技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
摘要：本發(fā)明涉及一種可柔性變倍的離軸數(shù)字全息測(cè)量裝置，技術(shù)特征在于：水平放置的激光器1產(chǎn)生的激光束后經(jīng)過(guò)第一反射鏡2進(jìn)行反射改變光路為豎直方向，然后進(jìn)入擴(kuò)束準(zhǔn)直單元3，經(jīng)過(guò)第二反射鏡4再次反射改變光路為水平，經(jīng)過(guò)電控變焦透鏡5和顯微物鏡6后射入分光鏡7，進(jìn)而產(chǎn)生兩束光波；其中一束光波經(jīng)平面鏡8反射后作為參考光進(jìn)入成像設(shè)備10；另一束光波經(jīng)被測(cè)物體9表面反射后作為物光進(jìn)入成像設(shè)備10；調(diào)節(jié)平面鏡8可控制參考光與物光的夾角，使物光與參考光干涉產(chǎn)生離軸數(shù)字全息圖并由成像設(shè)備10記錄；最后采用數(shù)值重構(gòu)算法計(jì)算得到被測(cè)物體的信息。該裝置所采用電控變焦透鏡5，具有柔性變焦功能，避免了機(jī)械移動(dòng)，在系統(tǒng)放大倍率的調(diào)節(jié)過(guò)程中，極大地提升了調(diào)節(jié)的速度和準(zhǔn)確度，且結(jié)構(gòu)緊湊、穩(wěn)定，可用于微光學(xué)元件、微電子機(jī)械系統(tǒng)和微光機(jī)電系統(tǒng)等組件的三維形貌測(cè)量。

技術(shù)研發(fā)人員：文永富;程灝波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京理工大學(xué)深圳研究院
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.04
技術(shù)公布日：2017.07.21