技術(shù)總結(jié)
提供X射線透射檢查裝置和X射線透射檢查方法，其即使在試樣的高度方向上存在位置變化也能夠防止異物的過(guò)檢測(cè)和誤檢測(cè)。X射線透射檢查裝置具有：X射線源(2)，其對(duì)試樣S照射X射線X；試樣移動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)，其在來(lái)自X射線源的X射線的照射中使試樣向特定方向連續(xù)移動(dòng)；TDI傳感器(4)，其相對(duì)于試樣設(shè)置在與X射線源相反的一側(cè)，檢測(cè)透射過(guò)試樣的X射線；距離傳感器(5)，其測(cè)定X射線源與試樣的距離；以及TDI控制部(6)，其根據(jù)由距離傳感器測(cè)定的所述距離的變動(dòng)使TDI傳感器(4)的電荷輸送速度實(shí)時(shí)變化，對(duì)TDI傳感器進(jìn)行控制。

技術(shù)研發(fā)人員：的場(chǎng)吉毅;竹田明弘;坪井臣悟;酒井俊廣
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日本株式會(huì)社日立高新技術(shù)科學(xué)
文檔號(hào)碼：201610597191
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.26
技術(shù)公布日：2017.02.15