本實用新型涉及掃描電鏡測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺。

背景技術(shù)：

掃描電子顯微鏡(簡稱掃描電鏡)是進行微觀分析測量的有效工具。在金屬包裝領(lǐng)域，掃描電鏡可以應(yīng)用于對原材料進行微觀檢測、成分鑒定以及產(chǎn)品腐蝕失效分析等方面，其在金屬包裝分析測試研究中發(fā)揮了重要作用。

當對包裝原材料薄板樣品進行分析測試時，尤其是對薄板樣品的橫截面分析測試時，由于薄板樣品不易固定在載物臺上，一般通過將薄板樣品鑲嵌在可導電的承載座內(nèi)，然后將嵌裝有薄板樣品的承載座放置在載物臺的上表面上方再進行檢測。

然而，由于現(xiàn)有技術(shù)在進行測試時，將嵌裝有薄板樣品的承載座直接放置在載物臺上方，導致載物臺整體高度過高，在檢測過程中容易碰觸掃描電鏡的內(nèi)部元器件，載物臺的升降空間有限，導致測試不方便，且在測試過程中定位不準確。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提供一種掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，以克服現(xiàn)有技術(shù)的載物臺放置待測樣品后高度過高，測試不方便的缺陷。

本實用新型提供的一種掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，包括可導電的載物臺本體，所述載物臺本體上開設(shè)有容置槽，所述容置槽用于容納嵌裝有待測板狀樣品的可導電承載座，所述容置槽的形狀與所述可導電承載座的形狀匹配，所述載物臺本體的上表面還設(shè)有用于測量所述待測板狀樣品所處位置的刻度標記。

如上所述的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，所述刻度標記包括正交的橫軸刻度標記線和縱軸刻度標記線。

如上所述的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，所述橫軸刻度標記線和所述縱軸刻度標記線的交點位于所述載物臺本體的中心，且所述橫軸刻度標記線和所述縱軸刻度標記線分別延伸至所述載物臺本體的邊沿。

如上所述的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，所述載物臺本體的上表面還設(shè)有用于測量所述待測板狀樣品所處角度的角度標記。

如上所述的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，所述角度標記設(shè)置在所述載物臺本體的邊沿。

如上所述的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，所述橫軸刻度標記線和所述縱軸刻度標記線將所述載物臺本體劃分為第一象限區(qū)、第二象限區(qū)、第三象限區(qū)和第四象限區(qū)，各象限區(qū)內(nèi)分別設(shè)有至少一個所述容置槽。

如上所述的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，所述第一象限區(qū)、所述第二象限區(qū)、所述第三象限區(qū)和所述第四象限區(qū)內(nèi)的容置槽的形狀相同。

如上所述的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，所述載物臺本體為圓柱狀或方柱狀。

本實用新型的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，通過在可導電的載物臺本體上開設(shè)與嵌裝待測板狀樣品的承載座形狀匹配的容置槽，并在載物臺本體的上表面設(shè)置刻度標記，從而在對待測樣品進行測試時，直接將嵌裝有待測樣品的可導電承載座放入容置槽中即可，避免了直接將樣品放置在載物臺上方而導致載物臺過高的情況出現(xiàn)，且使樣品得以很好的固定，然后通過載物臺本體上的刻度標記記錄待測樣品所處的位置，在測試過程中移動載物臺時，可根據(jù)刻度數(shù)據(jù)定位觀測的區(qū)域，從而提高了板狀樣品的掃描電鏡測試的方便性和定位的精準性。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型一實施例提供的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標記說明：

1、載物臺本體；

2、容置槽；

31、橫軸刻度標記線；

32、縱軸刻度標記線；

33、角度標記；

41、第一象限區(qū)；

42、第二象限區(qū)；

43、第三象限區(qū)；

44、第四象限區(qū)。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

為了解決現(xiàn)有技術(shù)在對薄板樣品進行電鏡掃描測試時，直接將嵌裝有薄板樣品的可導電承載座放置在載物臺上方而導致載物臺整體高度過高，在檢測過程中容易碰觸掃描電鏡的內(nèi)部元器件，不便于進行測試的缺陷，本實用新型提供一種掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，以方便觀測薄板橫截面的形貌成分和微觀尺寸，克服了原有載物臺過高的問題，測試時固定方便，定位準確，極大地方便了薄板樣品橫截面樣品的掃描電鏡測試。下面通過具體的實施例對該掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺進行詳細說明。

圖1為本實用新型一實施例提供的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺的結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖1所示，本實施例提供一種掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，包括：可導電的載物臺本體1，載物臺本體1上開設(shè)有容置槽2，容置槽2用于容納嵌裝有待測板狀樣品的可導電承載座(圖中未示出)，容置槽2的形狀與可導電承載座的形狀匹配，載物臺本體1的上表面還設(shè)有用于測量待測板狀樣品所處位置的刻度標記。

該掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺可適用于涂料鐵、覆膜鐵和金屬罐、蓋子局部形貌測試分析時樣品局部的定位測試。在需要對板狀樣品進行檢測時，首先將板狀樣品嵌裝在可導電承載座中，例如，該板狀樣品可以為磨拋機處理后的薄板樣品。具體地，可導電承載座中具有固定部，板狀樣品通過固定部固定在可導電承載座中，該可導電承載座可以透明狀，當然，也可以為非透明狀，只要能夠在電鏡下不干擾樣品的測試即可。然后將嵌裝有待測樣品的可導電承載座放入載物臺本體1上的容置槽2內(nèi)，由于容置槽2的形狀與可導電承載座的形狀匹配，因此，放置有待測板狀樣品的載物臺的高度不發(fā)生變化。根據(jù)載物臺本體1上表面的刻度標記記錄下板狀樣品的對應(yīng)位置，然后放入電鏡樣品艙，從而檢測過程中，在移動載物臺時，可以根據(jù)刻度數(shù)據(jù)定位觀測的區(qū)域。

本實施例提供的掃描電鏡測試板狀樣品的載物臺，通過在可導電的載物臺本體上開設(shè)與嵌裝待測板狀樣品的承載座形狀匹配的容置槽，并在載物臺本體的上表面設(shè)置刻度標記，從而在對待測樣品進行測試時，直接將嵌裝有待測樣品的可導電承載座放入容置槽中即可，避免了直接將樣品放置在載物臺上方而導致載物臺過高的情況出現(xiàn)，且使樣品得以很好的固定，然后通過載物臺本體上的刻度標記記錄待測樣品所處的位置，在測試過程中移動載物臺時，可根據(jù)刻度數(shù)據(jù)定位觀測的區(qū)域，從而提高了板狀樣品的掃描電鏡測試的方便性和定位的精準性。

本實施例中的載物臺本體1為圓柱狀，當然，也可以為方柱狀，本實用新型并不以此為限。此外，載物臺本體1可以由鋁質(zhì)材料制成，輕便不生銹，導電性能好，也可以由銅等其他導電性能好的材料制成，只要能夠保證在檢測時不干擾測試樣品即可。容置槽2可以為如圖1中所示的圓柱形槽，當然，也可以為方形體槽，容置槽2的形狀與用來嵌裝待測板狀樣品的承載座的形狀匹配。使用時，可以針對不同形狀的封嵌試樣，選擇對應(yīng)形狀的容置槽2。

其中，刻度標記具體包括：正交的橫軸刻度標記線31和縱軸刻度標記線32。參照圖1所示，在本實施例中，橫軸刻度標記線31和縱軸刻度標記線32的交點位于載物臺本體1的中心，且橫軸刻度標記線31和縱軸刻度標記線32分別延伸至載物臺本體1的邊沿。另外，載物臺本體1的上表面上還設(shè)有用于測量待測板狀樣品所處角度的角度標記33。角度標記33可以標記在載物臺本體1上表面的邊沿，參照圖1所示，橫軸刻度標記線31的右端標設(shè)有0°和360°，橫軸刻度標記線31的左端標設(shè)有180°，縱軸刻度標記線32的上端標設(shè)有90°，縱軸刻度標記線32的下端標設(shè)有270°，可以理解為，圓柱形載物臺本體的上表面的邊沿具有360°的刻度線，用于測量待測樣品橫截面所在的具體角度。當然，角度標記33也可以不標在載物臺本體1的邊沿，只要能夠測量到薄板樣品橫截面的角度即可。

在本實施例中，橫軸刻度標記線31和縱軸刻度標記線32將載物臺本體1劃分為第一象限區(qū)41、第二象限區(qū)42、第三象限區(qū)43和第四象限區(qū)44。第一象限區(qū)41、第二象限區(qū)42、第三象限區(qū)43和第四象限區(qū)44內(nèi)均設(shè)有至少一個容置槽2，參照圖1所示，本實施例中，各個象限區(qū)內(nèi)的容置槽2均為1個。測試時，將嵌裝有待測板狀樣品的可導電承載座放入某一個象限區(qū)內(nèi)的容置槽2中，然后記下放置在該象限區(qū)時，薄板狀樣品的對應(yīng)的橫軸刻度和縱軸刻度，以及對應(yīng)的圓周度數(shù)，記錄所要觀測的重點區(qū)域，然后放入電鏡樣品艙，檢測過程中移動載物臺時，可以根據(jù)刻度數(shù)據(jù)定位觀測的區(qū)域，從而方便地測試薄板樣品整個橫截面的微觀尺寸數(shù)據(jù)，分析微觀尺寸分布，界面結(jié)合狀況。

當?shù)谝幌笙迏^(qū)41、第二象限區(qū)42、第三象限區(qū)43和第四象限區(qū)44內(nèi)的容置槽2的數(shù)量均為1個時，四個容置槽2的形狀可以相同，也可以不同。當?shù)谝幌笙迏^(qū)41、第二象限區(qū)42、第三象限區(qū)43和第四象限區(qū)44內(nèi)的容置槽2的數(shù)量均為多個時，同一象限區(qū)內(nèi)的容置槽的形狀可以相同，也可以不同，從而提高了該載物臺的通用性。

最后應(yīng)說明的是：以上各實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述各實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當理解：其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的范圍。