技術(shù)總結(jié)
一種多點式真空溫場測量裝置及測量方法，包括多個測溫熱電偶、法蘭盤、法蘭壓框；所述法蘭盤匹配待測溫真空設(shè)備的真空腔室的法蘭孔，法蘭盤上開設(shè)與測溫熱電偶數(shù)量對應(yīng)的法蘭盤螺紋孔，將測溫熱電偶依次旋入法蘭盤螺紋孔中，并將偶絲端部固定在真空腔室中所需要的測溫點上；安裝熱電偶后的法蘭盤用法蘭壓框通過壓緊螺釘安裝在腔室法蘭口，法蘭盤與腔室壁間安裝法蘭O型圈；熱電偶電源線連接至無紙記錄儀上。本發(fā)明能適應(yīng)不同法蘭尺寸條件下的溫場測定，可針對需求安裝不同數(shù)量熱電偶進行測溫工作，有利于在單個熱電偶損壞時只需更換單根熱電偶，減少損失，且能更好的適應(yīng)不同大小空間真空腔室的測溫需求。

技術(shù)研發(fā)人員：余新平;張寧;卓勝
受保護的技術(shù)使用者：北京四方創(chuàng)能光電科技有限公司;北京四方繼保自動化股份有限公司
文檔號碼：201610749816
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.29
技術(shù)公布日：2017.01.25