彎曲試驗(yàn)方法、片狀件的制造方法、彎曲試驗(yàn)裝置、脆性片、帶元件的脆性片以及電子器件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及彎曲試驗(yàn)方法、片狀件的制造方法、彎曲試驗(yàn)裝置、脆性片、帶元件的 脆性片以及電子器件。
【背景技術(shù)】
[0002] 作為圖像顯示面板、太陽能電池、薄膜二次電池等電子器件的基板，使用玻璃基 板。近年來，作為玻璃基板，開發(fā)出了一種具有撓性的玻璃片。
[0003] 作為用于檢查玻璃片的耐久性的試驗(yàn)方法，提出了一種一邊利用輥輸送玻璃片一 邊使玻璃片沿著輥的外周彎曲的方法（參照例如專利文獻(xiàn)1)。并且，作為玻璃片的試驗(yàn)方 法，還已知有使夾持已彎曲的玻璃片的平行的兩塊板之間的間隔逐漸縮小的方法（參照例 如非專利文獻(xiàn)1)。
[0004] 現(xiàn)有摶術(shù)f獻(xiàn)
[0005] 專利f獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)1 :日本特表2010 - 506168號(hào)公報(bào)
[0007] 非專利f獻(xiàn)
[0008] 非專利文獻(xiàn) I :S. T. Gulati (其他 4 名），"Two Point Bending of Thin Glass Substrate'，，SID Symposium Digest of Technical Papers，2011 年 6 月，第 42 卷， p. 652-654

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 發(fā)明要解決的問題
[0010] 在使含有玻璃等脆性材料的片狀件沿著輥彎曲的情況下，以片狀件緊抱輥的方式 對(duì)片狀件施加張力。此外，在輥上存在異物等時(shí)，應(yīng)力集中于片狀件的局部。因此，有時(shí)設(shè) 想外的力會(huì)施加于片狀件，可靠性降低。
[0011] 此外，在使夾持片狀件的平行的兩塊板之間的間隔逐漸縮小的情況下，片狀件的 拉伸應(yīng)力的發(fā)生位置不發(fā)生變化。因此，若在拉伸應(yīng)力的發(fā)生位置沒有成為裂紋的起點(diǎn)的 缺陷（傷、附著物、內(nèi)包物等），則破壞強(qiáng)度的檢測結(jié)果偏高，可靠性降低。
[0012] 本發(fā)明是鑒于所述問題而做成的，其目的在于提供一種可靠性較高的彎曲試驗(yàn)方 法等。
[0013] 用于解決問題的方案
[0014] 為了解決所述問題，根據(jù)本發(fā)明的一技術(shù)方案提供一種彎曲試驗(yàn)方法，
[0015] 將含有脆性材料的片狀件分別支承于第1支承盤和第2支承盤，
[0016] 在維持彼此平行的所述第1支承盤的支承面與所述第2支承盤的支承面之間的間 隔的狀態(tài)下，使所述第2支承盤的位置相對(duì)于所述第1支承盤移動(dòng)，
[0017] 檢查在所述第1支承盤與所述第2支承盤之間彎曲的所述片狀件是否形成有裂 紋。
[0018] 發(fā)明的效果
[0019] 采用本發(fā)明的一技術(shù)方案，提供一種可靠性較高的彎曲試驗(yàn)方法。
【附圖說明】
[0020] 圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的彎曲試驗(yàn)裝置的試驗(yàn)的樣子的圖。
[0021] 圖2是圖1中的彎曲試驗(yàn)裝置的俯視圖。
[0022] 圖3是表示圖1中的彎曲試驗(yàn)裝置的組裝片狀件時(shí)的狀態(tài)的圖。
[0023] 圖4是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的合成片的圖。
[0024] 圖5是表不本發(fā)明的一實(shí)施方式的液晶面板的圖。
[0025] 圖6是表不本發(fā)明的一實(shí)施方式的有機(jī)EL面板的圖。
[0026] 圖7是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的太陽能電池的圖。
[0027] 圖8是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的薄膜二次電池的圖。
[0028] 圖9是表不本發(fā)明的一實(shí)施方式的電子紙的圖。
[0029] 圖10是表示變形例的彎曲試驗(yàn)裝置的組裝片狀件時(shí)的狀態(tài)的圖。
[0030] 圖11是從上方觀察圖10中的下側(cè)支承盤而得到的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031] 以下，參照【附圖說明】用于實(shí)施本發(fā)明的方式。在各附圖中，對(duì)同一結(jié)構(gòu)或?qū)?yīng)的結(jié) 構(gòu)標(biāo)注同一附圖標(biāo)記或?qū)?yīng)的附圖標(biāo)記，并省略說明。
[0032] 圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的彎曲試驗(yàn)裝置的試驗(yàn)的樣子的圖。在圖1中， 在實(shí)線所示的狀態(tài)下，在使下側(cè)支承盤相對(duì)于基部向圖中左方移動(dòng)時(shí)，成為單點(diǎn)劃線所示 的狀態(tài)。圖2是圖1中的彎曲試驗(yàn)裝置的俯視圖。圖3是表示圖1中的彎曲試驗(yàn)裝置的組 裝片狀件時(shí)的狀態(tài)的圖。在圖1和圖3中，剖切移動(dòng)部的局部來進(jìn)行圖示。
[0033] 彎曲試驗(yàn)裝置10是用于使含有脆性材料的片狀件彎曲的裝置。作為片狀件，使用 例如玻璃片2。通過檢查在彎曲的玻璃片2是否形成有裂紋，來確認(rèn)玻璃片2的耐久性。
[0034] 玻璃片2可以被用作圖像顯示面板、太陽能電池、薄膜二次電池等電子器件的基 板，也可以在玻璃片2上形成各種元件。
[0035] 玻璃片2的玻璃的種類可以是多種多樣，例如可以是鈉鈣玻璃、無堿玻璃等。
[0036] 玻璃片2的厚度為例如200 μ m以下。在玻璃片2的厚度為200 μ m以下的情況下， 能夠?qū)⒉Ａ?卷繞成螺旋狀而制作玻璃卷。玻璃片2的厚度優(yōu)選為150 μ m以下，更優(yōu)選 為100 μπι以下，特別優(yōu)選為50 μπι以下。此外，玻璃片2的厚度優(yōu)選為0. 1 μπι以上，更優(yōu) 選為1 μπι以上，特別優(yōu)選為5 μπι以上。
[0037] 在玻璃片2為矩形的情況下，也可以是，長邊的長度為150mm~3050mm、短邊的長 度為 100mm ~2850mm。
[0038] 例如如圖1~圖3所示，彎曲試驗(yàn)裝置10包括：基部12 ;作為第1支承盤的上側(cè) 支承盤14 ;作為第2支承盤的下側(cè)支承盤16 ;移動(dòng)部20 ;調(diào)整部30 ;檢測部40 ;支承部50 ; 以及載置部60。
[0039] 上側(cè)支承盤14用于支承玻璃片2。上側(cè)支承盤14的支承面14a可以是朝下的平 坦的面，例如可以是利用帶等固定玻璃片2的一端部的面。上側(cè)支承盤14的與支承面14a 相反的一側(cè)的面既可以平坦也可以不平坦。
[0040] 為了防止損傷玻璃片2,上側(cè)支承盤14包括金屬制的主體和用于與玻璃片2接觸 的樹脂層較好。樹脂層以與金屬制的主體分離自如的方式安裝于該金屬制的主體較好。在 玻璃片2的碎片等插入樹脂層的情況下，能夠更換樹脂層。
[0041] 下側(cè)支承盤16與上側(cè)支承盤14同樣用于支承玻璃片2。下側(cè)支承盤16的支承 面16a可以是朝上的平坦的面，例如可以是供玻璃片2的另一端部載置的載置面。玻璃片 2的另一端部在重力作用下被推壓于下側(cè)支承盤16的支承面16a，在摩擦力的作用下被固 定。為了防止玻璃片2發(fā)生位置偏移，在下側(cè)支承盤16的支承面16a設(shè)置用于與玻璃片2 的另一端部抵接的止擋件17較好。下側(cè)支承盤16的與支承面16a相反的一側(cè)的面既可以 平坦也可以不平坦。
[0042] 為了防止損傷玻璃片2,下側(cè)支承盤16包括金屬制的主體和用于與玻璃片2接觸 的樹脂層較好。樹脂層以與金屬制的主體分離自如的方式安裝于該金屬制的主體較好。在 玻璃片2的碎片等插入樹脂層的情況下，能夠更換樹脂層。
[0043] 移動(dòng)部20用于以維持彼此平行的上側(cè)支承盤14的支承面14a與下側(cè)支承盤16 的支承面16a之間的間隔D的狀態(tài)使下側(cè)支承盤16的位置相對(duì)于上側(cè)支承盤14移動(dòng)。移 動(dòng)部20使下側(cè)支承盤16相對(duì)于基部12平行地移動(dòng)，以使下側(cè)支承盤16的位置相對(duì)于上 側(cè)支承盤14移動(dòng)。
[0044] 另外，本實(shí)施方式的移動(dòng)部20使下側(cè)支承盤16相對(duì)于基部12平行地移動(dòng)，但也 可以使上側(cè)支承盤14相對(duì)于基部12平行地移動(dòng)，還可以使上側(cè)支承盤14和下側(cè)支承盤16 這兩者相對(duì)于基部12平行地移動(dòng)。在任一情況下，下側(cè)支承盤16的位置均相對(duì)于上側(cè)支 承盤14移動(dòng)。
[0045] 移動(dòng)部20包括例如升降框架21、馬達(dá)22、滾珠絲杠機(jī)構(gòu)23、滑塊24等。升降框架 21相對(duì)于基部12移動(dòng)自如。馬達(dá)22例如可以是電動(dòng)伺服馬達(dá)，安裝于升降框架21。滾珠 絲杠機(jī)構(gòu)23用于將馬達(dá)22的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)并傳遞至滑塊24?；瑝K24與下側(cè) 支承盤16連結(jié)，并和下側(cè)支承盤16 -起相對(duì)于基部12平行地移動(dòng)。馬達(dá)22在包括微型 計(jì)算機(jī)等的控制器的控制下使?jié)L珠絲杠軸23a旋轉(zhuǎn)，使?jié)L珠絲杠螺母23b移動(dòng)。隨著滾珠 絲杠螺母23b的移動(dòng)，滑塊24和下側(cè)支承盤16相對(duì)于基部12平行地移動(dòng)。
[0046] 另外，本實(shí)施方式的馬達(dá)22為旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，但也可以是直線馬達(dá)。直線馬達(dá)包括定 子和可動(dòng)元件，在可動(dòng)元件安裝下側(cè)支承盤16。在作用在定子與可動(dòng)元件之間的磁力的作 用下，可動(dòng)元件進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，而使下側(cè)支承盤16移動(dòng)。
[0047] 調(diào)整部30用于調(diào)整彼此平行的上側(cè)支承盤14的支承面14a與下側(cè)支承盤16的 支承面16a之間的間隔D。調(diào)整部30可以使下側(cè)支承盤16相對(duì)于基部12升降，以調(diào)整間 隔D0
[0048] 另外，本實(shí)施方式的調(diào)整部30使下側(cè)支承盤16相對(duì)于基部12升降，但也可以使 上側(cè)支承盤14相對(duì)于基部12升降，還可以使下側(cè)支承盤16和上側(cè)支承盤14這兩者相對(duì) 于基部12升降。在任一情況下，均能夠調(diào)整上側(cè)支承盤14與下側(cè)支承盤16之間的間隔D。
[0049] 調(diào)整部30包括例如菱形架伸縮式千斤頂。調(diào)整部30配置在移動(dòng)部20 (詳細(xì)而言 為升降框架21)與基部12之間，用于使移動(dòng)部20相對(duì)于基部12升降。隨著移動(dòng)部20的 升降，下側(cè)支承盤16進(jìn)行升降，從而能夠調(diào)整下側(cè)支承盤16與上側(cè)支承盤14之間的間隔。
[0050] 其中，本實(shí)施方式的調(diào)整部30包括菱形架伸縮式千斤頂，通過手動(dòng)使調(diào)整部30工 作，但也可以將調(diào)整部30構(gòu)成為與移動(dòng)部20同樣，也可以包括馬達(dá)等。調(diào)整部的馬達(dá)在控 制器的控制下工作。
[0051] 檢測部40包括用于檢測在玻璃片2形成裂紋時(shí)產(chǎn)生的彈性波（例如AE (Acoustic Emission)波）的傳感器（例如AE傳感器）。確認(rèn)在玻璃片2被上側(cè)支