本發(fā)明屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及真空熱處理設(shè)備的一種溫場測定裝置和測量方法，該裝置在高真空環(huán)境下對設(shè)備進(jìn)行溫場的測定，幫助進(jìn)行設(shè)備溫場校準(zhǔn)，調(diào)平等。

背景技術(shù)：

現(xiàn)階段，真空設(shè)備已經(jīng)普遍存在各種生產(chǎn)領(lǐng)域，小到燈泡，手表，大到汽車，飛機(jī)等的部分零部件的生產(chǎn)制作，均離不開真空設(shè)備。真空熱處理設(shè)備作為真空設(shè)備的一種，它能幫助使用者獲得相同成分，不同性能的材料或產(chǎn)品。

熟練的掌握設(shè)備的溫度及溫場均勻性，是真空熱處理設(shè)備使用過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。這種多點(diǎn)式真空溫場測量裝置能幫助操作者準(zhǔn)確的掌握所使用真空熱處理設(shè)備的溫度及溫場分布。目前，真空熱處理設(shè)備的使用者多采用將熱電偶與法蘭焊接或是用膠填充方式滿足真空使用需求，這種方法存在很多缺點(diǎn)：

1、在較小尺寸法蘭上，焊接方式很難實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)式測溫裝置的制作；

2、焊接或膠填充方式的弊端在于，當(dāng)一根或多根熱電偶故障時，為測量所需點(diǎn)數(shù)溫度，必須更換全套法蘭及熱電偶，造成不必要損失等。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本申請?zhí)岢鲆环N多點(diǎn)式真空溫場測量裝置和測量方法。

本申請具體采用以下技術(shù)方案：

一種多點(diǎn)式真空溫場測量裝置，所述多點(diǎn)式真空溫場測量裝置包括多個測溫?zé)犭娕?、法蘭盤、法蘭壓框；其特征在于：

所述測溫?zé)犭娕及娫淳€、熱電偶法蘭、鎖緊螺母及偶絲，熱電偶法蘭與鎖緊螺紋設(shè)置在中空圓柱體上，在熱電偶法蘭下端面設(shè)置有熱電偶密封圈槽，熱電偶O型圈嵌入熱電偶密封圈槽，與熱電偶法蘭下端面連接處設(shè)置鎖緊螺紋，偶絲從中心通孔穿出，電源線設(shè)置在熱電偶法蘭上部，熱電偶偶絲設(shè)置在鎖緊螺紋下部，并與鎖緊螺紋下端面焊接為整體；

所述法蘭盤匹配待測溫真空設(shè)備的真空腔室的法蘭孔，法蘭盤上開設(shè)與測溫?zé)犭娕紨?shù)量對應(yīng)的法蘭盤螺紋孔，將測溫?zé)犭娕家来瓮ㄟ^熱電偶的鎖緊螺母外表面的螺紋旋入法蘭盤螺紋孔，并將偶絲端部固定在真空腔室中所需要的測溫點(diǎn)上；

安裝熱電偶后的法蘭盤用法蘭壓框通過壓緊螺釘安裝在腔室法蘭口，法蘭盤與腔室壁間安裝法蘭O型圈；

熱電偶電源線連接至無紙記錄儀上。

本申請還公開了一種基于前述多點(diǎn)式真空溫場測量裝置的真空溫場測量方法，其特征在于，所述測量方法包括以下步驟：

步驟1、將測溫?zé)犭娕糘型圈用蘸酒精無塵布擦拭干凈；

步驟2、將測溫?zé)犭娕糘型圈槽用蘸酒精無塵布擦拭干凈；

步驟3、將熱電偶O型圈嵌入測溫?zé)犭娕嫉腛型圈槽中；

步驟4、將法蘭盤用蘸酒精無塵布擦拭；

步驟5、將已裝配測溫?zé)犭娕糘型圈的測溫?zé)犭娕寂渲迷诜ㄌm上；

步驟6、重復(fù)步驟1～5，裝配好其余所需的測溫?zé)犭娕迹?/p>

步驟7、將裝配好測溫?zé)犭娕嫉姆ㄌm裝配至需測溫真空腔室預(yù)留的法蘭孔；

步驟8、在真空腔室中所需測溫區(qū)域放置樣品；

步驟9、根據(jù)不同偶絲長度，將偶絲端部放置在樣品的所需測溫點(diǎn)上；步驟10、將所有熱電偶電源線連接至無紙記錄儀上，并記錄對應(yīng)的偶絲端部位置及無紙記錄儀所對應(yīng)的編號；

步驟11、將已安裝好的一個熱電偶偶絲端部進(jìn)行烘烤，觀察各個測溫?zé)犭娕紝?yīng)的無紙記錄儀所示溫度值變化，判斷熱電偶及無紙記錄儀無異常；；

步驟12、將真空腔室抽真空，升溫至待測溫真空設(shè)備所需測量溫度范圍，根據(jù)無紙記錄儀所顯示的溫度，對不滿足所需測量溫度范圍的相應(yīng)偶絲端部所在區(qū)域的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)，最終使得各測溫點(diǎn)溫度在待測溫真空設(shè)備所需溫度范圍內(nèi)。

本發(fā)明進(jìn)一步包括以下優(yōu)選方案：

所述步驟1、2、4中，酒精為無水乙醇，無塵布使用時無粉塵。

在步驟6中，所有熱電偶的偶絲在法蘭盤同一側(cè)，熱電偶偶絲長度根據(jù)使用需求選擇。

在步驟8中，根據(jù)不同偶絲長度，將偶絲端部固定在真空腔室中需要測溫區(qū)域放置樣品的表面，偶絲端部是熱電偶溫度感應(yīng)部分，保證與所測樣品接觸良好。

本申請具有以下有益的技術(shù)效果：

1、本申請采用熱電偶與法蘭分體式，能適應(yīng)不同法蘭尺寸條件下的溫場測定；

2、本申請中法蘭與熱電偶分體式，可針對需求安裝不同數(shù)量熱電偶進(jìn)行測溫工作；

3、本申請采用法蘭與熱電偶分體式，有利于在單個熱電偶損壞時只需更換單根熱電偶，減少損失；

4、本申請采用法蘭與熱電偶分體式，法蘭與熱電偶間采用O型圈密封，能更好的滿足真空設(shè)備測溫需求；

5、本申請所使用熱電偶的偶絲長度不一樣長，能更好的滿足不同真空腔室空間的使用需求。

附圖說明

圖1為本申請熱電偶結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本申請真空溫場測量裝置一實(shí)施例中法蘭盤布局示意圖；

圖3為本申請一種真空溫場測量裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，1：腔室壁，2：法蘭壓框，3：壓緊螺釘，4：熱電偶O型圈，5：熱線偶，6：法蘭盤，7：法蘭O型圈，8：電源線，9：熱電偶法蘭，10：鎖緊螺紋，11：熱電偶偶絲，12：偶絲端部，13：熱電偶密封圈槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合說明書附圖對本申請的技術(shù)方案做進(jìn)一步詳細(xì)介紹。

如附圖3為本申請一種真空溫場測量裝置結(jié)構(gòu)示意圖，所述多點(diǎn)式真空溫場測量裝置包括多個測溫?zé)犭娕?、熱電偶O型圈4、法蘭盤6、法蘭壓框2、壓緊螺釘3。所述法蘭盤6匹配待測溫真空設(shè)備的真空腔室的法蘭孔，法蘭盤6上開設(shè)與測溫?zé)犭娕紨?shù)量對應(yīng)的法蘭盤螺紋孔，將測溫?zé)犭娕?依次通過熱電偶的鎖緊螺母10外表面的螺紋旋入法蘭盤螺紋孔，并將偶絲端部12固定在真空腔室中所需要的測溫點(diǎn)上。安裝熱電偶后的法蘭盤6用法蘭壓框2通過壓緊螺釘安裝在腔室法蘭口周圍的腔室壁1上，法蘭盤6與腔室壁間安裝法蘭O型圈7。

偶絲部分的偶絲端部12是溫度感應(yīng)端；

熱電偶電源線連接至無紙記錄儀上。

所述多個測溫?zé)犭娕荚O(shè)置成如附圖1所示，所述測溫?zé)犭娕及娫淳€8、熱電偶法蘭9、鎖緊螺紋10及偶絲11，熱電偶法蘭9與鎖緊螺紋設(shè)置在中空圓柱體上，在熱電偶法蘭9下端面設(shè)置有熱電偶密封圈槽13，與熱電偶法蘭9下端面連接處設(shè)置鎖緊螺紋10，,偶絲11從中心通孔穿出，電源線8設(shè)置在熱電偶法蘭9上部，熱電偶偶絲設(shè)置在鎖緊螺紋10下部，并與鎖緊螺紋10下端面焊接為整體

如附圖2為該多點(diǎn)真空溫場測量裝置中10點(diǎn)測溫法蘭圖，法蘭盤設(shè)置成在法蘭中間區(qū)域設(shè)置10個M5螺紋孔，螺紋孔間中心距及外圈螺紋孔中心與法蘭邊緣距離均大于所用熱電偶法蘭最大直徑。

本申請還公開了一種多點(diǎn)式真空溫場測量方法，該方法包括：

(1)將測溫?zé)犭娕糘型圈用蘸酒精無塵布擦拭干凈；

(2)將測溫?zé)犭娕糘型圈槽用蘸酒精無塵布擦拭干凈；

(3)將熱電偶O型圈嵌入測溫?zé)犭娕嫉腛型圈槽中；

(4)將法蘭盤用蘸酒精無塵布擦拭；

(5)將已裝配測溫?zé)犭娕糘型圈的測溫?zé)犭娕寂渲迷诜ㄌm上；

(6)重復(fù)步驟1～5，裝配好其余所需的測溫?zé)犭娕迹?/p>

(7)將裝配好測溫?zé)犭娕嫉姆ㄌm裝配至需測溫真空腔室預(yù)留的法蘭孔；

(8)在真空腔室中所需測溫區(qū)域放置樣品；

(9)根據(jù)不同偶絲長度，將偶絲端部放置在樣品的所需測溫點(diǎn)上；

(10)將所有熱電偶電源線連接至無紙記錄儀上，并記錄對應(yīng)的偶絲端部位置及無紙記錄儀所對應(yīng)的編號；

(11)將已安裝好的一個熱電偶偶絲端部進(jìn)行烘烤，觀察各個測溫?zé)犭娕紝?yīng)的無紙記錄儀所示溫度值變化，判斷熱電偶及無紙記錄儀無異常；

(12)將真空腔室抽真空，升溫至待測溫真空設(shè)備所需測量溫度范圍，根據(jù)無紙記錄儀所顯示的溫度，對不滿足所需測量溫度范圍的相應(yīng)偶絲端部所在區(qū)域的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)，最終使得各測溫點(diǎn)溫度在待測溫真空設(shè)備所需溫度范圍內(nèi)。

申請人結(jié)合說明書附圖對本發(fā)明的實(shí)施例做了詳細(xì)的說明與描述，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，以上實(shí)施例僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案，詳盡的說明只是為了幫助讀者更好地理解本發(fā)明精神，而并非對本發(fā)明保護(hù)范圍的限制，相反，任何基于本發(fā)明的發(fā)明精神所作的任何改進(jìn)或修飾都應(yīng)當(dāng)落在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。