本發(fā)明涉及通過對工件成像而測量工件的圖像測量裝置。

背景技術(shù)：

相關(guān)技術(shù)的描述

作為用于執(zhí)行工件(即，要測量的對象)的尺寸測量或形狀測量的測量裝置，例如，已知圖像測量裝置。圖像測量裝置包括：成像設(shè)備，對工件成像以獲取圖像；以及處理設(shè)備，對該圖像執(zhí)行圖像處理并執(zhí)行工件的尺寸測量或形狀測量(JP 2001-241941A)。

例如，有時，當(dāng)采用圖像測量裝置來執(zhí)行工件的尺寸測量或形狀測量時，不能從圖像內(nèi)適當(dāng)?shù)靥崛”硎緶y量目標(biāo)的部分，并且不能準(zhǔn)確地獲取測量值。

有鑒于這一點作出了本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的在于提供一種圖像測量裝置，其能夠從圖像內(nèi)適當(dāng)提取表示測量目標(biāo)的部分，并執(zhí)行尺寸測量或形狀測量。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明第一實施例的圖像測量裝置的概覽圖。

圖2示出在同一圖像測量裝置中顯示工件的圖像的顯示屏幕。

圖3是示出同一圖像測量裝置的配置的框圖。

圖4是示出通過同一圖像測量裝置測量的方法的流程圖。

圖5示出在同一方法中圖像處理之后的顯示屏幕。

圖6示出在同一方法中的初始設(shè)置之后的顯示屏幕。

圖7示出在同一方法中的測量目標(biāo)的輪廓的提取期間的顯示屏幕。

圖8示出在同一方法中的測量目標(biāo)的輪廓的提取之后的顯示屏幕。

圖9示出在同一方法中的測量目標(biāo)的質(zhì)心的獲取之后的顯示屏幕。

圖10示出當(dāng)由傳統(tǒng)圖像測量裝置執(zhí)行邊緣檢測時的顯示屏幕。

圖11示出當(dāng)執(zhí)行同一邊緣檢測時的顯示屏幕。

圖12示出當(dāng)執(zhí)行同一邊緣檢測時的顯示屏幕。

圖13示出當(dāng)由傳統(tǒng)圖像測量裝置執(zhí)行模式(pattern)識別時的顯示屏幕。

圖14示出當(dāng)執(zhí)行同一模式識別時的顯示屏幕。

圖15示出當(dāng)由傳統(tǒng)圖像測量裝置執(zhí)行標(biāo)記時的顯示屏幕。

圖16示出當(dāng)執(zhí)行同一標(biāo)記時的顯示屏幕。

圖17示出顯示由根據(jù)本發(fā)明第一實施例的圖像測量裝置測量的方法的示例的顯示屏幕。

圖18示出在同一方法中在第二點組中執(zhí)行稀疏(thin)之后的顯示屏幕。

圖19示出在同一方法中在所選擇的第二點組中已經(jīng)執(zhí)行形狀的擬合的情況下的顯示屏幕。

圖20示出顯示由根據(jù)本發(fā)明第二實施例的圖像測量裝置測量的方法中的邊緣檢測工具的顯示屏幕。

圖21示出由根據(jù)本發(fā)明第三實施例的圖像測量裝置測量的方法中的初始設(shè)置之后的顯示屏幕。

圖22示出在同一方法中的測量目標(biāo)33的輪廓的提取之后的顯示屏幕。

圖23示出在同一方法中的圖像處理之后的顯示屏幕。

具體實施方式

為了解決上述問題，根據(jù)本發(fā)明實施例的圖像測量裝置包括：成像設(shè)備，對工件成像以獲取圖像；以及處理設(shè)備，基于該圖像執(zhí)行工件的測量并輸出測量結(jié)果。此外，所述處理設(shè)備在圖像中設(shè)置區(qū)域，并沿該區(qū)域的輪廓線設(shè)置多個第一點，順序移動所述多個第一點，使得所述多個第一點逼近圖像中包括的輪廓線，獲取所移動的多個第一點作為多個第二點，以及基于所述多個第二點計算測量結(jié)果。

在這樣的實施例中，在當(dāng)從圖像內(nèi)提取表示測量目標(biāo)的部分時執(zhí)行的處理中，采用所謂的活動輪廓模型的技術(shù)。即，在所獲取的圖像中設(shè)置區(qū)域，沿該區(qū)域的輪廓線設(shè)置多個第一點，并且順序移動所述多個第一點，使得所述多個第一點逼近圖像中包括的輪廓線。因此，如果測量目標(biāo)可以被所述多個第一點圍繞，則即使測量目標(biāo)的例如尺寸、角度、色調(diào)、位置等與假設(shè)的尺寸、角度、色調(diào)、位置等不同時，也可以從圖像內(nèi)適當(dāng)?shù)靥崛”硎緶y量目標(biāo)的部分，并執(zhí)行尺寸測量或形狀測量。

例如，所述處理設(shè)備可以在教導(dǎo)階段獲取與所述區(qū)域和所述多個第一點有關(guān)的條件，并且在自動測量階段，根據(jù)所述條件執(zhí)行測量。此外，所述處理設(shè)備可以基于所述第二點在圖像中設(shè)置邊緣檢測工具，并使用所述邊緣檢測工具執(zhí)行邊緣檢測。此外，所述處理設(shè)備可以基于所述第二點計算第一輪廓線，沿該第一輪廓線設(shè)置多個線段，并沿所述線段執(zhí)行邊緣檢測，所述多個線段的每一個在與該第一輪廓線交叉的方向延伸。

本發(fā)明使得可以提供一種圖像測量裝置，其能夠更好地執(zhí)行尺寸測量或形狀測量。

[第一實施例]

接下來，將參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的第一實施例。

首先，將參照圖1描述根據(jù)本實施例的圖像測量裝置的示意配置。

如圖1所示，根據(jù)本實施例的圖像測量裝置包括：圖像測量儀器1，其包括相互正交的X、Y和Z軸，并且在該Z軸的端點具有被安裝作為對工件3成像的成像設(shè)備的相機(jī)141；以及計算機(jī)(以下，稱為“PC”)2，連接至該圖像測量儀器1。

圖像測量儀器1被配置為如下。即，在樣本移動部件11上安裝工作臺12，使得用作基準(zhǔn)平面的工作臺12的上表面與水平面一致，并且X軸導(dǎo)引部13c由臂支撐體13a和13b的上端支撐，該臂支撐體13a和13b從樣本移動部件11的兩側(cè)的邊緣豎起。由樣本移動部件11在Y軸方向上驅(qū)動工作臺12。成像單元14被在X軸導(dǎo)引部13c中在X軸方向上可驅(qū)動地支撐。相機(jī)141被在Z軸方向上可驅(qū)動地安裝在成像單元14的下端。

注意，本實施例采用對布置在工作臺12上的工件3成像的系統(tǒng)，但是另一系統(tǒng)當(dāng)然也是可能的，例如，從橫向?qū)Σ贾迷诘孛嫔系墓ぜ上竦姆N類的系統(tǒng)是可能的。此外，諸如CCD和CMOS的各種相機(jī)可用作相機(jī)141。

PC 2包括：處理設(shè)備22；以及顯示設(shè)備21和輸入設(shè)備23，其連接至該處理設(shè)備22。處理設(shè)備22在內(nèi)部包括CPU和諸如硬盤等的存儲設(shè)備。顯示設(shè)備21是例如顯示器或投影儀等。輸入設(shè)備23是對其輸入測量者的操作的操作輸入設(shè)備，并且是例如鼠標(biāo)、鍵盤、觸摸板等。

接下來，將參照圖2描述顯示設(shè)備21的屏幕上顯示的畫面。

如圖2所示，由相機(jī)141獲取的工件3的圖像(以下，表示為圖中的圖像i3)顯示在顯示設(shè)備21的屏幕上。在圖2所示的示例中，工件3包括測量目標(biāo)31。此外，由輸入設(shè)備(鼠標(biāo)等)23操作的指針顯示在顯示設(shè)備21的屏幕上。

接下來，將參照圖3更詳細(xì)描述根據(jù)本實施例的處理設(shè)備22的配置。

如圖3所示，在根據(jù)本實施例的圖像測量裝置中，相機(jī)141對工件3成像并獲取工件3的圖像。此外，該圖像經(jīng)由處理設(shè)備22傳送至顯示設(shè)備21。此外，處理設(shè)備22經(jīng)由輸入設(shè)備23的輸入接收測量者的操作，并據(jù)此執(zhí)行對工件3的測量(例如，尺寸測量或形狀測量等)。例如，處理設(shè)備22通過分析圖像從圖像內(nèi)提取表示測量目標(biāo)形狀的部分，對該測量目標(biāo)執(zhí)行尺寸測量或形狀測量等，并計算與位置有關(guān)的值(諸如質(zhì)心)或與形狀有關(guān)的值(諸如輪廓線、寬度等)。

注意，可以通過各種模式執(zhí)行表示測量目標(biāo)的部分的提取，但是在第一實施例中，通過采用所謂的主動輪廓模型的技術(shù)的方法執(zhí)行所述提取。即，設(shè)置包括多個第一點的第一點組，以便圍繞測量目標(biāo)31(參照圖6)，并且移動所述多個第一點以便逼近測量目標(biāo)31的輪廓線，從而獲取多個第二點(第二點組)(參照圖7和圖8)。

如圖3所示，處理設(shè)備22通過CPU、存儲器和硬盤(存儲設(shè)備24)等中存儲的程序?qū)崿F(xiàn)下述功能。即，輸入處理單元221經(jīng)由來自輸入設(shè)備23的輸入接收測量者的操作，并且據(jù)此執(zhí)行在顯示設(shè)備21中顯示的指針(參照圖2)的位置的計算等。初始設(shè)置單元222執(zhí)行工件3的測量中所需的初始設(shè)置。例如，如圖6所示，初始設(shè)置單元222設(shè)置包括所述多個第一點的第一點組。輪廓提取單元223提取測量目標(biāo)31的輪廓線。例如，如圖7所示，輪廓提取單元223順序移動所述多個第一點，使得所述多個第一點逼近測量目標(biāo)31的輪廓線，并且獲取所移動的多個第一點作為多個第二點。測量結(jié)果獲取單元224基于所述輪廓提取單元223中獲取的所述多個第二點(第二點組)獲取測量結(jié)果。

接下來，將參照圖4至圖9描述根據(jù)本實施例的圖像測量裝置的操作。

如圖4和圖5所示，在步驟S101，對由相機(jī)141獲取的圖像執(zhí)行圖像處理。圖像處理可以在多種模式下執(zhí)行，但是，例如，可以通過諸如二值化的方法強(qiáng)調(diào)圖像中的對比度。此外，例如，在圖像處理中，還可以執(zhí)行各種濾波等，并減少圖像中的噪聲。注意，也可以省略圖像處理。

如圖4和圖6所示，在步驟S102中，執(zhí)行在工件3的測量中所需的初始設(shè)置。例如，如圖6所示，基于輸入操作，在由相機(jī)141獲取的圖像中設(shè)置區(qū)域R1。在圖6所示的示例中，設(shè)置區(qū)域R1以便圍繞測量目標(biāo)31。此外，沿該區(qū)域R1的輪廓線設(shè)置包括多個第一點的第一點組。

可以通過各種方法設(shè)置區(qū)域R1。在圖6所示的示例中，設(shè)置區(qū)域R1以便圍繞測量目標(biāo)31。例如，如圖6所示，通過點擊接近測量目標(biāo)31的中心的點p1，可以指定區(qū)域R1的中心位置，然后，通過在指針的運動之后動態(tài)改變區(qū)域R1的外邊緣并且對點p2執(zhí)行諸如點擊的操作，可以指定區(qū)域R1的外邊緣。此外，例如，還可以通過使得指針的所在點在區(qū)域R1的外邊緣來圍繞測量目標(biāo)31，指定區(qū)域R1。此外，還可以通過具有固定尺寸和形狀的工具來指定區(qū)域R1。此外，區(qū)域R1的形狀可以是任何形狀，諸如圓圈、橢圓、正方形、矩形或另一多邊形。

可以通過各種方法設(shè)置第一點組。例如，在已經(jīng)設(shè)置區(qū)域R1之后，可以根據(jù)區(qū)域R1的輪廓線的長度調(diào)節(jié)第一點組的點的數(shù)目。此外，還可以預(yù)先確定第一點組的點的數(shù)目。此外，第一點組可以沿區(qū)域R1的輪廓以相等間隔對準(zhǔn)，或第一點組可以被配置為不是等間隔。

此外，還可以例如在當(dāng)利用教導(dǎo)以執(zhí)行自動測量的情況下，例如，在教導(dǎo)階段，根據(jù)上述條件的種類設(shè)置區(qū)域R1和第一點組，并且在自動測量階段中，通過與該條件類似的條件設(shè)置區(qū)域R1和第一點組。

如圖4、圖7和圖8所示，在步驟S103，順序移動在步驟S102中設(shè)置的多個第一點。移動第一點組以便逼近由相機(jī)141獲取的圖像中的輪廓線(例如，測量目標(biāo)31的輪廓線)。此外，如圖8所示，在步驟S103，獲取所移動的多個第一點作為多個第二點(第二點組)。

可以通過各種方法移動多個第一點。例如，可以設(shè)置考慮區(qū)域R1的輪廓線的長度(對等第一點之間的間隔)和平滑性的評估函數(shù)，或第一點與測量目標(biāo)31之間的距離等，并且可以逐漸移動多個第一點，使得該評估函數(shù)逼近最佳值。例如，這樣的評估函數(shù)可以更接近地逼近最佳值，對等第一點之間的間隔越短，區(qū)域R1的輪廓線越平滑。結(jié)果，如圖7所示，多個第一點逐漸移向區(qū)域R1的內(nèi)部。此外，上述評估函數(shù)可以包括指示圖像中的密度的梯度、以及當(dāng)色彩(密度、色調(diào))的改變(梯度)大時使上述評估函數(shù)逼近最佳值的項。結(jié)果，如圖8所示，可以在當(dāng)?shù)谝稽c已經(jīng)到達(dá)測量目標(biāo)31的輪廓時的定時，停止第一點的移動，并且將第一點移動至測量目標(biāo)31的輪廓線上。

如圖4和圖9所示，在步驟S104，基于在步驟S103獲取的多個第二點獲取測量的結(jié)果。在步驟S104，可以計算測量目標(biāo)的諸如質(zhì)心或輪廓線、寬度等的各種值。

可以通過各種方法計算測量目標(biāo)的質(zhì)心。例如，可以通過計算多個第二點的質(zhì)心計算測量目標(biāo)的質(zhì)心。在此情況下，例如，在步驟S103，可以沿測量目標(biāo)31的輪廓線以相等間隔對準(zhǔn)在對等第二點之間的間隔。此外，例如，還可以通過計算由多個第二點指定的區(qū)域R1的質(zhì)心計算測量目標(biāo)的質(zhì)心。此外，還可以例如在計算測量目標(biāo)的質(zhì)心之前預(yù)先計算測量目標(biāo)的輪廓線，并且基于該輪廓線計算質(zhì)心。此外，還可以執(zhí)行諸如圓圈或多邊形的形狀與第二點的擬合(fit)，并且基于該結(jié)果計算質(zhì)心。

可以通過各種方法計算測量目標(biāo)的輪廓線。例如，可以采用通過多個第二點的直線或曲線，作為測量目標(biāo)的輪廓線。此外，還可以基于這樣獲取的輪廓線計算測量目標(biāo)的寬度等。

此外，在步驟S104，可以在計算諸如質(zhì)心或輪廓線的測量結(jié)果之前對多個第二點中的一些進(jìn)行稀疏。在稀疏期間，例如，可以構(gòu)思排除所述多個第二點中處于距測量目標(biāo)特定距離或更遠(yuǎn)的那些第二點，或采用使用最小二乘法等的異常點移除處理等。

現(xiàn)在，在傳統(tǒng)圖像測量裝置中，有時，對由相機(jī)獲取的圖像執(zhí)行諸如邊緣檢測、模式識別和標(biāo)記的處理，從而從圖像中提取表示測量目標(biāo)的部分，并且執(zhí)行尺寸測量或形狀測量。

例如，有時，如圖10所示，當(dāng)通過邊緣檢測執(zhí)行尺寸測量或形狀測量時，使用具有固定形狀的邊緣檢測專用工具t。圖10例示的邊緣檢測專用工具t包括四個盒子(box)b，并且每個盒子b具有矩形形狀，其沿測量目標(biāo)31的假設(shè)的輪廓延伸。此外，在每個盒子b中，沿盒子b的縱向提供各自在盒子b的橫向延伸的多個線段l。在邊緣檢測中，如圖10所示，每個盒子b疊加在測量目標(biāo)31的輪廓上，并且獲取沿盒子b中的線段1具有最大色彩(密度，色調(diào))的改變(梯度)的像素，作為邊緣點e1。此外，假設(shè)通過這些多個邊緣點e1的直線或曲線為測量目標(biāo)31的輪廓線。此外，基于這樣獲取的輪廓線計算測量目標(biāo)31的質(zhì)心。

在該模式中，工具t中的盒子b的位置關(guān)系是固定的。因此，有時，在諸如當(dāng)例如圖11所示測量目標(biāo)31的尺寸不同于假設(shè)尺寸時或當(dāng)如圖12所示工具t的位置結(jié)果與測量目標(biāo)31未對準(zhǔn)時的情況下，盒子b中的每一個不能疊加在測量目標(biāo)31的輪廓上，并且不能從圖像內(nèi)適當(dāng)提取表示測量目標(biāo)的部分。

此外，當(dāng)例如通過模式識別執(zhí)行例如尺寸測量或形狀測量時，通過預(yù)先準(zhǔn)備表示樣本的圖像、并且基于該圖像從圖像中取出測量目標(biāo)31，計算測量目標(biāo)31的質(zhì)心。在該模式中，有時，在如當(dāng)例如如圖13所示測量目標(biāo)31傾斜時、或當(dāng)如圖14所示圖像的色調(diào)不同時的情況下，不能取出測量目標(biāo)31，并且不能從圖像中適當(dāng)提取表示測量目標(biāo)的部分。

此外，當(dāng)例如通過標(biāo)記執(zhí)行尺寸測量或形狀測量時，由相機(jī)141獲取的圖像二值化，并且相同色彩的像素在上下方向或左右方向連續(xù)的部分各自被假設(shè)為相同的區(qū)域。此外，這些區(qū)域各自被分配不同編號，并且對這些區(qū)域的每一個計算質(zhì)心的位置或輪廓線等。

在該模式中，有時，在諸如當(dāng)例如如圖15所示將不同模式32疊加在測量目標(biāo)31上的情況下，不能從圖像中適當(dāng)提取表示測量目標(biāo)的部分。即，有時，當(dāng)如圖15所示將不同模式32疊加在測量目標(biāo)31上時，則如圖16所示，在當(dāng)圖像被二值化時的時間點，將測量目標(biāo)31分割為多個部分，并且這些多個部分結(jié)果被分配有不同編號。例如，有時，當(dāng)嘗試在該情況下計算質(zhì)心的位置時，如圖16所示，結(jié)果計算對于所分割的區(qū)域中的一個的質(zhì)心的位置，并且不能優(yōu)選地計算測量目標(biāo)31的質(zhì)心位置。注意，圖16例示結(jié)果計算被分配有編號“8”的區(qū)域的質(zhì)心的情況。

為了處理該情況，在第一實施例中，設(shè)置多個第一點以便圍繞測量目標(biāo)31(參照圖6)，移動所述多個第一點以便逼近測量目標(biāo)31的輪廓線，從而獲取多個第二點(參照圖7和圖8)，并且基于所述多個第二點執(zhí)行尺寸測量或形狀測量等的測量(參照圖9)。因此，如果可以通過多個第一點圍繞測量目標(biāo)31，則即使在測量目標(biāo)31的尺寸與假設(shè)不同時(參照圖11)、當(dāng)測量目標(biāo)31傾斜時(參照圖13)或當(dāng)圖像的色調(diào)不同時(參照圖14)的情況下，也可以從圖像中適當(dāng)提取表示測量目標(biāo)的部分，并且可以執(zhí)行諸如尺寸測量或形狀測量的測量。此外，在測量目標(biāo)31被多個第一點圍繞的情況下，與將上述盒子b疊加在測量目標(biāo)31的輪廓上的情況相比，可以通過更粗的對準(zhǔn)來執(zhí)行測量，因此，與采用如圖12所示的工具t等的情況相比，更容易抑制上述位置失準(zhǔn)的問題。此外，即使當(dāng)例如結(jié)果通過如參照圖16所說明的二值化將測量目標(biāo)31分割為多個部分時，如圖17所示通過多個第一點圍繞所述多個部分，使得可以從圖像中適當(dāng)提取表示測量目標(biāo)的部分，并且執(zhí)行測量。

此外，在如當(dāng)例如測量目標(biāo)31結(jié)果被分割為多個部分(如參照圖16所說明的)時的情況下，可以通過將多個第二點中的一些稀疏而執(zhí)行更準(zhǔn)確的測量。例如，在圖18所示的示例中，排除距測量目標(biāo)31特定距離或更遠(yuǎn)的多個未選擇點1。此外，在圖18所示的示例中，通過使用最小二乘法等的異常點移除處理排除未選擇點2。這使得可以基于多個第二點的所選擇點而檢測測量目標(biāo)31的輪廓線。此外，如圖19所示，對這些所選擇點執(zhí)行諸如圓圈或多邊形的形狀的擬合使得可以檢測測量目標(biāo)31的質(zhì)心。

[第二實施例]

接下來，將參照圖20描述根據(jù)本發(fā)明第二實施例的圖像測量裝置。注意，在下面的描述中，與第一實施例的部分類似的部分將被分配與第一實施例中分配的附圖標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記，并將省略其描述。

根據(jù)本實施例的圖像測量裝置基本被配置為與第一實施例的類似，但是在以下點與第一實施例不同。即，在本實施例中，在已經(jīng)在步驟S104中基于第二點組計算測量目標(biāo)的質(zhì)心或輪廓線等之后，進(jìn)一步執(zhí)行邊緣檢測。邊緣檢測可以以各種模式執(zhí)行，但是在圖20所示的示例中，基于所計算的質(zhì)心或輪廓線在測量目標(biāo)31中設(shè)置邊緣檢測工具t，并且采用該邊緣檢測工具t以執(zhí)行測量。

可以通過各種方法設(shè)置邊緣檢測工具t。例如，可以從基于第二點組計算的輪廓線選擇邊緣檢測工具t的形狀。例如，還可以使用具有與圖20所示的種類的正方形形狀不同的另一形狀(諸如，圓形)的邊緣檢測工具作為邊緣檢測工具t。此外，例如，還可以從基于第二點組計算的輪廓線調(diào)節(jié)邊緣檢測工具t中的對等盒子b之間的距離或盒子b的尺寸、角度等。

可以以各種模式執(zhí)行采用邊緣檢測工具t的測量，但是如圖20所示，可以在每個盒子b中，將各自在盒子b的橫向上延伸的多個線段l沿盒子b的縱向以等間隔設(shè)置，沿所述多個線段l獲取具有最大色彩(密度、色調(diào))改變(梯度)的像素作為邊緣點e1，并且將其用作測量目標(biāo)31的輪廓線。此外，還可以基于這樣獲取的輪廓線計算測量目標(biāo)31的質(zhì)心。

注意，還可以通過邊緣追蹤(trace)執(zhí)行邊緣檢測，而不使用例如圖20所示的種類的邊緣檢測工具t。在此情況下，還可以例如在基于第二點組計算的輪廓線上，沿輪廓線以等間隔設(shè)置各自在與該輪廓線交叉的方向上延伸的多個線段，沿所述多個線段獲取邊緣點，并且將其用作測量目標(biāo)31的輪廓線。

在本實施例中，與第一實施例類似地在步驟S104中計算測量目標(biāo)的質(zhì)心或輪廓線等。因此，與第一實施例中類似地，可以從圖像內(nèi)適當(dāng)提取表示測量目標(biāo)的部分。此外，在本實施例中，在該提取的測量位置執(zhí)行邊緣檢測，因此，可以更好地執(zhí)行測量。

例如，在本實施例中，可以在已經(jīng)基于第二點組計算輪廓線之后，以甚至更精細(xì)的間隔獲取邊緣點組，因此，可以更仔細(xì)測量測量目標(biāo)31的輪廓線。此外，當(dāng)例如測量具有不同尺寸的多個測量目標(biāo)時，即使對等第二點之間的間隔結(jié)果根據(jù)測量目標(biāo)的尺寸改變，也可以將采樣的間隔對準(zhǔn)恒量。

此外，如上所述，在本實施例中，還可以從基于第二點組計算的輪廓線選擇邊緣檢測工具t的形狀，或可以執(zhí)行邊緣追蹤。這使得可以對具有不同形狀或尺寸的多個測量目標(biāo)執(zhí)行精確測量，并使得可以實現(xiàn)靈活測量或教導(dǎo)的省力等。

[第三實施例]

接下來，將參照圖21至圖23描述根據(jù)本發(fā)明第三實施例的圖像測量裝置。注意，在下面的描述中，將對與第一實施例類似的部分分配與第一實施例中分配的附圖標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記，并且將省略其描述。

根據(jù)本實施例的圖像測量裝置基本被配置為與第一實施例類似，但是與第一實施例在以下點不同。即，在本實施例中，如圖21所示，二值化圖像在其中設(shè)置多個第一點，以便圍繞測量目標(biāo)33，并且如圖22所示，移動所述多個第一點以獲取沿測量目標(biāo)33的輪廓對準(zhǔn)的第二點組。此外，如圖23所示，將測量目標(biāo)33的輪廓外部填充與測量目標(biāo)33的輪廓內(nèi)部相同的色彩(密度，色調(diào))，并且，再次移動所述多個第一點，從而獲取沿位于測量目標(biāo)33的輪廓內(nèi)的通孔34的輪廓對準(zhǔn)的點組。此外，基于該點組計算通孔34(另一測量結(jié)果)的質(zhì)心、輪廓線和寬度等。

[其他實施例]

本發(fā)明除了能夠應(yīng)用于使用其中相機(jī)141被配置為可在z軸方向驅(qū)動并且能夠在Z軸方向測量坐標(biāo)的三維圖像測量儀器的情況，還能夠應(yīng)用于使用二維圖像測量儀器或具有圖像測量功能的顯微鏡的情況。