用于光學檢測裝置的校正方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明是關于一種用于光學檢測裝置的校正方法，尤指一種用于光學檢測裝置的產(chǎn)線上自我驗證的校正方法。
【背景技術】
[0002]為確保產(chǎn)品品質(zhì)的一致性，在產(chǎn)品的制造過成中都需要透過檢測儀器進行品質(zhì)的監(jiān)控。目前所使用的檢測儀器，都根源于一個共同認定的測量標準，并隨時修正其測量誤差值。若非如此，在制造過程中，可能會因測量標準失準而造成極大的損失。檢測儀器的誤差，通常隨使用時間而增加，因此任何檢測儀器都應定期校正，以確保準確度。
[0003]以自動光學檢測(Automated Optical Inspect1n, AOI)設備來說,其為精密的光學儀器，但長時間在產(chǎn)線上不間斷的使用之后，也會因為出現(xiàn)誤差，而使檢測出現(xiàn)錯誤。若等到周期性保養(yǎng)時才發(fā)現(xiàn)這些誤差，讓客戶將誤判的產(chǎn)品出貨，將會造成客戶商譽以及成本上的損失。
[0004]因此，如何提供一種可在檢測儀器產(chǎn)生誤差時就快速發(fā)現(xiàn)的校正方法，是目前業(yè)界亟欲投入研發(fā)資源解決的問題之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]因此，本發(fā)明是提供一種用于光學檢測裝置的校正方法，以解決上述的問題。
[0006]本發(fā)明是提供一種用于光學檢測裝置的校正方法。光學檢測裝置設置于輸送裝置上方。輸送裝置具有校正片。輸送裝置用以將待測物輸送至檢測區(qū)。校正方法包含:當該檢測區(qū)無待測物時，輸送裝置產(chǎn)生空位信號給光學檢測裝置；光學檢測裝置拍攝檢測區(qū)，以獲得空位影像，其中空位影像具有第一校正片圖案，且第一校正片圖案對應完整的校正片；以及光學檢測裝置接收空位信號后，根據(jù)第一校正片圖案判斷光學檢測裝置的光學參數(shù)是否分別介于對應的容許范圍之內(nèi)。
[0007]本發(fā)明另提供一種用于光學檢測裝置的校正方法。光學檢測裝置設置于輸送裝置上方。輸送裝置具有校正片。輸送裝置用以將待測物輸送至檢測區(qū)中。校正方法包含:輸送裝置根據(jù)輸送信號將待測物輸送至檢測區(qū)；當光學檢測裝置接收輸送信號時，拍攝檢測區(qū)，進而獲得輸送影像，其中輸送影像具有校正片圖案，且校正片圖案對應校正片的至少一部分；以及光學檢測裝置根據(jù)校正片圖案判斷光學檢測裝置的光學參數(shù)是否分別介于對應的容許范圍之內(nèi)。
【附圖說明】
[0008]圖1為繪示本發(fā)明一實施方式的光學檢測裝置與輸送裝置的側視圖；
[0009]圖2為繪示圖1中的輸送裝置的上視圖；
[0010]圖3為繪示本發(fā)明一實施方式的用于光學檢測裝置的校正方法的流程圖；
[0011]圖4為繪示本發(fā)明另一實施方式的用于光學檢測裝置的校正方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0012]請參閱圖1以及圖2。圖1為繪示本發(fā)明一實施方式的光學檢測裝置I與輸送裝置2的側視圖。圖2為繪示圖1中的輸送裝置2的上視圖。如圖1與圖2所示，于本實施方式中，校正方法是用于光學檢測裝置1，而光學檢測裝置I是設置于輸送裝置2上方。以下將詳細說明上述各元件的結構、功能以及各元件之間的連接關系。
[0013]如圖1與圖2所示，光學檢測裝置I包含攝影模塊10。攝影模塊10的拍攝方向朝向輸送裝置2，且攝影模塊10的可視范圍定義一檢測區(qū)4 (如圖2中的虛線所示)。輸送裝置2包含基座20以及兩皮帶22。輸送裝置2的皮帶22是平行地運轉于基座20上，并可將待測物3輸送至攝影模塊10的檢測區(qū)4，借以供光學檢測裝置I進行光學檢測。此外，輸送裝置2還具有校正片24。校正片24是設置于基座20上，介于兩皮帶22之間，并位于檢測區(qū)4中。換言之，校正片24必須位于檢測區(qū)4中，光學檢測裝置I才能據(jù)以進行校正。特別來說，由于校正片24是設置于兩皮帶22之間以及待測物3的行進路徑上(亦即，當待測物3進入檢測區(qū)4中時，校正片24會被遮住)，而非設置于待測物3之外，因此實務上可配置使待測物3在檢測區(qū)4里所占的區(qū)域擴大，使得攝影模塊10可獲得較多待測物3的信息，進而使檢測或測量的結果也更穩(wěn)定、精準。
[0014]請參照圖3，其為繪示本發(fā)明一實施方式的用于光學檢測裝置I的校正方法的流程圖。
[0015]如圖3所示，并配合參照圖1與圖2，于本實施方式中，校正方法包含步驟SlOO?S106,如下所示。
[0016]步驟SlOO:當檢測區(qū)4無待測物3時，輸送裝置2產(chǎn)生空位信號給光學檢測裝置
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[0017]步驟S102:光學檢測裝置I拍攝檢測區(qū)4，以獲得空位影像，其中空位影像具有第一校正片圖案，且第一校正片圖案對應完整的校正片24。
[0018]步驟S104:光學檢測裝置I接收空位信號后，根據(jù)第一校正片圖案判斷光學檢測裝置I的光學參數(shù)是否分別介于對應的容許范圍之內(nèi)。
[0019]若步驟S104的判斷結果為否(亦即，光學檢測裝置I的光學參數(shù)超出了對應的容許范圍)，則根據(jù)本實施方式的校正方法進一步執(zhí)行步驟S106。
[0020]步驟S106:產(chǎn)生校正警示信號。
[0021]在產(chǎn)線上的實際運作過程中，不見得輸送裝置2的每個工位上都會有待測物3，有可能因為前段制程出現(xiàn)不良品而先被移除，或是更換原料時而出現(xiàn)的一段緩沖。而通過應用本實施方式的校正方法，當輸送裝置2的工位上有待測物3且待測物3進入檢測區(qū)4時，待測物3會完全把校正片24遮蔽起來，并不會影響正常演算法檢測；當工位上沒有待測物3的時候，攝影模塊10依然進行取像動作，校正片24會出現(xiàn)在影像正中間，即可進行自我驗證。
[0022]由此可知，本實施方式的校正方法是使光學檢測裝置I在輸送裝置2的工位有空檔的時候(亦即，檢測區(qū)4中無待測物3)，以攝影模塊10拍攝已經(jīng)放置于基座20上的校正片24，并對所拍攝的空位影像中的第一校正片圖案執(zhí)行光學參數(shù)比對。若判斷的結果顯示攝影模塊10的狀況已經(jīng)低于可容許范圍，則可即時通知操作人員進行校正處置。
[0023]于一實施方式中，校正片24具有多組線對。光學檢測裝置I的攝影模塊10的光學參數(shù)包含對焦值以及解析度。根據(jù)第一校正片圖案判斷光學參數(shù)是否介于對應的容許范圍之內(nèi)的步驟(亦即，步驟S104)進一步包含步驟S104a。
[0024]步驟S104a:根據(jù)第一校正片圖案中的第一線對圖案判斷對焦值與解析度是否分別介于對應的容許范圍之內(nèi)，其中第一線對圖案對應完整的多組線對。
[0025]于一實施方式中，校正片24具有灰卡。光學檢測裝置I的攝影模塊10的光學參數(shù)包含影像灰階值。根據(jù)第一校正片圖案判斷光學參數(shù)是否介于對應的容許范圍之內(nèi)的步驟(亦即，步驟S104)進一步包含步驟S104b。
[0026]步驟S104b:根據(jù)第一校正片圖案中的第一灰卡圖案判斷影像灰階值是否介于對應的容許范圍之內(nèi)，其中第一灰卡圖案對應完整的灰卡。
[0027]然而，攝影模塊10的光學參數(shù)并不以上述的對焦值、解析度與灰階值為限。若欲校正某種光學參數(shù)，只要在校正片24上對應地設置可比對該種光學參數(shù)的校正單元，本實施方式的校正方法同樣可針對該種光學參數(shù)達到校正警示的功能。
[0028]另外，本實施方式的校正方法還包含步驟S108?S112，如下所示。
[0029]步驟S108:輸送裝置2根據(jù)輸送信號將待測物3輸送至檢測區(qū)4。
[0030]步驟SllO:當光學檢測裝置I接收輸送信號時，拍攝檢測區(qū)4以獲得輸送影像，其中輸送影像具有第二校正片圖案，且第二校正片圖案對應校正片24的至少一部分。
[0031]要說明的是，當光學檢測裝置I接收輸送信號時，是使攝影模塊10連續(xù)拍攝檢測區(qū)4，以獲得上述的輸送影像。
[0032]步驟SI 12:光學檢測裝置I根據(jù)第二校正片圖案判斷光學檢測裝置I的光學參數(shù)是否分別介于對應的容許范圍之內(nèi)。
[0033]若步驟S112的判斷結果為否(亦即，光學檢測裝置I的光學參數(shù)超出了對應的容許范圍)，則根據(jù)本實施方式的校正方法再次執(zhí)行步驟S106。
[0034]也就是說，本實施方式的校正方法不僅可使光學檢測裝置I在輸送裝置2的工位有空檔的時候達到校正警示的功能，在輸送裝置2的工位無空檔的時候(亦即，待測物3正進入或移出檢測區(qū)4時)，仍可在不停機的狀況之下以攝影模塊10拍攝已經(jīng)放置于基座20上的校正片24的至少一部分，并對所拍攝的輸送影像中的第二校正片圖案執(zhí)行光學參數(shù)比對。同樣地，若判斷的結果顯示攝影模塊10的狀況已經(jīng)低于可容許范圍，則可即時通知操作人員進行校正處置。
[0035]另外要說明的是，在根據(jù)第二校正片圖案判斷光學參數(shù)是否介于對應的容許范圍之內(nèi)的步驟(亦即，步驟S112)，同樣可進一步包含與步驟S104a、S104類似的步驟，只是被比對的圖案改為第二校正片圖案，在此不再贅述。借此，在在輸送裝置2的工位無空檔的時候，根據(jù)本實施方式的校正方法