1.一種器件內(nèi)部氣氛取樣裝置，其特征在于，所述裝置包括取樣腔和穿刺模塊，其中：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括電機(jī)控制模塊和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端與所述穿刺模塊相連接，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的另一端與所述電機(jī)控制模塊相連接；所述電機(jī)控制模塊用于基于預(yù)設(shè)的控制參數(shù)值控制所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述穿刺模塊往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述控制參數(shù)值包括第一轉(zhuǎn)矩限值、第二轉(zhuǎn)矩限值和第一位移值；所述裝置還包括轉(zhuǎn)矩傳感器；
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述控制參數(shù)值還包括第二位移值，所述第二位移值大于所述第一位移值或者第二轉(zhuǎn)矩限值對(duì)應(yīng)的第三位移值；在所述控制所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述穿刺模塊沿當(dāng)前運(yùn)動(dòng)方向繼續(xù)移動(dòng)第一位移值，或者控制所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述穿刺模塊沿當(dāng)前運(yùn)動(dòng)方向繼續(xù)移動(dòng)至所述當(dāng)前轉(zhuǎn)矩值達(dá)到預(yù)設(shè)第二轉(zhuǎn)矩限值之后，所述電機(jī)控制模塊還用于：
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括動(dòng)密封模塊，所述動(dòng)密封模塊包括彈性密封圈和金屬波紋管中的至少一種；其中：
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述取樣腔的腔體上開設(shè)有進(jìn)樣通道，所述進(jìn)樣通道連通所述取樣腔和氣氛檢測(cè)裝置，用于將所述取樣腔收集到的待測(cè)氣氛傳輸至所述氣氛檢測(cè)裝置中。
7.一種器件內(nèi)部氣氛取樣方法，其特征在于，應(yīng)用于器件內(nèi)部氣氛取樣裝置，所述器件內(nèi)部氣氛取樣裝置包括取樣腔和穿刺模塊，所述取樣腔的腔體上開設(shè)有穿刺孔，所述穿刺模塊設(shè)置于所述取樣腔內(nèi)；所述方法包括：
8.一種計(jì)算機(jī)設(shè)備，包括存儲(chǔ)器和處理器，所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，其特征在于，所述處理器執(zhí)行所述計(jì)算機(jī)程序時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求7所述的方法的步驟。
9.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求7所述的方法的步驟。
10.一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)程序，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求7所述的方法的步驟。