技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置，能夠在冷卻部件上對(duì)電子部件進(jìn)行均勻冷卻。電子部件檢查裝置(1)具有作為冷卻電子部件的冷卻部件的溫度調(diào)整部(12)。溫度調(diào)整部(12)具有供制冷劑(RF)流入的第一流路(37)、與第一流路(37)連通并供制冷劑(RF)流出的第二流路(38)。而且，在俯視溫度調(diào)整部(12)的情況下，第一流路(37)以包圍第二流路(38)的一部分的方式配置。

技術(shù)研發(fā)人員：桐原大輔;前田政己;下島聰興;中村敏
受保護(hù)的技術(shù)使用者：精工愛普生株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201610726317
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.25
技術(shù)公布日：2017.03.08