點(diǎn)狀探針尖端帶電打火燒毀器件，顯著提高了電器件芯片級測試過程的安全性。

技術(shù)研發(fā)人員：楊霏;鄭柳;王方方;李玲;夏經(jīng)華;田亮;王嘉銘;桑玲;李嘉琳;鈕應(yīng)喜
受保護(hù)的技術(shù)使用者：國網(wǎng)智能電網(wǎng)研究院;國家電網(wǎng)公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.22
技術(shù)公布日：2017.08.01