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      缺陷檢測方法及缺陷檢測裝置的制造方法

      文檔序號:9199216閱讀:445來源:國知局
      缺陷檢測方法及缺陷檢測裝置的制造方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及一種檢測方法,特別是涉及一種檢測電路缺陷的缺陷檢測方法及缺陷檢測裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]參見圖1所示,現(xiàn)有一種缺陷檢測方法用以檢測一電路板,例如一形成有觸控電路的玻璃面板上的電路缺陷。且由于觸控電路所包含的金屬線路及ITO線路對光有不同的反射率,因此現(xiàn)有的缺陷檢測方法會針對玻璃面板上的一部分區(qū)域,先以對于金屬線路有較佳反射率的第一種光LI照射,并取得該區(qū)域的一第一影像(影像I),再以對于ITO線路有較佳反射率的第二種光L2照射,以取得同一區(qū)域的一第二影像(影像2),依此,循序掃描玻璃面板的全部區(qū)域,以分別取得各個區(qū)域在第一種光LI及第二種光L2照射下的影像1、2、3...,并將在第一種光LI照射下取得的所述影像1、3、5…組合在一起,即為整個玻璃面板在第一種光10照射下的完整影像,且將在第二種光L2照射下取得的所述影像2、4、6...組合在一起,即為整個玻璃面板在第二種光20照射下的完整影像。
      [0003]然后,即可從所述影像1、3、5…組成的完整影像中檢測金屬線路的缺陷,并從所述影像2、4、6…組成的完整影像中檢測ITO線路的缺陷。
      [0004]然而,如圖1所示,由于產(chǎn)生第一種光LI的第一發(fā)光單元11與產(chǎn)生第二種光L2的第二發(fā)光單元12被開啟時,皆需要經(jīng)過一段充電時間TU才會達到預(yù)設(shè)亮度而完全點亮,且其被關(guān)閉時,亦需要經(jīng)過一段放電時間TD才會完全熄滅。因此,若影像1、3、5...的取像時間tl涵蓋第一發(fā)光單元11的充電時間TU及放電時間TD,且影像2、4、6…的取像時間t2亦涵蓋第二發(fā)光單元12的充電時間TU及放電時間TD,則影像1、3、5…及影像2、4、6...的頭尾部分將因第一種光LI及第二種光L2在充電時間TU及放電時間TD的亮度不足,或是產(chǎn)生第一種光LI及第二種光L2的光混雜現(xiàn)象,而不能清楚顯現(xiàn)所拍攝的內(nèi)容。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0005]本發(fā)明的目的在于提供一種能使所取得的待測物的影像清楚顯現(xiàn)待測物的內(nèi)容的缺陷檢測方法及缺陷檢測裝置。
      [0006]本發(fā)明一種缺陷檢測方法,用以取得一待測物的影像以對其進行缺陷檢測,并包括:提供一燈源,使交替發(fā)出一第一種光及一第二種光;當(dāng)該燈源發(fā)出該第一種光時,以一控制器控制一取像單元,使在該第一種光的亮度維持在一第一預(yù)設(shè)亮度的至少一半以上的一第一時間區(qū)間,取得該待測物的一第一影像;及當(dāng)該燈源發(fā)出該第二種光時,以該控制器控制該取像單元,使在該第二種光的亮度維持在一第二預(yù)設(shè)亮度的至少一半以上的一第二時間區(qū)間,取得該待測物的一第二影像。
      [0007]再者,本發(fā)明實現(xiàn)上述方法的一種缺陷檢測裝置,用以取得一待測物的影像以對其進行缺陷檢測,并包括一燈源、一取像單元及一控制器;該燈源交替發(fā)出一第一種光及一第二種光;該取像單元用以取得該待測物的一影像;該控制器與該取像單元電耦接,并在該燈源發(fā)出該第一種光時,控制該取像單元在該第一種光的亮度維持在一第一預(yù)設(shè)亮度的至少一半以上的一第一時間區(qū)間,取得該待測物的一第一影像,且在該燈源發(fā)出該第二種光時,控制該取像單元在該第二種光的亮度維持在一第二預(yù)設(shè)亮度的至少一半以上的一第二時間區(qū)間,取得該待測物的一第二影像。
      [0008]較佳地,該控制器還控制該取像單元在該第一時間區(qū)間與該第二時間區(qū)間之間的一第三時間區(qū)間停止取像,或取得該待測物的一第三時間區(qū)間的第三影像。
      [0009]較佳地,該燈源包含一發(fā)出該第一種光的第一發(fā)光單元及一發(fā)出該第二種光的第二發(fā)光單元。
      [0010]較佳地,該第一發(fā)光單元被關(guān)閉,使得該第一種光的亮度下降至該第一預(yù)設(shè)亮度的一半以下時,該控制器即控制該第二發(fā)光單元被開啟,且該第二發(fā)光單元被關(guān)閉,使得該第二種光的亮度下降至該第二預(yù)設(shè)亮度的一半以下時,該控制器即控制該第一發(fā)光單元被開啟,借此縮短該第三時間區(qū)間。
      [0011]較佳地,該第一種光與該第二種光的顏色相同但強度不同,或者該第一種光與該第二種光的顏色不同。
      [0012]較佳地,該取像單元被控制在該第一種光的亮度維持在該第一預(yù)設(shè)亮度的百分之九十以上的該第一時間區(qū)間取像,且該取像單元被控制在該第二種光的亮度維持在該第二預(yù)設(shè)亮度的百分之九十以上的該第二時間區(qū)間取像。
      [0013]本發(fā)明的有益效果在于:借由將取像單元的取像時間控制在第一種光的亮度維持在第一預(yù)設(shè)亮度的至少一半以上的第一時間區(qū)間,以及控制取像單元的取像時間在第二種光的亮度維持在第二預(yù)設(shè)亮度的至少一半以上的第二時間區(qū)間,使取像單元在第一種光及第二種光的亮度至少維持在百分之五十以上時取像,而解決了現(xiàn)有技術(shù)中取得的影像的頭尾端因亮度不足而無法清楚呈現(xiàn)的問題。
      【附圖說明】
      [0014]圖1顯示現(xiàn)有一種缺陷檢測方法取得待測物的影像的示意圖。
      [0015]圖2顯示本發(fā)明缺陷檢測方法的一較佳實施例的流程圖。
      [0016]圖3顯示本發(fā)明缺陷檢測裝置的一較佳實施例的電路方塊圖。
      [0017]圖4顯示本實施例在第一時間區(qū)間Tl及第二時間區(qū)間T2取得待測物的影像的示意圖。
      [0018]圖5顯示本實施例的第一種光及第二種光的波形示意圖。
      [0019]圖6顯示本實施例在第一時間區(qū)間Tl與第二時間區(qū)間T2之間的第三時間區(qū)間T3取得待測物的影像的示意圖。
      [0020]圖7顯示本實施例的第三時間區(qū)間T3可以被縮短的示意圖。
      【具體實施方式】
      [0021]下面結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明進行詳細(xì)說明。
      [0022]參見圖2及3所示,是本發(fā)明缺陷檢測方法的一較佳實施例,其使用一缺陷檢測裝置100取得一待測物(圖未示)的影像,以對其進行缺陷檢測。缺陷檢測裝置100主要包括一燈源1、一取像單元2及一與燈源I及取像單元2電耦接的控制器3。
      [0023]由于要取得待測物的清楚影像,需要提供一定的亮度,且在本實例中,是以檢測例如一形成有觸控電路的玻璃面板(待測物)上的電路缺陷為例,而由于觸控電路所包含的金屬線路及ITO線路對光的反射率的差別很大,無法以同一種光進行檢測。因此,首先,如圖2的步驟SI所示,燈源I會以一默認(rèn)頻率交替地發(fā)出一第一種光LI及一第二種光L2,即所謂的閃頻(stroboflash),其波形交替周期如圖4所示。因此燈源I包含一發(fā)出第一種光LI的第一發(fā)光單元11及一發(fā)出第二種光L2的第二發(fā)光單元12,其中第一種光LI對于金屬線路有較佳的反射率,第二種光L2則對于ITO線路有較佳的反射率。例如第一種光LI與第二種光L2是顏色相同但強度不同的光,或者,第一種光LI與第二種光L2是不同顏色的光。
      [0024]當(dāng)然,若是待測物包含由三種或三種以上的材料構(gòu)成的線路,且這三種或三種以上的線路對光的反射率的差別很大時,則需以三種或三種以上不同的光(強度不同或顏色不同)分次對待測物進行取像。
      [0025]取像單元2在本實施例是一采用CXD或CMOS的影像傳感器,用以取得待測物的一影像。且本實施例的取像單元2是一長條形的影像傳感器陣列,且燈源I與取像單元2設(shè)置在一起并同時移動,類似掃描儀,取像單元2以循序移動方式于待測物上方從頭到尾依序掃描待測物,以逐次取得待測物的每一部分的影像,進一步來說,其較佳地是以線掃描(Linescan)進行取像,且取像單元2的掃描(取像)頻率與燈源I的默認(rèn)頻率相同。惟前述線掃描僅為舉例,本發(fā)明并非以此為限。
      [0026]且如圖5所不,由于產(chǎn)生第一種光LI的第一發(fā)光單兀11與產(chǎn)生第二種光L2的第二發(fā)光單元12被開啟時,皆需要經(jīng)過一段充電時間TU,才會達到預(yù)設(shè)亮度而完全點亮,且其被關(guān)閉時,亦需要經(jīng)過一段放電時間TD才會完全熄滅。
      [0027]因此,為使取得的影像的頭尾部分不致因第一種光LI及第二種光L2在充電時間TU及放電時間TD區(qū)間內(nèi)亮度不足而無法清楚呈現(xiàn),如圖2的步驟S2及圖4所示,當(dāng)取像單元2依序掃描待測物時,控制器3在燈源I每次發(fā)出第一種光LI時,控制取像單元2在第一種光LI的亮度達到一第一預(yù)設(shè)亮度的至少一半以上的一第一時間區(qū)間Tl,取得待測物在第一種光LI之下的一第一影像,即影像1、3、5、…。
      [0028]且如圖2的步驟S3所示,控制器3會在
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