技術特征：

技術總結
一種壓力傳感器，可實現(xiàn)小型化及高精度化。壓力傳感器具備：壓力傳感器芯片，其具備膜片、設于膜片且可產生與該膜片的變形相對應的電信號的傳感器部、將來自傳感器部的電信號向外部輸出的輸出端子部，包括壓力基準室、膜片及傳感器部在內的檢測部、和半導體基板內除檢測部以外的區(qū)域被槽分開，槽與在設置了膜片的面的相反面上設置的開口部連通；電路部，其相對于從壓力傳感器芯片的輸出端子部輸出的電信號而進行規(guī)定的運算處理，膜片和輸出端子部形成在同一面上，以壓力傳感器芯片的輸出端子和電路部的輸入端子部直接或間接地相接的方式固定，電路部及壓力傳感器芯片以開口部在外部露出的方式被密封件覆蓋。

技術研發(fā)人員：森原大輔;奧川晃宏;大尾光明
受保護的技術使用者：歐姆龍株式會社
技術研發(fā)日：2017.02.13
技術公布日：2017.09.12